特許5747231プラズマ生成装置およびプラズマ処理装置

発明の名称　プラズマ生成装置およびプラズマ処理装置

出願人　株式会社イー・エム・ディー　（識別番号 505402581）

　　　　特許公開件数ランキング 14682 位（1件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 12559 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5747231

公報発行日　2015年7月8

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5747231

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特許-5747231「プラズマ生成装置およびプラズマ処理装置」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録