特許5748701ＳＯＩ基板を持つマイクロ電気機械システム用アンカー及びその製造方法

発明の名称　ＳＯＩ基板を持つマイクロ電気機械システム用アンカー及びその製造方法

出願人　ロベルト・ボッシュ・ゲゼルシャフト・ミト・ベシュレンクテル・ハフツング　（識別番号 591245473）

　　　　特許公開件数ランキング 124 位（259件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 87 位（283件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5748701

公報発行日　2015年7月15

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5748701

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