【図1】本発明の第１態様の或る実施形態による、整調フォーク梁構造に配置された２つの発振梁を有する共振器の上面図である。

【図2A】本発明の第１態様の第２実施形態による、整調フォーク梁構造に配置された２つの発振梁を有する共振器の上面図である。

【図2B】本発明の第１態様の第２実施形態による、整調フォーク梁構造に配置された２つの発振梁を有する共振器の上面図である。

【図3】本発明の第１態様による、共振器の出力の周波数を調整及び／又は整調する代表的な構成の概略図である。

【図4】本発明の第１態様による、共振器の代表的な整調技法の流れ図である。

【図5】本発明の第２態様の第１実施形態による、整調フォーク梁構造に配置された２つの発振梁と、一体型の周波数調整構造とを有する共振器の上面図である。

【図6】点線Ａ−Ａ’に沿って切った、図６及び図７の共振器の概略断面図である。

【図7】本発明の第２態様の別の実施形態による、整調フォーク梁構造に配置された２つの発振梁と、一体型の周波数調整構造とを有する共振器の上面図である。

【図8A】本発明の第２態様の別の実施形態による、整調フォーク梁構造に配置された２つの発振梁と、非一体型の周波数調整構造とを有する共振器の上面図である。

【図8B】本発明の第２態様の更に別の実施形態による、整調フォーク梁構造に配置された２つの発振梁と、非一体型の周波数調整構造とを有する共振器の上面図である。

【図9A】本発明の第３態様による、共振器の出力の周波数を調整及び／又は整調する代表的な構成の概略図である。

【図9B】本発明の第３態様による、共振器の出力の周波数を調整及び／又は整調する代表的な構成の概略図である。

【図9C】本発明の第３態様による、共振器の出力の周波数を調整及び／又は整調する代表的な構成の概略図である。

【図9D】本発明の第３態様による、共振器の出力の周波数を調整及び／又は整調する代表的な構成の概略図である。

【図10】本発明の第３態様による、レーザーの様な光源と組み合わせて共振器の出力の周波数を調整及び／又は整調するための、図５の共振器の、点線Ａ−Ａ’に沿って切った概略断面図である。

【図11】本発明の或る実施形態による、拡張可能要素と２つの固定された電極とを有する容積型共振器の上面図である。

【図12】点線Ａ−Ａ’に沿って切った、図１１の容積型共振器の概略断面図である。