特許5748823IP Force 特許公報全文掲載

技術分野

マイクロ電気機械システム及び/又はナノ電気機械システム(以後、総称して「マイクロ電気機械システム」)と、マイクロ電気機械システムを製作するための技法に、より具体的には、或る態様では、マイクロ電気機械共振器の出力周波数を調整し、整調し、設定し、画定し、及び/又は選択するための技法

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

以下、多くの発明について説明し、図示する。第1の重要な態様では、本発明は、第1共振周波数を有するMEMS共振器の共振周波数を調整する方法である。或る実施形態では、MEMS共振器は、第1電気接点を含む第1基板アンカーと、第2電気接点を含む第2基板アンカーと、第1端部が第1基板アンカーによって固定され、第2端部が第2基板アンカーによって固定されている梁構造と、を備えている。本方法は、第1電気接点・・・ 続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る

この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】本発明の第1態様の或る実施形態による、整調フォーク梁構造に配置された2つの発振梁を有する共振器の上面図である。

【図2A】本発明の第1態様の第2実施形態による、整調フォーク梁構造に配置された2つの発振梁を有する共振器の上面図である。

【図2B】本発明の第1態様の第2実施形態による、整調フォーク梁構造に配置された2つの発振梁を有する共振器の上面図である。

【図3】本発明の第1態様による、共振器の出力の周波数を調整及び/又は整調する代表的な構成の概略図である。

【図4】本発明の第1態様による、共振器の代表的な整調技法の流れ図である。

【図5】本発明の第2態様の第1実施形態による、整調フォーク梁構造に配置された2つの発振梁と、一体型の周波数調整構造とを有する共振器の上面図である。

【図6】点線A−A’に沿って切った、図6及び図7の共振器の概略断面図である。

【図7】本発明の第2態様の別の実施形態による、整調フォーク梁構造に配置された2つの発振梁と、一体型の周波数調整構造とを有する共振器の上面図である。

【図8A】本発明の第2態様の別の実施形態による、整調フォーク梁構造に配置された2つの発振梁と、非一体型の周波数調整構造とを有する共振器の上面図である。

【図8B】本発明の第2態様の更に別の実施形態による、整調フォーク梁構造に配置された2つの発振梁と、非一体型の周波数調整構造とを有する共振器の上面図である。

【図9A】本発明の第3態様による、共振器の出力の周波数を調整及び/又は整調する代表的な構成の概略図である。

【図9B】本発明の第3態様による、共振器の出力の周波数を調整及び/又は整調する代表的な構成の概略図である。

【図9C】本発明の第3態様による、共振器の出力の周波数を調整及び/又は整調する代表的な構成の概略図である。

【図9D】本発明の第3態様による、共振器の出力の周波数を調整及び/又は整調する代表的な構成の概略図である。

【図10】本発明の第3態様による、レーザーの様な光源と組み合わせて共振器の出力の周波数を調整及び/又は整調するための、図5の共振器の、点線A−A’に沿って切った概略断面図である。

【図11】本発明の或る実施形態による、拡張可能要素と2つの固定された電極とを有する容積型共振器の上面図である。

【図12】点線A−A’に沿って切った、図11の容積型共振器の概略断面図である。

選択図 図1出願人が指定した本件の代表的な図

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