特許 5749104 等価回路パラメータ測定装置および等価回路パラメータ測定方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5749104

(24)【登録日】2015年5月22日

(45)【発行日】2015年7月15日

(54)【発明の名称】等価回路パラメータ測定装置および等価回路パラメータ測定方法

(51)【国際特許分類】

   G01R 27/02 20060101AFI20150625BHJP

【ＦＩ】

   G01R27/02 A

【請求項の数】3

【全頁数】12

(21)【出願番号】特願2011-156209(P2011-156209)

(22)【出願日】2011年7月15日

(65)【公開番号】特開2013-24568(P2013-24568A)

(43)【公開日】2013年2月4日

【審査請求日】2014年6月27日

(73)【特許権者】

【識別番号】000227180

【氏名又は名称】日置電機株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100104787

【弁理士】

【氏名又は名称】酒井 伸司

(72)【発明者】

【氏名】田中 秀明

(72)【発明者】

【氏名】春原 雅志

【審査官】 三田村 陽平

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００４−２２６１０５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００５−０６２０４５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開昭６３−２０４１６２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１０−１２７８６５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許第０４７８２２８１（ＵＳ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０１Ｒ ２７／００−２７／３２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

他の測定装置において測定された基準試料についての予め規定された各周波数でのインピーダンスおよび位相を示す周波数特性データ、並びに当該他の測定装置において当該周波数特性データに基づいて算出された当該基準試料の等価回路についての各パラメータのパラメータ値をそれぞれ入力する入力部と、
測定対象の試料について前記各周波数でのインピーダンスおよび位相を示す周波数特性データを測定する測定部と、
前記他の装置において測定された前記基準試料についての周波数特性データおよび算出された当該基準試料についての各パラメータ値を入力周波数特性データおよび入力パラメータ値として前記入力部を介して入力する入力処理、前記入力周波数特性データに基づいて、前記基準試料の等価回路についての前記各パラメータのパラメータ値を算出すると共に、当該算出したパラメータ値で当該パラメータ値に対応する前記入力パラメータ値を除算することにより、当該各パラメータについてのパラメータ補正係数を算出するパラメータ補正係数算出処理、前記基準試料について前記各周波数でのインピーダンスおよび位相を示す周波数特性データを測定周波数特性データとして前記測定部によって測定する周波数特性データ測定処理、前記入力周波数特性データで示される前記インピーダンスを前記測定周波数特性データで示される前記インピーダンスで除算することにより、前記各周波数におけるインピーダンスについてのインピーダンス補正係数を算出すると共に、前記入力周波数特性データで示される前記位相から前記測定周波数特性データで示される前記位相を減算することにより、前記各周波数における位相についての位相補正値を算出する特性データ補正係数算出処理とを実行する処理部とを備え、
前記処理部は、新たな試料についての前記各パラメータを算出する際に、
前記新たな試料について前記周波数特性データ測定処理を実行して、当該試料について前記各周波数でのインピーダンスおよび位相を示す前記測定周波数特性データを取得する周波数特性データ取得処理と、
前記取得した前記新たな試料についての前記測定周波数特性データで示される前記インピーダンスに前記インピーダンス補正係数を乗算して補正インピーダンスに補正し、かつ当該測定周波数特性データで示される前記位相に前記位相補正値を加算して補正位相に補正して、補正周波数特性データを算出する周波数特性データ補正処理と、
前記補正周波数特性データに基づいて前記新たな試料の等価回路についての前記各パラメータのパラメータ値を算出すると共に、当該算出したパラメータ値に前記パラメータ補正係数を乗算することにより、当該算出したパラメータ値を補正するパラメータ補正処理とを実行する等価回路パラメータ測定装置。

【請求項2】

前記入力部は、外部記憶媒体または電気通信回線を介して、前記他の測定装置において測定された前記基準試料についての前記周波数特性データ、および当該周波数特性データに基づいて算出された当該基準試料の等価回路についての前記各パラメータの前記パラメータ値を入力するインターフェース回路で構成されている請求項１記載の等価回路パラメータ測定装置。

【請求項3】

他の測定装置において測定された基準試料についての予め規定された各周波数でのインピーダンスおよび位相を示す周波数特性データ、並びに当該他の測定装置において当該周波数特性データに基づいて算出された当該基準試料の等価回路についての各パラメータのパラメータ値を入力周波数特性データおよび入力パラメータ値としてそれぞれ入力する入力処理と、
前記入力周波数特性データに基づいて、前記基準試料の等価回路についての前記各パラメータのパラメータ値を算出すると共に、当該算出したパラメータ値で当該パラメータ値に対応する前記入力パラメータ値を除算することにより、当該各パラメータについてのパラメータ補正係数を算出するパラメータ補正係数算出処理と、
前記基準試料について前記各周波数でのインピーダンスおよび位相を示す周波数特性データを測定周波数特性データとして測定する周波数特性データ測定処理と、
前記入力周波数特性データで示される前記インピーダンスを前記測定周波数特性データで示される前記インピーダンスで除算することにより、前記各周波数におけるインピーダンスについてのインピーダンス補正係数を算出すると共に、前記入力周波数特性データで示される前記位相から前記測定周波数特性データで示される前記位相を減算することにより、前記各周波数における位相についての位相補正値を算出する特性データ補正係数算出処理とを実行し、
新たな試料についての前記各パラメータを算出する際に、
前記新たな試料について前記周波数特性データ測定処理を実行して、当該試料について前記各周波数でのインピーダンスおよび位相を示す前記測定周波数特性データを取得する周波数特性データ取得処理と、
前記取得した前記新たな試料についての前記測定周波数特性データで示される前記インピーダンスに前記インピーダンス補正係数を乗算して補正インピーダンスに補正し、かつ当該測定周波数特性データで示される前記位相に前記位相補正値を加算して補正位相に補正して、補正周波数特性データを算出する周波数特性データ補正処理と、
前記補正周波数特性データに基づいて前記新たな試料の等価回路についての前記各パラメータのパラメータ値を算出すると共に、当該算出したパラメータ値に前記パラメータ補正係数を乗算することにより、当該算出したパラメータ値を補正するパラメータ補正処理とを実行する等価回路パラメータ測定方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、試料の等価回路についてのパラメータを測定する等価回路パラメータ測定装置および等価回路パラメータ測定方法に関するものである。

【背景技術】

【0002】

この種の測定装置として、下記特許文献１に開示された定数測定器が知られている。この定数測定器は、制御部と、端子切替部と、インピーダンス測定部と、インピーダンス記憶部と、インピーダンス極小・極大点探索部と、Ｔ型回路網変換部と、アドミタンスピーク点探索部と、共振回路計算部と、並列回路合成部と、等価回路表示部とを有している。

【0003】

この定数測定器では、通信機器のＡ端子と、Ｂ端子と、接地端子との３端子のうちの２端子間で測定したインピーダンス変化における極小点または極大点付近のインピーダンスの周波数範囲を狭めて詳しく再測定する命令を出し、測定した端子間のインピーダンス測定値を、上記の通信機器がＴ型回路網であると仮定した場合におけるこのＴ型回路網のそれぞれのインピーダンスに変換し、それぞれのアドミタンスに変換し、そのピーク点を探索し、ピーク点の周波数とアドミタンスとに基づいて、直列共振回路を仮定し、共振回路定数を計算し、次のピーク点探索の命令を出し、計算した回路定数を、モード合成によって並列回路に合成し、通信機器のコモンモード等価回路を表示する。

【0004】

この定数測定器によれば、測定ポイント間隔を、従来に比べて１桁以上、または、さらに狭くすることができる通信機器のコモンモード等価回路を導出することが可能となっている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２００５−６２０４５号公報（第７−１８頁、第１図）

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

ところで、ユーザが、上記のような測定装置を複数有する場合に、すべての測定装置が同一メーカの同一機種である場合もあるが、異なるメーカのものである場合もある。

【0007】

後者の場合には、一般的に、メーカ毎に測定装置に予め記憶させる通信機器（試料）の等価回路（例えば、図４，５に示されるようなインダクタンスＬ、キャパシタンスＣおよび抵抗Ｒで規定される通信機器（試料）毎の回路）についての算出アルゴリズムの演算式が異なっている。また、この算出アルゴリズムの演算式が同じであったとしても、演算式で使用する各定数（インダクタンスＬ、キャパシタンスＣおよび抵抗Ｒ）の導出方法が異なる場合がある。このため、各測定装置で同じ通信機器（試料）についての等価回路のパラメータを測定したとしても、同じ結果が得られないという解決すべき課題が存在している。

【0008】

本発明は、かかる課題を解決すべくなされたものであり、同じ試料についての等価回路のパラメータを測定したときに他の測定装置と同じ値のパラメータ値を測定し得る等価回路パラメータ測定装置および等価回路パラメータ測定方法を提供することを主目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0009】

上記目的を達成すべく請求項１記載の等価回路パラメータ測定装置は、他の測定装置において測定された基準試料についての予め規定された各周波数でのインピーダンスおよび位相を示す周波数特性データ、並びに当該他の測定装置において当該周波数特性データに基づいて算出された当該基準試料の等価回路についての各パラメータのパラメータ値をそれぞれ入力する入力部と、測定対象の試料について前記各周波数でのインピーダンスおよび位相を示す周波数特性データを測定する測定部と、前記他の装置において測定された前記基準試料についての周波数特性データおよび算出された当該基準試料についての各パラメータ値を入力周波数特性データおよび入力パラメータ値として前記入力部を介して入力する入力処理、前記入力周波数特性データに基づいて、前記基準試料の等価回路についての前記各パラメータのパラメータ値を算出すると共に、当該算出したパラメータ値で当該パラメータ値に対応する前記入力パラメータ値を除算することにより、当該各パラメータについてのパラメータ補正係数を算出するパラメータ補正係数算出処理、前記基準試料について前記各周波数でのインピーダンスおよび位相を示す周波数特性データを測定周波数特性データとして前記測定部によって測定する周波数特性データ測定処理、前記入力周波数特性データで示される前記インピーダンスを前記測定周波数特性データで示される前記インピーダンスで除算することにより、前記各周波数におけるインピーダンスについてのインピーダンス補正係数を算出すると共に、前記入力周波数特性データで示される前記位相から前記測定周波数特性データで示される前記位相を減算することにより、前記各周波数における位相についての位相補正値を算出する特性データ補正係数算出処理とを実行する処理部とを備え、前記処理部は、新たな試料についての前記各パラメータを算出する際に、前記新たな試料について前記周波数特性データ測定処理を実行して、当該試料について前記各周波数でのインピーダンスおよび位相を示す前記測定周波数特性データを取得する周波数特性データ取得処理と、前記取得した前記新たな試料についての前記測定周波数特性データで示される前記インピーダンスに前記インピーダンス補正係数を乗算して補正インピーダンスに補正し、かつ当該測定周波数特性データで示される前記位相に前記位相補正値を加算して補正位相に補正して、補正周波数特性データを算出する周波数特性データ補正処理と、前記補正周波数特性データに基づいて前記新たな試料の等価回路についての前記各パラメータのパラメータ値を算出すると共に、当該算出したパラメータ値に前記パラメータ補正係数を乗算することにより、当該算出したパラメータ値を補正するパラメータ補正処理とを実行する。

【0010】

また、請求項２記載の等価回路パラメータ測定装置は、請求項１記載の等価回路パラメータ測定装置において、前記入力部は、外部記憶媒体または電気通信回線を介して、前記他の測定装置において測定された前記基準試料についての前記周波数特性データ、および当該周波数特性データに基づいて算出された当該基準試料の等価回路についての前記各パラメータの前記パラメータ値を入力するインターフェース回路で構成されている。

【0011】

また、請求項３記載の等価回路パラメータ測定方法は、他の測定装置において測定された基準試料についての予め規定された各周波数でのインピーダンスおよび位相を示す周波数特性データ、並びに当該他の測定装置において当該周波数特性データに基づいて算出された当該基準試料の等価回路についての各パラメータのパラメータ値を入力周波数特性データおよび入力パラメータ値としてそれぞれ入力する入力処理と、前記入力周波数特性データに基づいて、前記基準試料の等価回路についての前記各パラメータのパラメータ値を算出すると共に、当該算出したパラメータ値で当該パラメータ値に対応する前記入力パラメータ値を除算することにより、当該各パラメータについてのパラメータ補正係数を算出するパラメータ補正係数算出処理と、前記基準試料について前記各周波数でのインピーダンスおよび位相を示す周波数特性データを測定周波数特性データとして測定する周波数特性データ測定処理と、前記入力周波数特性データで示される前記インピーダンスを前記測定周波数特性データで示される前記インピーダンスで除算することにより、前記各周波数におけるインピーダンスについてのインピーダンス補正係数を算出すると共に、前記入力周波数特性データで示される前記位相から前記測定周波数特性データで示される前記位相を減算することにより、前記各周波数における位相についての位相補正値を算出する特性データ補正係数算出処理とを実行し、新たな試料についての前記各パラメータを算出する際に、前記新たな試料について前記周波数特性データ測定処理を実行して、当該試料について前記各周波数でのインピーダンスおよび位相を示す前記測定周波数特性データを取得する周波数特性データ取得処理と、前記取得した前記新たな試料についての前記測定周波数特性データで示される前記インピーダンスに前記インピーダンス補正係数を乗算して補正インピーダンスに補正し、かつ当該測定周波数特性データで示される前記位相に前記位相補正値を加算して補正位相に補正して、補正周波数特性データを算出する周波数特性データ補正処理と、前記補正周波数特性データに基づいて前記新たな試料の等価回路についての前記各パラメータのパラメータ値を算出すると共に、当該算出したパラメータ値に前記パラメータ補正係数を乗算することにより、当該算出したパラメータ値を補正するパラメータ補正処理とを実行する。

【発明の効果】

【0012】

請求項１記載の等価回路パラメータ測定装置および請求項３記載の等価回路パラメータ測定方法によれば、新たな試料についての測定周波数特性データを測定したときに、各周波数でのインピーダンスにインピーダンス補正係数を乗算して補正インピーダンスに補正し、かつ測定周波数特性データで示される位相に位相補正値を加算して補正位相に補正し、この補正後のインピーダンスおよび補正位相に基づいて、新たな試料の等価回路についての各パラメータのパラメータ値を算出したときに、このパラメータ値に各パラメータ補正係数を乗算することにより、他の測定装置と同じ試料についての等価回路のパラメータについてのパラメータ値を測定したときに、他の測定装置で測定されるパラメータ値と同じ値のパラメータ値を測定することができる。

【0013】

請求項２記載の等価回路パラメータ測定装置によれば、他の測定装置において測定された基準試料についての周波数特性データ、およびこの他の測定装置においてこの周波数特性データに基づいて算出された基準試料の等価回路についての各パラメータ値が記憶されている外部記憶媒体を入力部に接続したり、この周波数特性データおよび各パラメータ値が伝送される電気通信回線を入力部に接続したりするだけで、この外部記憶媒体または電気通信回線を介して、他の測定装置での周波数特性データ、および各パラメータ値を短時間で、しかも簡易に入力することができる。

【図面の簡単な説明】

【0014】

【図1】等価回路パラメータ測定装置１の構成図である。

【図2】補正用データ算出処理５０の動作を説明するためのフローチャートである。

【図3】パラメータ測定処理６０の動作を説明するためのフローチャートである。

【図4】等価回路の一例を示す回路図である。

【図5】等価回路の他の例を示す回路図である。

【発明を実施するための形態】

【0015】

以下、添付図面を参照して、等価回路パラメータ測定装置１および等価回路パラメータ測定方法の実施の形態について説明する。

【0016】

最初に、等価回路パラメータ測定装置１（以下、「測定装置１」ともいう）の構成について、図面を参照して説明する。

【0017】

測定装置１は、図１に示すように、入力部２、測定部３、操作部４、記憶部５、処理部６および出力部７を備え、測定部３に接続された測定対象としての試料８の等価回路についての各パラメータを測定可能に構成されている。本例では一例として、試料８の等価回路は、図４で示されるように、インダクタンスＬ、キャパシタンスＣおよび抵抗Ｒの各パラメータで構成されているものとする。

【0018】

入力部２は、他の測定装置（試料８について測定される等価回路は、測定装置１によって測定される等価回路とは相違しているものの検査装置１と同様にして各パラメータＬ，Ｃ，Ｒで構成されており、この各パラメータＬ，Ｃ，Ｒを測定可能に構成されている測定装置）において測定された基準試料（例えば、特定の正常な試料８）８ｒについての予め規定された各周波数でのインピーダンスＺ_ｒａおよび位相θ_ｒａをその各周波数に対応付けた周波数特性データＤ_Ｆｒａ、並びにこの他の測定装置においてこの周波数特性データＤ_Ｆｒａに基づいて算出された基準試料８ｒの等価回路についての各パラメータＬ，Ｃ，Ｒのパラメータ値Ｄ_Ｌｒａ，Ｄ_Ｃｒａ，Ｄ_Ｒｒａをそれぞれ入力する。また、入力部２は、入力した周波数特性データＤ_Ｆｒａ、および各パラメータ値Ｄ_Ｌｒａ，Ｄ_Ｃｒａ，Ｄ_Ｒｒａを処理部６に出力する。また、入力部２は、周波数特性データＤ_Ｆｒａ、および各パラメータ値Ｄ_Ｌｒａ，Ｄ_Ｃｒａ，Ｄ_Ｒｒａの入力および処理部６への出力については、処理部６からの要求に応じて実行する。

【0019】

本例では一例として、入力部２は、ＵＳＢ（Universal Serial Bus）メモリなどの外部記憶媒体用のインターフェース回路で構成されて、外部記憶媒体９に記憶されている他の測定装置の上記した周波数特性データＤ_Ｆｒａ、および各パラメータ値Ｄ_Ｌｒａ，Ｄ_Ｃｒａ，Ｄ_Ｒｒａを入力する。なお、ＲＳ−２３２Ｃ、ＧＰＩＢ、有線ＬＡＮまたは無線ＬＡＮなどの各種の通信方式の電気通信回線に接続されるインターフェース回路で入力部２を構成し、これらの通信方式に従って他の測定装置から電気通信回線を介して伝送されて来る周波数特性データＤ_Ｆｒａ、および各パラメータ値Ｄ_Ｌｒａ，Ｄ_Ｃｒａ，Ｄ_Ｒｒａを入力（受信）する構成を採用することもできる。

【0020】

測定部３は、プローブ３ａを介して試料８（基準試料８ｒを含む）を接続可能に構成されて、接続された試料８について上記した各周波数（他の測定装置の周波数と同じ周波数）でのインピーダンスＺ_ｒｂおよび位相θ_ｒｂをその周波数に対応付けた周波数特性データＤ_Ｆｒｂを測定する。また、測定部３は、測定した周波数特性データＤ_Ｆｒｂを処理部６に出力する。また、測定部３は、周波数特性データＤ_Ｆｒｂの測定および処理部６への出力については、処理部６からの要求に応じて実行する。

【0021】

操作部４は、例えば操作キー（図示せず）を複数備え、操作された操作キーに予め割り当てられた処理を処理部６に対して実行させるための命令データＤ_ｃｍｄを処理部６に出力する。記憶部５は、ＲＡＭなどの半導体メモリや、ＨＤＤ（Hard disk drive）で構成されて、他の測定装置の上記した周波数特性データＤ_Ｆｒａ、および各パラメータ値Ｄ_Ｌｒａ，Ｄ_Ｃｒａ，Ｄ_Ｒｒａや、測定部３によって測定された周波数特性データＤ_Ｆｒｂなどを記憶する。

【0022】

処理部６は、例えばＣＰＵで構成されて、入力部２および測定部３に対する制御を実行すると共に、補正用データ算出処理およびパラメータ測定処理を実行する。また、処理部６は、パラメータ測定処理において測定した試料８の等価回路についての各パラメータのパラメータ値Ｄ_Ｌｂ，Ｄ_Ｃｂ，Ｄ_Ｒｂを出力部７に出力する。出力部７は、一例として、液晶ディスプレイなどの表示装置で構成されて、測定されたパラメータ値Ｄ_Ｌｂ，Ｄ_Ｃｂ，Ｄ_Ｒｂを画面に表示する。なお、表示装置に代えて、外部装置（外部記憶媒体などの外部記憶装置を含む）とのインターフェース回路で出力部７を構成して、この外部装置にパラメータ値Ｄ_Ｌｂ，Ｄ_Ｃｂ，Ｄ_Ｒｂを出力することもできる。

【0023】

次いで、測定装置１による上記の各パラメータＬ，Ｃ，Ｒのパラメータ値Ｄ_Ｌｂ，Ｄ_Ｃｂ，Ｄ_Ｒｂの測定動作と共に、このパラメータ値Ｄ_Ｌｂ，Ｄ_Ｃｂ，Ｄ_Ｒｂの測定方法について図面を参照して説明する。

【0024】

測定装置１では、処理部６が、まず、パラメータ値Ｄ_Ｌｂ，Ｄ_Ｃｂ，Ｄ_Ｒｂの測定に先立ち、図２に示す補正用データ算出処理５０を実行する。この補正用データ算出処理５０では、処理部６は、最初に、入力処理を実行する（ステップ５１）。なお、この入力処理の実行に際しては、他の測定装置において測定された基準試料８ｒについての周波数特性データＤ_Ｆｒａ、およびこの他の測定装置においてこの周波数特性データＤ_Ｆｒａに基づいて算出された基準試料８ｒの等価回路についての各パラメータ値Ｄ_Ｌｒａ，Ｄ_Ｃｒａ，Ｄ_Ｒｒａが記憶された外部記憶媒体９が入力部２に予め接続されているものとする。

【0025】

入力処理では、処理部６は、操作キーに対する操作が行われた操作部４から命令データＤ_ｃｍｄ（外部記憶媒体９から周波数特性データＤ_Ｆｒａ等の読み込みを指示する命令データ）を入力したときに、入力部２に対して、周波数特性データＤ_Ｆｒａ、および各パラメータ値Ｄ_Ｌｒａ，Ｄ_Ｃｒａ，Ｄ_Ｒｒａの外部記憶媒体９からの入力（読み込み）と、入力した周波数特性データＤ_Ｆｒａ，および各パラメータ値Ｄ_Ｌｒａ，Ｄ_Ｃｒａ，Ｄ_Ｒｒａの処理部６への出力とを要求する。

【0026】

入力部２は、この処理部６からの要求に応じて、外部記憶媒体９から周波数特性データＤ_Ｆｒａ，および各パラメータ値Ｄ_Ｌｒａ，Ｄ_Ｃｒａ，Ｄ_Ｒｒａを読み出して、処理部６に出力する。処理部６は、この周波数特性データＤ_Ｆｒａ，および各パラメータ値Ｄ_Ｌｒａ，Ｄ_Ｃｒａ，Ｄ_Ｒｒａを入力して、周波数特性データＤ_Ｆｒａを入力周波数特性データとして（以下、「入力周波数特性データＤ_Ｆｒａ」ともいう）記憶部５に記憶させると共に、各パラメータ値Ｄ_Ｌｒａ，Ｄ_Ｃｒａ，Ｄ_Ｒｒａを入力パラメータ値として（以下、「入力パラメータ値Ｄ_Ｌｒａ，Ｄ_Ｃｒａ，Ｄ_Ｒｒａ」ともいう）記憶部５に記憶させる。これにより、入力処理が完了する。

【0027】

処理部６は、上記の入力処理に引き続いて、パラメータ補正係数算出処理を実行する（ステップ５２）。このパラメータ補正係数算出処理では、処理部６は、まず、記憶部５に記憶させた入力周波数特性データＤ_Ｆｒａに基づいて、基準試料８ｒの等価回路についての各パラメータＬ，Ｃ，Ｒのパラメータ値Ｄ_Ｌｒａ１，Ｄ_Ｃｒａ１，Ｄ_Ｒｒａ１を算出する。この場合、処理部６は、測定装置１での等価回路についての各パラメータＬ，Ｃ，Ｒのパラメータ値Ｄ_Ｌｂ，Ｄ_Ｃｂ，Ｄ_Ｒｂを算出するための算出アルゴリズム（予め規定されたアルゴリズム）を用いて、入力周波数特性データＤ_Ｆｒａから各パラメータ値Ｄ_Ｌｂ，Ｄ_Ｃｂ，Ｄ_Ｒｂを算出して、パラメータ値Ｄ_Ｌｒａ１，Ｄ_Ｃｒａ１，Ｄ_Ｒｒａ１として記憶部５に記憶する。

【0028】

次いで、処理部６は、このパラメータ補正係数算出処理において算出した各パラメータ値Ｄ_Ｌｂ，Ｄ_Ｃｂ，Ｄ_Ｒｂで、各パラメータ値Ｄ_Ｌｂ，Ｄ_Ｃｂ，Ｄ_Ｒｂに対応する入力パラメータ値Ｄ_Ｌｒａ１，Ｄ_Ｃｒａ１，Ｄ_Ｒｒａ１を除算することにより、各パラメータＬ，Ｃ，Ｒについてのパラメータ補正係数ｋ_Ｌ（＝Ｄ_Ｌｒａ１／Ｄ_Ｌｂ），ｋ_Ｃ（＝Ｄ_Ｃｒａ１／Ｄ_Ｃｂ），ｋ_Ｒ（＝Ｄ_Ｒｒａ１／Ｄ_Ｒｂ）を算出して記憶部５に記憶させる。これにより、パラメータ補正係数算出処理が完了する。

【0029】

続いて、処理部６は、周波数特性データ測定処理を実行する（ステップ５３）。この周波数特性データ測定処理に際しては、まず、測定部３に各プローブ３ａを介して基準試料８ｒを接続する。この場合、この基準試料８ｒとして、他の測定装置において上記の周波数特性データＤ_Ｆｒａ等を測定したときに使用した基準試料８ｒと同じもの（同一の基準試料８ｒ、または同じ特性を示す別の基準試料８ｒ）を使用する。この状態において、処理部６は、操作キーに対する操作が行われた操作部４から命令データＤ_ｃｍｄ（測定部３に対して試料８の周波数特性データＤ_Ｆｂ（基準試料８ｒについては周波数特性データＤ_Ｆｒｂ）の測定を指示する命令データ）を入力したときに、測定部３に対して、基準試料８ｒについての周波数特性データＤ_Ｆｒｂの測定と、測定した周波数特性データＤ_Ｆｒｂの処理部６への出力とを要求する。

【0030】

測定部３は、この処理部６からの要求に応じて、基準試料８ｒについての周波数特性データＤ_Ｆｒｂ（各周波数でのインピーダンスＺ_ｒｂおよび位相θ_ｒｂ）を測定して、処理部６に出力する。処理部６は、この周波数特性データＤ_Ｆｒｂを入力して、周波数特性データＤ_Ｆｒｂを測定周波数特性データとして（以下、「測定周波数特性データＤ_Ｆｒｂ」ともいう）記憶部５に記憶させる。なお、基準試料８ｒについては、測定部３による周波数特性データＤ_Ｆｒｂの測定後に、測定部３から取り外される。これにより、周波数特性データ測定処理が完了する。

【0031】

次いで、処理部６は、特性データ補正係数算出処理を実行する（ステップ５４）。この特性データ補正係数算出処理では、まず、処理部６は、各周波数における入力周波数特性データＤ_Ｆｒａで示されるインピーダンスＺ_ｒａを、対応する周波数における測定周波数特性データＤ_Ｆｒｂで示されるインピーダンスＺ_ｒｂで除算することにより、各周波数におけるインピーダンスＺ_ｒｂについてのインピーダンス補正係数ｍ（＝Ｚ_ｒａ／Ｚ_ｒｂ）を算出して記憶部５に記憶する。また、処理部６は、各周波数における入力周波数特性データＤ_Ｆｒａで示される位相θ_ｒａから、対応する周波数における測定周波数特性データＤ_Ｆｒｂで示される位相θ_ｒｂを減算することにより、各周波数における位相θ_ｒｂについての位相補正値ｎ（＝θ_ｒａ−θ_ｒｂ）を算出して記憶部５に記憶する。これにより、特性データ補正係数算出処理が完了し、補正用データ算出処理５０についても完了する。以上により、測定装置１は、新たな試料８についての等価回路の各パラメータＬ，Ｃ，Ｒを算出可能な状態となる。

【0032】

このようにして算出されたインピーダンス補正係数ｍは、一般的には周波数毎に相違する値となり、また位相補正値ｎについても、一般的に周波数毎に相違する値となる。

【0033】

次に、測定装置１による新たな試料８の等価回路についての各パラメータＬ，Ｃ，Ｒのパラメータ値Ｄ_Ｌｂ，Ｄ_Ｃｂ，Ｄ_Ｒｂの測定動作について説明する。

【0034】

測定装置１では、測定部３に試料８が接続されている状態において、処理部６は、図３に示すパラメータ測定処理６０を実行する。このパラメータ測定処理６０では、処理部６は、まず、周波数特性データ取得処理を実行する（ステップ６１）。

【0035】

この周波数特性データ取得処理では、処理部６は、操作キーに対する操作が行われた操作部４から命令データＤ_ｃｍｄ（測定部３に対して試料８の周波数特性データＤ_Ｆｂの測定（取得）を指示する命令データ）を入力したときに、測定部３に対して、試料８についての周波数特性データＤ_Ｆｂの測定と、測定した周波数特性データＤ_Ｆｂの処理部６への出力とを要求する。

【0036】

測定部３は、この処理部６からの要求に応じて、試料８についての周波数特性データＤ_Ｆｂ（各周波数でのインピーダンスＺ_ｂおよび位相θ_ｂ）を測定して、処理部６に出力する。処理部６は、この周波数特性データＤ_Ｆｂを入力（取得）して、周波数特性データ（測定周波数特性データ）Ｄ_Ｆｂを記憶部５に記憶させる。これにより、周波数特性データ取得処理が完了する。

【0037】

次いで、処理部６は、周波数特性データ補正処理を実行する（ステップ６２）。この周波数特性データ補正処理では、処理部６は、取得した新たな試料８についての測定周波数特性データＤ_Ｆｂで示される各周波数でのインピーダンスＺ_ｂにインピーダンス補正係数ｍを乗算して補正インピーダンスＺ_ｂ１に補正し、かつ測定周波数特性データＤ_Ｆｂで示される位相θ_ｂに位相補正値ｎを加算して補正位相θ_ｂ１に補正する。また、この補正によって算出された補正インピーダンスＺ_ｂ１および補正位相θ_ｂ１を補正周波数特性データＤ_Ｆｂ１として記憶部５に記憶させる。

【0038】

これにより、この周波数特性データ補正処理によって得られた補正インピーダンスＺ_ｂ１および補正位相θ_ｂ１は、測定装置１で測定している試料８を他の測定装置（上記したステップ５１において、入力部２を介して入力した周波数特性データＤ_Ｆｒａ、および各パラメータ値Ｄ_Ｌｒａ，Ｄ_Ｃｒａ，Ｄ_Ｒｒａを測定した測定装置）で測定したときに得られるインピーダンスＺ_ａ１および補正位相θ_ａ１に一致させられる（揃えられる）。

【0039】

続いて、処理部６は、パラメータ補正処理を実行する（ステップ６３）。このパラメータ補正処理では、処理部６は、まず、補正周波数特性データＤ_Ｆｂ１に基づいて、試料８の等価回路についての各パラメータＬ，Ｃ，Ｒのパラメータ値Ｄ_Ｌｂ１，Ｄ_Ｃｂ１，Ｄ_Ｒｂ１を算出する。次いで、処理部６は、算出した各パラメータ値Ｄ_Ｌｂ１，Ｄ_Ｃｂ１，Ｄ_Ｒｂ１に、記憶部５から読み出した各パラメータＬ，Ｃ，Ｒについてのパラメータ補正係数ｋ_Ｌ，ｋ_Ｃ，ｋ_Ｒを乗算することにより、各パラメータ値Ｄ_Ｌｂ１，Ｄ_Ｃｂ１，Ｄ_Ｒｂ１を各パラメータＬ，Ｃ，Ｒについての最終的なパラメータ値Ｄ_Ｌｂ，Ｄ_Ｃｂ，Ｄ_Ｒｂに補正して記憶部５に記憶させる。これにより、パラメータ測定処理６０が完了する。

【0040】

この結果、このパラメータ補正処理によって得られたパラメータ値Ｄ_Ｌｂ，Ｄ_Ｃｂ，Ｄ_Ｒｂは、測定装置１で測定している試料８を他の測定装置（上記したステップ５１において、入力部２を介して入力した周波数特性データＤ_Ｆｒａ、および各パラメータ値Ｄ_Ｌｒａ，Ｄ_Ｃｒａ，Ｄ_Ｒｒａを測定した測定装置）で測定したときに得られるパラメータ値Ｄ_Ｌａ，Ｄ_Ｃａ，Ｄ_Ｒａに一致させられる。

【0041】

最後に、処理部６は、算出（測定）した試料８の等価回路についての各パラメータＬ，Ｃ，Ｒのパラメータ値Ｄ_Ｌｂ，Ｄ_Ｃｂ，Ｄ_Ｒｂを出力部７としての表示装置の画面に表示させる。

【0042】

このように、この測定装置１および等価回路パラメータ測定方法では、他の測定装置において測定された基準試料８ｒの周波数特性データ（入力周波数特性データ）Ｄ_Ｆｒａおよび基準試料８ｒの等価回路についての各パラメータＬ，Ｃ，Ｒのパラメータ値（入力パラメータ値）Ｄ_Ｌｒａ，Ｄ_Ｃｒａ，Ｄ_Ｒｒａと、この入力周波数特性データＤ_Ｆｒａに基づいて測定装置１が算出した等価回路についての各パラメータＬ，Ｃ，Ｒのパラメータ値Ｄ_Ｌｒａ１，Ｄ_Ｃｒａ１，Ｄ_Ｒｒａ１とに基づいて、各パラメータＬ，Ｃ，Ｒについてのパラメータ補正係数ｋ_Ｌ，ｋ_Ｃ，ｋ_Ｒを算出する。また、測定装置１が測定した基準試料８ｒの周波数特性データＤ_Ｆｒｂと他の測定装置において測定された基準試料８ｒの周波数特性データ（入力周波数特性データ）Ｄ_Ｆｒａとに基づいて、インピーダンスＺ_ｒｂのインピーダンス補正係数ｍと、位相θ_ｒｂの位相補正値ｎとを算出する。また、新たな試料８についての周波数特性データ（測定周波数特性データ）Ｄ_Ｆｂを測定したときには、測定周波数特性データＤ_Ｆｂで示される各周波数でのインピーダンスＺ_ｂにインピーダンス補正係数ｍを乗算して補正インピーダンスＺ_ｂ１に補正し、かつ測定周波数特性データＤ_Ｆｂで示される位相θ_ｂに位相補正値ｎを加算して補正位相θ_ｂ１に補正することにより、上記の他の測定装置で測定したときに得られるインピーダンスＺ_ａ１および補正位相θ_ａ１に一致させ、このインピーダンスＺ_ａ１および補正位相θ_ａ１（周波数特性データＤ_Ｆｂ１）に基づいて、新たな試料８の等価回路についての各パラメータＬ，Ｃ，Ｒのパラメータ値Ｄ_Ｌｂ１，Ｄ_Ｃｂ１，Ｄ_Ｒｂ１を算出し、最後に、このパラメータ値Ｄ_Ｌｂ１，Ｄ_Ｃｂ１，Ｄ_Ｒｂ１に各パラメータ補正係数ｋ_Ｌ，ｋ_Ｃ，ｋ_Ｒを乗算することにより、上記の他の測定装置でこの試料８を測定したときに得られるパラメータ値Ｄ_Ｌａ，Ｄ_Ｃａ，Ｄ_Ｒａに一致するパラメータ値Ｄ_Ｌｂ，Ｄ_Ｃｂ，Ｄ_Ｒｂに補正する。

【0043】

したがって、この測定装置１および等価回路パラメータ測定方法によれば、他の測定装置と同じ試料８についての等価回路のパラメータＬ，Ｃ，Ｒについてのパラメータ値を測定したときに、他の測定装置で測定されるパラメータ値Ｄ_Ｌａ，Ｄ_Ｃａ，Ｄ_Ｒａと同じ値のパラメータ値Ｄ_Ｌｂ，Ｄ_Ｃｂ，Ｄ_Ｒｂを測定することができる。

【0044】

また、この測定装置１によれば、外部記憶媒体９に記憶されているデータを入力するインターフェース回路で入力部２を構成したことにより、他の測定装置において測定された基準試料８ｒについての周波数特性データＤ_Ｆｒａ、およびこの他の測定装置においてこの周波数特性データＤ_Ｆｒａに基づいて算出された基準試料８ｒの等価回路についての各パラメータ値Ｄ_Ｌｒａ，Ｄ_Ｃｒａ，Ｄ_Ｒｒａが記憶されている外部記憶媒体９を入力部２に接続するだけで、この外部記憶媒体９を介して、他の測定装置での周波数特性データＤ_Ｆｒａ、および各パラメータ値Ｄ_Ｌｒａ，Ｄ_Ｃｒａ，Ｄ_Ｒｒａを短時間で、しかも簡易に入力することができる。

【0045】

なお、上記の例では、他の測定装置において測定された周波数特性データＤ_Ｆｒａ、および基準試料８ｒの等価回路についての各パラメータ値Ｄ_Ｌｒａ，Ｄ_Ｃｒａ，Ｄ_Ｒｒａを１つの測定装置１に入力することにより、他の測定装置と同じ試料８についての等価回路のパラメータＬ，Ｃ，Ｒについてのパラメータ値を１つの測定装置１で測定したときに、他の測定装置で測定されるパラメータ値Ｄ_Ｌａ，Ｄ_Ｃａ，Ｄ_Ｒａと同じ値のパラメータ値Ｄ_Ｌｂ，Ｄ_Ｃｂ，Ｄ_Ｒｂを測定できるように構成しているが、他の測定装置において測定された周波数特性データＤ_Ｆｒａ、および各パラメータ値Ｄ_Ｌｒａ，Ｄ_Ｃｒａ，Ｄ_Ｒｒａを複数の測定装置に入力し、この複数の測定装置において上記した測定装置１と同様にして、試料８の等価回路についての各パラメータＬ，Ｃ，Ｒのパラメータ値を測定（算出）することにより、他の測定装置で測定されるパラメータ値Ｄ_Ｌａ，Ｄ_Ｃａ，Ｄ_Ｒａと同じ値のパラメータ値をこの複数の測定装置で測定できるように構成することもできる。

【0046】

また、上記の測定装置１や他の測定装置について、３つのパラメータＬ，Ｃ，Ｒを含む等価回路の各パラメータ値を算出する例を挙げて説明したが、３つのパラメータＬ，Ｃ，Ｒのうちの少なくとも１つを含む等価回路の各パラメータを算出する構成とすることもできる。

【符号の説明】

【0047】

１ 測定装置
２ 入力部
３ 測定部
６ 処理部
８ 試料
８ｒ 基準試料
ＤＦｂ 測定周波数特性データ
ＤＦｂ１ 補正周波数特性データ
ＤＦｒａ 入力周波数特性データ
ＤＦｒｂ 測定周波数特性データ
ＤＬａ，ＤＣａ，ＤＲａ パラメータ値
ＤＬｂ，ＤＣｂ，ＤＲｂ パラメータ値
ＤＬｂ１，ＤＣｂ１，ＤＲｂ１ パラメータ値
ＤＬｒａ，ＤＣｒａ，ＤＲｒａ パラメータ値
ＤＬｒａ１，ＤＣｒａ１，ＤＲｒａ１ パラメータ値
ｋＬ，ｋＣ，ｋＲ パラメータ補正係数
ｍ インピーダンス補正係数
ｎ 位相補正値
Ｚａ１ インピーダンス
Ｚｂ インピーダンス
Ｚｂ１ 補正インピーダンス
Ｚｒａ インピーダンス
Ｚｒｂ インピーダンス
θａ１ 補正位相
θｂ 位相
θｂ１ 補正位相
θｒａ 位相
θｒｂ 位相

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】