特許第5755662号(P5755662)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許5755662微細パターン転写用のモールドの製造方法及びそれを用いた回折格子の製造方法、並びに該回折格子を有する有機EL素子の製造方法