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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】5755842
(24)【登録日】2015年6月5日
(45)【発行日】2015年7月29日
(54)【発明の名称】ワーク搬送システム
(51)【国際特許分類】
H01L 21/677 20060101AFI20150709BHJP
B65G 49/07 20060101ALI20150709BHJP
【ＦＩ】
H01L21/68 A
B65G49/07 C
【請求項の数】6
【全頁数】16
(21)【出願番号】特願2010-98470(P2010-98470)
(22)【出願日】2010年4月22日
(65)【公開番号】特開2011-228559(P2011-228559A)
(43)【公開日】2011年11月10日
【審査請求日】2013年3月11日
(73)【特許権者】
【識別番号】000000262
【氏名又は名称】株式会社ダイヘン
(74)【代理人】
【識別番号】100086380
【弁理士】
【氏名又は名称】吉田 稔
(74)【代理人】
【識別番号】100103078
【弁理士】
【氏名又は名称】田中 達也
(74)【代理人】
【識別番号】100115369
【弁理士】
【氏名又は名称】仙波 司
(74)【代理人】
【識別番号】100130650
【弁理士】
【氏名又は名称】鈴木 泰光
(74)【代理人】
【識別番号】100135389
【弁理士】
【氏名又は名称】臼井 尚
(72)【発明者】
【氏名】音川 泰伸
(72)【発明者】
【氏名】前谷 治男
(72)【発明者】
【氏名】星島 耕太
【審査官】
佐藤 彰洋
(56)【参考文献】
【文献】
特開２００６−１５６７６２（ＪＰ，Ａ）
【文献】
特開２００８−２６４９８０（ＪＰ，Ａ）
【文献】
特開平０５−３２９７９４（ＪＰ，Ａ）
【文献】
特開２００８−１５５２９８（ＪＰ，Ａ）
【文献】
特開２００６−１２７０４７（ＪＰ，Ａ）
【文献】
実開平０６−００２８８１（ＪＰ，Ｕ）
【文献】
特表２００２−５１０１４１（ＪＰ，Ａ）
【文献】
特表２００２−５２２２３８（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）
Ｈ０１Ｌ ２１／６７−２１／６８７
Ｂ６５Ｇ ４９／００−４９／０８
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
直線状に配列された３つまたは５つのワーク収納室と、これらワーク収納室に隣接する搬送室と、この搬送室に対し、上記ワーク収納室とは反対側に隣接する１つのワーク処理室と、上記ワーク収納室と上記ワーク処理室との間でワークを搬送するために上記搬送室に配置された２台の第１および第２のワーク搬送用ロボットと、これらワーク搬送用ロボットの動作を制御するコントローラと、を備え、
上記第１および第２のワーク搬送用ロボットは、上記ワーク収納室の配列方向に離間して配置されており、
上記ワーク処理室は、上記ワーク収納室の配列方向において上記第１および第２のワーク搬送用ロボットの間に配置されており、
上記各ワーク搬送用ロボットは、２つまたは３つの上記ワーク収納室に対してワークの搬送を行い、かつ上記ワーク処理室に対してワークの搬送を行い、
上記第１および第２のワーク搬送用ロボットのいずれもが、上記３つまたは５つのワーク収納室のうち中央に位置するものに対してワークの搬送を行うことを特徴とする、ワーク搬送システム。
上記第１および第２のワーク搬送用ロボットは、上記ワーク収納室の配列方向に離間して配置されており、
上記ワーク処理室は、上記ワーク収納室の配列方向において上記第１および第２のワーク搬送用ロボットの間に配置されており、
上記各ワーク搬送用ロボットは、２つまたは３つの上記ワーク収納室に対してワークの搬送を行い、かつ上記ワーク処理室に対してワークの搬送を行い、
上記第１および第２のワーク搬送用ロボットのいずれもが、上記３つまたは５つのワーク収納室のうち中央に位置するものに対してワークの搬送を行うことを特徴とする、ワーク搬送システム。
【請求項2】
上記第１および第２のワーク搬送用ロボットは、上記ワーク収納室の配列方向における中央位置から互いに同じ距離の位置に配置されている、請求項１に記載のワーク搬送システム。
【請求項3】
上記各ワーク搬送用ロボットは、上記搬送室に対して固定される固定ベースと、昇降ベースと、この昇降ベースを上記固定ベースに対して昇降させる昇降機構と、一端が上記昇降ベースに対して第１の垂直軸周りに回動可能に支持された第１のアームと、上記第１のアームを上記第１の垂直軸周りに回動させる第１アーム駆動機構と、一端がこの第１のアームの他端に対して第２の垂直軸周りに回動可能に支持された第２のアームと、この第２のアームを上記第２の垂直軸周りに回動させる第２アーム駆動機構と、端部が上記第２のアームの他端に対して第３の垂直軸周りに回動可能に支持されたハンドと、このハンドを上記第３の垂直軸周りに回動させるハンド駆動機構と、を備える、請求項１または２に記載のワーク搬送システム。
【請求項4】
上記各ワーク搬送用ロボットは、上記ワーク処理室に正対する位置から上記ワーク収納室の配列方向において偏倚した位置に配置されている、請求項１ないし３のいずれかに記載のワーク搬送システム。
【請求項5】
上記コントローラは、上記第１および第２のワーク搬送用ロボットの駆動を統括的に制御する駆動制御手段と、上記第１および第２のワーク搬送用ロボットの故障を検出する故障検出手段と、上記故障検出手段によって検出した情報に基づいて上記第１および第２のワーク搬送用ロボットのいずれかへの通電を遮断する通電遮断手段と、を備える、請求項１ないし４のいずれかに記載のワーク搬送システム。
【請求項6】
上記コントローラは、上記駆動制御手段に対する上記第１および第２のワーク搬送用ロボットの電気的接続状態を検出する接続検出手段と、上記故障検出手段によって検出した情報に基づいて上記第１および第２のワーク搬送用ロボットのいずれかについての上記接続検出手段による検出を無効にする接続検出無効化手段と、をさらに備える、請求項５に記載のワーク搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、半導体製造等においてウエハ等の薄板状のワークを搬送するためのワーク搬送システムに関し、より詳しくは、ワーク収納室とワーク処理室との間でワーク搬送用ロボットによりワークの搬送を行うように構成されたワーク搬送システムに関する。
【背景技術】
【0002】
半導体製造の分野において、ウエハ等のワークを搬送する際に搬送用のロボットが用いられており、たとえば、ウエハが収納された容器（ワーク収納室）と、プロセスチャンバ（ワーク処理室）との間でワーク搬送用ロボットによりワークの搬送を行うように構成されたワーク搬送システムが知られている。
【0003】
図１３に従来のワーク搬送システムの一例を示す。同図に示されたワーク搬送システムＢは、２つのワーク収納室９１と、搬送室９２と、ワーク処理室９３と、ワーク搬送用ロボット９４とを備えている。ワーク収納室９１は、たとえば、複数のワークＷを保持したカセットを収容可能に構成されており、直線状に配列される。搬送室９２は、複数のワーク収納室９１に隣接して設けられており、この搬送室９２内に１台のワーク搬送用ロボット９４が配置される。ワーク搬送用ロボット９４は、たとえば２段のアームおよびワーク保持用のハンドが互いに水平面内で回動自在に連結された水平多関節ロボットにより構成される。ワーク処理室９３は、搬送室９２に対してワーク収納室９１とは反対側に隣接して設けられている。ワーク処理室９３においては、加熱処理、加工処理、あるいは検査処理などの処理がワークＷに対してなされる。ワーク搬送用ロボット９４は、すべてのワーク収納室９１およびワーク処理室９３に対して、ワークＷの搬出入が可能とされている。
【0004】
図１３に示されたワーク搬送システムＢにおけるワーク搬送処理の一例について説明する。まず、２つ並んだワーク処理室９１のうちの一方のワーク収納室９１から処理前のワークＷを搬出し（図１４参照）、当該ワークＷをワーク処理室９３に搬入する。図１５は、ワーク処理室９３においてワークＷの受け渡しがなされる状態を示す。ワーク処理室９３ではワークＷに対して適宜処理がなされる。次いで、処理後のワークＷをワーク処理室９３から搬出し、他方のワーク収納室９１に搬入する。このようなワークＷの搬送が繰り返される。
【0005】
ワーク搬送用ロボット９４は、ワーク搬送時の搬送経路が短くなるように、ワーク収納室９１およびワーク処理室９３の中間に配置されている。すなわち、ワーク搬送用ロボット９４は、ワーク処理室９３に対しては正対し、ワーク収納室９１に対してはこれらの配列方向Ｘ１−Ｘ２における中央に位置するように配置される。搬送室９２は、ワーク搬送用ロボット９４との干渉を防止するために、ワーク収納室９１とワーク処理室９３とが離間する方向Ｙ１−Ｙ２の寸法が比較的に大きくされている。ワーク搬送用ロボット９４は、方向Ｙ１−Ｙ２において対向する側壁９２ａ，９２ｂから所定の距離を隔てられ、当該方向Ｙ１−Ｙ２における中央に位置している。なお、ワーク収納室９１の数が図１３に示された２つの場合、あるいは３つの場合、ワーク搬送用ロボット９４は、上記のようにワーク収納室９１およびワーク処理室９３の中間に配置されるが、ワーク収納室９１の数が４つ以上の場合、ワーク搬送用ロボット９４は、たとえばワーク収納室９１の配列方向Ｘ１−Ｘ２（搬送室９２の長手方向）に沿ってスライド移動可能に設けられる。
【0006】
半導体製造においては、生産効率の改善およびフットプリント（製造装置等の占有床面積）の低減が要請されている。上記のようなワーク搬送システムにおいては、ワーク搬送経路が短くなるように、搬送室、ワーク処理室、ワーク収納室、およびワーク搬送用ロボットの配置が工夫されている。ワーク搬送経路が短縮されると、ワークの単位数量あたりの搬送処理に係る時間が短縮され、その結果、生産効率を改善することができる。
【0007】
しかしながら、従来のワーク搬送システムＢにおいては、搬送室９２は、方向Ｙ１−Ｙ２の寸法が比較的に大とされている。このことは、フットプリントの低減に対する阻害要因であり、ワーク搬送経路の短縮による生産効率の改善とフットプリントの低減とを両立させるのは困難であった。また、予測が困難な部品故障などに起因してワーク搬送用ロボット９４が停止した場合、ワーク搬送システムＢの稼働率が低下することになり、却って生産効率の低下を招いてしまう。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0008】
【特許文献1】特開２００３−１８８２３１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0009】
本発明は、このような事情のもとで考え出されたものであって、ワーク収納室とワーク処理室との間でワーク搬送用ロボットによりワークの搬送を行うように構成されたワーク搬送システムにおいて、フットプリントの低減を図りつつ、システム全体を効率よく稼働させることをその課題としている。
【課題を解決するための手段】
【0010】
上記の課題を解決するため、本発明では、次の技術的手段を採用した。
【0011】
本発明によって提供されるワーク搬送システムは、直線状に配列された３つまたは５つのワーク収納室と、これらワーク収納室に隣接する搬送室と、この搬送室に対し、上記ワーク収納室とは反対側に隣接する１つのワーク処理室と、上記ワーク収納室と上記ワーク処理室との間でワークを搬送するために上記搬送室に配置された２台の第１および第２のワーク搬送用ロボットと、これらワーク搬送用ロボットの動作を制御するコントローラと、を備え、上記第１および第２のワーク搬送用ロボットは、上記ワーク収納室の配列方向に離間して配置されており、上記ワーク処理室は、上記ワーク収納室の配列方向において上記第１および第２のワーク搬送用ロボットの間に配置されており、上記各ワーク搬送用ロボットは、２つまたは３つの上記ワーク収納室に対してワークの搬送を行い、かつ上記ワーク処理室に対してワークの搬送を行い、上記第１および第２のワーク搬送用ロボットのいずれもが、上記３つまたは５つのワーク収納室のうち中央に位置するものに対してワークの搬送を行うことを特徴としている。
【0012】
好ましい実施の形態においては、上記第１および第２のワーク搬送用ロボットは、上記ワーク収納室の配列方向における中央位置から互いに同じ距離の位置に配置されている。
【0013】
好ましい実施の形態においては、上記各ワーク搬送用ロボットは、上記搬送室に対して固定される固定ベースと、昇降ベースと、この昇降ベースを上記固定ベースに対して昇降させる昇降機構と、一端が上記昇降ベースに対して第１の垂直軸周りに回動可能に支持された第１のアームと、上記第１のアームを上記第１の垂直軸周りに回動させる第１アーム駆動機構と、一端がこの第１のアームの他端に対して第２の垂直軸周りに回動可能に支持された第２のアームと、この第２のアームを上記第２の垂直軸周りに回動させる第２アーム駆動機構と、端部が上記第２のアームの他端に対して第３の垂直軸周りに回動可能に支持されたハンドと、このハンドを上記第３の垂直軸周りに回動させるハンド駆動機構と、を備える。
【0014】
好ましい実施の形態においては、上記各ワーク搬送用ロボットは、上記ワーク処理室に正対する位置から上記ワーク収納室の配列方向において偏倚した位置に配置されている。
【0015】
好ましい実施の形態においては、上記コントローラは、上記第１および第２のワーク搬送用ロボットの駆動を統括的に制御する駆動制御手段と、上記第１および第２のワーク搬送用ロボットの故障を検出する故障検出手段と、上記故障検出手段によって検出した情報に基づいて上記第１および第２のワーク搬送用ロボットのいずれかへの通電を遮断する通電遮断手段と、を備える。
【0016】
好ましい実施の形態においては、上記コントローラは、上記駆動制御手段に対する上記第１および第２のワーク搬送用ロボットの電気的接続状態を検出する接続検出手段と、上記故障検出手段によって検出した情報に基づいて上記第１および第２のワーク搬送用ロボットのいずれかについての上記接続検出手段による検出を無効にする接続検出無効化手段と、をさらに備える。
【0017】
本発明に係るワーク搬送システムによれば、２台のワーク搬送用ロボットを備え、これら搬送用ロボットについて、コントローラによって互いの衝突を防止するように動作を制御することにより、並行して２系統でのワークの搬送処理を行うことができる。したがって、上記構成のワーク搬送システムによれば、より高いスループットを実現することができ、本システム全体を効率よく稼働させることができる。
【0018】
本発明のその他の特徴および利点は、添付図面を参照して以下に行う詳細な説明によって、より明らかとなろう。
【図面の簡単な説明】
【0019】
【図1】本発明に係るワーク搬送システムの全体構成を示す平面図である。
【図2】ワーク搬送用ロボットの側面図である。
【図3】ワーク搬送用ロボットの制御系の概略構成例を示すブロック図である。
【図4】ワーク搬送用ロボットの動作を説明するための平面図である。
【図5】ワーク搬送用ロボットの動作を説明するための平面図である。
【図6】ワーク搬送用ロボットの動作を説明するための平面図である。
【図7】ワーク搬送用ロボットの動作を説明するための平面図である。
【図8】ワーク搬送用ロボットの動作を説明するための平面図である。
【図11】本発明に係るワーク搬送システムの参考例を示す平面図である。
【図12】本発明に係るワーク搬送システムの他の例を示す平面図である。
【図13】従来のワーク搬送システムの一例を示す平面図である。
【図14】従来のワーク搬送システムの一例を示す平面図である。
【図15】従来のワーク搬送システムの一例を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【0020】
以下、本発明の好ましい実施形態につき、図面を参照しつつ具体的に説明する。
【0021】
図１は、本発明に係るワーク搬送システムの一例を示している。本実施形態のワーク搬送システムＡ１は、３つのワーク収納室１（以下、適宜、ワーク収納室１Ａ，１Ｂ，１Ｃという）と、搬送室２と、ワーク処理室３と、２台の搬送用ロボット４（以下、適宜、搬送用ロボット４Ａ，４Ｂという）と、これら搬送用ロボット４の動作を制御するコントローラ（図示略）と、を備え、たとえばウエハ等の薄板状のワークＷの搬送を行うように構成されたものである。
【0022】
ワーク収納室１は、たとえば複数のワークＷを保持したカセットを収納可能に構成されており、一定ピッチで直線状に配列されている。
【0023】
搬送室２は、上記３つのワーク収納室１に隣接して設けられており、これらワーク収納室１が並ぶ方向において長手状の略直方体形状とされている。
【0024】
ワーク処理室３は、加熱処理、加工処理あるいは検査処理などの処理をワークＷに対して行うためのものである。ワーク処理室３は、搬送室２に対して、ワーク収納室１とは反対側に隣接して設けられている。ワーク処理室３は、ワーク収納室１の配列方向Ｘ１−Ｘ２における中央位置に設けられている。なお、ワーク処理室３と搬送室２との間には、必要に応じて開閉式のシャッタ（図示略）が設けられる。
【0025】
搬送用ロボット４は、ワーク収納室１とワーク処理室３との間でワークＷの搬送を行うためのものであり、搬送室２内に配置されている。図１および図２に表れているように、搬送用ロボット４は、搬送室２の下部に対して台座を介して固定される固定ベース４０と、昇降ベース４１と、長手状の下段アーム４２および上段アーム４３と、ハンド４４とを備えている。
【0026】
昇降ベース４１は、固定ベース４０に対して昇降可能に支持されている。具体的には、たとえば、固定ベース４０の内部に図示しない上下方向の直線ガイドレールが設けられ、昇降ベース４１に設けられた図示しないスライダが上記ガイドレールに対して上下方向にスライド移動可能に支持されている。また、固定ベース４０の内部には図示しないネジ軸が回転自在に支持され、昇降ベース４１には、上記ネジ軸に螺合するナットが設けられている。固定ベース４０の下部には図示しない昇降用のサーボモータが設けられ、この昇降用モータの出力軸に設けられた出力プーリと、上記ネジ軸に設けられたプーリとの間にベルトが掛け回されている。かかる構成により、上記昇降用モータが駆動すると、上記ネジ軸が回転させられ、当該ネジ軸の回転により、昇降ベース４１が昇降させられる。このようにして、昇降ベース４１を固定ベース４０に対して昇降させる昇降機構が構成される。
【0027】
下段アーム４２は、たとえば中空状の略四角柱形状とされており、長手方向が水平となる姿勢で昇降ベース４１に支持されている。たとえば、下段アーム４２の基端４２ａには、図示しない垂直下向きの軸部が設けられており、当該軸部が昇降ベース４１の上部に形成された孔に嵌挿された状態で垂直軸Ｏ１周りに回動可能に支持されている。また、昇降ベース４１には図示しない下段アーム駆動用のサーボモータが設けられ、この下段アーム用モータの出力軸に設けられた出力プーリと、下段アーム４２の上記軸部に設けられた従動プーリとの間にベルトが掛け回されている。かかる構成により、上記下段アーム用モータが駆動すると、下段アーム４２は、垂直軸Ｏ１周りに回動させられる。このようにして、下段アーム４２を垂直軸Ｏ１周りに回動させる下段アーム駆動機構が構成される。なお、本実施形態では、垂直軸Ｏ１は、固定ベース４０の中心に対して所定の距離Ｌ１だけ偏倚した位置に設定される。
【0028】
上段アーム４３は、たとえば中空状の略四角柱形状とされており、長手方向が水平となる姿勢で下段アーム４２に支持されている。たとえば、上段アーム４３の基端４３ａには、図示しない垂直下向きの軸部が設けられており、当該軸部が下段アーム４２の先端上部に形成された孔に嵌挿された状態で垂直軸Ｏ２周りに回動可能に支持されている。また、昇降ベース４１には図示しない上段アーム駆動用のサーボモータ（上段アーム用モータ）が設けられ、下段アーム４２の軸部に対して相対回転可能に上段アーム用中継軸が設けられている。そして、上段アーム用モータの出力軸に設けられた出力プーリと上段アーム用中継軸の下端に設けられた下位中継プーリとの間、および上段アーム用中継軸の上端に設けられた上位中継プーリと上段アーム４３の上記軸部に設けられた従動プーリとの間、にそれぞれベルトが掛け回されている。かかる構成により、上段アーム用モータが駆動すると、上段アーム４３は、垂直軸Ｏ２周りに回動させられる。このようにして、上段アーム４３を垂直軸Ｏ２周りに回動させる上段アーム駆動機構が構成される。
【0029】
ハンド４４は、先端部が二股のフォーク状とされており、中心線が水平となる姿勢で上段アーム４３に支持されている。ハンド４４には、たとえばウエハなどの所定サイズの円形のワークＷを載置保持するための部分円状の凹段部４４ｂが形成されている。たとえば、ハンド４４の基端４４ａには、図示しない垂直下向きの軸部が設けられており、当該軸部が上段アーム４３の先端上部に形成された孔に嵌挿された状態で垂直軸Ｏ３周りに回動可能に支持されている。また、昇降ベース４１には図示しないハンド駆動用のサーボモータ（ハンド用モータ）が設けられ、下段アーム４２の軸部に対して相対回転可能に第１中継軸が設けられ、上段アーム４３の軸部に対して相対回転可能に第２中継軸が設けられている。そして、ハンド用モータの出力軸に設けられた出力プーリと第１中継軸の下端に設けられた下位第１中継プーリとの間、第１中継軸の上端に設けられた上位第１中継プーリと第２中継軸の下端に設けられた下位第２中継プーリとの間、および第２中継軸の上端に設けられた上位第２中継プーリとハンド４４の上記軸部に設けられた従動プーリとの間、にそれぞれベルトが掛け回されている。かかる構成により、ハンド用モータが駆動すると、ハンド４４は、垂直軸Ｏ３周りに回動させられる。このようにして、ハンド４４を垂直軸Ｏ３周りに回動させるハンド駆動機構が構成される。
【0030】
昇降ベース４１、アーム４２，４３、およびハンド４４の支持構造、ならびに昇降機構、各アーム駆動機構、およびハンド駆動機構については、詳細な図示説明は省略したが、たとえば特開２００３−１８８２３１号公報記載の構造と同様の構造によって実現することができる。なお、各アーム駆動機構、およびハンド駆動機構の一例として、昇降ベース４１にそれぞれの駆動用モータを設け、プーリ、中継軸、およびベルトの連係によりアーム４２，４３、およびハンド４４が回動させられる場合について説明したが、これに代えて、アーム４２，４３、およびハンド４４の軸部に駆動用モータの出力軸を直接つなげてもよい。
【0031】
なお、固定ベース４０と昇降ベース４１との間、昇降ベース４１と下段アーム４２との間、下段アーム４２と上段アーム４３との間、および上段アーム４３とハンド４４との間には、それぞれ、必要に応じて図示しないシール部材が介装される。これにより、搬送用ロボット４の内部空間は外部に対して気密シールされ、たとえば搬送用ロボット４内部のパーティクルが搬送室２へ拡散することは防止される。
【0032】
図１に表れているように、上記構成の２台の搬送用ロボット４は、ワーク搬送時に相互の干渉を防止しうる程度に離間させられ、たとえばワーク収納室１の配列方向Ｘ１−Ｘ２における中央位置から互いに同じ距離の位置に配置されている。ここで、「同じ距離」とは、設計上において、上記中央位置から図中右側の搬送用ロボット４Ａまでの距離と、上記中央位置から図中左側の搬送用ロボット４Ｂまでの距離とを等しくしておくことを意味する。本実施形態では、搬送用ロボット４Ａ，４Ｂは、ワーク処理室３に正対する位置から上記配列方向Ｘ１−Ｘ２において偏倚して位置し、かつ搬送室２のうちワーク処理室３に面した側壁２ａに近接して位置する。また、２台の搬送用ロボット４Ａ，４Ｂは、左右のワーク収納室１Ａ，１Ｃに正対する位置よりも上記配列方向Ｘ１−Ｘ２の中央寄りに配置されている。
【0033】
また、詳細な図示説明は省略するが、搬送用ロボット４は、たとえば精密な位置調整が可能な治具を介して搬送室２に固定される。搬送室２に対する搬送用ロボット４の固定については、たとえば、てこの原理を利用するなどのボルト締結以外の手法を採用することができる。
【0034】
固定ベース４０の下部側面には、上記各モータに対する給電や制御信号の伝送を行うためのコネクタ（図示略）が設けられている。
【0035】
図３は、搬送用ロボットの制御系の概略構成例を示すブロック図である。図３に示すように、２台の搬送用ロボット４Ａ，４Ｂは、コントローラ５に接続されている。コントローラ５は、メイン制御部５０と、搬送用ロボット４Ａ，４Ｂにそれぞれ設けられたサーボモータを制御するサーボ制御部５１Ａ，５１Ｂとを有している。
【0036】
メイン制御部５０には、たとえば、ロボットの制御プログラム等を実行し演算処理を行うＣＰＵ、各種プログラムや設定データ等を格納したＲＯＭ、データ等の一時的な記憶に用いられるＲＡＭ等が組み込まれており、これらがバスラインを介して接続されている。また、メイン制御部５０には、搬送用ロボット４Ａ，４Ｂに対するティーチング作業や手動操作（原点調整や手動入力操作）を行うためのティーチングペンダント５２が接続されている。
【0037】
メイン制御部５０には、サーボ制御部５１Ａ，５１Ｂが接続されており、サーボ制御部５１Ａ，５１Ｂは、搬送用ロボット４Ａ，４Ｂに接続されている。サーボ制御部５１Ａ，５１Ｂは、搬送用ロボット４Ａ，４Ｂにそれぞれ設けられたサーボモータの駆動制御を行うとともにサーボモータの各軸の位置情報をエンコーダからのフィードバック信号として受ける。また、メイン制御部５０は、搬送用ロボット４Ａ，４Ｂとの電気的接続状態を検出しており、たとえば搬送用ロボット４Ａ，４Ｂのいずれかとの電気的接続が断たれると、接続異常を検出する。なお、サーボ制御部５１Ａ，５１Ｂには電源装置５３が接続されており、電源装置５３からの駆動電流は、サーボ制御部５１Ａ，５１Ｂを介して搬送用ロボット４Ａ，４Ｂのサーボモータへ供給される。
【0038】
電源装置５３とサーボ制御部５１Ａ，５１Ｂとの間には、スイッチ装置５４が設けられている。スイッチ装置５４は、メイン制御部５０に接続されている。メイン制御部５０は、たとえば、搬送用ロボット４Ａ，４Ｂのいずれかから、サーボモータの駆動状態について、あらかじめ設定された適正範囲を超えた信号を受けると、当該搬送用ロボットが故障であると判定し、電源装置５３から当該搬送用ロボットへの通電を遮断するようにスイッチ装置５４を制御する。また、メイン制御部５０は、いずれかの搬送用ロボットの故障を検出すると、当該搬送用ロボットとの電気的接続状態の検出を無効にする。このように、本実施形態では、コントローラ５（メイン制御部５０）は、２台の搬送用ロボット４Ａ，４Ｂの駆動を統括的に制御している。
【0039】
上記構成の搬送用ロボット４においては、上記した下段アーム用モータ、上段アーム用モータ、およびハンド用モータをそれぞれ独立して駆動制御することが可能であり、下段アーム４２、上段アーム４３、およびハンド４４を垂直軸Ｏ１，Ｏ２，Ｏ３周りに回動させることができる。したがって、下段アーム４２、上段アーム４３、およびハンド４４のそれぞれの回動を適宜制御することにより、これらが垂直軸Ｏ１，Ｏ２，Ｏ３周りに回動し得る範囲でハンド４４を所望の位置に移動させることができる。また、上記した昇降用モータを一方向に回転させることにより、昇降ベース４１を上昇させることができ、昇降用モータを他方向に回転させることにより、昇降ベース４１を下降させることができる。これにより、ハンド４４を所定範囲内で所望の高さに上下移動させることができる。
【0040】
本実施形態においては、２台の搬送用ロボット４Ａ，４Ｂのうち、図１における右側の搬送用ロボット４Ａは、右側と中央の２つのワーク収納室１Ａ，１Ｂに対してワークＷの搬出入を行い、左側の搬送用ロボット４Ｂは、左側と中央の２つのワーク収納室１Ｃ，１Ｂに対してワークＷの搬出入を行う。
【0041】
図４〜図８は、右側の搬送用ロボット４Ａについて、ワーク収納室１Ａ，１Ｂおよびワーク処理室３に対してワークＷを搬出入するときの状態変化を示す。図４は、ハンド４４がワーク収納室１Ａの前に位置する状態である。
【0042】
図５は、ハンド４４がワーク収納室１Ａ内に進入して、ワークＷの受け渡しを行う状態を示す。ハンド４４は、図４に示す状態から図５に示す状態まで、略同じ姿勢を維持したまま略直線状に移動させられる。
【0043】
図６は、ハンド４４がワーク処理室３の前に位置する状態である。ハンド４４は、図４に示す状態から図６に示す状態まで、平面視において時計回りに約９０°回動する姿勢変更をともないつつ移動させられる。
【0044】
図７は、ハンド４４がワーク処理室３内に進入して、ワークＷの受け渡しを行う状態を示す。ハンド４４は、図６に示す状態から図７に示す状態まで、時計回りに９０°回動する姿勢変更をともないつつ略直線状に移動させられる。ここで、搬送用ロボット４Ａは、ワーク処理室３に正対する位置から配列方向Ｘ１−Ｘ２に偏倚した位置に配置されている。このため、搬送用ロボット４Ａを搬送室２のうちワーク処理室３に面した側壁２ａに近接させても、搬送用ロボット４Ａと側壁２ａとは干渉しない。
【0045】
図８は、ハンド４４がワーク収納室１Ｂ内に進入して、ワークＷの受け渡しを行う状態を示す。ハンド４４は、図６に示す状態から図８に示す状態まで、反時計回りに９０°回動する姿勢変更をともないつつ略直線状に移動させられる。
【0046】
なお、ワーク収納室１Ａ，１Ｂおよびワーク処理室３内でのワークＷの受け渡しは、昇降ベース４１を適宜昇降させ、ハンド４４を上下動させることにより行う。
【0047】
本実施形態では、下段アーム４２、上段アーム４３、およびハンド４４がそれぞれ独立して回動可能であるため、 図４〜図８を参照して上述したように、ハンド４４に多様な動作を行わせることができる。
【0049】
図９および図１０に示す例では、右側と左側のワーク収納室１Ａ，１Ｃは、処理前のワークＷを収納するためのものであり、ワーク収納室１Ａ，１Ｃ内のワークＷが１枚ずつワーク処理室３へ搬送される。中央のワーク収納室１Ｂは、処理済のワークＷを収納するためのものであり、ワーク処理室３にて処理されたワークＷがワーク収納室１Ｂへ搬送される。
【0050】
図９（ａ）では、右側の搬送用ロボット４Ａによりワーク処理室３内の処理済みのワークＷが受け取られ、左側の搬送用ロボット４Ｂにより左側のワーク収納室１Ｃ内の処理前のワークＷが受け取られる。
【0051】
図９（ｂ）では、右側の搬送用ロボット４Ａによりワーク処理室３から処理済のワークＷが搬出され、左側の搬送用ロボット４Ｂによりワーク収納室１Ｃから処理前のワークＷが搬出される。
【0052】
図９（ｃ）では、右側の搬送用ロボット４Ａにより処理済のワークＷが中央のワーク収納室１Ｂに搬入され、左側の搬送用ロボット４Ｂにより処理前のワークＷがワーク処理室３の前に移動させられる。ここで、搬送用ロボット４Ａ，４Ｂどうしの衝突を防止するために、これらロボット４Ａ，４Ｂのアーム４２，４３ないしハンド４４の高さが異ならせられている。このような搬送用ロボット４Ａ，４Ｂの衝突防止は、図９（ｄ）および図１０（ｈ）、（ｉ）に示すときにもなされる。
【0053】
図９（ｄ）では、右側の搬送用ロボット４Ａにおいては、中央のワーク収納室１Ｂからハンド４４が退避させられ、左側の搬送用ロボット４ＢによりワークＷがワーク処理室３内に搬入される。
【0054】
図９（ｅ）では、右側の搬送用ロボット４Ａにおいては、右側のワーク収納室４Ａの前にハンド４４が移動させられ、左側の搬送用ロボット４Ｂにおいては、ワーク処理室３からハンド４４が退避させられる。ここで、ワーク処理室３内では、ワークＷに対して適宜処理が行われる。
【0055】
詳細な説明は省略するが、図１０（ｆ）〜（ｊ）において、図９（ａ）〜（ｅ）に対して左右が入れ替わった動作が行われる。右側の搬送用ロボット４Ａについては、図９（ａ）〜（ｅ）における左側の搬送用ロボット４Ｂと同様の動作が行われ、左側の搬送用ロボット４Ｂについては、図９（ａ）〜（ｅ）における右側の搬送用ロボット４Ａと同様の動作が行われる。
【0056】
そして、２台の搬送用ロボット４Ａ，４Ｂについて、図９（ａ）〜（ｅ）および図１０（ｆ）〜（ｊ）の動作を繰り返すことにより、右側の搬送用ロボット４Ａによるワーク収納室１Ａ，１Ｂおよびワーク処理室３の間でのワークＷの搬送と、左側の搬送用ロボット４Ｂによるワーク収納室１Ｂ，１Ｃおよびワーク処理室３の間でのワークＷの搬送とが、タイミングをずらしつつ並行して行われる。すなわち、搬送用ロボット４Ａ，４Ｂにより、２系統でのワークＷの搬送処理が並行して行われる。
【0057】
なお、本実施形態では、左右のワーク収納室１Ａ，１Ｃに処理前のワークＷを収納し、中央のワーク収納室１Ｂに処理済のワークＷを収納するようにワーク収納室１Ａ，１Ｂ，１Ｃを割り当てたが、ワーク収納室１Ａ，１Ｂ，１Ｃの割り当ては、これに限定されない。また、搬送用ロボット４Ａ，４Ｂの具体的な動作手順についても、図９（ａ）〜（ｅ）および図１０（ｆ）〜（ｊ）を参照して上述したものに限定されない。
【0058】
上記構成のワーク搬送システムＡ１においては、２台の搬送用ロボット４Ａ，４Ｂを備え、これら搬送用ロボット４Ａ，４Ｂにより、ワーク収納室１Ａ，１Ｂ，１Ｃと、ワーク処理室３との間でワークＷの搬送を行う。そして、これら搬送ロボット４Ａ，４Ｂについて、コントローラ５によって互いの衝突を防止するように動作を制御することにより、並行して２系統でのワークＷの搬送処理を行うことができる。したがって、本実施形態のワーク搬送システムＡ１によれば、より高いスループットを実現することができ、本システム全体を効率よく稼働させることができる。
【0059】
また、ワーク搬送システムＡ１においては、ワークＷの搬送が２台の搬送ロボット４（４Ａ，４Ｂ）により行われるため、１台あたりの搬送用ロボット４の負荷は、１台のみのロボットを備える場合に比べて小さくなる。したがって、１台のロボットによりワークの搬送を行う場合に比べて、搬送用ロボット４のＭＴＢＦ（平均故障間隔）が延長する。ＭＴＢＦの延長は、本システム全体を効率よく稼働させるうえで適している。
【0060】
２台の搬送用ロボット４Ａ，４Ｂは、ワーク収納室１の配列方向Ｘ１−Ｘ２における中央位置から同じ距離の位置に配置されている。このため、搬送用ロボット４Ａ，４Ｂについて左右対称の動作をさせることが可能であり、搬送用ロボット４Ａ，４Ｂの制御が比較的に容易である。
【0061】
搬送用ロボット４Ａ，４Ｂは、ワーク処理室３に正対する位置から配列方向Ｘ１−Ｘ２に偏倚した位置に配置されている。このため、搬送室２の側壁２ａに対する搬送用ロボット４Ａ，４Ｂの干渉を防止しつつ、当該ロボット４Ａ，４Ｂを側壁２ａに近接させることができる。したがって、ワーク収納室９１とワーク処理室９３とが離間する方向Ｙ１−Ｙ２（図１参照）の寸法を小さくすることができ、フットプリント（ワーク搬送システムＡ１の占有床面積）の低減を図ることができる。
【0062】
本実施形態のワーク搬送システムＡ１においては、２台の搬送用ロボット４Ａ，４Ｂは、１台のコントローラ５によって統括的に制御されている。このため、２台の搬送用ロボット４Ａ，４Ｂについての位置情報などを略リアルタイムに把握することができる。したがって、搬送用ロボット４Ａ，４Ｂによるワーク搬送においては、これらロボット４Ａ，４Ｂの衝突を回避しつつより近接させることができるので、ワーク搬送経路を短縮することが可能である。ワーク搬送経路の短縮は、本システム全体を効率よく稼働させるうえで適している。
【0063】
また、ワーク搬送システムＡ１においては、２台の搬送用ロボット４（４Ａ，４Ｂ）により２系統のワーク搬送が行われるところ、仮に１台の搬送用ロボット４が部品故障などにより適正に動作しなくなった場合、当該故障した搬送用ロボット４への通電が遮断されるため、当該故障した搬送用ロボット４が暴走して制御不能に陥ることはない。したがって、２台のうち一方の搬送用ロボット４が故障しても、他方の搬送用ロボット４によりワークＷの搬送処理を継続することができる。このことは、本システム全体を効率よく稼働するのに資する。
【0064】
さらに、ワーク搬送システムＡ１においては、いずれかの搬送用ロボット４の故障が検出されると、当該ロボット４の電気的接続状態の検出が無効化される。これにより、２台のうち一方の搬送用ロボット４が故障しても、他方の搬送用ロボット４によりワークＷの搬送処理を継続しつつ、故障した搬送用ロボット４の交換等を行うことができる。このことは、本システム全体を効率よく稼働するのに資する。
【0065】
搬送用ロボット４は、精密な位置調整が可能な状態で搬送室２に固定されているため、ロボットの交換時に、挿げ替える搬送用ロボット４の個体差を考慮したうえで、略同一の位置に固定することができる。したがって、ロボット交換後において再ティーチングを行う必要はない。このことは、ロボット故障時のＭＴＴＲ（平均修理時間）を短縮するうえで好ましい。ＭＴＴＲの短縮は、本システム全体を効率よく稼働するのに資する。また、搬送室２に対する搬送用ロボット４の固定について、たとえばてこの原理などを利用したワンアクションによる手法を採用すれば、ボルト締結により固定する場合に比べて、ＭＴＴＲを短縮することができる。
【0066】
以上、本発明の実施形態を説明したが、本発明の技術的範囲は上記した実施形態に限定されるものではない。本発明に係るワーク搬送システムの各部の具体的な構成は、発明の思想から逸脱しない範囲内で種々な変更が可能である。
【0067】
上記実施形態においては、３つのワーク収納室を具備する場合を例に挙げたが、ワーク収納室の数はこれに限定されず、５つのワーク収納室を具備するワーク搬送システムにも本発明は適用可能である。
【0068】
図１１は、４つのワーク収納室１を具備するワーク搬送システムを示す。図１１に示されたワーク搬送システムＡ２において、右側の搬送用ロボット４Ａは、ワーク収納室１の配列方向Ｘ１−Ｘ２におけるワーク収納室１Ａとワーク搬送室１Ｂとの中間位置に配置され、左側の搬送用ロボット４Ｂは、ワーク収納室１の配列方向Ｘ１−Ｘ２におけるワーク収納室１Ｃとワーク搬送室１Ｄとの中間位置に配置される。右側の搬送用ロボット４Ａは、２つのワーク収納室１Ａ，１Ｂとワーク処理室３との間でワークＷを搬送し、左側の搬送用ロボット４Ｂは、２つのワーク収納室１Ｃ，１Ｄとワーク処理室３との間でワークＷを搬送する。
【0069】
図１２は、５つのワーク収納室１を具備するワーク搬送システムを示す。図１２に示されたワーク搬送システムＡ３において、右側の搬送用ロボット４Ａは、右から２番目のワーク収納室１Ｂに正対する位置に配置され、左側の搬送用ロボット４Ｂは、左から２番目のワーク収納室１Ｄに正対する位置に配置される。右側の搬送用ロボット４Ａは、３つのワーク収納室１Ａ，１Ｂ，１Ｃとワーク処理室３との間でワークＷを搬送し、左側の搬送用ロボット４Ｂは、３つのワーク収納室１Ｃ，１Ｄ，１Ｅとワーク処理室３との間でワークＷを搬送する。
【0070】
ワーク搬送システムＡ２，Ａ３においては、ワーク収納室１の数量、および各搬送用ロボット４Ａ，４Ｂによりアクセス可能なワーク収納室１の関係が、上記実施形態のワーク搬送システムＡ１と異なっているが、その他の構成についてはワーク搬送システムＡ１と同様である。したがって、これらワーク搬送システムＡ２，Ａ３においても、ワーク搬送システムＡ１に関して上述したのと同様の利点を享受することができる。
【符号の説明】
【0071】
Ａ１，Ａ２，Ａ３ ワーク搬送システムＯ１ 垂直軸（第１の垂直軸）
Ｏ２ 垂直軸（第２の垂直軸）
Ｏ３ 垂直軸（第３の垂直軸）
１，１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄ，１Ｅ ワーク収納室
２ 搬送室
３ ワーク処理室
４ 搬送用ロボット（ワーク搬送用ロボット）
４Ａ 搬送用ロボット（第１のワーク搬送用ロボット）
４Ｂ 搬送用ロボット（第２のワーク搬送用ロボット）
５ コントローラ
４０ 固定ベース
４１ 昇降ベース
４２ 下段アーム（第１のアーム）
４３ 上段アーム（第２のアーム）
４４ ハンド
５０ メイン制御部（駆動制御手段、故障検出手段、通電遮断手段、接続検出手段、接続検出無効化手段）
５１Ａ，５１Ｂ サーボ制御部
５２ ティーチペンダント
５３ 電源装置
５４ スイッチ装置（通電遮断手段）