【図1】イオン注入される前のフッ素樹脂膜および製造例１〜４でイオン注入されたフッ素樹脂膜の炭素原子由来のＣ１ｓの結合エネルギーについてのＸ線光電子分光スペクトルを示す図である。

【図2】イオン注入される前のフッ素樹脂膜および製造例１〜４でイオン注入されたフッ素樹脂膜のフッ素原子由来のＦ１ｓの結合エネルギーについてのＸ線光電子分光スペクトルを示す図である。

【図3】イオン注入される前のフッ素樹脂膜および製造例１〜４でイオン注入されたフッ素樹脂膜の酸素原子由来のＯ１ｓの結合エネルギーについてのＸ線光電子分光スペクトルを示す図である。

【図4】イオン注入される前のフッ素樹脂膜および製造例１〜４でイオン注入されたフッ素樹脂膜のイオウ原子由来のＳ２ｐ３／２の結合エネルギーについてのＸ線光電子分光スペクトルを示す図である。

【図5】イオン注入される前のフッ素樹脂膜および製造例１〜４でイオン注入されたフッ素樹脂膜のフーリエ変換赤外分光スペクトルを示す図である。

【図6】イオン注入される前のフッ素樹脂膜および製造例１〜４でイオン注入されたフッ素樹脂膜の引っ張り強度を調べた結果を示す図である。