特許 5756736 主磁極とシールドを備えた垂直磁気記録用磁気ヘッド

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5756736

(24)【登録日】2015年6月5日

(45)【発行日】2015年7月29日

(54)【発明の名称】主磁極とシールドを備えた垂直磁気記録用磁気ヘッド

(51)【国際特許分類】

   G11B 5/31 20060101AFI20150709BHJP

【ＦＩ】

   G11B5/31 A

   G11B5/31 C

   G11B5/31 F

   G11B5/31 Q

【請求項の数】5

【全頁数】24

(21)【出願番号】特願2011-241854(P2011-241854)

(22)【出願日】2011年11月4日

(65)【公開番号】特開2012-221548(P2012-221548A)

(43)【公開日】2012年11月12日

【審査請求日】2011年11月4日

【審判番号】不服2014-16391(P2014-16391/J1)

【審判請求日】2014年8月19日

(31)【優先権主張番号】13/084,168

(32)【優先日】2011年4月11日

(33)【優先権主張国】US

(73)【特許権者】

【識別番号】500475649

【氏名又は名称】ヘッドウェイテクノロジーズ インコーポレイテッド

(73)【特許権者】

【識別番号】500393893

【氏名又は名称】新科實業有限公司

【氏名又は名称原語表記】ＳＡＥ Ｍａｇｎｅｔｉｃｓ（Ｈ．Ｋ．）Ｌｔｄ．

(74)【代理人】

【識別番号】100107559

【弁理士】

【氏名又は名称】星宮 勝美

(72)【発明者】

【氏名】佐々木 芳高

(72)【発明者】

【氏名】伊藤 浩幸

(72)【発明者】

【氏名】佐藤 一樹

(72)【発明者】

【氏名】飯島 淳

【合議体】

【審判長】 酒井 朋広

【審判官】 ゆずりは 広行

【審判官】 関谷 隆一

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００２−１９７６１９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１０−１５７３０３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許出願公開第２００２／０１７６２１４（ＵＳ，Ａ１）

【文献】 特開２０１１−０４４２２１（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

G11B5/31

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

記録媒体に対向する媒体対向面と、
前記記録媒体に記録する情報に応じた磁界を発生するコイルと、
前記媒体対向面に配置された端面を有し、前記コイルによって発生された磁界に対応する磁束を通過させると共に、垂直磁気記録方式によって前記情報を前記記録媒体に記録するための記録磁界を発生する主磁極と、
磁性材料よりなり、前記媒体対向面に配置された端面を有する記録シールドと、
非磁性材料よりなり、前記主磁極と前記記録シールドとの間に配置されたギャップ部と、
それぞれ磁性材料よりなり前記記録シールドに磁気的に接続され、前記主磁極を挟むように前記記録媒体の進行方向に沿って並ぶ第１および第２のヨーク層と、
上面を有する基板とを備えた垂直磁気記録用磁気ヘッドであって、
前記第１のヨーク層は、前記主磁極に対して前記記録媒体の進行方向の後側に配置され、
前記第２のヨーク層は、前記主磁極に対して前記記録媒体の進行方向の前側に配置され、
前記記録シールドの端面は、前記主磁極の前記端面に対して前記記録媒体の進行方向の前側に配置された第１の端面部分と、前記主磁極の前記端面に対して前記記録媒体の進行方向の後側に配置された第２の端面部分とを含み、
前記コイルは、１層以上の平面渦巻き形状の巻線部分を含み、
前記磁気ヘッドは、更に、
前記媒体対向面から離れた位置に配置された、前記主磁極と前記第２のヨーク層とを磁気的に連結するための第１の連結部と、
前記媒体対向面から離れた位置に配置され、前記主磁極に接することなく前記第１のヨーク層と前記第２のヨーク層とを磁気的に連結する第２の連結部とを備え、
前記巻線部分は、前記第１の連結部の周りに巻回され、且つその一部が前記第１の連結部と第２の連結部の間を通過し、
前記記録シールドは、前記第１の端面部分を有する第１のシールドと、前記第２の端面部分を有する第２のシールドとを有し、
第２のヨーク層は、前記第１のシールドに磁気的に接続され、
前記磁気ヘッドは、更に、前記第２のシールドと前記第１のヨーク層とを磁気的に連結するための磁性層を備え、
前記コイル、主磁極、記録シールド、ギャップ部、第１のヨーク層、第２のヨーク層、第１の連結部、第２の連結部および磁性層は、前記基板の上面の上方に配置され、
前記磁性層は、前記第２のシールドに対して前記記録媒体の進行方向の後側に配置され、且つ前記第２のシールドに接し、
前記主磁極の前記端面と交差し、前記媒体対向面および前記基板の上面に垂直な断面において、前記磁性層は、前記媒体対向面に垂直な方向について前記第２のシールドよりも大きく前記第１のヨーク層よりも小さな長さを有することを特徴とする垂直磁気記録用磁気ヘッド。

【請求項2】

前記第２の連結部は、前記コイルと前記媒体対向面との間を除いた位置に配置されていることを特徴とする請求項１記載の垂直磁気記録用磁気ヘッド。

【請求項3】

前記第２の連結部は、前記第１の連結部に対して、前記媒体対向面からより遠い位置に配置されていることを特徴とする請求項１記載の垂直磁気記録用磁気ヘッド。

【請求項4】

前記記録シールドの端面は、更に、第３および第４の端面部分を含み、前記第３および第４の端面部分は、前記主磁極の前記端面に対してトラック幅方向の両側に配置されていることを特徴とする請求項１記載の垂直磁気記録用磁気ヘッド。

【請求項5】

更に、前記第１および第２のヨーク層に対して前記記録媒体の進行方向の後側に配置された再生ヘッド部を備え、前記再生ヘッド部は、前記記録媒体に記録された情報を再生する再生素子と、前記再生素子を挟むように配置された第１および第２の再生シールド層とを有することを特徴とする請求項１記載の垂直磁気記録用磁気ヘッド。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、垂直磁気記録方式によって記録媒体に情報を記録するために用いられる垂直磁気記録用磁気ヘッドに関し、特に、主磁極とシールドを備えた垂直磁気記録用磁気ヘッドに関する。

【背景技術】

【0002】

磁気記録再生装置における記録方式には、信号磁化の向きを記録媒体の面内方向（長手方向）とする長手磁気記録方式と、信号磁化の向きを記録媒体の面に対して垂直な方向とする垂直磁気記録方式とがある。垂直磁気記録方式は、長手磁気記録方式に比べて、記録媒体の熱揺らぎの影響を受けにくく、高い線記録密度を実現することが可能であると言われている。

【0003】

一般的に、垂直磁気記録用の磁気ヘッドとしては、長手磁気記録用の磁気ヘッドと同様に、読み出し用の磁気抵抗効果素子（以下、ＭＲ（Magnetoresistive）素子とも記す。）を有する再生ヘッド部と、書き込み用の誘導型電磁変換素子を有する記録ヘッド部とを、基板上に積層した構造のものが用いられる。記録ヘッド部は、記録媒体の面に対して垂直な方向の磁界を発生する主磁極を備えている。主磁極は、例えば、一端部が記録媒体に対向する媒体対向面に配置されたトラック幅規定部と、このトラック幅規定部の他端部に連結され、トラック幅規定部よりも大きな幅を有する幅広部とを有している。トラック幅規定部は、ほぼ一定の幅を有している。垂直磁気記録方式の記録ヘッド部には、高記録密度化のために、トラック幅の縮小と、記録特性、例えば重ね書きの性能を表わすオーバーライト特性の向上が求められる。

【0004】

ところで、ハードディスク装置等の磁気ディスク装置に用いられる磁気ヘッドは、一般的に、スライダに設けられる。スライダは、上記媒体対向面を有している。この媒体対向面は、空気流入端（リーディング端）と空気流出端（トレーリング端）とを有している。そして、空気流入端から媒体対向面と記録媒体との間に流入する空気流によって、スライダは記録媒体の表面からわずかに浮上するようになっている。このスライダにおいて、一般的に、磁気ヘッドは媒体対向面における空気流出端近傍に配置される。磁気ディスク装置において、磁気ヘッドの位置決めは、例えばロータリーアクチュエータによって行なわれる。この場合、磁気ヘッドは、ロータリーアクチュエータの回転中心を中心とした円軌道に沿って記録媒体上を移動する。このような磁気ディスク装置では、磁気ヘッドのトラック横断方向の位置に応じて、スキューと呼ばれる、円形のトラックの接線に対する磁気ヘッドの傾きが生じる。

【0005】

特に、長手磁気記録方式に比べて記録媒体への書き込み能力が高い垂直磁気記録方式の磁気ディスク装置では、上述のスキューが生じると、あるトラックへの信号の記録時に、記録対象のトラックに隣接する１以上のトラックに記録された信号が消去されたり減衰したりする現象（以下、隣接トラック消去と言う。）が生じる場合がある。高記録密度化のためには、隣接トラック消去の発生を抑制する必要がある。

【0006】

上述のようなスキューに起因した隣接トラック消去の発生を抑制すると共に記録密度を向上させる技術としては、主磁極の近傍に記録シールドを設ける技術が有効である。例えば、特許文献１や、特許文献２には、媒体対向面において主磁極の端面の周りを囲むように配置された端面を有する記録シールドを備えた磁気ヘッドが開示されている。

【0007】

一般的に、記録シールドを備えた磁気ヘッドでは、主磁極のうちの媒体対向面から離れた部分と記録シールドとを接続する１つ以上の磁路が設けられる。記録シールドと１つ以上の磁路は、主磁極の端面より発生されて記録媒体の面に垂直な方向以外の方向に広がる磁束を取り込んで、この磁束が記録媒体に達することを阻止する機能を有している。また、記録シールドと１つ以上の磁路は、主磁極の端面より発生されて、記録媒体を磁化した磁束を、主磁極に還流させる機能も有している。記録シールドを備えた磁気ヘッドによれば、隣接トラック消去の発生を抑制することが可能になると共に、記録密度のより一層の向上が可能になる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0008】

【特許文献1】米国特許第６，９５４，３４０ Ｂ２号明細書

【特許文献2】特開２００５−１８２９８７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0009】

特許文献１や、特許文献２には、上記１つ以上の磁路として、主磁極に対して記録媒体の進行方向の前側（トレーリング端側）に配置された磁路と、主磁極に対して記録媒体の進行方向の後側（リーディング端側）に配置された磁路とを備えた磁気ヘッドが記載されている。

【0010】

記録シールドによって多くの磁束を取り込めるように、磁気ヘッドが、記録シールドから主磁極に至る２つの磁路を備えることは有効である。しかし、この場合には、以下のような問題点が生じる。すなわち、磁気ヘッドが２つの磁路を備える場合には、２つの磁路に対応する２つの平面渦巻き形状のコイルを設けるか、主磁極の周りに巻かれたヘリカル形状のコイルを設ける必要がある。しかし、いずれの場合においても、コイルの構造ならびにコイルの周辺の構造が複雑になると共に、コイルを形成するための工程数が多く必要になるという問題点がある。

【0011】

本発明はかかる問題点に鑑みてなされたもので、その目的は、記録シールドから主磁極に至る２つの磁路を備えながら、コイルの構造を簡単にすることができるようにした垂直磁気記録用磁気ヘッドを提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0012】

本発明の垂直磁気記録用磁気ヘッドは、記録媒体に対向する媒体対向面と、記録媒体に記録する情報に応じた磁界を発生するコイルと、主磁極とを備えている。主磁極は、媒体対向面に配置された端面を有し、コイルによって発生された磁界に対応する磁束を通過させると共に、垂直磁気記録方式によって情報を記録媒体に記録するための記録磁界を発生する。

【0013】

本発明の磁気ヘッドは、更に、磁性材料よりなり、媒体対向面に配置された端面を有する記録シールドと、非磁性材料よりなり、主磁極と記録シールドとの間に配置されたギャップ部と、それぞれ磁性材料よりなり記録シールドに磁気的に接続され、主磁極を挟むように記録媒体の進行方向に沿って並ぶ第１および第２のヨーク層とを備えている。記録シールドの端面は、主磁極の端面に対して記録媒体の進行方向の前側に配置された第１の端面部分を含んでいる。コイルは、１層以上の平面渦巻き形状の巻線部分を含んでいる。

【0014】

本発明の磁気ヘッドは、更に、媒体対向面から離れた位置に配置された、主磁極と第２のヨーク層とを磁気的に連結するための第１の連結部と、媒体対向面から離れた位置に配置され、主磁極に接することなく第１のヨーク層と第２のヨーク層とを磁気的に連結する第２の連結部とを備えている。巻線部分は、第１の連結部の周りに巻回され、且つその一部が第１の連結部と第２の連結部の間を通過している。

【0015】

本発明の磁気ヘッドにおいて、第２の連結部は、コイルと媒体対向面との間を除いた位置に配置されていてもよい。また、第２の連結部は、第１の連結部に対して、媒体対向面からより遠い位置に配置されていてもよい。

【0016】

また、本発明の磁気ヘッドにおいて、第１のヨーク層は主磁極に対して記録媒体の進行方向の後側に配置され、第２のヨーク層は主磁極に対して記録媒体の進行方向の前側に配置されていてもよい。あるいは、第１のヨーク層は主磁極に対して記録媒体の進行方向の前側に配置され、第２のヨーク層は主磁極に対して記録媒体の進行方向の後側に配置されていてもよい。

【0017】

また、本発明の磁気ヘッドにおいて、記録シールドの端面は、更に、第２、第３および第４の端面部分を含み、第２の端面部分は、主磁極の端面に対して記録媒体の進行方向の後側に配置され、第３および第４の端面部分は、主磁極の端面に対してトラック幅方向の両側に配置されていてもよい。

【0018】

また、本発明の磁気ヘッドは、更に、第１および第２のヨーク層に対して記録媒体の進行方向の後側に配置された再生ヘッド部を備えていてもよい。この場合、再生ヘッド部は、記録媒体に記録された情報を再生する再生素子と、再生素子を挟むように配置された第１および第２の再生シールド層とを有していてもよい。

【発明の効果】

【0019】

本発明の垂直磁気記録用磁気ヘッドでは、記録シールドから主磁極に至る第１および第２の磁路が形成される。第１の磁路は、第２のヨーク層および第１の連結部を経由する。第２の磁路は、第１のヨーク層、第２の連結部、第２のヨーク層および第１の連結部を経由する。コイルは、第１の連結部の周りに巻回され、且つその一部が第１の連結部と第２の連結部の間を通過している。これにより、コイルの起磁力によって、第１の連結部において合流するように、第１の磁路を通過する磁束と第２の磁路を通過する磁束が発生する。従って、本発明では、２つの磁路に対応する２つの平面渦巻き形状のコイルや、主磁極の周りに巻かれたヘリカル形状のコイルを設ける必要がない。以上のことから、本発明によれば、上記のような記録シールドから主磁極に至る第１および第２の磁路を備えながら、コイルの構造を簡単にすることができるという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【0020】

【図1】本発明の第１の実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。

【図2】本発明の第１の実施の形態に係る磁気ヘッドの媒体対向面を示す正面図である。

【図3】本発明の第１の実施の形態に係る磁気ヘッドにおけるコイルを示す平面図である。

【図4】本発明の第１の実施の形態に係る磁気ヘッドにおける主磁極の媒体対向面の近傍の部分を示す斜視図である。

【図5】第１の比較例における磁束の流れを示す説明図である。

【図6】第２の比較例における磁束の流れを示す説明図である。

【図7】第３の比較例における磁束の流れを示す説明図である。

【図8】本発明の第１の実施の形態に係る磁気ヘッドにおける磁束の流れを示す説明図である。

【図9】本発明の第２の実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。

【図10】本発明の第３の実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。

【図11】本発明の第３の実施の形態に係る磁気ヘッドにおけるコイルの第１層を示す平面図である。

【図12】本発明の第３の実施の形態に係る磁気ヘッドにおけるコイルの第２層を示す平面図である。

【図13】本発明の第４の実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0021】

［第１の実施の形態］
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。始めに、図１ないし図４を参照して、本発明の第１の実施の形態に係る磁気ヘッドの構成について説明する。図１は、本実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。なお、図１は媒体対向面および基板の上面に垂直な断面を示している。図１において記号Ｔで示す矢印は、記録媒体の進行方向を表している。図２は、本実施の形態に係る磁気ヘッドの媒体対向面を示す正面図である。図３は、本実施の形態に係る磁気ヘッドにおけるコイルを示す平面図である。図４は、本実施の形態に係る磁気ヘッドにおける主磁極の媒体対向面の近傍の部分を示す斜視図である。図２ないし図４において記号ＴＷで示す矢印は、トラック幅方向を表している。

【0022】

図１および図２に示したように、本実施の形態に係る垂直磁気記録用磁気ヘッド（以下、単に磁気ヘッドと記す。）は、アルミニウムオキサイド・チタニウムカーバイド（Ａｌ₂Ｏ₃・ＴｉＣ）等のセラミック材料よりなり、上面１ａを有する基板１と、この基板１の上面１ａ上に配置された絶縁材料よりなる絶縁層８１と、この絶縁層８１の上に配置されたヒーター８２と、絶縁層８１およびヒーター８２を覆うように配置された絶縁材料よりなる絶縁層８３とを備えている。絶縁層８１，８３は、例えばアルミナ（Ａｌ₂Ｏ₃）によって形成されている。ヒーター８２については、後で詳しく説明する。

【0023】

磁気ヘッドは、更に、ヒーター８２に対して記録媒体の進行方向Ｔの前側（トレーリング端側）に配置された再生ヘッド部８を備えている。再生ヘッド部８は、絶縁層８３の上に配置された磁性材料よりなる第１の再生シールド層３と、第１の再生シールド層３を覆うように配置された絶縁膜である第１の再生シールドギャップ膜４と、この第１の再生シールドギャップ膜４の上に配置された再生素子としてのＭＲ（磁気抵抗効果）素子５と、このＭＲ素子５の上に配置された絶縁膜である第２の再生シールドギャップ膜６と、この第２の再生シールドギャップ膜６の上に配置された磁性材料よりなる第２の再生シールド層７とを有している。

【0024】

ＭＲ素子５の一端部は、記録媒体に対向する媒体対向面２に配置されている。ＭＲ素子５には、ＡＭＲ（異方性磁気抵抗効果）素子、ＧＭＲ（巨大磁気抵抗効果）素子あるいはＴＭＲ（トンネル磁気抵抗効果）素子等の磁気抵抗効果を示す感磁膜を用いた素子を用いることができる。ＧＭＲ素子としては、磁気的信号検出用の電流を、ＧＭＲ素子を構成する各層の面に対してほぼ平行な方向に流すＣＩＰ（Current In Plane）タイプでもよいし、磁気的信号検出用の電流を、ＧＭＲ素子を構成する各層の面に対してほぼ垂直な方向に流すＣＰＰ（Current Perpendicular to Plane）タイプでもよい。

【0025】

磁気ヘッドは、更に、再生ヘッド部８に対して記録媒体の進行方向Ｔの前側に配置された記録ヘッド部９と、再生ヘッド部８と記録ヘッド部９の間に配置された膨張層８４、センサ８５および非磁性部８６とを備えている。非磁性部８６は、非磁性材料によって形成されている。非磁性部８６の材料としては、例えばアルミナを用いることができる。

【0026】

非磁性部８６は、非磁性層８７，８８，８９を有している。非磁性層８７は、第２の再生シールド層７の上に配置されている。膨張層８４は、非磁性層８７の上に配置されている。非磁性層８８は、膨張層８４を覆うように配置されている。センサ８５は、非磁性層８８の上に配置されている。非磁性層８９は、センサ８５を覆うように配置されている。

【0027】

磁気ヘッドは、更に、再生ヘッド部８、膨張層８４および非磁性部８６の周囲において基板１の上面１ａの上に配置された絶縁材料よりなる絶縁層７１を備えている。絶縁層７１は、例えばアルミナによって形成されている。絶縁層７１および非磁性層８９の上面は平坦化されている。

【0028】

記録ヘッド部９は、コイル１０と、リード層１１と、主磁極１５と、記録シールド１６と、ギャップ部１７と、ヨーク層３１，４１とを有している。コイル１０とリード層１１は、いずれも、銅等の導電材料によって形成されている。リード層１１は、コイル１０に通電するために用いられる。図３に示したように、コイル１０は、平面渦巻き形状の巻線部分１０Ａを含んでいる。図１および図３において、符号１０Ｅは、コイル１０のうち、リード層１１に電気的に接続されるコイル接続部を示している。

【0029】

コイル１０は、記録媒体に記録する情報に応じた磁界を発生する。主磁極１５は、媒体対向面２に配置された端面を有し、コイル１０によって発生された磁界に対応する磁束を通過させると共に、垂直磁気記録方式によって情報を記録媒体に記録するための記録磁界を発生する。図１は、媒体対向面２に配置された主磁極１５の端面と交差し、媒体対向面２および基板１の上面１ａに垂直な断面（以下、主断面と言う。）を示している。

【0030】

記録シールド１６は、媒体対向面２に配置された端面を有している。記録シールド１６の端面は、第１ないし第４の端面部分１６Ａａ，１６Ｂａ，１６Ｃａ，１６Ｄａを含んでいる。第１の端面部分１６Ａａは、主磁極１５の端面に対して記録媒体の進行方向Ｔの前側に配置されている。第２の端面部分１６Ｂａは、主磁極１５の端面に対して記録媒体の進行方向Ｔの後側に配置されている。第３および第４の端面部分１６Ｃａ，１６Ｄａは、主磁極１５の端面に対してトラック幅方向ＴＷの両側に配置されている。媒体対向面２において、第１ないし第４の端面部分１６Ａａ，１６Ｂａ，１６Ｃａ，１６Ｄａは、主磁極１５の端面の周りを囲むように配置されている。

【0031】

記録シールド１６は、磁性材料によって形成されている。記録シールド１６の材料としては、例えばＣｏＦｅＮ、ＣｏＮｉＦｅ、ＮｉＦｅ、ＣｏＦｅのいずれかを用いることができる。

【0032】

ヨーク層３１，４１は、記録シールド１６に磁気的に接続され、主磁極１５を挟むように記録媒体の進行方向Ｔに沿って並んでいる。ヨーク層３１は、主磁極１５に対して記録媒体の進行方向Ｔの後側に配置されている。ヨーク層４１は、主磁極１５に対して記録媒体の進行方向Ｔの前側に配置されている。ヨーク層３１，４１は、それぞれ磁性材料によって形成されている。ヨーク層３１，４１の材料としては、例えばＣｏＦｅＮ、ＣｏＮｉＦｅ、ＮｉＦｅ、ＣｏＦｅのいずれかを用いることができる。本実施の形態では、ヨーク層３１は、本発明における第１のヨーク層に対応し、ヨーク層４１は、本発明における第２のヨーク層に対応する。

【0033】

記録ヘッド部９は、更に、ヨーク層３１と記録シールド１６とを磁気的に連結する磁性材料よりなる磁性層３２と、ヨーク層４１と記録シールド１６とを磁気的に連結する磁性材料よりなる磁性層４２とを有している。磁性層３２，４２の材料としては、例えばＣｏＦｅＮ、ＣｏＮｉＦｅ、ＮｉＦｅ、ＣｏＦｅのいずれかを用いることができる。

【0034】

記録ヘッド部９は、更に、媒体対向面２から離れた位置に配置された、主磁極１５とヨーク層４１とを磁気的に連結するための第１の連結部４４と、第２の連結部３４とを有している。第２の連結部３４は、媒体対向面２から離れた位置に配置され、主磁極１５に接することなくヨーク層３１とヨーク層４１とを磁気的に連結している。図１に示した例では、第２の連結部３４は、コイル１０と媒体対向面２との間を除いた位置に配置され、特に、第１の連結部４４に対して、媒体対向面２からより遠い位置に配置されている。

【0035】

第１の連結部４４および第２の連結部３４は、それぞれ磁性材料によって形成されている。第１の連結部４４および第２の連結部３４の材料としては、例えばＣｏＦｅＮ、ＣｏＮｉＦｅ、ＮｉＦｅ、ＣｏＦｅのいずれかを用いることができる。第１の連結部４４は、１つの磁性層４５によって構成されている。第２の連結部３４は、磁性層３５〜３９を含んでいる。

【0036】

ヨーク層３１は、絶縁層７１および非磁性層８９の上に配置されている。磁性層３２，３５は、いずれもヨーク層３１の上に配置されている。ヨーク層３１および磁性層３２は、それぞれ、媒体対向面２に配置された端面を有している。磁性層３５は、媒体対向面２から離れた位置に配置されている。

【0037】

磁気ヘッドは、更に、ヨーク層３１の周囲において絶縁層７１および非磁性層８９の上に配置された絶縁材料よりなる図示しない絶縁層と、磁性層３２，３５の周囲においてヨーク層３１および図示しない絶縁層の上に配置された絶縁材料よりなる絶縁層５４とを備えている。図示しない絶縁層と絶縁層５４は、例えばアルミナによって形成されている。磁性層３２，３５および絶縁層５４の上面は平坦化されている。

【0038】

図２に示したように、記録シールド１６は、第１のシールド１６Ａと、第２のシールド１６Ｂと、２つのサイドシールド１６Ｃ，１６Ｄとを有している。２つのサイドシールド１６Ｃ，１６Ｄは、主磁極１５のトラック幅方向ＴＷの両側に配置されている。第１のシールド１６Ａは、主磁極１５に対して記録媒体の進行方向Ｔの前側に配置されている。第２のシールド１６Ｂは、主磁極１５に対して記録媒体の進行方向Ｔの後側に配置されている。サイドシールド１６Ｃ，１６Ｄは、第１のシールド１６Ａと第２のシールド１６Ｂを磁気的に連結している。

【0039】

第１のシールド１６Ａは、第１の端面部分１６Ａａを有している。第２のシールド１６Ｂは、第２の端面部分１６Ｂａを有している。サイドシールド１６Ｃは、第３の端面部分１６Ｃａを有している。サイドシールド１６Ｄは、第４の端面部分１６Ｄａを有している。

【0040】

第２のシールド１６Ｂは、磁性層３２の上に配置されている。磁性層３６は、磁性層３５の上に配置されている。磁気ヘッドは、更に、絶縁材料よりなる絶縁層５６を備えている。絶縁層５６は、第２のシールド１６Ｂおよび磁性層３６の周囲において、磁性層３２の上面の一部および絶縁層５４の上面の上に配置されている。絶縁層５６は、例えばアルミナによって形成されている。

【0041】

主磁極１５は、基板１の上面１ａにより近い端部である下端部１５Ｌと、下端部１５Ｌとは反対側の上面１５Ｔと、トラック幅方向ＴＷの両側に配置された第１および第２の側部ＳＰ１，ＳＰ２とを有している。サイドシールド１６Ｃは、主磁極１５の第１の側部ＳＰ１に対向する第１の側壁を有している。サイドシールド１６Ｄは、主磁極１５の第２の側部ＳＰ２に対向する第２の側壁を有している。

【0042】

ギャップ部１７は、非磁性材料よりなり、主磁極１５と、記録シールド１６との間に設けられている。ギャップ部１７は、主磁極１５と第２のシールド１６Ｂおよびサイドシールド１６Ｃ，１６Ｄとの間に配置された第１のギャップ層１８と、主磁極１５と第１のシールド１６Ａとの間に配置された第２のギャップ層１９とを含んでいる。

【0043】

サイドシールド１６Ｃ，１６Ｄは、第２のシールド１６Ｂの上に配置され、第２のシールド１６Ｂの上面に接している。第１のギャップ層１８は、サイドシールド１６Ｃ，１６Ｄの側壁、第２のシールド１６Ｂの上面および絶縁層５６の上面に沿って配置されている。第１のギャップ層１８は、非磁性材料によって形成されている。第１のギャップ層１８を構成する非磁性材料は、絶縁材料でもよいし、非磁性金属材料でもよい。第１のギャップ層１８を構成する絶縁材料としては、例えばアルミナが用いられる。第１のギャップ層１８を構成する非磁性金属材料としては、例えばＲｕが用いられる。第１のギャップ層１８には、磁性層３６の上面を露出させる開口部が形成されている。磁性層３７は、磁性層３６の上に配置されている。

【0044】

主磁極１５は、金属磁性材料によって形成されている。主磁極１５の材料としては、例えば、ＮｉＦｅ、ＣｏＮｉＦｅ、ＣｏＦｅのいずれかを用いることができる。主磁極１５の形状については、後で詳しく説明する。

【0045】

磁気ヘッドは、更に、主磁極１５、第２のシールド１６Ｂ、サイドシールド１６Ｃ，１６Ｄおよび磁性層３７の周囲に配置された非磁性材料よりなる非磁性層５７を備えている。本実施の形態では、特に、非磁性層５７は、アルミナ等の非磁性絶縁材料よりなる。

【0046】

磁気ヘッドは、更に、媒体対向面２から離れた位置において、主磁極１５の上面１５Ｔの一部の上に配置された非磁性金属材料よりなる非磁性金属層５８と、この非磁性金属層５８の上面の上に配置された絶縁材料よりなる絶縁層５９とを備えている。非磁性金属層５８は、例えばＲｕ、ＮｉＣｒまたはＮｉＣｕによって形成されている。絶縁層５９は、例えばアルミナによって形成されている。

【0047】

第２のギャップ層１９は、主磁極１５、非磁性金属層５８および絶縁層５９を覆うように配置されている。第２のギャップ層１９は、非磁性材料によって形成されている。第２のギャップ層１９の材料は、アルミナ等の非磁性絶縁材料でもよいし、Ｒｕ、ＮｉＣｕ、Ｔａ、Ｗ、ＮｉＢ、ＮｉＰ等の非磁性導電材料でもよい。

【0048】

第１のシールド１６Ａは、サイドシールド１６Ｃ，１６Ｄおよび第２のギャップ層１９の上に配置され、サイドシールド１６Ｃ，１６Ｄおよび第２のギャップ層１９の上面に接している。媒体対向面２において、第１のシールド１６Ａの端面の一部は、主磁極１５の端面に対して、第２のギャップ層１９の厚みによる所定の間隔を開けて配置されている。第２のギャップ層１９の厚みは、５〜６０ｎｍの範囲内であることが好ましく、例えば３０〜６０ｎｍの範囲内である。主磁極１５の端面は、第２のギャップ層１９に隣接する辺を有し、この辺はトラック幅を規定している。

【0049】

記録ヘッド部９は、更に、媒体対向面２から離れた位置において主磁極１５の上に配置された磁性材料よりなる磁性層４３を有している。リード層１１は、非磁性層５７の上であって、磁性層４３に対して、媒体対向面２からより遠い位置に配置されている。磁性層３８は、磁性層３７の上に配置されている。磁性層４３の材料としては、例えばＣｏＦｅＮ、ＣｏＮｉＦｅ、ＮｉＦｅ、ＣｏＦｅのいずれかを用いることができる。

【0050】

磁気ヘッドは、更に、リード層１１、第１のシールド１６Ａおよび磁性層３８，４３の周囲に配置された非磁性層６１を備えている。非磁性層６１は、例えば無機絶縁材料によって形成されている。この無機絶縁材料としては、例えばアルミナまたはシリコン酸化物が用いられる。リード層１１、第１のシールド１６Ａ、磁性層３８，４３および非磁性層６１の上面は平坦化されている。

【0051】

磁性層４２は、第１のシールド１６Ａおよび非磁性層６１の上に配置されている。また、磁性層４２は、媒体対向面２に配置された端面を有している。磁性層４５は、媒体対向面２から離れた位置において、磁性層４３の上面の一部の上に配置されている。磁性層３９は、磁性層３８の上に配置されている。

【0052】

コイル１０の巻線部分１０Ａは、第１の連結部４４（磁性層４５）の周りに巻回され、且つその一部が第１の連結部４４（磁性層４５）と第２の連結部３４（磁性層３９）の間を通過している。図３に示した例では、巻線部分１０Ａは、第１の連結部４４（磁性層４５）の周りに約３回巻かれている。

【0053】

磁気ヘッドは、更に、コイル１０と磁性層３９，４２，４３，４５および非磁性層６１との間に介在する絶縁材料よりなる絶縁層６２と、コイル１０の巻線間および周囲に配置された絶縁材料よりなる絶縁層６３と、磁性層３９，４２および絶縁層６２の周囲に配置された絶縁材料よりなる図示しない絶縁層と、コイル１０および絶縁層６２，６３を覆うように配置された絶縁材料よりなる絶縁層６４とを備えている。絶縁層６２には、リード層１１の上面の一部を露出させる開口部が形成されている。コイル１０のコイル接続部１０Ｅは、絶縁層６２に形成された開口部を通してリード層１１に電気的に接続されている。絶縁層６２，６４と図示しない絶縁層は、例えばアルミナによって形成されている。絶縁層６３は、例えばフォトレジストによって形成されている。

【0054】

ヨーク層４１は、磁性層３９，４２，４５および絶縁層６４の上に配置されている。また、ヨーク層４１は、媒体対向面２に向いた端面を有し、この端面は、媒体対向面２から離れた位置に配置されている。第１の連結部４４（磁性層４５）と磁性層４３は、主磁極１５とヨーク層４１とを磁気的に連結している。第２の連結部３４（磁性層３５〜３９）は、ヨーク層３１とヨーク層４１とを磁気的に連結している。磁性層４２は、記録シールド１６の第１のシールド１６Ａとヨーク層４１とを磁気的に連結している。

【0055】

記録ヘッド部９は、更に、ヨーク層４１の上に配置されたストッパ層９１を有している。ストッパ層９１は、熱伝導率が大きく、線熱膨張係数が小さく、且つ硬い非磁性材料によって形成されている。ストッパ層９１を構成する材料は、アルミナに比べて、熱伝導率が大きく、線熱膨張係数が小さく、且つビッカース硬度が大きい材料であることが好ましい。このような材料としては、ＳｉＣがある。ストッパ層９１がない場合には、ヨーク層４１および磁性層４２が、コイル１０によって発生された熱を受けて膨張して、媒体対向面２の一部を突出させる可能性がある。ストッパ層９１は、コイル１０によって発生された熱を吸熱すると共に、ヨーク層４１および磁性層４２の媒体対向面２側への膨張を抑制する。これにより、コイル１０によって発生された熱によって、媒体対向面２の一部が突出することが抑制される。

【0056】

磁気ヘッドは、更に、非磁性材料よりなり、記録ヘッド部９を覆うように配置された保護層７０を備えている。保護層７０は、例えば、アルミナ等の無機絶縁材料によって形成されている。

【0057】

以上説明したように、本実施の形態に係る磁気ヘッドは、記録媒体に対向する媒体対向面２と再生ヘッド部８と記録ヘッド部９とを備えている。再生ヘッド部８と記録ヘッド部９は、基板１の上に積層されている。再生ヘッド部８は、記録ヘッド部９に対して、記録媒体の進行方向Ｔの後側（リーディング端側）に配置されている。

【0058】

再生ヘッド部８は、再生素子としてのＭＲ素子５と、媒体対向面２側の一部がＭＲ素子５を挟んで対向するように配置された、ＭＲ素子５をシールドするための第１の再生シールド層３および第２の再生シールド層７と、ＭＲ素子５と第１の再生シールド層３との間に配置された第１の再生シールドギャップ膜４と、ＭＲ素子５と第２の再生シールド層７との間に配置された第２の再生シールドギャップ膜６とを有している。

【0059】

記録ヘッド部９は、コイル１０と、主磁極１５と、記録シールド１６と、ギャップ部１７と、ヨーク層３１，４１と、第１の連結部４４と、第２の連結部３４と、磁性層３２，４２，４３とを有している。記録シールド１６は、第１のシールド１６Ａと、２つのサイドシールド１６Ｃ，１６Ｄと、第２のシールド１６Ｂとを有している。ギャップ部１７は、第１のギャップ層１８と第２のギャップ層１９とを含んでいる。

【0060】

ヨーク層３１，４１は、主磁極１５を挟むように記録媒体の進行方向Ｔに沿って並んでいる。ヨーク層３１は、主磁極１５に対して記録媒体の進行方向Ｔの後側に配置されている。ヨーク層４１は、主磁極１５に対して記録媒体の進行方向Ｔの前側に配置されている。ヨーク層４１は、磁性層４２を介して記録シールド１６の第１のシールド１６Ａに磁気的に接続されている。前記主断面において、ヨーク層４１は、媒体対向面２に垂直な方向について第１のシールド１６Ａよりも大きな長さを有している。

【0061】

ヨーク層３１は、磁性層３２を介して記録シールド１６の第２のシールド１６Ｂに磁気的に接続されている。磁性層３２は、媒体対向面２において第２のシールド１６Ｂの端面に対して記録媒体の進行方向Ｔの後側に配置された端面を有している。前記主断面において、ヨーク層３１は、媒体対向面２に垂直な方向について第２のシールド１６Ｂよりも大きな長さを有している。前記主断面において、磁性層３２は、媒体対向面２に垂直な方向について第２のシールド１６Ｂよりも大きくヨーク層３１よりも小さな長さを有している。

【0062】

第１の連結部４４（磁性層４５）と磁性層４３は、主磁極１５とヨーク層４１とを磁気的に連結している。第２の連結部３４（磁性層３５〜３９）は、ヨーク層３１とヨーク層４１とを磁気的に連結している。

【0063】

コイル１０は、平面渦巻き形状の巻線部分１０Ａを含んでいる。巻線部分１０Ａは、第１の連結部４４（磁性層４５）の周りに巻回され、且つその一部が第１の連結部４４（磁性層４５）と第２の連結部３４（磁性層３９）の間を通過している。

【0064】

また、磁気ヘッドは、ヒーター８２と、膨張層８４と、センサ８５と、非磁性部８６とを備えている。膨張層８４、センサ８５および非磁性部８６は、再生ヘッド部８と記録ヘッド部９の間に配置されている。ヒーター８２は、膨張層８４およびセンサ８５に対して、記録媒体の進行方向Ｔの後側（リーディング端側）に配置されている。非磁性部８６は、膨張層８４およびセンサ８５の周囲に配置されている。

【0065】

ここで、ヒーター８２、膨張層８４およびセンサ８５について詳しく説明する。始めに、ヒーター８２および膨張層８４について説明する。ヒーター８２および膨張層８４は、再生ヘッド部８および記録ヘッド部９と記録媒体の表面との間の距離を小さくするために、媒体対向面２の一部を突出させるためのものである。ヒーター８２は、媒体対向面２の一部を突出させるための熱を発生する。膨張層８４は、ヒーター８２によって発生された熱を受けて膨張して、媒体対向面２の一部を突出させる。

【0066】

ヒーター８２は、電流が流されることによって発熱する金属等の導電材料によって形成されている。ヒーター８２は、例えば、Ｔａ膜、ＮｉＣｕ膜およびＴａ膜からなる積層膜や、ＮｉＣｒ膜によって形成されている。

【0067】

膨張層８４は、非磁性部８６に比べて、熱伝導率および線熱膨張係数が大きい材料によって形成されている。非磁性部８６がアルミナによって形成されている場合には、膨張層８４の材料としては、アルミナに比べて、熱伝導率および線熱膨張係数が大きい材料とする必要がある。アルミナの２５℃における熱伝導率は３０Ｗ／ｍ・Ｋ程度である。アルミナの２５〜１００℃における線熱膨張係数は６．５×１０^−６／℃程度である。膨張層８４の材料としては、金属材料を用いることができる。膨張層８４を構成する金属材料は、非磁性金属材料でもよいし、磁性金属材料でもよい。膨張層８４を構成する非磁性金属材料としては、例えばＡｌ、Ｃｕ、Ａｕのいずれかを用いることができる。膨張層８４を構成する磁性金属材料としては、例えばＣｏＦｅＮ、ＣｏＮｉＦｅ、ＮｉＦｅ、ＣｏＦｅのいずれかを用いることができる。

【0068】

次に、ヒーター８２および膨張層８４によって、再生ヘッド部８および記録ヘッド部９と記録媒体の表面との間の距離を小さくする方法について説明する。ヒーター８２には、所定の大きさの電流が流される。これにより、ヒーター８２によって、媒体対向面２の一部を突出させるための熱が発生される。

【0069】

磁気ヘッドの構成要素は、ヒーター８２によって発生された熱を受けて膨張する。特に、膨張層８４は、その周囲に配置された非磁性部８６に比べて、熱伝導率が大きい材料によって形成されている。そのため、膨張層８４では、非磁性部８６に比べて、ヒーター８２によって発生された熱が速やかに均一に分布する。また、膨張層８４は、非磁性部８６に比べて、線熱膨張係数が大きい材料によって形成されている。そのため、膨張層８４は、ヒーター８２によって発生された熱を受けて、非磁性部８６に比べて、速やかに、且つ大きく膨張して、媒体対向面２の一部を突出させる。これにより、再生ヘッド部８および記録ヘッド部９と記録媒体の表面との間の距離が小さくなる。媒体対向面２の一部の突出量は、ヒーター８２に流される電流の大きさを調整することによって制御することができる。

【0070】

次に、センサ８５について説明する。センサ８５は、媒体対向面２の一部が記録媒体に接触したことを検出するためのものである。センサ８５は、媒体対向面２の一部が記録媒体に接触したときに自身の温度変化によって抵抗値が変化する抵抗体である。センサ８５の材料としては、温度変化に対する抵抗値の変化の割合、すなわち抵抗の温度係数がある程度大きい金属材料や半導体材料が用いられる。具体的には、センサ８５の材料としては、例えば、ＮｉＦｅ、Ｗ、Ｃｕ、Ｎｉ、Ｐｔのいずれかを用いることができる。

【0071】

媒体対向面２の一部が記録媒体に接触すると、接触による摩擦熱によって、媒体対向面２のうち、記録媒体に接触した部分およびその近傍の部分の温度が上昇する。このような温度の上昇に伴って、センサ８５自身の温度も上昇する。その結果、センサ８５の抵抗値が変化する。そのため、センサ８５の抵抗値を測定することによって、媒体対向面２の一部が記録媒体に接触したことを検出することができる。

【0072】

次に、図４を参照して、主磁極１５の形状について詳しく説明する。図４に示したように、主磁極１５は、媒体対向面２に配置された端面とその反対側の端部とを有するトラック幅規定部１５Ａと、トラック幅規定部１５Ａの端部に接続された幅広部１５Ｂとを含んでいる。また、図４に示したように、主磁極１５は、基板１の上面１ａにより近い端部である下端部１５Ｌと、下端部１５Ｌとは反対側の上面１５Ｔと、第１の側部ＳＰ１と、第２の側部ＳＰ２とを有している。幅広部１５Ｂにおける上面１５Ｔのトラック幅方向ＴＷの幅は、トラック幅規定部１５Ａにおける上面１５Ｔのトラック幅方向ＴＷの幅よりも大きい。

【0073】

トラック幅規定部１５Ａにおける上面１５Ｔのトラック幅方向ＴＷの幅は、媒体対向面２からの距離によらずにほぼ一定である。幅広部１５Ｂにおける上面１５Ｔのトラック幅方向ＴＷの幅は、例えば、トラック幅規定部１５Ａとの境界位置ではトラック幅規定部１５Ａにおける上面１５Ｔのトラック幅方向ＴＷの幅と等しく、媒体対向面２から離れるに従って、徐々に大きくなった後、一定の大きさになっている。ここで、媒体対向面２に垂直な方向についてのトラック幅規定部１５Ａの長さをネックハイトと呼ぶ。ネックハイトは、例えば０〜０．３μｍの範囲内である。ネックハイトが０の場合は、トラック幅規定部１５Ａがなく、幅広部１５Ｂの端面が媒体対向面２に配置される。

【0074】

下端部１５Ｌは、媒体対向面２に近い順に、連続するように配置された第１の部分１５Ｌ１、第２の部分１５Ｌ２および第３の部分１５Ｌ３を含んでいる。第１の部分１５Ｌ１は、媒体対向面２に配置された端部を有している。第１および第２の部分１５Ｌ１，１５Ｌ２は、２つの面が交わってできるエッジでもよいし、２つの面を連結する面でもよい。第３の部分１５Ｌ３は、実質的に媒体対向面２に垂直な方向に延在する面になっている。上面１５Ｔは、媒体対向面２に近い順に、連続するように配置された第４の部分１５Ｔ１、第５の部分１５Ｔ２および第６の部分１５Ｔ３を含んでいる。第４の部分１５Ｔ１は、媒体対向面２に配置された端部を有している。

【0075】

第１および第２の部分１５Ｌ１，１５Ｌ２における任意の位置の基板１の上面１ａからの距離は、任意の位置が媒体対向面２から離れるに従って小さくなっている。媒体対向面２に垂直な方向に対する第２の部分１５Ｌ２の傾斜角度は、媒体対向面２に垂直な方向に対する第１の部分１５Ｌ１の傾斜角度よりも大きい。第２のシールド１６Ｂは、ギャップ部１７（第１のギャップ層１８）を介して第１および第２の部分１５Ｌ１，１５Ｌ２に対向する上面を有している。この第２のシールド１６Ｂの上面における任意の位置の基板１の上面１ａからの距離は、任意の位置が媒体対向面２から離れるに従って小さくなっている。

【0076】

また、第４および第５の部分１５Ｔ１，１５Ｔ２における任意の位置の基板１の上面１ａからの距離は、任意の位置が媒体対向面２から離れるに従って大きくなっている。媒体対向面２に垂直な方向に対する第５の部分１５Ｔ２の傾斜角度は、媒体対向面２に垂直な方向に対する第４の部分１５Ｔ１の傾斜角度よりも大きい。第６の部分１５Ｔ３は、実質的に媒体対向面２に垂直な方向に延在している。第１のシールド１６Ａは、ギャップ部１７（第２のギャップ層１９）を介して第４および第５の部分１５Ｔ１，１５Ｔ２に対向する下面を有している。第１のシールド１６Ａの下面における任意の位置の基板１の上面１ａからの距離は、任意の位置が媒体対向面２から離れるに従って大きくなっている。

【0077】

第１の部分１５Ｌ１の傾斜角度および第４の部分１５Ｔ１の傾斜角度は、いずれも、１５°〜４５°の範囲内であることが好ましい。第２の部分１５Ｌ２の傾斜角度および第５の部分１５Ｔ２の傾斜角度は、いずれも、４５°〜８５°の範囲内であることが好ましい。

【0078】

また、図４に示したように、媒体対向面２に配置された主磁極１５の端面は、第２のギャップ層１９に隣接する第１の辺Ａ１と、第１の辺Ａ１の一端部に接続された第２の辺Ａ２と、第１の辺Ａ１の他端部に接続された第３の辺Ａ３とを有している。第１の辺Ａ１はトラック幅を規定する。記録媒体に記録される記録ビットの端部の位置は、第１の辺Ａ１の位置によって決まる。媒体対向面２に配置された主磁極１５の端面のトラック幅方向ＴＷの幅は、主磁極１５の下端部１５Ｌに近づくに従って、すなわち基板１の上面１ａに近づくに従って小さくなっている。第２の辺Ａ２と第３の辺Ａ３がそれぞれ基板１の上面に垂直な方向に対してなす角度は、例えば７°〜１７°の範囲内であり、１０°〜１５°の範囲内であることが好ましい。第１の辺Ａ１の長さは、例えば０．０５〜０．２０μｍの範囲内である。

【0079】

媒体対向面２における主磁極１５の厚み（基板１の上面１ａに垂直な方向の長さ）は、例えば０．０５〜０．２μｍの範囲内である。第３の部分１５Ｌ３と第６の部分１５Ｔ３との距離は、例えば０．４〜０．８μｍの範囲内である。

【0080】

なお、図４には、第２の部分１５Ｌ２と第３の部分１５Ｌ３の境界位置と媒体対向面２との間の距離と、第５の部分１５Ｔ２と第６の部分１５Ｔ３の境界位置と媒体対向面２との間の距離が、いずれも、トラック幅規定部１５Ａと幅広部１５Ｂとの境界位置と媒体対向面２との間の距離すなわちネックハイトと等しい例を示している。しかし、第２の部分１５Ｌ２と第３の部分１５Ｌ３の境界位置と媒体対向面２との間の距離と、第５の部分１５Ｔ２と第６の部分１５Ｔ３の境界位置と媒体対向面２との間の距離は、それぞれ、ネックハイトよりも小さくてもよいし、大きくてもよい。

【0081】

次に、本実施の形態に係る磁気ヘッドの作用および効果について説明する。この磁気ヘッドでは、記録ヘッド部９によって記録媒体に情報を記録し、再生ヘッド部８によって、記録媒体に記録されている情報を再生する。記録ヘッド部９において、コイル１０は、記録媒体に記録する情報に応じた磁界を発生する。主磁極１５は、コイル１０によって発生された磁界に対応する磁束を通過させて、垂直磁気記録方式によって情報を記録媒体に記録するための記録磁界を発生する。

【0082】

記録シールド１６は、磁気ヘッドの外部から磁気ヘッドに印加された外乱磁界を取り込む。これにより、外乱磁界が主磁極１５に集中して取り込まれることによって記録媒体に対して誤った記録が行なわれることを防止することができる。また、記録シールド１６は、主磁極１５の端面より発生されて記録媒体の面に垂直な方向以外の方向に広がる磁束を取り込んで、この磁束が記録媒体に達することを阻止する機能を有している。

【0083】

また、記録シールド１６、ヨーク層３１，４１、第１の連結部４４、第２の連結部３４および磁性層３２，４２，４３は、主磁極１５の端面より発生されて、記録媒体を磁化した磁束を還流させる機能を有している。具体的に説明すると、主磁極１５の端面より発生されて、記録媒体を磁化した磁束の一部は、記録シールド１６、磁性層４２、ヨーク層４１、第１の連結部４４（磁性層４５）および磁性層４３を通過して主磁極１５に還流する。また、主磁極１５の端面より発生されて、記録媒体を磁化した磁束の他の一部は、記録シールド１６、磁性層３２、ヨーク層３１、第２の連結部３４（磁性層３５〜３９）、ヨーク層４１、第１の連結部４４および磁性層４３を通過して主磁極１５に還流する。このように、本実施の形態では、記録シールド１６から主磁極１５に至る第１および第２の磁路が形成される。第１の磁路は、ヨーク層４１および第１の連結部４４を経由する。第２の磁路は、ヨーク層３１、第２の連結部３４、ヨーク層４１および第１の連結部４４を経由する。

【0084】

記録シールド１６は、第１のシールド１６Ａと、第２のシールド１６Ｂと、２つのサイドシールド１６Ｃ，１６Ｄとを有している。これにより、本実施の形態によれば、主磁極１５の端面に対して記録媒体の進行方向Ｔの前側および後側ならびにトラック幅方向ＴＷの両側において、主磁極１５の端面より発生されて記録媒体の面に垂直な方向以外の方向に広がる磁束を取り込んで、この磁束が記録媒体に達することを抑制することができる。その結果、本実施の形態によれば、スキューに起因した隣接トラック消去の発生を抑制することができる。第１のシールド１６Ａおよび第２のシールド１６Ｂは、スキューに起因した隣接トラック消去の発生を抑制することに寄与する他に、記録磁界の勾配を大きくすることに寄与する。サイドシールド１６Ｃ，１６Ｄは、特に隣接トラック消去を抑制することへの寄与が大きい。このような記録シールド１６の機能により、本実施の形態によれば、記録密度を高めることができる。

【0085】

また、本実施の形態では、図４に示したように、媒体対向面２において、トラック幅方向ＴＷにおける主磁極１５の第１および第２の側部ＳＰ１，ＳＰ２の間隔すなわち主磁極１５の端面の幅は、基板１の上面１ａに近づくに従って小さくなっている。本実施の形態によれば、この特徴によっても、スキューに起因した隣接トラック消去の発生を抑制することができる。

【0086】

また、本実施の形態では、媒体対向面２において、トラック幅方向ＴＷにおけるサイドシールド１６Ｃ，１６Ｄにおける第１および第２の側壁の間隔は、主磁極１５の第１および第２の側部ＳＰ１，ＳＰ２の間隔と同様に、基板１の上面１ａに近づくに従って小さくなっている。従って、本実施の形態によれば、媒体対向面２において、第１の側部ＳＰ１と第１の側壁との間隔、ならびに第２の側部ＳＰ２と第２の側壁との間隔を、小さく、且つ均一にすることが可能になる。これにより、サイドシールド１６Ｃ，１６Ｄによって、主磁極１５の端面より発生されてトラック幅方向ＴＷの両側に広がる磁束を、効果的に取り込むことができる。その結果、本実施の形態によれば、特にサイドシールド１６Ｃ，１６Ｄの機能を高めることが可能になり、スキューに起因した隣接トラック消去の発生をより効果的に抑制することが可能になる。

【0087】

記録シールド１６の機能を効果的に発揮させるためには、記録シールド１６によって多くの磁束を取り込めることが重要である。そのため、本実施の形態のように、磁気ヘッドが、記録シールド１６から主磁極１５に至る第１および第２の磁路を備えることは有効である。

【0088】

ここで、磁性層３２の役割について説明する。まず、磁性層３２がなく、第２のシールド１６Ｂとヨーク層３１が磁気的に連結されていない場合を考える。この場合、第２のシールド１６Ｂまたはサイドシールド１６Ｃ，１６Ｄで取り込まれて下方に向かった磁束は、ヨーク層３１の方へ流れることができないため、上方に向かうように戻る。その結果、第２のシールド１６Ｂまたはサイドシールド１６Ｃ，１６Ｄにおいて、下方に向かう磁束と上方に向かう磁束が生じ、その結果、第２のシールド１６Ｂまたはサイドシールド１６Ｃ，１６Ｄで取り込まれた磁束の一部が媒体対向面２の外部に漏れ出す。これにより、隣接トラック消去が生じるおそれがある。これに対し、磁性層３２によって第２のシールド１６Ｂとヨーク層３１が磁気的に連結されていると、サイドシールド１６Ｃ，１６Ｄで取り込まれた磁束は上方と下方へ分流し、第２のシールド１６Ｂで取り込まれた磁束は主に下方に向かう。これにより、第２のシールド１６Ｂまたはサイドシールド１６Ｃ，１６Ｄで取り込まれた磁束の一部が媒体対向面２の外部に漏れ出すことによる隣接トラック消去の発生が防止される。

【0089】

また、前記主断面において、媒体対向面２に垂直な方向についての第２のシールド１６Ｂの長さが大きすぎると、主磁極１５から第２のシールド１６Ｂへの磁束の漏れが多くなり、主磁極１５によって多くの磁束を媒体対向面２まで導くことができなくなる。そのため、前記主断面において、媒体対向面２に垂直な方向についての第２のシールド１６Ｂの長さは大きすぎないようにする必要がある。この場合、前記主断面において、媒体対向面２に垂直な方向についての磁性層３２の長さが第２のシールド１６Ｂの長さと等しいか、それより小さい場合には、磁性層３２によって第２のシールド１６Ｂからヨーク層３１へ多くの磁束を導くことができなくなる。これに対し、本実施の形態では、前記主断面において、磁性層３２は、媒体対向面２に垂直な方向について第２のシールド１６Ｂよりも大きくヨーク層３１よりも小さな長さを有している。これにより、本実施の形態によれば、磁性層３２によって第２のシールド１６Ｂからヨーク層３１へ多くの磁束を導くことが可能になる。

【0090】

また、本実施の形態によれば、記録シールド１６から主磁極１５に至る第１および第２の磁路を備えながら、コイル１０の構造を簡単にすることができる。以下、これについて、図５ないし図８を参照して説明する。図５は、第１の比較例における磁束の流れを示す説明図である。図６は、第２の比較例における磁束の流れを示す説明図である。図７は、第３の比較例における磁束の流れを示す説明図である。図８は、本実施の形態に係る磁気ヘッドにおける磁束の流れを示す説明図である。図５ないし図８では、磁気ヘッドの構成要素を簡略化して描いている。また、図５ないし図８において、矢印は磁束の流れを表している。

【0091】

始めに、第１の比較例の磁気ヘッドについて説明する。第１の比較例の磁気ヘッドでは、本実施の形態における、ヨーク層３１とヨーク層４１とを磁気的に連結する第２の連結部３４は設けられていない。第１の比較例の磁気ヘッドは、ヨーク層３１と主磁極１５とを磁気的に連結する連結部１３４を備えていてもよいし、備えていなくてもよい。第１の比較例の磁気ヘッドにおけるその他の構成は、本実施の形態に係る磁気ヘッドと同様である。

【0092】

第１の比較例では、ヨーク層３１と主磁極１５との間にコイルは設けられていない。そのため、ヨーク層３１では、磁束が生じないか、あるいは、破線で示したように、コイル１０の起磁力によって、ヨーク層４１における磁束とは逆方向に流れる磁束が生じる。前者の場合には、ヨーク層３１は、記録シールド１６から主磁極１５に至る磁路として機能しない。後者の場合には、主磁極１５とヨーク層３１を同じ方向に磁束が流れるため、媒体対向面２において、主磁極１５の端面とヨーク層３１の端面から同じ方向に磁界が発生し、その結果、隣接トラック消去が発生するおそれがある。

【0093】

これに対し、本実施の形態では、図８に示したように、コイル１０の起磁力によって、第１の連結部４４において合流するように、第１の磁路を通過する磁束と第２の磁路を通過する磁束が発生する。ヨーク層３１，４１では、いずれも主磁極１５とは反対の方向に磁束が流れる。これにより、本実施の形態によれば、記録シールド１６の機能を効果的に発揮させることができる。

【0094】

次に、第２の比較例の磁気ヘッドについて説明する。第２の比較例の磁気ヘッドは、連結部１３４を備えた第１の比較例の磁気ヘッドにおいて、更に、連結部１３４の周りに巻回された平面渦巻き形状のコイル１２０を備えたものである。コイル１０とコイル１２０は、直列または並列に接続されている。

【0095】

図６に示したように、第２の比較例では、コイル１０の起磁力によって、ヨーク層４１および第１の連結部４４を経由する磁路を通過する磁束が発生する。また、コイル１２０の起磁力によって、ヨーク層３１および連結部１３４を経由する磁路を通過する磁束が発生する。主磁極１５は、コイル１０の起磁力によって発生された磁束とコイル１２０の起磁力によって発生された磁束とを通過させる。ヨーク層３１，４１を流れる磁束の方向は、主磁極１５における磁束とは逆方向である。

【0096】

第２の比較例の磁気ヘッドでは、２つの磁路に対応する２つの平面渦巻き形状のコイル１０，１２０を備えているため、コイル１０，１２０の構造ならびにコイル１０，１２０の周辺の構造が複雑になると共に、コイル１０，１２０を形成するための工程数が多く必要になるという問題点がある。

【0097】

これに対し、本実施の形態では、１つのコイル１０の起磁力によって、第１の連結部４４において合流するように、第１の磁路を通過する磁束と第２の磁路を通過する磁束を発生させることができる。そのため、本実施の形態に係る磁気ヘッドによれば、記録シールド１６から主磁極１５に至る第１および第２の磁路を備えながら、コイルの構造を簡単にすることができ、その結果、上記の第２の比較例における問題点は生じない。

【0098】

次に、第３の比較例の磁気ヘッドについて説明する。第３の比較例の磁気ヘッドは、第２の比較例の磁気ヘッドにおけるコイル１０，１２０の代りに、主磁極１５の周りに巻かれたヘリカル形状のコイル２１０を備えている。図７に示したように、第３の比較例では、コイル２１０の起磁力によって、ヨーク層４１および第１の連結部４４を経由する磁路を通過する磁束と、ヨーク層３１および連結部１３４を経由する磁路を通過する磁束が発生する。主磁極１５は、コイル２１０の起磁力によって発生されたこれらの磁束を通過させる。ヨーク層３１，４１を流れる磁束の方向は、主磁極１５における磁束とは逆方向である。

【0099】

第３の比較例の磁気ヘッドでは、主磁極１５の周りに巻かれたヘリカル形状のコイル２１０を備えているため、コイル２１０の構造ならびにコイル２１０の周辺の構造が複雑になると共に、コイル２１０を形成するための工程数が多く必要になるという問題点がある。

【0100】

これに対し、本実施の形態では、前述のとおり、記録シールド１６から主磁極１５に至る第１および第２の磁路を備えながら、コイルの構造を簡単にすることができ、その結果、上記の第３の比較例における問題点は生じない。

【0101】

以上説明したように、本実施の形態に係る磁気ヘッドによれば、記録シールド１６から主磁極１５に至る第１および第２の磁路を備えながら、コイル１０の構造を簡単にすることができ、且つ記録シールド１６の機能を効果的に発揮させることができる。

【0102】

なお、本実施の形態では、再生ヘッド部８と主磁極１５との間にはコイルが設けられていない。そのため、本実施の形態によれば、再生ヘッド部８と主磁極１５との間にコイルの少なくとも一部が設けられる第２および第３の比較例に比べて、再生ヘッド部８と主磁極１５との間の距離を小さくすることが可能になる。

【0103】

ところで、第２の連結部３４がコイル１０と媒体対向面２との間に位置していると、第１の連結部４４と媒体対向面２との間の距離が大きくなって、主磁極１５の端面より発生される磁束の方向の変化の速度が低下するおそれがある。本実施の形態では、第２の連結部３４は、コイル１０と媒体対向面２との間を除いた位置に配置されている。これにより、本実施の形態によれば、第１の連結部４４と媒体対向面２との間の距離を小さくして、主磁極１５の端面より発生される磁束の方向の変化の速度を大きくすることができる。

【0104】

以下、本実施の形態におけるその他の効果について説明する。本実施の形態では、主磁極１５の下端部１５Ｌは、媒体対向面２に近い順に、連続するように配置された第１の部分１５Ｌ１、第２の部分１５Ｌ２および第３の部分１５Ｌ３を含んでいる。主磁極１５の上面１５Ｔは、媒体対向面２に近い順に、連続するように配置された第４の部分１５Ｔ１、第５の部分１５Ｔ２および第６の部分１５Ｔ３を含んでいる。第１および第２の部分１５Ｌ１，１５Ｌ２における任意の位置の基板１の上面１ａからの距離は、任意の位置が媒体対向面２から離れるに従って小さくなっている。第４および第５の部分１５Ｔ１，１５Ｔ２における任意の位置の基板１の上面１ａからの距離は、任意の位置が媒体対向面２から離れるに従って大きくなっている。これにより、本実施の形態によれば、媒体対向面２における主磁極１５の厚みを小さくすることができることから、スキューに起因した隣接トラック消去の発生を抑制することができる。しかも、本実施の形態によれば、媒体対向面２から離れた位置では主磁極１５の厚みを大きくすることができることから、主磁極１５によって多くの磁束を媒体対向面２まで導くことができ、その結果、オーバーライト特性等の記録特性を向上させることができる。

【0105】

本実施の形態における主磁極１５では、第１および第４の部分１５Ｌ１，１５Ｔ１の傾斜角度を小さくすることによって、媒体対向面２の位置の変動に伴う記録特性の変動を抑制することができる。しかも、この主磁極１５では、第２および第５の部分１５Ｌ２，１５Ｔ２の傾斜角度を大きくすることによって、媒体対向面２における主磁極１５の厚みを小さくしながら、第３の部分１５Ｌ３と第６の部分１５Ｔ３との距離を大きくすることができ、その結果、スキューに起因した問題の発生を防止でき、且つ記録特性を向上させることができる。このように、本実施の形態によれば、媒体対向面２の位置の変動に伴う記録特性の変動を抑制しながら、スキューに起因した問題の発生を防止し、且つ記録特性を向上させることが可能になる。

【0106】

［第２の実施の形態］
次に、図９を参照して、本発明の第２の実施の形態に係る磁気ヘッドについて説明する。図９は、本実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。なお、図９は媒体対向面および基板の上面に垂直な断面、特に前記主断面を示している。

【0107】

本実施の形態に係る磁気ヘッドは、以下の点で第１の実施の形態に係る磁気ヘッドと異なっている。本実施の形態では、ヨーク層３１および磁性層３２は、それぞれ、媒体対向面２に向いた端面を有し、これらの端面は、媒体対向面２から離れた位置に配置されている。磁気ヘッドは、ヨーク層３１の周囲において絶縁層７１および非磁性層８９の上に形成された絶縁層５１を備えている。ヨーク層３１の上記端面と媒体対向面２との間には、絶縁層５１の一部が介在している。また、磁気ヘッドは、磁性層３２の上記端面と媒体対向面２との間に介在する絶縁材料よりなる絶縁層５２を備えている。

【0108】

また、本実施の形態では、記録ヘッド部９は、磁性層３２と第２のシールド１６Ｂとの間に配置された磁性材料よりなる磁性層３３を有している。本実施の形態では、磁性層３３，３５および絶縁層５４の上面が平坦化されている。磁性層３３，３２は、記録シールド１６の第２のシールド１６Ｂとヨーク層３１とを磁気的に連結している。磁性層３３の材料としては、例えばＣｏＦｅＮ、ＣｏＮｉＦｅ、ＮｉＦｅ、ＣｏＦｅのいずれかを用いることができる。

【0109】

磁性層３３は、媒体対向面２において第２のシールド１６Ｂの端面に対して記録媒体の進行方向Ｔの後側に配置された端面を有している。前記主断面において、磁性層３３は、媒体対向面２に垂直な方向について第２のシールド１６Ｂよりも大きくヨーク層３１よりも小さな長さを有している。

【0110】

本実施の形態におけるその他の構成、作用および効果は、第１の実施の形態と同様である。

【0111】

［第３の実施の形態］
次に、図１０ないし図１２を参照して、本発明の第３の実施の形態に係る磁気ヘッドについて説明する。図１０は、本実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。なお、図１０は媒体対向面および基板の上面に垂直な断面、特に前記主断面を示している。図１１は、本実施の形態に係る磁気ヘッドにおけるコイルの第１層を示す平面図である。図１２は、本実施の形態に係る磁気ヘッドにおけるコイルの第２層を示す平面図である。

【0112】

本実施の形態に係る磁気ヘッドは、以下の点で第２の実施の形態に係る磁気ヘッドと異なっている。本実施の形態では、第１の連結部４４は、磁性層４５に加えて、磁性層４５の上に配置された磁性層４６を含んでいる。また、第２の連結部３４は、磁性層３５〜３９に加えて、磁性層３９の上に配置された磁性層４０を含んでいる。また、記録ヘッド部９は、磁性層４２の上に、この順に積層された磁性材料よりなる磁性層４７，４８を有している。磁性層４７，４８は、それぞれ、媒体対向面２に向いた端面を有し、これらの端面は、媒体対向面２から離れた位置に配置されている。磁性層４７，４８の材料としては、例えばＣｏＦｅＮ、ＣｏＮｉＦｅ、ＮｉＦｅ、ＣｏＦｅのいずれかを用いることができる。

【0113】

また、本実施の形態では、記録ヘッド部９は、コイル１０の代りに、コイル２０を有している。コイル２０は、直列に接続された第１層２１および第２層２２を含んでいる。図１１に示したように、第１層２１は、平面渦巻き形状の巻線部分２１Ａを含んでいる。巻線部分２１Ａは、第１の連結部４４（磁性層４５）の周りに巻回され、且つその一部が第１の連結部４４（磁性層４５）と、第２の連結部３４（磁性層３９）との間を通過している。図１０および図１１において、符号２１Ｅは、第１層２１のうち、第２層２２に接続されるコイル接続部を示している。図１１に示した例では、巻線部分２１Ａは、第１の連結部４４（磁性層４５）の周りに約２回巻かれている。

【0114】

図１２に示したように、第２層２２は、平面渦巻き形状の巻線部分２２Ａを含んでいる。巻線部分２２Ａは、第１の連結部４４（磁性層４６）の周りに巻回され、且つその一部が第１の連結部４４（磁性層４６）と、第２の連結部３４（磁性層４０）との間を通過している。図１０および図１２において、符号２２Ｓは、第２層２２のうち、第１層２１のコイル接続部２１Ｅに接続されるコイル接続部を示している。図１２に示した例では、巻線部分２２Ａは、第１の連結部４４（磁性層４６）の周りに約２回巻かれている。

【0115】

また、本実施の形態に係る磁気ヘッドは、コイル２０の第１層２１と磁性層３９，４２，４５，４７および非磁性層６１との間に介在する絶縁材料よりなる絶縁層７２と、第１層２１の巻線間に配置された絶縁材料よりなる絶縁層７３と、磁性層３９，４２，４７および絶縁層７２の周囲に配置された絶縁材料よりなる絶縁層７４と、第１層２１および絶縁層７２，７３を覆うように配置された絶縁材料よりなる絶縁層７５とを備えている。絶縁層７５には、第１層２１のコイル接続部２１Ｅの上面を露出させる開口部が形成されている。第１層２１、磁性層３９，４５，４７および絶縁層７３，７４の上面は平坦化されている。絶縁層７２，７４，７５は、例えばアルミナによって形成されている。絶縁層７３は、例えばフォトレジストによって形成されている。

【0116】

本実施の形態に係る磁気ヘッドは、更に、コイル２０の第２層２２と磁性層４０，４６，４８および絶縁層７５との間に介在する絶縁材料よりなる絶縁層７６と、第２層２２の巻線間に配置された絶縁材料よりなる絶縁層７７と、磁性層４０，４８および絶縁層７６の周囲に配置された絶縁材料よりなる絶縁層７８と、第２層２２および絶縁層７６，７７を覆うように配置された絶縁材料よりなる絶縁層７９とを備えている。絶縁層７６には、第１層２１のコイル接続部２１Ｅの上面を露出させる開口部が形成されている。第２層２２のコイル接続部２２Ｓは、絶縁層７５，７６に形成された開口部を通して、コイル接続部２１Ｅに電気的に接続されている。第２層２２、磁性層４０，４６，４８および絶縁層７７，７８の上面は平坦化されている。絶縁層７６，７８，７９は、例えばアルミナによって形成されている。絶縁層７７は、例えばフォトレジストによって形成されている。

【0117】

本実施の形態では、ヨーク層４１は、磁性層４０，４６，４８および絶縁層７９の上に配置されている。第１の連結部４４（磁性層４５，４６）と磁性層４３は、主磁極１５とヨーク層４１とを磁気的に連結している。第２の連結部３４（磁性層３５〜４０）は、ヨーク層３１とヨーク層４１とを磁気的に連結している。磁性層４２，４７，４８は、記録シールド１６の第１のシールド１６Ａとヨーク層４１とを磁気的に連結している。なお、本実施の形態に係る磁気ヘッドでは、ストッパ層９１が設けられていない。

【0118】

本実施の形態におけるその他の構成、作用および効果は、第２の実施の形態と同様である。

【0119】

［第４の実施の形態］
次に、図１３を参照して、本発明の第４の実施の形態に係る磁気ヘッドについて説明する。図１３は、本実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。なお、図１３は媒体対向面および基板の上面に垂直な断面、特に前記主断面を示している。

【0120】

本実施の形態に係る磁気ヘッドは、以下の点で第１の実施の形態に係る磁気ヘッドと異なっている。本実施の形態では、磁性層４３、絶縁層５４，６２〜６４およびストッパ層９１が設けられていない。また、本実施の形態では、第１の連結部４４は、磁性層４５の代りに、１つの磁性層４９によって構成されている。磁性層４９は、媒体対向面２から離れた位置においてヨーク層３１の上に配置されている。また、磁性層４９は、磁性層３２と磁性層３５との間に配置されている。

【0121】

また、本実施の形態では、コイル１０の巻線部分１０Ａは、第１の連結部４４（磁性層４９）の周りに巻回され、且つその一部が第１の連結部４４（磁性層４９）と第２の連結部３４（磁性層３５）との間を通過している。図１３に示した例では、巻線部分１０Ａは、第１の連結部４４（磁性層４９）の周りに約３回巻かれている。

【0122】

また、本実施の形態に係る磁気ヘッドは、コイル１０とヨーク層３１および磁性層３２，３５，４９との間に介在する絶縁材料よりなる絶縁層５３と、コイル１０の巻線間および周囲に配置された絶縁材料よりなる絶縁層５５と、磁性層３２，３５および絶縁層５３の周囲に配置された絶縁材料よりなる図示しない絶縁層とを備えている。コイル１０、磁性層３２，３５および図示しない絶縁層の上面は平坦化されている。絶縁層５３と図示しない絶縁層は、例えばアルミナによって形成されている。絶縁層５５は、例えばフォトレジストによって形成されている。

【0123】

また、本実施の形態では、記録ヘッド部９は、リード層１１の代りに、接続層１２およびリード層１３を有している。接続層１２とリード層１３は、いずれも、銅等の導電材料によって形成されている。接続層１２とリード層１３は、コイル１０に通電するために用いられる。接続層１２は、コイル１０のコイル接続部１０Ｅの上に配置されている。

【0124】

記録ヘッド部９は、更に、磁性層４９の上に配置された磁性材料よりなる磁性層５０を有している。本実施の形態では、絶縁層５６は、第２のシールド１６Ｂ、磁性層３６，５０および接続層１２の周囲において、コイル１０および絶縁層５３，５５を覆うように配置されている。磁性層５０の材料としては、例えばＣｏＦｅＮ、ＣｏＮｉＦｅ、ＮｉＦｅ、ＣｏＦｅのいずれかを用いることができる。

【0125】

また、本実施の形態では、第１のギャップ層１８には、接続層１２の上面を露出させる開口部と、磁性層５０の上面を露出させる開口部とが形成されている。媒体対向面２から離れた位置において、主磁極１５の下端部は、磁性層５０の上面に接している。リード層１３は、第１のギャップ層１８に形成された開口部を通して接続層１２に電気的に接続されている。コイル１０のコイル接続部１０Ｅは、接続層１２を介してリード層１３に電気的に接続されている。本実施の形態では、非磁性層５７は、主磁極１５、第２のシールド１６Ｂ、サイドシールド１６Ｃ，１６Ｄ、磁性層３７およびリード層１３の周囲に配置されている。

【0126】

本実施の形態では、非磁性層６１は、第１のシールド１６Ａおよび磁性層３８の周囲に配置されている。また、本実施の形態に係る磁気ヘッドは、更に、磁性層３９，４２の周囲において非磁性層６１の上に配置された絶縁材料よりなる絶縁層８０を備えている。磁性層３９，４２および絶縁層８０の上面は平坦化されている。ヨーク層４１は、磁性層３９，４２および絶縁層８０の上に配置されている。絶縁層８０は、例えばアルミナによって形成されている。

【0127】

本実施の形態では、第１の連結部４４（磁性層４９）と磁性層５０は、主磁極１５とヨーク層３１とを磁気的に連結している。また、第２の連結部３４（磁性層３５〜３９）は、ヨーク層４１とヨーク層３１とを磁気的に連結している。本実施の形態では、第１の実施の形態と異なり、ヨーク層３１が本発明における第２のヨーク層に対応し、ヨーク層４１が本発明における第１のヨーク層に対応する。すなわち、本実施の形態では、第１のヨーク層４１は主磁極１５に対して記録媒体の進行方向Ｔの前側に配置され、第２のヨーク層３１は主磁極１５に対して記録媒体の進行方向Ｔの後側に配置されている。

【0128】

本実施の形態におけるその他の構成、作用および効果は、第１の実施の形態と同様である。

【0129】

なお、本発明は、上記各実施の形態に限定されず、種々の変更が可能である。例えば、第２の連結部３４は、第１の連結部４４に対して、トラック幅方向の両側の少なくとも一方に配置されていてもよい。

【0130】

また、コイルは、それぞれ第１の連結部の周りに巻回され、且つその一部が第１の連結部と第２の連結部の間を通過する、積層された３層以上の巻線部分を有していてもよい。

【符号の説明】

【0131】

１０…コイル、１０Ａ…巻線部分、１５…主磁極、１６…記録シールド、３１，４１…ヨーク層、３４…第２の連結部、４４…第１の連結部。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】