特許5758577高圧荷電粒子ビーム・システム

発明の名称　高圧荷電粒子ビーム・システム

出願人　エフ・イ−・アイ・カンパニー　（識別番号 501419107）

　　　　特許公開件数ランキング 14682 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 12559 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5758577

公報発行日　2015年8月5

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5758577

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