特許 5760822 欠陥検査装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5760822

(24)【登録日】2015年6月19日

(45)【発行日】2015年8月12日

(54)【発明の名称】欠陥検査装置

(51)【国際特許分類】

   G01N 21/952 20060101AFI20150723BHJP

   G01N 21/84 20060101ALI20150723BHJP

【ＦＩ】

   G01N21/952

   G01N21/84 C

【請求項の数】5

【全頁数】12

(21)【出願番号】特願2011-169288(P2011-169288)

(22)【出願日】2011年8月2日

(65)【公開番号】特開2013-32978(P2013-32978A)

(43)【公開日】2013年2月14日

【審査請求日】2014年7月11日

(73)【特許権者】

【識別番号】000004385

【氏名又は名称】ＮＯＫ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100085006

【弁理士】

【氏名又は名称】世良 和信

(74)【代理人】

【識別番号】100106622

【弁理士】

【氏名又は名称】和久田 純一

(74)【代理人】

【識別番号】100131532

【弁理士】

【氏名又は名称】坂井 浩一郎

(72)【発明者】

【氏名】中村 俊介

(72)【発明者】

【氏名】甲 功二郎

【審査官】 横尾 雅一

(56)【参考文献】

【文献】 実開平０４−０７８５４８（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 特開平０７−２７０１５１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 実開平０３−０３９１３９（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 特表２００８−５２１６５３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平１１−１２５５２３（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０１Ｎ ２１／８４−２１／９５８

Ｇ０１Ｂ ２１／００−２１／３２

Ｇ０１Ｃ ５／００− ５／０６

Ｂ２９Ｃ ６７／２０−６７／２４

Ｂ２９Ｄ ３０／００−３０／７２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

環状の弾性体を有する物品における前記弾性体表面の欠陥を検査する欠陥検査装置であって、
押圧部材により前記弾性体の外周表面を部分的に押圧することで該弾性体の表面の一部を押し広げつつ、前記物品を回転させることによって、前記弾性体の外周表面全体に対する欠陥の有無を検査する欠陥検査装置において、
前記弾性体の外周表面の欠陥の有無を検査している最中に、前記押圧部材の状態が正常であるか否かを監視する監視手段を備えると共に、
前記押圧部材は棒状の部材であり、前記監視手段は前記押圧部材の変形量について監視することを特徴とする欠陥検査装置。

【請求項2】

前記押圧部材は前記物品の回転に伴って従動回転するように構成されており、前記監視手段は前記押圧部材の回転の有無について監視することを特徴とする請求項１に記載の欠陥検査装置。

【請求項3】

前記物品を回転させる最中に、前記弾性体の外周表面を複数撮影することで外周表面全体に亘って得られた撮影画像に基づいて、前記弾性体の外周表面全体に対する欠陥の有無を検査すると共に、
前記押圧部材についても逐次撮影し、前記監視手段は、該押圧部材の撮影画像に基づいて該押圧部材の状態が正常であるか否かを監視することを特徴とする請求項１または２に記載の欠陥検査装置。

【請求項4】

環状の弾性体を有する物品における前記弾性体表面の欠陥を検査する欠陥検査装置であって、
押圧部材により前記弾性体の外周表面を部分的に押圧することで該弾性体の表面の一部を押し広げつつ、前記物品を回転させることによって、前記弾性体の外周表面全体に対する欠陥の有無を検査する欠陥検査装置において、
前記弾性体の外周表面の欠陥の有無を検査している最中に、前記押圧部材の状態が正常であるか否かを監視する監視手段を備え、
前記物品を回転させる最中に、前記弾性体の外周表面を複数撮影することで外周表面全体に亘って得られた撮影画像に基づいて、前記弾性体の外周表面全体に対する欠陥の有無
を検査すると共に、
前記押圧部材についても逐次撮影し、前記監視手段は、該押圧部材の撮影画像に基づいて該押圧部材の状態が正常であるか否かを監視することを特徴とする欠陥検査装置。

【請求項5】

前記弾性体の外周表面の欠陥の有無を検査するのに用いる撮影画像に、前記押圧部材を監視するのに用いる画像が含まれていることを特徴とする請求項３または４に記載の欠陥検査装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、環状の弾性体の表面に形成された割れや裂けなどの欠陥を検査する欠陥検査装置に関するものである。

【背景技術】

【0002】

製造した製品や中間品において、ゴムなどの弾性体を有する物品の場合、弾性体の表面に割れや裂けなどの欠陥があっても、欠陥部位が塞がっているため、単なる目視検査だけでは欠陥を見付けるのは難しい。また、多少の割れや裂けの場合には、初期段階では品質を満足していても、割れや裂けが経時的に大きくなっていくことによって、品質が低下してしまう場合がある。そのため、一般的に、弾性体に外力を加えることによって、弾性体表面を押し広げることによって、割れや裂けなどを発見し易くした状態で検査を行っている。

【0003】

ここで、弾性体に外力を加える手法として、手作業による場合もあるが、特に熟練度の低い作業者の場合に、外力の加え方が不安定になってしまうため、欠陥の見落としが生じやすい。そこで、従来、弾性体に一定の力を加えながら検査する機構を有する各種の欠陥検査装置が知られている。例えば、環状の弾性体を有する物品の場合に、物品を回転させながら弾性体表面に棒状の部材を押し当てることで、弾性体の一部を押し広げながら、弾性体表面の全体を検査する技術が知られている（特許文献１参照）。

【0004】

しかしながら、弾性体の硬度が高いような場合に、棒状の部材が徐々に変形してしまうなどして、弾性体への押圧力が変化して、検査能力が低下してしまう。棒状の部材の変形が小さいと、変形に気付かずに、低い検査能力のまま検査を続行してしまうことがある。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】実公平０６−４８３９７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

本発明の目的は、安定した検査能力を維持可能とする欠陥検査装置を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明は、上記課題を解決するために以下の手段を採用した。

【0008】

すなわち、本発明の欠陥検査装置は、
環状の弾性体を有する物品における前記弾性体表面の欠陥を検査する欠陥検査装置であって、
押圧部材により前記弾性体の外周表面を部分的に押圧することで該弾性体の表面の一部を押し広げつつ、前記物品を回転させることによって、前記弾性体の外周表面全体に対する欠陥の有無を検査する欠陥検査装置において、
前記弾性体の外周表面の欠陥の有無を検査している最中に、前記押圧部材の状態が正常であるか否かを監視する監視手段を備えることを特徴とする。

【0009】

本発明によれば、欠陥の有無を検査している最中に、監視手段によって、押圧部材の状態が正常であるか否かが監視される。従って、押圧部材による押圧力を安定させることが
でき、検査能力を安定させることができる。

【0010】

前記押圧部材は棒状の部材であり、前記監視手段は前記押圧部材の変形量について監視するとよい。

【0011】

これにより、押圧部材が変形してしまうことによる押圧力の変化を抑制することができる。

【0012】

前記押圧部材は前記物品の回転に伴って従動回転するように構成されており、前記監視手段は前記押圧部材の回転の有無について監視するとよい。

【0013】

押圧部材は物品の回転に伴って従動回転するため、押圧部材と物品との間の摺動を抑制できる。これにより、押圧部材の摺動摩耗を抑制でき、その寿命を延ばすことができる。また、物品に押圧部材との摩擦による傷がつくのを抑制することができる。更に、監視手段によって押圧部材の回転の有無が監視されるので、押圧部材が回転しない状態のまま検査を行ってしまうことを避けられる。

【0014】

前記物品を回転させる最中に、前記弾性体の外周表面を複数撮影することで外周表面全体に亘って得られた撮影画像に基づいて、前記弾性体の外周表面全体に対する欠陥の有無を検査すると共に、
前記押圧部材についても逐次撮影し、前記監視手段は、該押圧部材の撮影画像に基づいて該押圧部材の状態が正常であるか否かを監視するとよい。

【0015】

このように、画像処理によって、弾性体表面の欠陥の有無を検査すると共に、押圧部材の状態が正常であるか否かを監視することができる。

【0016】

また、この場合において、前記弾性体の外周表面の欠陥の有無を検査するのに用いる撮影画像に、前記押圧部材を監視するのに用いる画像が含まれているとよい。

【0017】

これにより、弾性体表面の欠陥の有無を検査するのに必要な撮影枚数で、押圧部材の状態が正常であるか否かも監視できる。

【0018】

なお、上記各構成は、可能な限り組み合わせて採用し得る。

【発明の効果】

【0019】

以上説明したように、本発明によれば、安定した検査能力を維持することができる。

【図面の簡単な説明】

【0020】

【図1】図１は本発明の実施例に係る欠陥検査装置の概略構成図である。

【図2】図２は本発明の実施例に係る押圧部材の回転機構を示す模式的断面図である。

【図3】図３は本発明の実施例に係る押圧部材で物品の弾性体部分を押圧している様子を示す正面図である。

【図4】図４は本発明の実施例に係る押圧部材の変形量の監視の仕方を説明する説明図である。

【図5】図５は本発明の実施例に係る押圧部材の変形量の監視手順を示すフローチャートである。

【図6】図６は本発明の実施例に係る押圧部材の回転の有無の監視の仕方を説明する説明図である。

【図7】図７は本発明の実施例に係る押圧部材の回転の有無の監視手順を示すフローチャートである。

【発明を実施するための形態】

【0021】

以下に図面を参照して、この発明を実施するための形態を、実施例に基づいて例示的に詳しく説明する。ただし、この実施例に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対配置などは、特に特定的な記載がない限りは、この発明の範囲をそれらのみに限定する趣旨のものではない。

【0022】

（実施例）
図１〜図７を参照して、本発明の実施例に係る欠陥検査装置について説明する。

【0023】

＜欠陥検査装置の構成＞
図１〜図３を参照して、本発明の実施例に係る欠陥検査装置の構成について説明する。図１は本発明の実施例に係る欠陥検査装置全体の構成を概略的に示したものである。図２は押圧部材の回転機構の部分の模式的断面図である。図３は本発明の実施例に係る押圧部材で物品の弾性体部分を押圧している様子を示す正面図であり、（ａ）は欠陥がない部分を押圧している様子を示し、（ｂ）は欠陥部付近を押圧している様子を示している。

【0024】

本実施例に係る欠陥検査装置１００は、検査対象となる物品２００を回転させる回転機構１１０と、各種部材（装置）を直線的に移動させるリニアアクチュエータ１２０と、物品２００の弾性体２１０を押圧する押圧部材１３０とを備えている。また、欠陥検査装置１００は、弾性体２１０などを撮影する撮影手段としてのカメラ１４０と、撮影画像（画像データ）の画像処理や押圧部材１３０の状態の監視を行うコンピュータ１５０と、撮影画像等を表示させるディスプレイ１６０と、カメラ１４０による撮影部分を照射する照明１７０も備えている。

【0025】

本実施例における検査対象となる物品２００は、環状の弾性体２１０と環状の金属環２２０が同軸的に一体化された構成である。また、弾性体２１０の外周表面には複数の環状突起２１１が設けられている。回転機構１１０は、モータ１１１と、モータ１１１によって回転する回転軸１１２が設けられている。この回転軸１１２に物品２００を同軸的に取り付けることによって、モータ１１１の回転駆動力により物品２００を回転させることができる。

【0026】

リニアアクチュエータ１２０は、ステッピングモータ１２１と、ステッピングモータ１２１の回転駆動力によって回転するボールねじ１２２と、ボールねじ１２２の回転に伴って直線的に移動するスライダ１２３とを備えている。このスライダ１２３には支持部材１２４が固定されている。また、支持部材１２４には、カメラ１４０を設置する設置台１２５が設けられている。更に、支持部材１２４の先端部分には、押圧部材１３０を回転自在に軸支する回転支持部材１２６が設けられている。

【0027】

回転支持部材１２６は、略円筒状の支持部材本体１２６ａと、支持部材本体１２６ａの内部の両端付近にそれぞれ取り付けられるボールベアリング１２６ｂ，１２６ｃとを備えている（図２参照）。押圧部材１３０は、略棒状の部材であり、押圧部材本体１３１と、フランジ部１３２と、押圧部材本体１３１の上端付近に設けられる環状溝部１３１ａとを備えている。なお、押圧部材本体１３１の具体例としては、ステンレス製の直径２ｍｍの丸棒を挙げることができる。ただし、押圧部材本体１３１の素材や形状はこれに限られるものではない。この押圧部材本体１３１は、支持部材本体１２６ａの下端側からフランジ部１３２が突き当たるまで差し込まれた状態で、環状溝部１３１ａにＣリング１３３が装着されることで、回転支持部材１２６に対して回転自在に軸支される。

【0028】

本実施例においては、回転支持部材１２６及び押圧部材１３０は、図１中紙面に対して垂直な方向に２つ並んで設けられており、２本の押圧部材本体１３１によって、物品２００の弾性体２１０を押圧するように構成されている（図３参照）。また、本実施例においては、押圧部材本体１３１が物品２００の弾性体２１０の表面に接触する位置を基準位置として、ステッピングモータ１２１のパルス制御による回転数の制御によって、押圧部材本体１３１を弾性体２１０の内部方向に一定距離だけ押し込むようにしている。これにより、弾性体２１０は、２本の押圧部材本体１３１により部分的に一定の押圧力で押圧されて、弾性体２１０の表面の一部が押し広げられる（図３参照）。これにより、弾性体２１０の表面に、そのままの状態では見え難い欠陥部２１０Ｘが存在していたとしても、その表面の一部が押し広げられることで欠陥部２１０Ｘを目立たせることができる（図３（ｂ）参照）。

【0029】

また、回転機構１１０によって、物品２００が回転すると、物品２００の弾性体２１０から受ける力によって、回転支持部材１２６に回転自在に軸支されている押圧部材本体１３１も従動回転する。従って、物品２００の弾性体２１０と押圧部材本体１３１との間では殆ど摩擦が生じない。

【0030】

そして、本実施例においては、図３（ａ）中のＳで囲った部分を、カメラ１４０によって撮影している。カメラ１４０は、上記の通り、設置台１２５に設置されており、スライダ１２３の移動に伴って、押圧部材１３０と同じ距離だけ移動する。そのため、一度ピントを合わせておけば、スライダ１２３を移動させてもピントを再調整する必要はない。また、物品２００を回転させた状態で、カメラ１４０によって連続的に複数枚撮影することによって、弾性体２１０の外周表面全体が撮影されるようにしている。ここで、本実施例においては、一枚の撮影画像の中に、２本の押圧部材本体１３１の先端付近と、弾性体２１０の表面のうち押圧部材本体１３１によって押し広げられた部分とが含まれている（図３（ａ）中の範囲Ｓ参照）。

【0031】

弾性体２１０の外周表面全体の欠陥の有無の検査については、上記の撮影画像のうち、２本の押圧部材本体１３１の間の弾性体２１０の表面の画像データを用いる。撮影した画像データを用いて、欠陥の有無を検査する方法自体については、各種の公知技術を採用することができる。例えば、標準画像と撮影画像とを比較する（一致率を評価する）ことによって、欠陥の有無を検査するパターンマッチング方式を用いることができる。

【0032】

また、本出願人が既に提案している特開２０１０−１９６４６号公報に開示された技術を採用すれば、検査の処理を高速に行うことが可能となる。この技術については、当該公報に開示された通りであるので、詳細な説明は省略し、ここでは簡単に説明する。当該技術においては、各撮影画像について、一致率を評価するための比較対象とする良品画像をそれぞれ作成する方法を採用している。そして、各良品画像は、当該良品画像に対応する撮影画像を除き、当該撮影画像の近傍の複数の撮影画像のうち一致率の高い画像を用いて作成している。そのため、比較対象とする良品画像は、検査対象となる物品自体の撮影画像を用いて作成されるため、一般的なパターンマッチング方式のように、ロット毎に標準画像を変更しなければならないなどの手間を省くことができる。また、一般的なパターンマッチング方式のように、撮影画像と標準画像とを１枚毎に位置合わせする必要もなく、処理速度を向上させることが可能となる。

【0033】

なお、カメラ１４０によって撮影された撮影画像（画像データ）は、コンピュータ１５０に送られて、コンピュータ１５０によって、画像処理を行い、かつ欠陥の有無を検査する（欠陥の有無の判定を行う）。

【0034】

＜押圧部材の監視＞
特に、図４〜図７を参照して、押圧部材１３０の監視について、詳細に説明する。本実施例においては、上記の通り、２本の押圧部材本体１３１の先端付近も撮影している。そして、この撮影画像を用いて、弾性体２１０の外周表面の欠陥の有無を検査している最中に、押圧部材１３０の状態が正常であるか否かも監視している。当該監視は、欠陥の有無と同様に画像処理にて行っており、コンピュータ１５０は、押圧部材１３０の状態が正常であるか否かを監視する監視手段としての役割も担っている。より具体的には、コンピュータ１５０は、押圧部材本体１３１の変形量（曲がり量）及び回転の有無を監視している。

【0035】

ここで、押圧部材本体１３１の変形量や回転の有無を、撮影画像（画像データ）の画像処理を用いて行う手法は各種公知技術を採用し得るが、以下、その具体的な一例を説明する。

【0036】

＜＜押圧部材の変形量の監視＞＞
特に、図４及び図５を参照して、押圧部材１３０（より具体的には押圧部材本体１３１）の変形量の監視の仕方について説明する。図４は本発明の実施例に係る押圧部材の変形量の監視の仕方を説明する説明図であり、図５は本発明の実施例に係る押圧部材の変形量の監視手順を示すフローチャートである。

【0037】

丸棒で構成された押圧部材本体１３１の場合には、照明１７０により、押圧部材本体１３１の中心軸線に平行、かつ中央付近にハレーションＨが形成される。従って、ハレーションＨの中心線を検出することによって、押圧部材本体１３１の中心軸線の方向が分かり、押圧部材本体１３１がどの程度変形しているかを検出することが可能となる。そこで、本実施例においては、ハレーションＨの中心線を検出する方法を採用している。図４（ａ）は押圧部材本体１３１が変形していない状態を示し、同図（ｂ）は押圧部材本体１３１が変形して、曲がった状態を示している。

【0038】

コンピュータ（監視手段）１５０は、弾性体２１０の外周表面の欠陥の有無の検査の開始と共に、押圧部材１３０の変形量の監視も開始する。まず、コンピュータ１５０は、撮影画像のうちの押圧部材本体１３１の画像データを用いて、押圧部材本体１３１中のハレーションＨの境界位置を検出する（ステップＳ１１）。すなわち、コンピュータ１５０は、撮影画像のデータを用いて、図４中、予め定めた上部の第１サーチ位置ＹＨと、下部の第２サーチ位置ＹＬにおいて、ハレーションＨの幅方向の両側の境界位置をそれぞれ検出する。より具体的には、コンピュータ１５０は、第１サーチ位置ＹＨにおける左側の境界位置ＸＨＬ及び右側の境界位置ＸＨＲと、第２サーチ位置ＹＬにおける左側の境界位置ＸＬＬ及び右側の境界位置ＸＬＲをそれぞれ検出する。そして、コンピュータ１５０は、これらの検出結果から、第１サーチ位置ＹＨにおけるハレーションＨの中心位置ＸＨＭと、第２サーチ位置ＹＬにおけるハレーションＨの中心位置ＸＬＭとを算出する（ステップＳ１２）。

【0039】

その後、コンピュータ１５０は、この算出結果を用いて、第１サーチ位置ＹＨにおけるハレーションＨの中心位置ＸＨＭと、第２サーチ位置ＹＬにおけるハレーションＨの中心位置ＸＬＭとの差ＸＤ（絶対値）を算出する（ステップＳ１３）。ここで、図４（ａ）に示すように、押圧部材本体１３１が変形していない状態においては、この差ＸＤはほぼ０となる。これに対して、図４（ｂ）に示すように押圧部材本体１３１が変形により曲がった状態では、差ＸＤは大きな値となる。

【0040】

コンピュータ１５０は、この差ＸＤを算出した後に、差ＸＤが予め定めた閾値よりも大きいか否かを判定する（ステップＳ１４）。ここで、押圧部材本体１３１が変形することによって、弾性体２１０への押圧力が変化するため、押圧部材本体１３１の変形量と押圧
力との関係から、信頼性の高い検査が可能な押圧力を満足する変形量の範囲内で、上記の閾値は定められている。

【0041】

その後、コンピュータ１５０は、ステップ１４において、差ＸＤが閾値よりも大きな場合には、押圧部材１３０の状態が異常である（押圧部材本体１３１の変形量が大きい）と判定し（ステップＳ１５）、そうでない場合には、押圧部材１３０の状態が正常であると判定し（ステップＳ１６）、監視を終了する。

【0042】

本実施例では、押圧部材１３０の状態が異常であると判定した場合には、コンピュータ１５０は、欠陥の有無の検査自体も中止するようにしている。ただし、検査自体はそのまま続行して、例えば、ディスプレイ１６０に押圧部材１３０の状態が異常であることを表示したり、押圧部材１３０の状態が異常であることを知らせる警告音を鳴らせたりするようにしてもよい。

【0043】

なお、ここではハレーションＨの境界の位置情報に基づいて、押圧部材本体１３１の変形量を監視する手法を説明したが、押圧部材本体１３１の変形量を監視する手法はこれに限られるものではない。例えば、ハレーションＨを細線化して押圧部材本体１３１の中心線を見出す手法（スケルトン方式）や、ハレーションＨを追跡して、その軌跡から押圧部材本体１３１の中心線を見出す手法なども採用できる。また、押圧部材本体１３１と弾性体２１０の照度差が明確であれば、押圧部材本体１３１の境界の位置に基づいて、押圧部材本体１３１の変形量を監視することもできる。

【0044】

＜＜押圧部材の回転の有無の監視＞＞
特に、図６及び図７を参照して、押圧部材１３０（より具体的には押圧部材本体１３１）の回転の有無の監視の仕方について説明する。図６は本発明の実施例に係る押圧部材の回転の有無の監視の仕方を説明する説明図であり、図７は本発明の実施例に係る押圧部材の回転の有無の監視手順を示すフローチャートである。

【0045】

押圧部材本体１３１が回転している場合には、その表面の照度は刻々と変化する一方、回転していない場合には、その表面の照度は変化しない。従って、押圧部材本体１３１のある部分の照度が変化するか否かを検出することによって、押圧部材本体１３１が回転しているか否かを検出することが可能となる。

【0046】

本実施例においては、図６に示すように、押圧部材本体１３１の表面のうち、照度が変化しやすい、ハレーションＨの境界付近のラインＬ上の照度の変化を検出する手法を採用している。なお、ラインＬは、幅方向は１画素分で縦方向はＺ画素分（例えばＺ＝１００）に相当する。

【0047】

コンピュータ（監視手段）１５０は、弾性体２１０の外周表面の欠陥の有無の検査の開始と共に、押圧部材１３０の回転の有無の監視も開始する。まず、コンピュータ１５０は、撮影画像のうちの押圧部材本体１３１の画像データを用いて、ラインＬ上の各画素（図６中、Ｙ１，Ｙ２，Ｙ３・・・，ＹＺ）の照度を計測する（ステップＳ２１）。そして、コンピュータ１５０は、連続する撮影画像において、隣り合った撮影画像（例えば、１枚目と２枚目、２枚目と３枚目）におけるラインＬ上の同一位置の画素の照度の差の絶対値を全て算出し、かつ加算する（ステップＳ２２）。すなわち、コンピュータ１５０は、図６において、１枚目の撮影画像における画素Ｙ１の照度と、２枚目の撮影画像における画素Ｙ１の照度の差の絶対値を算出する。そして、コンピュータ１５０は、２枚目と３枚目、３枚目と４枚目についても同様に算出していき、最終の撮影画像に至るまで同様に算出する。これにより、画素Ｙ１における全ての照度差の和Ｐ１が求められる。これを、ラインＬ上の全ての画素について行うことで、画素Ｙ１〜ＹＺについて、それぞれの照度差の
和Ｐ１〜ＰＺが求められる。

【0048】

その後、コンピュータ１５０は、ラインＬ上の各画素における照度差の和Ｐ１〜ＰＺを全て加算して、総和ΣＰを算出する（ステップＳ２３）。そして、コンピュータ１５０は、この総和ΣＰが予め定めた閾値よりも小さいか否かを判定する（ステップＳ２４）。ここで、押圧部材本体１３１が回転している場合には、その表面の照度は刻々と変化するため、総和ΣＰは大きな値となる。一方、押圧部材本体１３１が、回転していない場合には、その表面の照度は変化しないため、理論上（理想的には）、総和ΣＰは０となる。ただし、現実的には、振動などの影響によって、回転していない場合でも、押圧部材本体１３１の表面の照度は多少変化する。そこで、これらを予め実験により検証しておくことで、例えば、閾値は、押圧部材本体１３１が回転しない場合における総和ΣＰの最大量よりも多少多めに見積もって設定しておけばよい。

【0049】

その後、コンピュータ１５０は、ステップＳ２４において、総和ΣＰが閾値よりも小さな場合には、押圧部材１３０の状態が異常である（押圧部材本体１３１が回転していない）と判定し（ステップＳ２５）、そうでない場合には、押圧部材１３０の状態が正常であると判定し（ステップＳ２６）、監視を終了する。上記の通り、本実施例においては、押圧部材１３０の状態が異常であると判定した場合には、コンピュータ１５０は、欠陥の有無の検査自体も中止するようにしている。

【0050】

なお、総和ΣＰを求めるのに、隣り合う撮影画像における画素Ｙ１〜ＹＺの照度差をそれぞれ計算して、全て加算したものを、全ての撮影画像分について加算しても、同一の結果が得られることは言うまでもない。また、押圧部材１３０（押圧部材本体１３１）の回転の有無の監視の仕方については、他の手法を採用してもよい。例えば、押圧部材本体１３１にマークを付しておき、当該マークを一定の間隔で検出する場合には、正常である（回転している）と判定し、所定時間以上マークを検出しなかったり、検出し続けた場合には異常である（回転していない）と判定することができる。

【0051】

＜本実施例に係る欠陥検査装置の優れた点＞
本実施例に係る欠陥検査装置１００によれば、検査対象である物品２００の弾性体２１０の外周表面の欠陥の有無を検査している最中に、押圧部材１３０の状態が正常であるか否かを、監視手段としてのコンピュータ１５０によって監視する構成を採用している。従って、弾性体２１０の欠陥の有無を検査している最中に、押圧部材１３０の状態が正常であるか否かが監視されるため、押圧部材１３０による押圧力を安定させることができ、検査能力を安定させることができる。これにより、検査の信頼性を高めることが可能となる。

【0052】

また、本実施例においては、コンピュータ１５０によって、押圧部材１３０（より具体的には押圧部材本体１３１）の変形量について監視する構成を採用している。従って、押圧部材本体１３１が変形してしまうことによる押圧力の変化（低下）を抑制することができる。

【0053】

更に、本実施例においては、コンピュータ１５０によって、押圧部材１３０（より具体的には押圧部材本体１３１）の回転の有無についても監視している。従って、押圧部材本体１３１が回転しない状態のまま検査を行ってしまうことを避けることができる。

【0054】

なお、押圧部材本体１３１が物品２００の回転に伴って従動回転する構成を採用しているので、押圧部材本体１３１と物品２００（弾性体２１０）との間の摺動を抑制できる。これにより、押圧部材本体１３１の摺動摩耗を抑制でき、その寿命を延ばすことができる。

【0055】

また、本実施例に係る欠陥検査装置１００によれば、画像処理によって、弾性体２１０の表面の欠陥の有無を検査すると共に、押圧部材１３０の状態が正常であるか否かを監視することができる。そして、本実施例においては、弾性体２１０の外周表面の欠陥の有無を検査するのに用いる撮影画像に、押圧部材１３０を監視するのに用いる画像が含まれている構成を採用している。従って、弾性体２１０の表面の欠陥の有無を検査するのに必要な撮影枚数で、押圧部材１３０の状態が正常であるか否かも監視できる。

【0056】

（その他）
本実施例に係る欠陥検査装置１００においては、弾性体２１０の外周表面を２本の押圧部材本体１３１によって押圧する構成を採用したが、押圧部材本体１３１の本数はこれに限られるものではない。なお、１本よりも２本の方が変形領域を広くすることができ、撮影枚数を少なくすることができる。また、本実施例においては、摺動摩耗を抑制するために、押圧部材本体１３１を回転可能に構成する場合を示したが、回転しない構成を採用することもできる。ただし、この場合には、押圧部材本体１３１の回転の有無の監視を行わないことは言うまでもない。また、上記実施例においては、弾性体２１０の外周表面の欠陥の有無を検査するのに用いる撮影画像に、押圧部材１３０を監視するのに用いる画像を含ませる構成を採用したが、欠陥の有無の検査用の撮影画像と、押圧部材１３０の監視用の撮影画像とを別々に撮影してもよい。また、撮影した全ての撮影画像において、押圧部材１３０の状態を監視するのが望ましいが、１枚おきとか２枚おきに押圧部材１３０の状態を監視することも可能である。

【符号の説明】

【0057】

１００ 欠陥検査装置
１１０ 回転機構
１１１ モータ
１１２ 回転軸
１２０ リニアアクチュエータ
１２１ ステッピングモータ
１２２ ボールねじ
１２３ スライダ
１２４ 支持部材
１２５ 設置台
１２６ 回転支持部材
１２６ａ 支持部材本体
１２６ｂ，１２６ｃ ボールベアリング
１３０ 押圧部材
１３１ 押圧部材本体
１３１ａ 環状溝部
１３２ フランジ部
１３３ Ｃリング
１４０ カメラ
１５０ コンピュータ
１６０ ディスプレイ
１７０ 照明
２００ 物品
２１０ 弾性体
２１０Ｘ 欠陥部
２１１ 環状突起
２２０ 金属環
Ｈ ハレーション
Ｌ ライン

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】