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特許5762811薄膜の加工方法、及び圧電振動子の周波数調整方法
発明の名称 薄膜の加工方法、及び圧電振動子の周波数調整方法
出願人 シチズンファインテックミヨタ株式会社 （識別番号 166948）
特許公開件数ランキング 948 位（23件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 1304 位（14件）（共同出願を含む）
出願人 国立大学法人長岡技術科学大学 （識別番号 304021288）
特許公開件数ランキング 1617 位（29件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 1178 位（29件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-5762811
公報発行日 2015年8月12
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5762811
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