発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

上述したように縦型浸漬式のめっき装置においてアノードホルダを用いてめっきを行うことには利点があるが、今日、配線の微細化やスループットの向上等の要求が更に高まり、以下に列挙するような機能が求められるようになってきた。
１）基板上に形成される配線の微細化によって、アノードへの通電の確実性が求められるようになった。
２）基板の大型化に伴いアノードも大型化するため、手動によってアノードを交換することはその重量から困難であり、新たな治具を必要とするなどの対応が必要となってきた。
３）アノード交換における作業時間の効率化が求められるようになってきた。 本発明は、上述の事情に鑑みなされたもので、アノードへ確実に通電することができ、アノードの交換を容易に行うことができ、アノード交換における作業時間の効率化を図ることができるめっき装置を提供することを目的とする。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明におけるアノードホルダによれば、以下に列挙する効果を奏する。
１）アノード交換時は、裏面カバーをはずし通電ベルトの締結具を緩めることによって交換することができるので、アノードの交換が容易である。
２）アノードマスクは、通常、アノード径よりも小さい径のものを使用するので、通電ベルトによって保持されたアノードを交換時期を過ぎて過度に使用しても、アノードホルダからの落下、導電不良になりにくい。
３）アノードホルダの下部に液抜き穴を設けたため、アノードホルダ内のめっき液の排出性が向上する。 本発明に係るめっき装置によれば、以下に列挙する効果を奏する。
１）全自動化された搬送ロボットにてアノードホルダを取り出すことができるため、アノードホルダの交換が容易となる。
２）装置からアノードホルダを取り出す際、搬送ロボットにてアノードホルダをめっき槽より取り出し、付着しためっき液を落とすために水洗槽にてアノードホルダを水洗し、ブロー槽にて水滴除去し、仮置き場よりアノードホルダを取り出すことができるため、アノードホルダの取り出し時に作業員がめっき液に触れることが少なくなり安全性が向上する。
３）容易にアノードホルダが取り出せる為、アノードマスクの交換が容易となる。
４）搬送ロボットはその位置決め精度が高く、位置の微調整が容易であるので、アノードホルダの設置位置再現性が向上し、基板とアノードの極間距離を容易に変更可能となる。