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株式会社荏原製作所

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  2025年 特許取得件数ランキング    第185位 128件 変わらず2024年:第185位 185件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7751399 研磨パッド、研磨装置、研磨方法 2025年10月 8日
特許 7747507 基板処理装置および基板処理方法 2025年10月 1日
特許 7747508 排ガスの除害装置 2025年10月 1日
特許 7746049 研磨装置のトップリング及び研磨装置 2025年 9月30日
特許 7746217 処理システムおよびパッド搬送装置 2025年 9月30日
特許 7745509 磁気軸受装置 2025年 9月29日
特許 7745817 メンテナンス治具、めっき装置、および、給電コンタクトのメンテナンス方法 2025年 9月29日
特許 7741016 給水装置、および給水装置の運転方法 2025年 9月17日
特許 7738524 電子線観察装置の1次光学系を評価する方法、そのために用いられる評価装置およびその製造方法 2025年 9月12日
特許 7735084 基板処理装置および基板処理方法 2025年 9月 8日
特許 7734478 電磁石装置 2025年 9月 5日
特許 7734532 基板処理装置、基板処理装置内の配管を洗浄する方法 2025年 9月 5日
特許 7733453 ワークピース処理装置およびワークピース処理方法 2025年 9月 3日
特許 7733487 研磨装置および研磨方法 2025年 9月 3日
特許 7732785 液体供給装置および研磨装置 2025年 9月 2日

128 件中 1-15 件を表示

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7751399 7747507 7747508 7746049 7746217 7745509 7745817 7741016 7738524 7735084 7734478 7734532 7733453 7733487 7732785

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