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株式会社荏原製作所

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7638140 立軸ポンプ及び立軸ポンプの先行待機運転方法 2025年 3月 3日
特許 7638417 基板保持装置および基板処理装置 2025年 3月 3日
特許 7637482 基板処理装置及び研磨部材のドレッシング制御方法 2025年 2月28日
特許 7637568 供給液体製造装置 2025年 2月28日
特許 7637830 めっき装置及びめっき方法 2025年 2月28日
特許 7637834 めっき装置およびめっき装置用抵抗体 2025年 2月28日
特許 7634749 ポンプ装置及び電動機 2025年 2月21日
特許 7634784 めっき装置、及びめっき槽をアノード室とカソード室とに区画する方法 2025年 2月21日
特許 7630987 基板処理装置 2025年 2月18日
特許 7631338 基板処理装置、プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体、および基板処理方法 2025年 2月18日
特許 7630361 グリス供給方法及びグリス供給システム 2025年 2月17日
特許 7630758 めっき装置 2025年 2月17日
特許 7629295 渦電流センサ 2025年 2月13日
特許 7628897 基板洗浄装置、基板処理装置、ブレークイン装置、基板に付着する微粒子数の推定方法、基板洗浄部材の汚染度合い判定方法およびブレークイン処理の判定方法 2025年 2月12日
特許 7626695 めっき装置およびめっき方法 2025年 2月 4日

27 件中 1-15 件を表示

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7638140 7638417 7637482 7637568 7637830 7637834 7634749 7634784 7630987 7631338 7630361 7630758 7629295 7628897 7626695

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