発明の名称 MEMS及びASICを備える小型化した電気的デバイス及びその製造方法
出願人 エプコス アーゲー (識別番号 510263560)
特許公開件数ランキング 7753 位(0件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 6351 位(0件)(共同出願を含む)
公報番号 特許-5763682
公報発行日 2015年8月12
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5763682
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