特許第5764067号(P5764067)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許5764067固定砥粒ワイヤーソー用水溶性切断液、それを用いたインゴットの切断方法、そのリサイクル方法及び切断によって得られるウェハー
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