特許 5765549 物品搬送装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5765549

(24)【登録日】2015年6月26日

(45)【発行日】2015年8月19日

(54)【発明の名称】物品搬送装置

(51)【国際特許分類】

   B65G 1/00 20060101AFI20150730BHJP

   H01L 21/677 20060101ALI20150730BHJP

【ＦＩ】

   B65G1/00 501C

   H01L21/68 A

【請求項の数】6

【全頁数】15

(21)【出願番号】特願2010-224890(P2010-224890)

(22)【出願日】2010年10月4日

(65)【公開番号】特開2012-76898(P2012-76898A)

(43)【公開日】2012年4月19日

【審査請求日】2012年12月28日

(73)【特許権者】

【識別番号】000003643

【氏名又は名称】株式会社ダイフク

(74)【代理人】

【識別番号】100107308

【弁理士】

【氏名又は名称】北村 修一郎

(74)【代理人】

【識別番号】100128901

【弁理士】

【氏名又は名称】東 邦彦

(74)【代理人】

【識別番号】100149331

【弁理士】

【氏名又は名称】木村 昌人

(72)【発明者】

【氏名】内野 喜一

【審査官】 大野 明良

(56)【参考文献】

【文献】 実開平０６−０２７８６６（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 特開２０００−１４２４１７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平１１−２３８７８７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００３−３４１８３６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００７−２１７０７６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平１０−３３９０７１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平１０−２１８３１８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００８−１６９００５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平１１−２０８４６５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００３−２６４２１９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 実開昭６２−１０８３８３（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 特開２００７−２２７７６０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平１０−２０１６９１（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｂ６５Ｇ １／００− １／２０

Ｂ６５Ｇ ４９／００−４９／０８

Ｂ６１Ｂ １／００−１５／００

Ｈ０１Ｌ ２１／６７−２１／６８３

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

天井側の案内レールに沿って移動自在な移動体に、物品を保持自在な物品保持部が前記移動体に接近位置する上昇位置とその上昇位置よりも下方側の下降位置とに昇降自在に備えられ、前記移動体には、前記上昇位置に位置する前記物品保持部にて保持された物品の周囲を覆う収納空間が形成され、その収納空間の下端部には、前記上昇位置と前記下降位置との間での前記物品保持部の昇降を可能とする開口部が形成され、前記収納空間内に空気浄化用フィルタを通して浄化空気を通風する浄化空気通風手段が備えられている物品搬送装置であって、
横軸心周りでの揺動により前記開口部を開口する開位置と前記開口部を閉塞する閉位置とに位置変更自在な開閉体と、前記物品保持部を前記上昇位置と前記下降位置との間で昇降させる場合には、前記開閉体を前記開位置に位置させ、前記物品保持部の前記上昇位置と前記下降位置との間での昇降が終了すると、前記開閉体を前記開位置から前記閉位置に位置変更させる開閉制御手段が備えられ、
前記浄化空気通風手段は、前記収納空間における前記移動体の移動方向の前端側と後端側とに対向して一対備えられて、前記収納空間に対して前記移動体の移動方向の前方側及び後方側の両側から浄化空気を通風するように構成され、
前記収納空間内の空気を前記収納空間の外部に排出自在で且つその排出量を調整自在な排出手段が、対向して一対備えられ、
前記一対の浄化空気通風手段は前記一対の排出手段よりも上方に位置するように配設され、
前記一対の浄化空気通風手段と前記一対の排出手段とは、平面視でその並び方向が直交する形態で備えられている物品搬送装置。

【請求項2】

前記開閉体は、前記開口部の一端部を揺動軸心とする第１開閉体と前記開口部の他端部を揺動軸心とする第２開閉体とを備え、前記第１開閉体と前記第２開閉体が互いに離間する側に揺動して前記開位置に位置変更自在であり、前記第１開閉体と前記第２開閉体が互いに接近する側に揺動して前記第１開閉体の先端と前記第２開閉体の先端とが当接する前記閉位置に位置変更自在に構成されている請求項１に記載の物品搬送装置。

【請求項3】

前記第１開閉体の揺動側の先端部には、前記第１開閉体が前記閉位置に位置する状態において、前記閉位置に位置する前記第２開閉体の揺動側の先端部に当接する開閉体間当接部が備えられている請求項２に記載の物品搬送装置。

【請求項4】

前記開位置は、前記収納空間内の前記閉位置よりも上方側に設定されている請求項１〜３の何れか１項に記載の物品搬送装置。

【請求項5】

前記移動体には、前記閉位置に位置する前記開閉体に当接する移動体側当接部が備えられている請求項１〜４の何れか１項に記載の物品搬送装置。

【請求項6】

前記物品は、レチクルをその内部の密閉空間に収納自在なレチクル用カセットにて構成されている請求項１〜５の何れか１項に記載の物品搬送装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、天井側の案内レールに沿って移動自在な移動体に、物品を保持自在な物品保持部が前記移動体に接近位置する上昇位置とその上昇位置よりも下方側の下降位置とに昇降自在に備えられ、前記移動体には、前記上昇位置に位置する前記物品保持部にて保持された物品の周囲を覆う収納空間が形成され、その収納空間の下端部には、前記上昇位置と前記下降位置との間での前記物品保持部の昇降を可能とする開口部が形成され、前記収納空間内に空気浄化用フィルタを通して浄化空気を通風する浄化空気通風手段が備えられている物品搬送装置に関する。

【背景技術】

【0002】

上記のような物品搬送装置は、搬送元の物品搬送箇所から搬送先の物品搬送箇所に物品を搬送する場合に、まず、移動体が搬送元の物品搬送箇所に対応する停止位置まで移動し、物品保持部を上昇位置から下降位置に下降させて、下降位置に位置する物品保持部と物品搬送箇所との間で物品の授受を行うことで、搬送元の物品搬送箇所から物品を受け取る。その後、物品搬送装置は、下降位置から上昇位置に物品保持部を上昇させて、上昇位置に位置する物品保持部にて物品を保持しながら、移動体が搬送先の物品搬送箇所に対応する停止位置まで移動し、物品保持部を上昇位置から下降位置に下降させて、下降位置に位置する物品保持部と物品搬送箇所との間で物品の授受を行うことで、搬送先の物品搬送箇所に物品を受け渡すようにしている。

【0003】

このようにして、物品搬送装置は、移動体による移動及び物品保持部の昇降を行うことで、複数の物品搬送箇所の間での物品搬送を行う。このような物品搬送装置は、例えば、クリーンルーム内で複数の物品搬送箇所の間で物品を搬送するために用いられており、物品搬送箇所は、物品に対して様々な処理を行う物品処理部となっている。したがって、物品については、その搬送中においても清浄な状態が維持されることが望まれている。
そこで、従来の物品搬送装置では、上昇位置に位置する物品保持部にて保持された物品の周囲を覆う収納空間を移動体に形成し、その収納空間内に空気浄化用フィルタを通して浄化空気を通風する浄化空気通風手段を備えている（例えば、特許文献１参照。）。これにより、物品保持部を上昇位置に位置させて移動体による移動を行う場合に、収納空間に収納されている物品に対して浄化空気を通風して、搬送中の物品を清浄な状態に保つようにしている。

【0004】

上記特許文献１に記載の装置では、収納空間が矩形状に形成されており、浄化空気通風手段として、送風ファンとその送風ファンによって生成された空気流が通過するエアフィルタとを有するクリーンユニットが備えられている。そして、クリーンユニットは、エアフィルタを通過した清浄な空気が収納空間の一側面（移動体の走行方向の前方側の一側面）のほぼ全域から収納空間内に吹き出すように配設されている。また、収納空間内の物品の全体に対して清浄な空気流を供給するために、収納空間においてクリーンユニットと反対側の面に清浄な空気流を誘導する整流板を備えるとともに、収納空間においてクリーンユニット側の面には、清浄な空気流の流れ方向を調整するフィンが縦方向に間隔を隔てて複数備えられている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特許第３２２６０１７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

上述のような物品搬送装置では、物品保持部を上昇位置と下降位置との間で昇降させることで、物品処理部等の物品搬送箇所と物品保持部との間での物品の授受を行うようにしている。したがって、収納空間の下端部には、上昇位置と下降位置との間での物品保持部の昇降を可能とする開口部が形成されている。その為に、塵埃が収納空間の外部から開口部を通して収納空間内に侵入することがあり、その塵埃が収納空間内に収納されている物品に付着することがある。
そこで、上記特許文献１に記載の装置では、複数のフィンにて清浄な空気流の流れ方向を調整して開口部を遮蔽するエアカーテンを形成することで、収納空間の外部から開口部を通して収納空間内に塵埃が侵入するのを防止している。しかしながら、例えば、空気流に多少の乱れが生じただけでも、開口部を通して収納空間内に塵埃が侵入してしまう虞がある。したがって、エアカーテンを形成するだけでは、開口部を通して収納空間内へ塵埃が侵入するのを防止することは難しいものとなっていた。

【0007】

また、搬送対象の物品を、例えば、半導体や液晶ディスプレイパネル等の露光用のレチクルを収納したレチクル用カセットとした場合には、アンモニアや二酸化硫黄等の物質が開口部を通して収納空間内に侵入して、その物質がレチクル用カセットに付着すると、ヘイズ（曇）が発生して、レチクルの品質に悪影響を与える可能性がある。そこで、レチクル用カセットにアンモニアや二酸化硫黄等の物質が付着することを防止することが求められているが、上記特許文献１に記載の装置では、エアカーテンを形成するだけであるので、開口部から収納空間内にアンモニアや二酸化硫黄等の物質が侵入することを防止し難いものとなっている。

【0008】

以下、アンモニアや二酸化硫黄等の物質がレチクル用カセットに付着すると、ヘイズ（曇）が発生する点について説明を加える。
搬送対象の物品となるレチクル用カセットは、例えば、カセット本体とそのカセット本体に対して装着自在で且つカセット本体から取り外し自在な蓋体とから構成されている。そして、例えば、蓋体の裏面側にレチクルを支持しており、カセット本体に蓋体を装着することで、レチクル用カセット内に形成される密閉空間にレチクルを収納して、レチクルを清浄な状態に保つようにしている。物品搬送箇所となる物品処理部では、レチクルを用いて露光等の処理を行うので、下降位置に下降された物品保持部と物品処理部との間でレチクルの授受を行うことになる。このレチクルの授受は、レチクル単体を授受するのではなく、レチクルを支持した蓋体等、レチクル用カセットの一部ごと授受するようにしている。したがって、物品処理部には、レチクル用カセットの一部が搬送されることになるので、そのレチクル用カセットの一部に空気中のアンモニアや二酸化硫黄等が付着していると、露光等の処理を行う際に、光エネルギーが加えられ、アンモニアや二酸化硫黄等が化学反応を起し、二酸化アンモニウム等のヘイズ（曇）の原因となる物質が生成させることになる。このようにして、アンモニアや二酸化硫黄等の物質がレチクル用カセットに付着すると、ヘイズ（曇）が発生してしまう。

【0009】

本発明は、かかる点に着目してなされたものであり、その目的は、搬送中の物品に対して、塵埃が付着するのを防止するだけでなく、アンモニアや二酸化硫黄等の物質が付着することも防止できる物品搬送装置を提供する点にある。

【課題を解決するための手段】

【0010】

この目的を達成するために、本発明に係る物品搬送装置の第１特徴構成は、天井側の案内レールに沿って移動自在な移動体に、物品を保持自在な物品保持部が前記移動体に接近位置する上昇位置とその上昇位置よりも下方側の下降位置とに昇降自在に備えられ、前記移動体には、前記上昇位置に位置する前記物品保持部にて保持された物品の周囲を覆う収納空間が形成され、その収納空間の下端部には、前記上昇位置と前記下降位置との間での前記物品保持部の昇降を可能とする開口部が形成され、前記収納空間内に空気浄化用フィルタを通して浄化空気を通風する浄化空気通風手段が備えられている物品搬送装置において、
横軸心周りでの揺動により前記開口部を開口する開位置と前記開口部を閉塞する閉位置とに位置変更自在な開閉体と、前記物品保持部を前記上昇位置と前記下降位置との間で昇降させる場合には、前記開閉体を前記開位置に位置させ、前記物品保持部の前記上昇位置と前記下降位置との間での昇降が終了すると、前記開閉体を前記開位置から前記閉位置に位置変更させる開閉制御手段が備えられ、
前記浄化空気通風手段は、前記収納空間における前記移動体の移動方向の前端側と後端側とに対向して一対備えられて、前記収納空間に対して前記移動体の移動方向の前方側及び後方側の両側から浄化空気を通風するように構成され、
前記収納空間内の空気を前記収納空間の外部に排出自在で且つその排出量を調整自在な排出手段が、対向して一対備えられ、
前記一対の浄化空気通風手段は前記一対の排出手段よりも上方に位置するように配設され、
前記一対の浄化空気通風手段と前記一対の排出手段とは、平面視でその並び方向が直交する形態で備えられている点にある。

【0011】

本特徴構成によれば、開閉体を閉位置に位置させることで、収納空間を密閉空間とすることができ、その密閉空間である収納空間に浄化空気通風手段にて浄化空気を通風させて、収納空間を浄化空気にて満たすことができる。このように、収納空間を浄化空気で満たすことで、収納空間に収納されている物品に対して、塵埃が付着するのを防止するだけでなく、アンモニアや二酸化硫黄等の物質が付着することも防止できる。
そして、開閉制御手段は、物品保持部を上昇位置と下降位置との間で昇降させる場合に、開閉体を開位置に位置させ、物品保持部の上昇位置と下降位置との間での昇降が終了すると、開位置から閉位置に開閉体を位置変更させるので、物品保持部を昇降させる場合のみ開口部を開口し、それ以外の場合には開口部を閉塞体にて閉塞しておくことができる。これにより、物品保持部を上昇位置に位置させて移動体による移動中等、物品保持部を昇降させる以外のときには、収納空間を浄化空気にて満たし、物品に対して、塵埃が付着するのを防止するだけでなく、アンモニアや二酸化硫黄等の物質が付着することも防止できる。
また、開位置と閉位置との間での開閉体の位置変更は、横軸心周りでの揺動により行われるので、例えば、摺動を伴うスライド移動で行うものと比べて、簡易な構成としながら、塵埃の発生自体を防止することができ、搬送中の物品に対して塵埃が付着するのを適切に防止することができる。
また、本特徴構成によれば、浄化空気通風手段によって収納空間内に通風された浄化空気の一部を排出手段にて収納空間の外部に排出することができるので、収納空間内の空気の一部を浄化空気通風手段によって新たに通風される浄化空気と入れ替えながら、収納空間内を浄化空気にて満たすことができる。そして、排気手段による空気の排出量を調整することで、収納空間内の空気の一部を浄化空気通風手段によって新たに通風される浄化空気と入れ替えることを確実に行うことができ、収納空間内の清浄化の向上を図ることができる。

【0012】

本発明に係る物品搬送装置の第２特徴構成は、前記開閉体は、前記開口部の一端部を揺動軸心とする第１開閉体と前記開口部の他端部を揺動軸心とする第２開閉体とを備え、前記第１開閉体と前記第２開閉体が互いに離間する側に揺動して前記開位置に位置変更自在であり、前記第１開閉体と前記第２開閉体が互いに接近する側に揺動して前記第１開閉体の先端と前記第２開閉体の先端とが当接する前記閉位置に位置変更自在に構成されている点にある。

【0013】

開閉体にて開口部を閉塞するに当たり、１つの開閉体にて開口部を閉塞すると、開閉体の大きさが大きくなるとともに、その大きな開閉体を閉位置と開位置とに位置変更させるための構成を備えなければならず、その構成の大型化及び複雑化を招く虞がある。
そこで、本特徴構成では、開閉体を第１開閉体と第２開閉体との２つの開閉体から構成することで、簡易な構成としながら、開口部の開閉を的確に行うことができる。また、第１開閉体及び第２開閉体を閉位置に位置させた場合には、第１開閉体の先端と第２開閉体の先端とが当接するので、第１開閉体及び第２開閉体によって開口部を適切に閉塞し、収納空間を適切に密閉空間とすることができる。

【0014】

本発明に係る物品搬送装置の第３特徴構成は、前記第１開閉体の揺動側の先端部には、前記第１開閉体が前記閉位置に位置する状態において、前記閉位置に位置する前記第２開閉体の揺動側の先端部に当接する開閉体間当接部が備えられている点にある。

【0015】

本特徴構成によれば、第１開閉体及び第２開閉体を閉位置に位置させた場合には、第１開閉体の先端と第２開閉体の先端との当接に加えて、第１開閉体に備えられた開閉体間当接部と第２開閉体との間でも当接することができるので、第１開閉体と第２開閉体との間での隙間を確実に無くしながら開口部を閉塞することができ、収納空間を確実に密閉空間とすることができる。

【0018】

本発明に係る物品搬送装置の第４特徴構成は、前記開位置は、前記収納空間内の前記閉位置よりも上方側に設定されている点にある。

【0019】

本特徴構成によれば、開閉体を開位置に位置させると、開閉体が開口部を閉塞する閉位置よりも上方側で収納空間内に位置することになり、開閉体を収納空間に収納させておくことができる。よって、開閉体を開位置に位置させた場合でも開閉体が移動体の外側に飛び出すことなく、他の装置との干渉等の問題を生じることもなく、限られたスペースを有効に活用することができる。
そして、開閉体を閉位置から開位置に位置変更させる際には、開閉体を上方側に揺動させて収納空間内に収納させる。このとき、収納空間内には、浄化空気通風手段によって浄化空気が通風されているので、収納空間内の圧力が高くなっており、その圧力に抗して開閉体を揺動させなければならない。しかしながら、上記第４特徴構成で述べた如く、排出手段によって収納空間内の空気の一部が収納空間の外部に排出されているので、収納空間内の圧力が高くなり過ぎるのを防止することができる。したがって、開閉体を閉位置から開位置に揺動させる際に必要となる駆動力が大きくなりすぎるのを防止することができ、その駆動力を発生する駆動手段の構成の簡素化及び小型化を図ることができる。

【0020】

本発明に係る物品搬送装置の第５特徴構成は、前記移動体には、前記閉位置に位置する前記開閉体に当接する移動体側当接部が備えられている点にある。

【0021】

本特徴構成によれば、開閉体が閉位置に位置する場合には、移動体に備えられた移動体側当接部に開閉体が当接するので、その当接によって移動体と開閉体との間での隙間を無くしながら開口部を閉塞することができ、収納空間を確実に密閉空間とすることができる。

【0022】

本発明に係る物品搬送装置の第６特徴構成は、前記物品は、レチクルをその内部の密閉空間に収納自在なレチクル用カセットにて構成されている点にある。

【0023】

発明が解決しようとする課題でも述べた如く、搬送対象の物品をレチクル用カセットとした場合には、アンモニアや二酸化硫黄等の物質がレチクル用カセットに付着すると、ヘイズ（曇）が発生して、レチクルの品質に悪影響を与える可能性がある。そこで、上述の第１特徴構成で述べた如く、開閉体を閉位置に位置させることで、収納空間を浄化空気にて満たし、収納空間に収納されているレチクル用カセットに対して、アンモニアや二酸化硫黄等の物質が付着することを適切に防止できる。したがって、レチクルの品質に悪影響を与えることがなく、レチクルの品質を維持することができながら、レチクルの搬送を適切に行うことができる有用な搬送装置となる。

【図面の簡単な説明】

【0024】

【図1】本発明に係る物品搬送装置を適応した物品搬送設備の概略図

【図2】物品搬送車の前後方向に沿う方向視での物品搬送車の正面図

【図3】物品搬送車の横幅方向に沿う方向視での物品搬送車の側面図

【図4】開閉体の要部を示す図

【発明を実施するための形態】

【0025】

本発明に係る物品搬送装置を適応した物品搬送設備の実施形態を図面に基づいて説明する。
この物品搬送設備は、図１〜図３に示すように、複数の物品処理部１を経由する状態で案内レール２が天井側に設置されており、案内レール２に沿って一方向に移動自在な天井搬送式の物品搬送車３（本発明に係る物品搬送装置）が設けられている。案内レール２は、案内レール用ブラケット６により天井部に固定状態で設置されている。物品処理部１では、様々な処理を行うように構成されており、物品搬送車３は、複数の物品処理部１の間で物品（レチクル用カセット５）を搬送自在に構成されている。

【0026】

ここで、図１は、物品搬送車３と物品処理部１との間での物品の授受を示す物品搬送設備の概略図である。図１の下方側には、物品搬送車３が物品処理部１からレチクル用カセット５を受け取る場合を示しており、図１の上方側には、物品搬送車３が物品処理部１にレチクル用カセット５を受け渡す場合を示している。図２は、物品搬送車３の前後方向（図中Ｘ方向）に沿う方向視での物品搬送車３の正面図であり、図３は、物品搬送車３の横幅方向（図中Ｙ方向）に沿う方向視での物品搬送車３の側面図である。

【0027】

この物品搬送設備では、図１〜３に示すように、物品搬送車３にて搬送する搬送対象の物品が、レチクル４をその内部の密閉空間に収納自在なレチクル用カセット５にて構成されている。ここで、レチクル４とは、物品処理部１にて半導体や液晶ディスプレイパネル等の露光等の処理に用いるものである。レチクル用カセット５は、上方側が閉塞され且つ下方側が開口された筒状のカセット本体５ａとそのカセット本体５ａの下方側の開口を閉塞自在な蓋体５ｂとを備えて構成されている。そして、カセット本体５ａに蓋体５ｂを装着することで、レチクル用カセット５内に密閉空間が形成されており、例えば、蓋体５ｂの裏面等にレチクル４を支持させることで、レチクル用カセット５内の密閉空間にレチクル４が収納されている。

【0028】

図１に示すように、物品処理部１の夫々には、物品搬送車３との間でレチクル用カセット５を授受するための物品移載用のステーション１７が備えられている。ステーション１７は、レチクル用カセット５を載置支持自在な載置部等により構成されている。ステーション１７には、レチクル用カセット５の一部（例えば蓋体５ｂ）を保持自在で且つそのレチクル用カセット５の一部（例えば蓋体５ｂ）を保持した状態で物品処理部１の内部との間で昇降自在な昇降台１８が備えられている。
図１の上方側に示すように、物品搬送車３からステーション１７にレチクル用カセット５が移載された場合には、例えば、図外の蓋体装着離脱装置にてカセット本体５ａからレチクル５を支持した蓋体５ｂが取り外され、昇降台１８が取り外された蓋体５ｂを保持する状態で下降する。これにより、レチクル４単体ではなく、レチクル４を支持するレチクル用カセット５の一部（例えば蓋体５ｂ）ごと物品処理部１内に搬送するように構成されている。
また、図１の下方側に示すように、例えば、物品処理部１での処理が終了すると、昇降台１８がレチクル４を支持した蓋体５ｂを保持する状態で物品処理部１内からステーション１７に上昇し、図外の蓋体装着離脱装置にて蓋体５ｂがカセット本体５ａに装着される。

【0029】

物品搬送車３は、図１〜図３に示すように、車体本体部７（移動体に相当する）と、案内レール２上を走行する走行部８と、レチクル用カセット５を吊り下げ状態で把持する把持部９（物品保持部に相当する）とを備えている。走行部８は、物品搬送車３の前後方向（図中Ｘ方向であり、以下、単に、前後方向Ｘと呼称する）に間隔を隔てて車体本体部７の前端部に相当する位置と後端部に相当する位置とに前後一対設けられている。把持部９は、車体本体部７に対して昇降自在に備えられている。

【0030】

前後一対の走行部８の夫々には、図２及び図３に示すように、電動式の駆動モータ１０にて回転駆動されて左右一対の案内レール２夫々の水平面に沿う上面を転動する走行輪１１と、左右一対の案内レール２夫々の対向する上下方向に沿う側面に当接して自由回転自在な案内輪１２とが備えられている。走行輪１１は、物品搬送車３の横幅方向（図中Ｙ方向であり、以下、単に、横幅方向Ｙと呼称する）の両端部に１つずつ配設されている。案内輪１２は、横幅方向Ｙの両端部に前後方向Ｘに並ぶ状態で２つずつ配設されている。走行部８は、駆動モータ１０により走行輪１１が水平軸心周りで回転駆動され、上下軸心周りで回転自在な案内輪１２が一対の案内レール２に当接して水平方向で案内されることにより、案内レール２に案内されて走行するように構成されている。

【0031】

車体本体部７は、図３に示すように、物品搬送車３の前方側から順に位置する、前端側部位７ａ、中間部位７ｂ、後端側部位７ｃから構成されている。中間部位７ｂは、前後方向Ｘに延びる形状に形成され、前端側部位７ａは、中間部位７ｂにおいて物品搬送車３の前端部から下方側に延びる形状に形成され、後端側部位７ｃは、中間部位７ｂにおいて物品搬送車３の後端部から下方側に延びる形状に形成されている。前端側部位７ａと後端側部位７ｂとの間には、把持部９が配設されており、中間部位７ｂには、把持部９を昇降させるための電動式の昇降用モータ１３、把持部９を上下軸心周りで旋回させるための電動式の旋回用モータ２０が収納されている。

【0032】

昇降用モータ１３は、ベルト１５（ベルトに限らず、例えばワイヤを適応することも可能である）が巻回された回転ドラム１６を回転駆動することで、ベルト１５を巻き取り又は繰り出すことにより、上昇位置と下降位置とに把持部９を昇降自在に構成されている。上昇位置は、図１〜図３に示すように、車体本体部７に接近位置する位置であり、物品搬送車３が走行する場合には、把持部９を上昇位置に位置させている。下降位置は、図１に示すように、床面側に設置された物品処理部１の夫々に対応する物品移載用のステーション１７との間で物品移載を行うための位置である。

【0033】

把持部９は、図３に示すように、車体本体部７の上端部から下方側に延びる旋回軸１９により車体本体部７に対して上下軸心周りで回転自在に連結されている。そして、旋回用モータ２０は、回転駆動力伝達部２１を介して旋回軸１９を上下軸心周りに回転駆動することで、把持部９を上下軸心周りに旋回自在に構成されている。

【0034】

把持部９は、図２及び図３に示すように、レチクル用カセット５を把持するための把持具２２、及び、レチクル用カセット５を把持する把持姿勢とその把持を解除する把持解除姿勢とに把持具２２を姿勢切換操作するための電動式の把持用モータ２３を備えている。図２及び図３では、把持具２２を把持姿勢に切り換えた状態を示している。

【0035】

図２に示すように、物品搬送車３に駆動用電力を給電するための給電線３１が、左右一対の案内レール２の夫々に固定支持されており、案内レール２に沿って延びるように配設されている。物品搬送車３の車体本体部７には、給電線３１から無接触で駆動用電力が給電される受電部３２（受電コイル）が備えられている。そして、給電線３１に交流電流を通電することで磁界を発生させ、この磁界により駆動用電力を受電部３２に発生させて、無接触状態で給電を行うように構成されている。これにより、給電線３１から無接触で駆動用電力を受電部３２に給電することで、物品搬送車３がその駆動用電力により走行部８の走行及び把持部９の昇降等を行うようになっている。

【0036】

本発明に係る物品搬送装置である物品搬送車３は、クリーンルーム内で複数の物品処理部１の間でレチクル用カセット５を搬送するために用いられている。そのために、物品搬送車３にてレチクル用カセット５を搬送する搬送中においても、レチクル用カセット５を清浄に保つことが求められている。そこで、本発明に係る物品搬送車３では、搬送中においても、レチクル用カセット５を清浄に保つための構成が備えられている。
以下、本発明に係る物品搬送車３におけるレチクル用カセット５を清浄に保つための構成について説明する。

【0037】

物品搬送車３は、把持部９を上昇位置に位置させた状態で走行部８が走行することで、複数の物品処理部１の間での走行を行う。そこで、本発明に係る物品搬送車３では、上昇位置に位置する把持部９にて把持されたレチクル用カセット５を清浄に保つようにしている。図２及び図３に示すように、物品搬送車３の車体本体部７には、上昇位置に位置する把持部９にて把持されたレチクル用カセット５の周囲を覆う収納空間Ｋが形成されている。そして、その収納空間Ｋ内に空気浄化用フィルタを通して浄化空気を通風する浄化空気通風手段２６が備えられており、この浄化空気通風手段２６にて通風される浄化空気にて収納空間Ｋ内を満たすことによって、レチクル用カセット５を清浄に保つように構成されている。

【0038】

収納空間Ｋについて説明を加える。
上述の如く、図３に示すように、車体本体部７は、前端側部位７ａと中間部位７ｂと後端側部位７ｃとから構成されている。上昇位置に位置する把持部９及びその把持部９に把持されたレチクル用カセット５は、前端側部位７ａによって物品搬送車３の前方側が覆われており、後端側部位７ｂによって物品搬送車３の後方側が覆われており、中間部位７ｂによって上方側が覆われている。上昇位置に位置する把持部９及びその把持部９に把持されたレチクル用カセット５に対して、横幅方向Ｙの両側を覆うために、前端側部位７ａと後端側部位７ｂとの横幅方向Ｙの端部同士を連結する板状の連結体２４が設けられている。このようにして、収納空間Ｋは、前端側部位７ａと中間部位７ｂと後端側部位７ｃと連結体２４とから囲まれた直方体状の空間に形成されている。
そして、図２及び図３に示すように、収納空間Ｋは、完全に密閉された空間ではなく、収納空間Ｋの下端部には、収納空間Ｋ内の上昇位置と収納空間Ｋの外部の下降位置との間での把持部９の昇降を可能とする開口部２５が形成されている。これにより、把持部９が開口部２５を通して上昇位置と下降位置との間で昇降を行うことができるようになっている。

【0039】

浄化空気通風手段２６について説明を加える。
詳細な図示は省略するが、浄化空気通風手段２６は、送風ファンと空気浄化用フィルタとが一体的に備えられたファンフィルタユニットにて構成されている。空気浄化用フィルタとしては、例えば、アンモニアや二酸化硫黄等の物質を除去可能なケミカルフィルタが用いられており、除去したい物質に応じてどのフィルタを用いるかが選択可能となっている。浄化空気通風手段２６は、前端側部位７ａと後端側部位７ｃに１つずつ備えられており、収納空間Ｋに対して物品搬送車３の前方側及び後方側の両側から浄化空気を通風するように構成されている。浄化空気通風手段２６の上下方向での配置位置については、例えば、図３に示すように、上昇位置に位置する把持部９にて把持されたレチクル用カセット５よりも下方側に浄化空気通風手段２６を配置している。これにより、レチクル用カセット５の蓋体５ｂの外表面（レチクル用カセット５の外表面）に対して浄化空気を適切に通風させることができ、蓋体５ｂの外表面（レチクル用カセット５の外表面）に対して、塵埃等が付着するのを適切に防止できるだけでなく、アンモニアや二酸化硫黄等の物質が付着するのも適切に防止することができる。

【0040】

上述の如く、収納空間Ｋには、把持部９を昇降させるための開口部２５が形成されているので、浄化空気通風手段２６から浄化空気を収納空間Ｋに通風させても、収納空間Ｋを浄化空気で満たすことが難しい。そこで、本発明に係る物品搬送車３では、把持部９が上昇位置に位置するときに、収納空間Ｋを密閉空間とするために、開口部２５を開口する開位置と開口部２５を閉塞する閉位置とに位置変更自在な開閉体２７が備えられている。

【0041】

開閉体２７は、図３に示すように、開口部２５の一端部（物品搬送車３の前方側の端部）を揺動軸心とする第１揺動軸心２８ａ周りで揺動自在な第１開閉体２７ａと、開口部２５の他端部（物品搬送車３の後方側の端部）を揺動軸心とする第２揺動軸心２８ｂ周りで揺動自在な第２開閉体２７ｂとから構成されている。
そして、第１開閉体２７ａと第２開閉体２７ｂとは、互いに離間する側に揺動して開位置（図３中点線にて示す）に位置変更自在であり、互いに接近する側に揺動して第１開閉体２７ａの先端と第２開閉体２７ｂの先端とが当接する閉位置（図３中実線にて示す）に位置変更自在に構成されている。第１揺動軸心２８ａ及び第２揺動軸心２８ｂは、駆動モータ等の図外の駆動手段により回転駆動自在に設けられており、駆動手段が第１揺動軸心２８ａ及び第２揺動軸心２８ｂを回転駆動することで、第１開閉体２７ａ及び第２開閉体２７ｂが揺動するように構成されている。

【0042】

第１開閉体２７ａ及び第２開閉体２７ｂが閉位置に位置する場合には、第１開閉体２７ａ及び第２開閉体２７ｂの両者が物品搬送車３の前後方向に沿う水平姿勢となって、開口部２５を閉塞している。
第１開閉体２７ａ及び第２開閉体２７ｂが開位置に位置する場合には、第１開閉体２７ａが車体本体部７の前端側部位７ａに対向する状態で上下方向に沿う起立姿勢となり、且つ、第２開閉体２７ｂが車体本体部７の後端側部位７ｂに対向する状態で上下方向に沿う起立姿勢となって、第１開閉体２７ａ及び第２開閉体２７ｂが収納空間Ｋ内に収納されて開口部２５を開口している。

【0043】

このように、開閉体２７は、２つの開閉体２７ａ，２７ｂとからなり、これら２つの開閉体２７ａ，２７ｂを物品搬送車３の車体横幅方向に沿う横軸心周りで揺動させることで、開位置と閉位置とに位置変更自在に構成されている。そして、図３中点線にて示す開閉体２７の開位置は、図３中実線にて示す閉位置よりも上方側で収納空間Ｋ内に設定されている。

【0044】

第１開閉体２７ａ及び第２開閉体２７ｂの両者は、板状に形成されており、閉位置に位置する２つの開閉体２７ａ，２７ｂの合計の面積が開口部２５の開口面積と略同じになるように構成されている。これにより、第１開閉体２７ａ及び第２開閉体２７ｂが閉位置に位置する場合には、第１開閉体２７ａの揺動側の先端と第２開閉体２７ｂの揺動側の先端とが対向する状態で当接して、開口部２５を閉塞するように構成されている。
そして、図４に示すように、第１開閉体２７ａの揺動側の先端部には、第１開閉体２７ａが閉位置に位置する状態において、閉位置に位置する第２開閉体２７ｂの揺動側の先端部に当接する開閉体間当接部２９が備えられている。この開閉体間当接部２９は、閉位置に位置する第１開閉体２７ａの下面部に装着されており、第１開閉体２７ａの揺動側の先端よりも前方側に延びる板状体にて構成されている。

【0045】

これにより、図４（ｂ）に示すように、第１開閉体２７ａ及び第２開閉体２７ｂが閉位置に位置する場合には、開閉体間当接部２９の上面部が第２開閉体２７ｂの下面部に当接する状態で第２開閉体２７ｂを受け止め支持するように構成されている。したがって、第１開閉体２７ａ及び第２開閉体２７ｂが閉位置に位置する場合には、第１開閉体２７ａの先端と第２開閉体２７ｂの先端とが当接するだけでなく、第１開閉体２７ａに備えられた開閉体間当接部２９と第２開閉体２７ｂとの間でも当接するので、第１開閉体２７ａと第２開閉体２７ｂとの間での隙間を確実に無くしながら開口部１５を閉塞することができ、収納空間Ｋを確実に密閉空間とすることができる。

【0046】

ここで、第１開閉体２７ａの揺動側の先端部には開閉体間当接部２９が備えられているので、開閉体２７を閉位置から開位置に位置変更させる場合には、先に第２開閉体２７ｂを閉位置から開位置への位置変更を開始させた後、第１開閉体２７ａを閉位置から開位置への位置変更を開始させるようにしている。また、開閉体２７を開位置から閉位置に位置変更させる場合には、先に第１開閉体２７ａを開位置から閉位置への位置変更を開始させた後、第２開閉体２７ｂを開位置から閉位置への位置変更を開始させるようにしている。

【0047】

また、車体本体部７と開閉体２７との間での隙間を無くすために、図２に示すように、車体本体部７には、閉位置に位置する開閉体２７に当接する車体側当接部３０（移動体側当接部に相当する）が備えられている。車体側当接部３０は、連結体２４の下端部から収納空間Ｋに延びる板状体にて構成されており、開口部２５において物品搬送車３の前後方向の全長に亘って設けられている。

【0048】

物品搬送車３の横幅方向の両側において収納空間Ｋを覆う連結体２４の夫々には、収納空間Ｋ内の空気を収納空間Ｋの外部に排出自在で且つその排出量を調整自在な排出手段Ｈが備えられている。排出手段Ｈは、連結体２４に形成された開口部に設けられた多数の孔部を有する多孔体にて構成されており、多数の孔部による開口面積を調整することで、収納空間Ｋ内から収納空間Ｋの外部に排出される空気の排出量を調整自在に構成されている。

【0049】

多孔体における多数の孔部による開口面積の調整について説明する。
図示は省略するが、例えば、２つの多孔体を重ね合わせる状態で物品搬送車３の前後方向にスライド移動自在に備えており、一方の多孔体の孔部と他方の多孔体の孔部とを同一位置に位置させることで、収納空間Ｋの内部と外部とを連通する開口を形成している。そして、人為操作式の操作部により多孔体をスライド移動させて、一方の多孔体の孔部に対して他方の多孔体の孔部を位置をずらすことで、多数の孔部による開口面積を調整自在に構成されている。

【0050】

これにより、浄化空気通風手段２６によって収納空間Ｋ内に通風された浄化空気の一部を排出手段Ｈにて収納空間Ｋの外部に排出することができるので、収納空間Ｋ内の空気の一部を浄化空気通風手段２６によって新たに通風される浄化空気と入れ替えながら、収納空間Ｋ内を浄化空気にて満たすことができる。そして、排気手段Ｈによる空気の排出量を調整することで、収納空間Ｋ内の空気の一部を浄化空気通風手段２６によって新たに通風される浄化空気と入れ替えることを確実に行うことができ、収納空間Ｋ内の清浄化の向上を図ることができる。
ここで、排出手段Ｈによる空気の排出量の調整については、例えば、浄化空気通風手段２６においてどのケミカルフィルタを用いるかによって調整することができ、ケミカルフィルタの種類に応じて適切な空気の排出量に調整することができる。そして、一旦、空気の排出量を調整すると、ケミカルフィルタを交換するまで、その排出量を維持するようにしている。

【0051】

以下、本発明に係る物品搬送車３の運転について説明する。
物品搬送車３には、走行部８の走行作動、把持部９の昇降作動や把持具２２の姿勢切換作動等を制御して、物品搬送車３の運転を制御する台車側制御部が備えられている。そして、台車側制御部は、物品搬送車３の運行を管理する設備管理用コンピュータから搬送元のステーション１７及び搬送先のステーション１７を指定する搬送指令を受けると、その搬送指令にて指定された搬送元のステーション１７から搬送先のステーション１７にレチクル用カセット５を搬送する搬送処理を行うように構成されている。

【0052】

図１の下方側に示すように、台車側制御部は、各ステーション１７に対応する目標停止位置を検出するためのセンサや基準点からの物品搬送車３の走行距離を検出するためのセンサ等の各種センサの検出情報に基づいて、指定された搬送元のステーション１７まで走行するように走行部８の走行作動を制御する。その後、台車側制御部は、搬送元のステーション１７からレチクル用カセット５を受け取るように、把持部９の昇降作動や把持具２２の姿勢切換作動を制御する。搬送元のステーション１７からレチクル用カセット５を受け取ると、図１の上方側に示すように、台車側制御部は、各種センサの検出情報に基づいて、指定された搬送元のステーション１７まで走行するように走行部８の走行作動を制御した後、搬送先のステーション１７にレチクル用カセット５を受け渡すように、把持部９の昇降作動や把持具２２の姿勢切換作動を制御する。

【0053】

台車側制御部は、走行部８の走行作動、把持部９の昇降作動や把持具２２の姿勢切換作動を制御するだけでなく、開閉体２７の開閉作動及び浄化空気通風手段２６の作動も制御している。台車側制御部は、常に、収納空間Ｋには浄化空気が通風されるように、常時、浄化空気通風手段２６を作動させている。そして、台車側制御部（開閉制御手段に相当する）は、把持部９を上昇位置と下降位置との間で昇降させる場合には、開閉体２７を開位置に位置させ、把持部９の上昇位置と下降位置との間での昇降が終了すると、開閉体２７を開位置から閉位置に位置変更させるように、開閉体２７の開閉作動を制御するように構成されている。ここで、上述の如く、開閉体２７を開閉させる場合には、第１開閉体２７ａと第２開閉体２７ｂとの間でどちらを先に作動開始させるかの順序がある。開閉体２７を閉位置から開位置に位置変更させる場合には、先に第２開閉体２７ｂを閉位置から開位置への位置変更を開始させた後、第１開閉体２７ａを閉位置から開位置への位置変更を開始させる。開閉体２７を開位置から閉位置に位置変更させる場合には、先に第１開閉体２７ａを開位置から閉位置への位置変更を開始させた後、第２開閉体２７ｂを開位置から閉位置への位置変更を開始させる。

【0054】

台車側制御部は、把持部９を上昇位置と下降位置との間で昇降させるときだけ、開閉体２７を開位置に位置させ、その把持部９の昇降が終了すると、開閉体２７を開位置から閉位置に位置変更させて、把持部９を昇降させるとき以外には、開閉体２７を閉位置に位置させている。そして、台車側制御部は、常時、浄化空気通風手段２６を作動させているので、搬送元のステーション１７へ走行するときだけでなく、搬送元のステーション１７から搬送先のステーション１７へ走行するときにも、収納空間Ｋを密閉空間とし、その収納空間Ｋ内の空気の一部を浄化空気通風手段２６によって新たに通風される浄化空気と入れ替えながら、収納空間Ｋ内を浄化空気にて満たすことができる。これにより、実際に収納空間Ｋにレチクル用カセット５が存在しない、搬送元のステーション１７からレチクル用カセット５を受け取る以前のタイミングから、予め収納空間Ｋ内を浄化空気にて満たしておくことができる。しかも、実際に収納空間Ｋにレチクル用カセット５が存在する、搬送元のステーション１７から搬送先のステーション１７へ走行する途中においても、収納空間Ｋ内を浄化空気にて満すことができる。その結果、搬送先のステーション１７に搬送するレチクル用カセット５の外表面に、塵埃及びアンモニアや二酸化硫黄等の物質が付着するのを適切に防止することができる。したがって、図１に示すように、物品処理部１に対して、レチクル４単体ではなく、レチクル４を支持するレチクル用カセット５の一部（例えば蓋体５ｂ）ごと搬送する場合でも、塵埃及びアンモニアや二酸化硫黄等の物質が外表面に付着したレチクル用カセット５の一部（例えば蓋体５ｂ）が物品処理部１内に搬送されるのを適切に防止することができる。その結果、物品処理部１にて露光等の処理を行っても、ヘイズ（曇）の原因となる物質が生成させることを適切に防止でき、レチクル４の品質を維持することができながら、レチクル４の搬送を適切に行うことができる。

【0055】

〔別実施形態〕
（１）上記実施形態では、第１開閉体２７ａ及び第２開閉体２７ｂを物品搬送車３の横幅方向に沿う横軸心周りで揺動自在に設けている。この構成に代えて、例えば、第１開閉体２７ａ及び第２開閉体２７ｂを物品搬送車３の前後方向に沿う横軸心周りで揺動自在に設けることもできる。
また、開閉体２７については、第１開閉体２７ａと第２開閉体２７ｂの２つの開閉体を設けるものに限らず、例えば、１つの開閉体にて開口部２５を閉塞することもできる。

【0058】

（２）上記実施形態では、開閉体２７の開位置を、収納空間Ｋ内の閉位置よりも上方側に設定している。この構成に代えて、例えば、開閉体２７の開位置を、収納空間Ｋの外部の閉位置よりも下方側に設定することもできる。

【符号の説明】

【0059】

２ 案内レール
４ レチクル
５ レチクル用カセット
７ 移動体
２５ 開口部
２６ 浄化空気通風手段
２７ 開閉体
２７ａ 第１開閉体
２７ｂ 第２開閉体
２９ 開閉体間当接部
３０ 車体側当接部
Ｋ 収納空間

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】