特許5767280化学機械平坦化用溝付き研磨パッド

発明の名称　化学機械平坦化用溝付き研磨パッド

出願人　ローム　アンド　ハース　エレクトロニック　マテリアルズ　シーエムピー　ホウルディングス　インコーポレイテッド　（識別番号 504089426）

　　　　特許公開件数ランキング 1666 位（4件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 4182 位（1件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5767280

公報発行日　2015年8月19

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5767280

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