特許第5767627号(P5767627)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

知財求人 - 知財ポータルサイト「IP Force」

▶ ヴァリアン セミコンダクター イクイップメント アソシエイツ インコーポレイテッドの特許一覧

特許5767627幅広リボンビームの生成および制御のための複合型ICPおよびECRプラズマ源