特許5767818粒子ビーム装置および粒子ビーム装置の動作方法

発明の名称　粒子ビーム装置および粒子ビーム装置の動作方法

出願人　カール　ツァイス　マイクロスコーピー　ゲーエムベーハー　（識別番号 512158505）

　　　　特許公開件数ランキング 30460 位（1件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 9069 位（2件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5767818

公報発行日　2015年8月19

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5767818

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