特許5769004スパッタリングターゲットおよびその製造方法

発明の名称　スパッタリングターゲットおよびその製造方法

出願人　三菱マテリアル株式会社　（識別番号 6264）

　　　　特許公開件数ランキング 232 位（137件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 222 位（135件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5769004

公報発行日　2015年8月26

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5769004

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