特許 5769574 ガラス板の製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5769574

(24)【登録日】2015年7月3日

(45)【発行日】2015年8月26日

(54)【発明の名称】ガラス板の製造方法

(51)【国際特許分類】

   C03B 5/225 20060101AFI20150806BHJP

   C03B 5/235 20060101ALI20150806BHJP

   C03B 5/43 20060101ALI20150806BHJP

【ＦＩ】

   C03B5/225

   C03B5/235

   C03B5/43

【請求項の数】8

【全頁数】11

(21)【出願番号】特願2011-216294(P2011-216294)

(22)【出願日】2011年9月30日

(65)【公開番号】特開2013-75786(P2013-75786A)

(43)【公開日】2013年4月25日

【審査請求日】2014年8月29日

(73)【特許権者】

【識別番号】598055910

【氏名又は名称】ＡｖａｎＳｔｒａｔｅ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110000165

【氏名又は名称】グローバル・アイピー東京特許業務法人

(72)【発明者】

【氏名】村上 次伸

(72)【発明者】

【氏名】大島 五月

【審査官】 山崎 直也

(56)【参考文献】

【文献】 特表２０１０−５２３４５７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００５−１１９９５８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特表２０１１−５０２９３４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特表２００６−５０３７８４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特表２００９−５２３６９５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００２−２１１９３２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開昭５６−０８４３２４（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｃ０３Ｂ １／００−５／４４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

ガラス板を製造するガラス板の製造方法であって、
ガラス原料を熔解して溶融ガラスをつくる熔解工程と、
前記溶融ガラスが内部を流れる金属管で構成された清澄槽を通電加熱することにより、前記溶融ガラスを昇温して前記溶融ガラスの脱泡を行う脱泡工程と、
ガラス板を製造するために、脱泡した前記溶融ガラスをシート状ガラスに成形する成形工程と、を少なくとも含み、
前記清澄槽の通電加熱は、前記清澄槽の長手方向に延びる領域で行われ、
前記清澄槽の内部壁面が前記清澄槽内の気相と接する前記清澄槽の頂部が、前記清澄槽の内部壁面が前記清澄槽内の溶融ガラスと接する前記清澄槽の側部あるいは底部に比べて前記清澄槽の周方向の単位長さ当たりの発熱量に関して小さくなるように、前記通電加熱する領域は通電される、ことを特徴とするガラス板の製造方法。

【請求項2】

前記通電加熱する領域において、前記清澄槽の内部壁面が前記清澄槽内の気相と接する前記清澄槽の頂部が、前記清澄槽の内部壁面が前記清澄槽内の溶融ガラスと接する前記清澄槽の側部あるいは底部に比べて電気抵抗率が高くなるように、前記清澄槽の金属材料の組成が、前記頂部と、前記側部あるいは前記底部との間で、異なっている、請求項１に記載のガラス板の製造方法。

【請求項3】

前記清澄槽の前記金属管は、白金、白金ロジウム合金、あるいは、白金及び白金ロジウム合金の組み合わせで構成され、前記側部あるいは前記底部に比べて前記頂部の電気抵抗率が高くなるように、前記金属管のロジウムの含有率が、前記頂部と、前記側部あるいは前記底部との間で異なっている、請求項１または２に記載のガラス板の製造方法。

【請求項4】

前記清澄槽の前記金属管には、前記通電加熱する領域の両端のそれぞれにおいて、前記清澄槽の外周と接するように金属製フランジが設けられ、前記金属製フランジは電源と接続されて通電されることにより、前記清澄槽は通電加熱される、請求項１〜３のいずれか１項に記載のガラス板の製造方法。

【請求項5】

前記電源から電流の供給を受ける前記金属製フランジは、前記通電加熱する領域の両端のうち少なくとも一方の端において、前記金属製フランジの周上の、前記側部あるいは前記底部に対応した場所で、前記電源と接続した引き出し電極と接続されている、請求項４に記載のガラス板の製造方法。

【請求項6】

前記ガラス板は、ＳｎＯ₂を含有する、請求項１〜５のいずれか１項に記載のガラス板の製造方法。

【請求項7】

前記脱泡工程において、前記熔融ガラスは１６３０℃以上に昇温される、請求項１〜６のいずれか１項に記載のガラス板の製造方法。

【請求項8】

前記ガラス板は、プラットパネルディスプレイまたは液晶ディスプレイに用いるガラス基板である、請求項１〜７のいずれか１項に記載のガラス板の製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ガラス板を製造するガラス板の製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

液晶ディスプレイやプラズマディスプレイなどのフラットパネルディスプレイ（以下、「ＦＰＤ」という。）に用いるガラス基板には、厚さが例えば０．５〜０．７ｍｍと薄いガラス板が用いられている。このＦＰＤ用ガラス基板は、例えば第１世代では３００×４００ｍｍのサイズであるが、第１０世代では２８５０×３０５０ｍｍのサイズになっている。

【0003】

このような第８世代以降の大きなサイズのＦＰＤ用ガラス基板、例えば、ＴＦＴ（Thin Film Transistor）をガラス表面に形成するガラス基板には、ＴＦＴの特性を劣化させないために、アルカリ金属を全く含まないか、含んでも少量であるガラス板が好適に用いられる。また、このようなガラス板は、熱収縮が極めて小さいため、４００〜５００℃の熱処理を行ってポリシリコンＴＦＴをガラス表面に形成する場合にも好適に用いられる。

【0004】

一方、アルカリ金属を全く含まないか、含んでも少量であるガラス板の製造段階では、溶融ガラスの高温粘性は高い。このため、溶融ガラスの脱泡を行う清澄槽は、上記溶融ガラスの脱泡を効果的に行うために、上記溶融ガラスを、アルカリ金属を含む従来の溶融ガラスに比べて高い温度に昇温する。また、清澄処理では、酸素等を放出して、溶融ガラス内の泡を成長させるための清澄剤が溶融ガラスに含まれているが、昨今の環境負荷の低減の点から、清澄機能は大きいが毒性の高いＡｓ₂Ｏ₃に替えて、溶融ガラスを１６００〜１６３０℃以上の高温にして脱泡処理を有効に機能させるＳｎＯ₂等の清澄剤を用いる場合が多い。

【0005】

以上の理由から、清澄槽を構成する金属管、例えば高価な白金あるいは白金ロジウム合金は、１６００〜１６３０℃以上の高温、例えば１７００℃近くまで加熱されるので、一部の白金あるいは白金ロジウム合金の金属成分が揮発して金属管の厚さが薄くなり易く、従来に比べて清澄槽である金属管は短期間に消耗し易い。特に、溶融ガラスと接触せず、気相と接する金属管の清澄槽の頂部は、それ以外の側部や底部に比べて高温になり易く、金属管の金属成分が揮発し易い。このため、清澄槽である金属管の金属成分の揮発を抑制することが望まれている。

【0006】

一方、溶融ガラスと直接的に接触しない清澄槽の頂部の壁部分、および溶融ガラスと直接的に接触する側部の壁部分を備えた清澄槽内において、上記頂部の壁部分の温度Ｔと、上記側部の壁部分が温度Ｔとの差分が１０℃以下となるように調整するガラス清澄方法が知られている（特許文献１）。
当該ガラス清澄方法によれば、清澄槽の頂部と側部／底部との間の温度勾配を低く保つことにより、溶融ガラスの清澄温度をかなり高めて、清澄効率および効果を高め、かつガラス品質を改善することができる、と記載されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0007】

【特許文献1】特開２０１１−５０２９３４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0008】

上述の公知のガラス清澄方法では、清澄槽の頂部と側部／底部との間の温度勾配を低く保つために、清澄槽の側部を通電することにより補助的に側部を加熱することが例示されている（当該公報の段落番号００２０）。しかし、このような側部を通電する補助的加熱では、清澄槽の加熱システムの構成をより複雑にするため好ましくない。
また、当該公報では、上記頂部の温度Ｔと、上記側部の温度Ｔとの差分を１０℃以下とするが、上記頂部の温度Ｔが、上記側部の温度Ｔに比べて高いことを前提とするので、清澄槽である金属管の金属成分の揮発を十分に抑制することができない場合もある。

【0009】

そこで、本発明は、従来とは異なる方式を用いて、清澄工程における脱泡処理を効果的に行うとともに、清澄槽の金属成分の揮発を抑制して長期間連続してガラス板を製造することができるガラス板の製造方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0010】

本発明の一態様は、ガラス板を製造するガラス板の製造方法である。
当該製造方法は、
ガラス原料を熔解して溶融ガラスをつくる熔解工程と、
前記溶融ガラスが内部を流れる金属管で構成された清澄槽を通電加熱することにより、前記溶融ガラスを昇温して前記溶融ガラスの脱泡を行う脱泡工程と、
ガラス板を製造するために、脱泡した前記溶融ガラスをシート状ガラスに成形する成形工程と、を少なくとも含む。
前記清澄槽の通電加熱は、前記清澄槽の長手方向に延びる領域で行われる。
前記清澄槽の内部壁面が前記清澄槽内の気相と接する前記清澄槽の頂部が、前記清澄槽の内部壁面が前記清澄槽内の溶融ガラスと接する前記清澄槽の側部あるいは底部に比べて前記清澄槽の周方向の単位長さ当たりの発熱量に関して小さくなるように、前記通電加熱する領域は通電される。

【発明の効果】

【0011】

上記形態のガラス板の製造方法では、清澄工程における脱泡処理を効果的に行うとともに、清澄槽の金属成分の揮発を抑制して長期間連続してガラス板を製造することができる。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】本実施形態のガラス板の製造方法の工程図である。

【図2】図１に示す熔解工程）〜切断工程を行う装置を模式的に示す図である。

【図3】（ａ），（ｂ）は、図１に示す清澄工程を主に行う清澄槽を説明する図である。

【発明を実施するための形態】

【0013】

以下、本実施形態のガラス板の製造方法について説明する。

【0014】

（ガラス板の製造方法の全体概要）
図１は、ガラス板の製造方法の工程図である。
ガラス板の製造方法は、熔解工程（ＳＴ１）と、清澄工程（ＳＴ２）と、均質化工程（ＳＴ３）と、供給工程（ＳＴ４）と、成形工程（ＳＴ５）と、徐冷工程（ＳＴ６）と、切断工程（ＳＴ７）と、を主に有する。この他に、研削工程、研磨工程、洗浄工程、検査工程、梱包工程等を有し、梱包工程で積層された複数のガラス板は、納入先の業者に搬送される。

【0015】

図２は、熔解工程（ＳＴ１）〜切断工程（ＳＴ７）を行う装置を模式的に示す図である。当該装置は、図２に示すように、主に熔解装置２００と、成形装置３００と、切断装置４００と、を有する。熔解装置２００は、熔解槽２０１と、清澄槽２０２と、攪拌槽２０３と、ガラス供給管２０４，２０５，２０６と、を有する。

【0016】

熔解工程（ＳＴ１）では、熔解槽２０１内に供給されたガラス原料を、図示されない火焔および電気ヒータで加熱して熔解することで溶融ガラスを得る。
清澄工程（ＳＴ２）は、ガラス供給管２０４、清澄槽２０２およびガラス供給管２０５において主に行われ、清澄槽２０２内の溶融ガラスＭＧを加熱することにより、溶融ガラスＭＧ中に含まれるＯ₂等の気泡が、清澄剤の酸化還元反応により成長し液面に浮上して放出される、あるいは、気泡中のガス成分が溶融ガラス中に吸収されて、気泡が消滅する。
均質化工程（ＳＴ３）では、ガラス供給管２０５を通って供給された攪拌槽２０３内の溶融ガラスＭＧを、スターラを用いて攪拌することにより、ガラス成分の均質化を行う。
供給工程（ＳＴ４）では、ガラス供給管２０６を通して溶融ガラスＭＧが成形装置３００に供給される。

【0017】

成形装置３００では、成形工程（ＳＴ５）及び徐冷工程（ＳＴ６）が行われる。
成形工程（ＳＴ５）では、溶融ガラスＭＧをシート状ガラスＧに成形し、シート状ガラスＧの流れを作る。本実施形態では、図示されない成形体を用いたオーバーフローダウンドロー法を用いる。徐冷工程（ＳＴ６）では、成形されて流れるシート状ガラスＧが所望の厚さになり、内部歪が生じないように冷却される。
切断工程（ＳＴ７）では、切断装置４００において、成形装置３００から供給されたシート状ガラスＧを所定の長さに切断することで、板状のガラス板を得る。切断されたガラス板はさらに、所定のサイズに切断され、目標サイズのガラス板が作製される。この後、ガラス端面の研削、研磨、及びガラス主面の洗浄が行われ、さらに、気泡や脈理等の異常欠陥の有無が検査された後、検査合格品のガラス板が最終製品として梱包される。

【0018】

（ガラス組成）
本実施形態で製造されるガラス板は、フラットパネルディスプレイ用ガラス基板に好適に用いられる。例えば、Ｌｉ、Ｎａ、及びＫのいずれの成分も含有されていないか、あるいは、Ｌｉ、Ｎａ、及びＫのいずれか少なくとも１つの成分が含有されているとしても、Ｌｉ、Ｎａ、及びＫの内含有する成分の合計量が、２質量％以下であるガラス組成を有する。清澄剤として、ＳｎＯ₂が主に用いられる。ガラス組成は、以下に示すものが好適に例示される。
（ａ）ＳｉＯ_２:５０〜７０質量％、
（ｂ）Ｂ_２Ｏ_３:５〜１８質量％、
（ｃ）Ａｌ_２Ｏ_３:１０〜２５質量％、
（ｄ）ＭｇＯ:０〜１０質量％、
（ｅ）ＣａＯ:０〜２０質量％、
（ｆ）ＳｒＯ:０〜２０質量％、
（ｇ）ＢａＯ:０〜１０質量％、
（ｈ）ＲＯ:５〜２０質量％（ただしＲはＭｇ、Ｃａ、ＳｒおよびＢａから選ばれる少なくとも１種であり、ＲＯは、ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯおよびＢａＯのうち含有する成分の合計）、
（ｉ）Ｒ’_２Ｏ:０．２０質量％を超え２．０質量％以下（ただしＲ’はＬｉ、ＮａおよびＫから選ばれる少なくとも１種であり、Ｒ’_２ＯはＬｉ_２Ｏ、Ｎａ_２Ｏ及びＫ_２Ｏのうち含有する成分の合計）、
（ｊ）ＳｎＯ₂、Ｆｅ₂Ｏ₃およびＣｅＯ₂などから選ばれる少なくとも１種の金属酸化物を合計で０．０５〜１．５質量％。
なお、金属酸化物では、ＳｎＯ₂が最も多く含有される。したがって、後述する清澄槽２０２内における脱泡処理では、ＳｎＯ₂が還元反応を起こす温度、例えば１６３０℃以上の温度に溶融ガラスＭＧは昇温される。
また、（ｉ）のＲ’_２Ｏの含有が０質量％であっても構わない。

【0019】

上述した成分に加え、本実施形態のガラス板は、ガラスの様々な溶融、清澄、および成形の特性を調節するために、様々な他の酸化物を含有しても差し支えない。そのような他の酸化物の例としては、以下に限られないが、ＴｉＯ₂、ＭｎＯ、ＺｎＯ、Ｎｂ₂Ｏ₅、ＭｏＯ₃、Ｔａ₂Ｏ₅、ＷＯ₃、Ｙ₂Ｏ₃、およびＬａ₂Ｏ₃が挙げられる。
また、本実施形態においては、ＳｎＯ₂はガラスを失透しやすくする成分であるため、清澄性を高めつつ失透を起こさせないためには、その含有率が０．０１〜０．５質量％であることが好ましく、０．０５〜０．３質量％であることがより好ましく、０．１〜０．２質量％であることがさらに好ましい。

【0020】

（清澄工程）
図３（ａ）は、清澄工程を行う装置構成を主に示す図である。清澄工程は、溶融ガラスＭＧの温度を、例えば１６３０℃以上に昇温させることにより溶融ガラスＭＧ中に泡Ｂを生成させて脱泡を行う脱泡処理と、脱泡処理の後、溶融ガラスＭＧを１６００℃以下に降温させることにより、溶融ガラスＭＧ中の泡を溶融ガラスＭＧに吸収させる吸収処理と、を含む。上述したように、溶融ガラスＭＧは、清澄剤としてＳｎＯ₂を主成分として含むため、ＳｎＯ₂が還元反応によりＯ₂を放出して還元するとき、溶融ガラスＭＧ中のＳｎＯ₂が放出したＯ₂は、溶融ガラスＭＧに既に存在する小さな泡に吸収されて、この小さな泡を成長させる。成長した泡の浮力と溶融ガラスＭＧの昇温による粘性の低下により、溶融ガラスＭＧ内の泡の浮上速度は大きくなり、泡の浮上による脱泡が促進する。この浮上による脱泡の処理が脱泡処理である。したがって、本実施形態では、ＳｎＯ₂が還元反応を起こす温度、例えば１６３０℃以上に溶融ガラスＭＧは昇温される。

【0021】

一方、清澄槽２０２のガラス供給管２０５側の端部近傍あるいはガラス供給管２０５において、溶融ガラスＭＧは、ＳｎＯ₂の還元により得られたＳｎＯが酸化反応によりＯ₂を吸収する温度、例えば１６００℃以下に降温される。このとき、溶融ガラスＭＧ中に残存する泡内のＯ₂は吸収され、溶融ガラスＭＧに既に存在する泡内のＯ₂は減少する。泡内のＯ₂の減少と溶融ガラスＭＧの温度の降温により、溶融ガラスＭＧ内での泡のサイズは小さくなり、多くの泡は消滅する。このＳｎＯの酸化反応により泡内のＯ₂を吸収させる処理が、吸収処理である。

【0022】

清澄槽２０２は、上記脱泡処理を起こすために、熔解槽２１０を出た溶融ガラスＭＧを昇温させて１６３０℃以上にするために、ガラス供給管２０４及び清澄槽２０２に加熱システムが設けられている。以下、清澄槽２０２に電流を流して発熱した熱で溶融ガラスＭＧを加熱する加熱システムについて説明する。

【0023】

（加熱システム）
清澄槽２０２は、白金あるいは白金ロジウム合金の金属管であり、清澄槽２０２には、熔解槽２０１と清澄槽２０２との間を接続するガラス供給管２０４と、清澄槽２０２と攪拌槽２０３との間を接続するガラス供給管２０５とが接続されている。図３（ａ）では、清澄槽２０２が単独で示されているが、清澄槽２０２の周りは、耐火レンガ及び断熱材等により覆われている。
ガラス供給管２０４の熔解槽２０１側の端部には、金属製フランジ２０２ａが設けられている。清澄槽２０２のガラス供給管２０４側の端部には、金属製フランジ２０２ｂが接続されている。清澄槽２０２の長手方向のほぼ中央部には、金属製フランジ２０２ｃが設けられている。
すなわち、通電加熱する領域として定められている領域の両端のそれぞれにおいて、清澄槽２０２の外周と接するように金属製フランジ２０２ｂ、２０２ｃが設けられている。金属製フランジ２０２ｂ、２０２ｃは電源と接続されて通電されることにより、清澄槽２０２を通電加熱する。したがって、清澄槽２０２では、通電加熱する領域が、清澄槽２０２の長手方向に延びている。図３（ａ）では、本加熱システムに金属製フランジ２０２ａ，２０２ｂ，２０２ｃが設けられるが、清澄槽２０２のガラス供給管２０５側の端部に金属製フランジが設けられて、通電加熱に用いられてもよい。

【0024】

図３（ｂ）は、金属製フランジ２０２ｂ及び熔解槽２０２の断面図である。金属製フランジ２０２ａ，２０２ｃも同じ構成を有しているので、金属製フランジ２０２ｂを代表して説明する。
金属製フランジ２０２ａと金属製フランジ２０２ｂとの間には、白金あるいは白金ロジウム合金からなるガラス供給管２０４を通して電流が流れ、ガラス供給管２０４が通電加熱される。さらに、金属製フランジ２０２ｂと金属製フランジ２０２ｃとの間には、白金あるいは白金ロジウム合金からなる清澄槽２０２を通して電流の供給を受けて電流が流れ、清澄槽２０２が通電加熱される。これらの通電加熱により、溶融ガラスＭＧの温度は大幅に上昇し、溶融ガラスＭＧに清澄剤として含まれるＳｎＯ₂の還元反応が生じて、脱泡処理が行われる。

【0025】

図３（ｂ）に示すように、金属製フランジ２０２ｂは、その周上に、フランジ本体に比べて厚さの厚い厚肉部２０２ｆを有する。金属製フランジ２０２ｂの周上（具体的には厚肉部２０２ｆの周上）の、側部に対応した両側の２つの場所と、金属製フランジ２０２ｂの周上（具体的には厚肉部２０２ｆの周上）の、底部に対応した場所において、金属製フランジ２０２ｂは、電源と接続した引き出し電極２０２ｇ，２０２ｈ，２０２ｉと接続されている。厚肉部２０２ｆを設けるのは、引き出し電極２０２ｇ，２０２ｈ，２０２ｉから流れる電流を接続部分の周りに分散させることで、接続部分に電流が集中して接続部分が局部的に発熱することを防止するためである。
図３（ｂ）は、頂部に相当する領域２０２ｄと、側部及び底部に相当する領域２０２ｅとを示している。領域２０２ｄは、清澄槽２０２内の気相に内壁面が接する部分である。気相は、溶融ガラスＭＧから浮上した泡を逃がすために清澄槽２０２内に設けられている。清澄槽２０２の管内では、溶融ガラスＭＧの液面の高さが調整されて流れるので、領域２０２ｄの位置は予め定められ得る。

【0026】

なお、側部とは、熔解槽２０２内の内壁面が溶融ガラスＭＧの液面と接触する、図３（ｂ）中の両側の壁をいい、底部とは、熔解槽２０２内の内壁面が溶融ガラスＭＧの液面と接触する、図３（ｂ）中の底の壁をいう。より正確には、側部とは、熔解槽２０２の管の中心軸Ｏの周りにおいて、水平方向の角度θ＝０としたとき、角度θが−４５度〜４５度及び１３５度〜２２５度の範囲内であって、熔解槽２０２内の内壁面が溶融ガラスＭＧと接触する壁の部分をいう。また、底部とは、角度θ＝２２５度〜３１５度の範囲であって、熔解槽２０２内の内壁面が溶融ガラスＭＧと接触する壁の部分をいう。一方、頂部とは、角度θ＝４５度〜１３５度の範囲であって、熔解槽２０２内の内壁面が熔解槽２０２内の気相と接触する壁の部分をいう。

【0027】

このような清澄槽２０２では、金属製フランジ２０２ｂと金属製フランジ２０２ｃとの間の通電加熱する領域において、清澄槽２０２の頂部が、清澄槽２０２の側部及び底部に比べて、清澄槽２０２の管の周上における単位長さ当たりの発熱量に関して小さくなるように、通電される。このような通電を行うことにより、清澄槽２０２の側部、底部の温度を高くして、溶融ガラスＭＧの昇温を効果的に行う一方、頂部の温度を抑制して、清澄槽２０２の金属製分の揮発を抑制することができる。例えば、清澄槽２０２の側部及び底部の温度を、頂部の温度に比べて高くすることもできる。本実施形態では、以下説明するように、清澄槽２０２の電気抵抗率が、頂部と、側部及び底部との間で金属材料の組成を異ならせて発熱量が上述するように調整されている。

【0028】

具体的には、清澄槽２０２の頂部は、清澄槽２０２の側部あるいは底部に比べて電気抵抗率（μΩ・ｃｍ）が高くなるように、清澄槽２０２の金属材料の組成が、頂部と、側部及び底部との間で異なっている。例えば、頂部の部分は、ロジウムの質量％含有率が１０％である白金ロジウム合金が用いられ、側部及び底部の部分は、ロジウムの質量％含有率が２０％である白金ロジウム合金が用いられる。ロジウムを２０質量％含有する白金ロジウム合金は、後述するように、ロジウムを１０質量％含有する白金ロジウム合金に比べて電気抵抗率が１０００℃以上において低い。
このように、清澄槽２０２の側部及び底部に、頂部に比べて電気抵抗率を小さくするのは、清澄槽２０２の壁に電流を流すとき、頂部に比べて、側部及び底部に電流を流れ易くし、頂部に比べて側部及び底部の発熱量をより大きくするためである。

【0029】

従来の清澄槽では、清澄槽内の内壁面が気相に接する頂部は、気相が溶融ガラスＭＧの液相に比べて比熱が低いことにより、側部及び底部に比べて温度が高い。このため、溶融ガラスＭＧを昇温するのに、溶融ガラスＭＧと内壁面が直接接触しない頂部の温度が側部及び底部の温度に比べて高いことは、溶融ガラスＭＧの有効な昇温にとって好ましくない他、頂部が高温になることで頂部の金属成分が揮発し易い。このため、脱泡処理を効果的に行えず、清澄槽２０２の金属成分の揮発を抑制することができず、長期間連続してガラスを製造することができなかった。

【0030】

これに対して、本実施形態では、清澄槽２０２内の内壁面が溶融ガラスＭＧに接する側部及び底部は、頂部に比べて大きく発熱する。このため、溶融ガラスＭＧを効果的に昇温させることができる。しかも、頂部の発熱を抑制するので、脱泡を行うことができる１６３０℃以上の温度に溶融ガラスＭＧを昇温する場合、頂部の温度は、従来のように高くならない。このため、清澄槽２０２の金属成分の揮発を従来に比べて抑制することができる。
また、引き出し電極２０２ｇ，２０２ｈ，２０２ｉを側部及び底部において金属製フランジと接続することで、より効果的に側部及び底部の発熱を促すことができる。
したがって、金属製フランジには、側部２箇所及び底部１箇所の３箇所から電流が供給されるが、溶融ガラスＭＧと内壁面が接する側部の発熱をより効果的に行うために、側部２箇所のみから電流が供給されてもよい。さらには、溶融ガラスＭＧと内壁面が接する底部の発熱をより効果的に行うために、底部１箇所のみから電流が供給されてもよい。

【0031】

下記表１は、白金及び白金ロジウム合金の電気抵抗率の例を示す。表１に示されるように、ロジウムの含有率が１０質量％の場合の電気抵抗率（１０００℃以上）は、白金あるいはロジウムの含有率が２０質量％の場合の電気抵抗率（１０００℃以上）に比べて高い。したがって、白金、白金ロジウム合金、あるいは、白金及び白金ロジウム合金の組み合わせで清澄槽２０２が構成される場合、頂部におけるロジウムの含有率は、側部及び底部のロジウムの含有率に比べて、１０％に近いことが、側部及び底部の発熱量（清澄槽２０２の管の周上の単位長さ当たりの発熱量）を頂部に比べて大きくする点で、好ましい。

【0032】

【表1】

【0033】

本実施形態では、清澄槽２０２に設けられる金属製フランジ２０２ｂ，２０２ｃの側部及び底部に対応する部分に引き出し電極が設けられるが、金属製フランジ２０２ｂ，２０２ｃのいずれか一方において、側部及び底部に対応する部分に引き出し電極が設けられてもよい。また、このとき、側部のみに引き出し電極が設けられてもよい。これらの場合においても、頂部に比べて、側部及び底部に電流を流れ易くし、頂部に比べて側部及び底部の加熱をより大きくすることができる。

【0034】

本実施形態では、清澄槽２０２の管の周方向における単位長さ当たりの発熱量に関して、清澄槽２０２の頂部が、清澄槽２０２の側部及び底部に比べて小さくなるように、通電されるために、清澄槽２０２の電気抵抗率が、頂部と、側部及び底部との間で金属材料の組成を異ならせている。しかし、電気抵抗率を異ならせる他に、同じ金属材料の組成であるとき、清澄層２０２の金属管の側部及び底部の厚さを、頂部の厚さに比べて厚くすることもできる。これにより、清澄槽２０２の側部及び底部に比べて、清澄槽２０２の頂部における周方向の単位長さ当たりの発熱量を小さくすることができる。

【0035】

以上、本発明のガラス板の製造方法について詳細に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されず、本発明の主旨を逸脱しない範囲において、種々の改良や変更をしてもよいのはもちろんである。

【符号の説明】

【0036】

２００ 熔解装置
２０１ 熔解槽
２０２ 清澄槽
２０２ａ，２０２ｂ，２０２ｃ 金属製フランジ
２０２ｄ、２０２ｅ 領域
２０２ｆ 厚肉部
２０２ｇ，２０２ｈ，２０２ｉ 引き出し電極
２０３ 攪拌槽
２０４，２０５，２０６ ガラス供給管
３００ 成形装置
４００ 切断装置

【図1】

【図2】

【図3】