特許 5769770 環状カルボシラン化合物の製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5769770

(24)【登録日】2015年7月3日

(45)【発行日】2015年8月26日

(54)【発明の名称】環状カルボシラン化合物の製造方法

(51)【国際特許分類】

   C07F 7/08 20060101AFI20150806BHJP

   C07F 7/21 20060101ALI20150806BHJP

   C08G 77/00 20060101ALN20150806BHJP

   C07B 61/00 20060101ALN20150806BHJP

【ＦＩ】

   C07F7/08 W

   C07F7/21

   !C08G77/00

   !C07B61/00 300

【請求項の数】3

【全頁数】13

(21)【出願番号】特願2013-185058(P2013-185058)

(22)【出願日】2013年9月6日

(62)【分割の表示】特願2011-509279(P2011-509279)の分割

【原出願日】2010年4月9日

(65)【公開番号】特開2014-12714(P2014-12714A)

(43)【公開日】2014年1月23日

【審査請求日】2013年9月6日

(31)【優先権主張番号】特願2009-96720(P2009-96720)

(32)【優先日】2009年4月13日

(33)【優先権主張国】JP

(31)【優先権主張番号】特願2009-96721(P2009-96721)

(32)【優先日】2009年4月13日

(33)【優先権主張国】JP

【前置審査】

(73)【特許権者】

【識別番号】000004307

【氏名又は名称】日本曹達株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110002000

【氏名又は名称】特許業務法人栄光特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】山崎 悟

(72)【発明者】

【氏名】大畑 公彦

(72)【発明者】

【氏名】岡田 穂

(72)【発明者】

【氏名】安原 正道

(72)【発明者】

【氏名】前川 秀樹

(72)【発明者】

【氏名】山中 洋行

【審査官】 瀬下 浩一

(56)【参考文献】

【文献】 特開昭５７−０１６０２９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開昭５４−０８３０９８（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｃ０７Ｆ ７／０８

Ｃ０７Ｆ ７／２１

Ｃ０７Ｂ ６１／００

Ｃ０８Ｇ ７７／００

ＪＳＴＰｌｕｓ／ＪＭＥＤＰｌｕｓ／ＪＳＴ７５８０（ＪＤｒｅａｍＩＩＩ）

ＣＡｐｌｕｓ／ＲＥＧＩＳＴＲＹ（ＳＴＮ）

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

鎖状ポリシランを、該鎖状ポリシランに対して１〜２０００ｗｔ．ｐｐｍのチタン、マンガン、鉄、コバルト、パラジウム、アルミニウム、ケイ素、亜鉛、カドミウム、スズ、アンチモン、鉛及びビスマスからなる群から選ばれる金属の単体又はその化合物（ただし、酸化鉄を除く）の存在下に、３５０〜４５０℃で１０分〜９０分間の熱分解を行う、環状カルボシラン化合物の製造方法。

【請求項2】

鎖状ポリシランが、下記式（１）

【化1】

（式中、Ｒ^１及びＲ^２は夫々独立してＣ１〜Ｃ６アルキル基、アリール基又はアリールアルキル基を表す。Ｘは水素原子、ハロゲン原子、水酸基、Ｃ１〜Ｃ６アルキル基、Ｃ１〜Ｃ６アルコキシ基、アリール基又はトリアルキルシロキシ基を表す。ｍは２〜５０，０００のいずれかの整数を表す。Ｒ^１同士及びＲ^２同士は互いに同一でも異なっていてもよい）で表される化合物である、請求項１に記載された環状カルボシラン化合物の製造方法。

【請求項3】

環状カルボシラン化合物が、６〜８員の環状カルボシラン化合物である、請求項１又は２に記載された環状カルボシラン化合物の製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は環状カルボシラン化合物の製造方法に関し、詳しくは、特定の金属単体または金属化合物を用いることによって、鎖状ポリシランから選択性良く安全に環状カルボシラン化合物を提供する方法に関する。

【背景技術】

【0002】

有機ケイ素化学の製造中間体の分野において、環状シラン化合物は重要な原料の１つである。
従来、例えばデカメチルシクロペンタシランは、アルカリ金属又はアルカリ土類金属を用いるジメチルジクロロシランの脱塩素化反応による鎖状ポリシラン又はシクロヘキサシラン類の製造時において副産物として取得されるため、収率も純度も低かった。

【0003】

また別の方法として、鎖状ポリシランを不活性ガス雰囲気下で熱分解させてデカメチルシクロペンタシランを合成するという方法も知られているが、この方法は収率も純度も低かった。

【0004】

これらの不利を解消する方法として、特許文献１には、ポリ（ジメチルシリレン）を、加熱された空筒中に、不活性ガス雰囲気下で連続的に移動、通過させ、熱分解させる、デカメチルシクロペンタシランの製造方法が記載されている。
しかし当該方法にも、反応時間が長くなると生成したデカメチルシクロペンタシランが熱分解するため、反応時間の厳密な制御が必要である等の問題があった。

【0005】

また、従来、有機ケイ素ポリマーの製造中間体、特に直鎖状ポリカルボシランの前駆体として重要な環状カルボシラン化合物は、主に、下記反応式で表されるように、ハロシラン化合物の末端クロロシリル基をアルカリ金属又はアルカリ土類金属を用いた脱塩素化反応で閉環させることによって製造されていた（非特許文献１）。

【0006】

【化1】

【0007】

しかし、この方法ではケイ素原子数に比べて炭素原子数が多く、ケイ素含有量の低いものしか合成できないという問題があった。

【0008】

一方、低分子量の環状ジシランのケイ素−ケイ素結合を、パラジウム触媒を用いてメタセシスさせて環状カルボシランを製造することも知られている（特許文献２）が、当該方法は大環状のカルボシランの製造に限られていた。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0009】

【特許文献1】日本国特開昭６１−２３８７９０号公報

【特許文献2】日本国特開平０７−２５２２７０号公報

【非特許文献】

【0010】

【非特許文献1】Ｊ．Ｏｒｇａｎｏｍｅｔａｌ．Ｃｈｅｍ．（１９６７），９，４３

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0011】

本発明の課題は、環状カルボシラン化合物（特に６〜８員の環状カルボシラン化合物）を選択性よく、安定・安全に製造する方法を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0012】

本発明者らは鋭意検討の結果、鎖状ポリシランを熱分解することによって環状カルボシランを製造する製造方法において、特定の金属単体又は金属化合物の存在下に反応を行うことにより、効率よく目的物を得られること、また得られる環状カルボシラン化合物と環状シラン化合物との生成選択率を制御することができることを見出した。具体的には、遷移金属元素又は第１２族〜第１５族元素の金属単体又は金属化合物の存在下で、効率よく６〜８員の環状カルボシランを主とする環状カルボシラン化合物が得られることを見出した。これらの知見に基づき、本発明を完成した。

【0013】

すなわち本発明の態様は、下記の環状カルボシラン化合物の製造方法に関する。
［１］鎖状ポリシランを、該鎖状ポリシランに対して１〜２０００ｗｔ．ｐｐｍのチタン、マンガン、鉄、コバルト、パラジウム、アルミニウム、ケイ素、亜鉛、カドミウム、スズ、アンチモン、鉛及びビスマスからなる群から選ばれる金属の単体又はその化合物（ただし、酸化鉄を除く）の存在下に、３５０〜４５０℃で１０分〜９０分間の熱分解を行う、環状カルボシラン化合物の製造方法、
［２］鎖状ポリシランが、下記式（１）

【0014】

【化2】

【0015】

（式中、Ｒ^１及びＲ^２は夫々独立してＣ１〜Ｃ６アルキル基、アリール基又はアリールアルキル基を表す。Ｘは水素原子、ハロゲン原子、水酸基、Ｃ１〜Ｃ６アルキル基、Ｃ１〜Ｃ６アルコキシ基、アリール基又はトリアルキルシロキシ基を表す。ｍは２〜５０，０００のいずれかの整数を表す。Ｒ^１同士及びＲ^２同士は互いに同一でも異なっていてもよい）で表される化合物である、上記［１］に記載された環状カルボシラン化合物の製造方法、
［３］環状カルボシラン化合物が、６〜８員の環状カルボシラン化合物である、上記［１］又は［２］に記載された環状カルボシラン化合物の製造方法。

【発明の効果】

【0016】

本発明の製造方法によれば、環状カルボシラン化合物、特に、６〜８員の環状カルボシラン化合物を効率よく得ることができる。

【発明を実施するための形態】

【0017】

本発明は製造方法に係る発明であって、鎖状ポリシランを原料として、環状シラン化合物および／または環状カルボシラン化合物を得るものである。ここで、鎖状ポリシランとは、−Ｓｉ−Ｓｉ−結合を骨格として有する鎖状のポリマーであり、例えば、一般式（１）

【0018】

【化3】

【0019】

（式中、Ｒ^１及びＲ^２はそれぞれ独立してＣ１〜Ｃ６アルキル基、アリール基、アリールアルキル基、を表す。Ｘは水素原子、ハロゲン原子、水酸基、Ｃ１〜Ｃ６アルキル基、Ｃ１〜Ｃ６アルコキシ基、アリール基、トリアルキルシロキシ基を示す。ｍは２〜５０，０００のいずれかの整数を表す。Ｒ^１同士及びＲ^２同士は互いに同一でも異なっていてもよい。）で表されるシラン化合物等を例示することができる。

【0020】

Ｒ^１及びＲ^２のＣ１〜Ｃ６アルキル基、すなわち、直鎖又は分岐鎖の炭素数１〜６のアルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基、ｔ−ブチル基、ｎ−ペンチル基、イソペンチル基、ネオペンチル基、２−メチルブチル基、２，２−ジメチルプロピル基、ｎ−ヘキシル基等が挙げられる。
アリール基は、単環又は多環のアリール基を意味し、多環アリール基の場合は、完全不飽和に加え、部分飽和の基も包含する。例えばフェニル基、ナフチル基、アズレニル基、インデニル基、インダニル基、テトラリニル基等が挙げられる。これらのうち、好ましくは、Ｃ６〜Ｃ１０アリール基である。
アラルキル基としては、例えば、ベンジル基、フェネチル基、３−フェニル−ｎ−プロピル基、１−フェニル−ｎ−へキシル基、ナフタレン−１−イルメチル基、ナフタレン−２−イルエチル基、１−ナフタレン−２−イル−ｎ−プロピル基、インデン−１−イルメチル基等が挙げられる。好ましくは、Ｃ６〜Ｃ１０アリールＣ１〜Ｃ６アルキル基である。

【0021】

Ｘのハロゲン原子としては、フッ素、塩素、臭素、ヨウ素等が挙げられる。ＸのＣ１〜Ｃ６アルキル基としては、Ｒ^１のＣ１〜Ｃ６アルキル基と同じものが挙げられる。Ｃ１〜Ｃ６アルコキシ基としては、具体的にはメトキシ基、エトキシ基、ｎ−プロポキシ基、イソプロポキシ基、ｎ−ブトキシ基、イソブトキシ基、ｓ−ブトキシ基、ｔ−ブトキシ基、ｎ−ペントキシ基、イソペントキシ基、ネオペントキシ基、４−メチルブトキシ基、１−エチルプロポキシ基、ｎ−ヘキシルオキシ基、イソヘキシルオキシ基、４−メチルペントキシ基、３−メチルペントキシ基、２−メチルペントキシ基、１−メチルペントキシ基、３，３−ジメチルブトキシ基、２，２−ジメチルブトキシ基、１，１−ジメチルブトキシ基、１，２−ジメチルブトキシ基、１，３−ジメチルブトキシ基、２，３−ジメチルブトキシ基、１−エチルブトキシ基、２−エチルブトキシ基等が挙げられる。

【0022】

トリアルキルシロキシ基としては、トリメチルシロキシ基、トリエチルシロキシ基及びｔ−ブチルジメチルシロキシ基等を挙げることができる。トリアルキルシロキシ基には１置換基中に３つのアルキル基を有し、これら３つのアルキル基は互いに同一でも異なっていてもよく、アルキル基としては好ましくはＣ１〜Ｃ６アルキル基である。具体的にはＲ^１のアルキル基と同様のものが挙げられる。
ｍは２〜５０，０００のいずれかの整数を表す。

【0023】

本発明の製造方法によって得られる環状シラン化合物として、式（２）で表される化合物等を例示することができる。

【0024】

【化4】

【0025】

（式中、Ｒ^１、Ｒ^２は式（１）と同じ意味を表し、ｎは１〜２０のいずれかの整数を表す。Ｒ^１及びＲ^２は互いに同一でも異なっていてもよく、また、Ｒ^１同士、及びＲ^２同士は、互いに同一でも異なっていてもよい。）
Ｒ^１及びＲ^２は式（１）で挙げたものと同様のものが例示でき、ｎは１〜２０のいずれかの整数を表し、３〜８のいずれかの整数であることがより好ましい。すなわち、本発明の環状シラン化合物としては、シクロペンタシラン環、シクロヘキサシラン環、シクロヘプタシラン環、シクロオクタシラン環を有する化合物であることが好ましい。
環状シラン化合物として具体的には、パーアルキルシクロシラン、より具体的には例えば、デカメチルシクロペンタシラン、ドデカメチルシクロヘキサシラン等が挙げられる。

【0026】

本発明の第一の態様の製造方法は、環状シランの製造において、周期律表第８族または第１１族の遷移金属の酸化物存在下で行うことを特徴とする。これらの金属酸化物の存在下に反応を行うことで、目的とする環状シランを選択性よく得ることができる。また、これらの金属酸化物の添加量によって、得られる環状シラン化合物と環状カルボシラン化合物との生成選択率を制御することができる。
ここで、環状カルボシラン化合物とは、ケイ素と炭素からなる骨格を有し、かつ部分的にケイ素−炭素−ケイ素の結合を有する環状の化合物である。

【0027】

周期律表第８族遷移金属としては、鉄、ルテニウム、オスミウムが挙げられ、第１１族遷移金属としては、銅、銀、金が挙げられる。これらの遷移金属の酸化物としては、酸化鉄（ＩＩ）、酸化鉄（ＩＩ，ＩＩＩ）、酸化鉄（ＩＩＩ）、二酸化ルテニウム、四酸化ルテニウム、二酸化オスミウム、四酸化オスミウム、酸化銅（Ｉ）、酸化銅（ＩＩ）、酸化銀等が挙げられる。これらのうち、第８族遷移金属としては鉄、第１１族遷移金属としては銅であることがより好ましく、なかでも、酸化鉄（ＩＩＩ）、酸化銅（ＩＩ）であることがより好ましい。
本発明の第一の態様の製造方法においては、これらの金属酸化物を１種単独で用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。

【0028】

本発明の第一の態様の製造方法において、金属酸化物の使用量は、用いる鎖状ポリシランに対して、好ましくは１０ｗｔ．ｐｐｍ以上であり、より好ましくは１００ｗｔ．ｐｐｍ以上、さらに好ましくは１０００ｗｔ．ｐｐｍ以上である。また、２０００ｗｔ．ｐｐｍ以下であることが好ましい。
なお、本発明の第一の態様の製造方法を阻害しない限り、前記の金属酸化物の他に任意成分を添加しうる。

【0029】

本発明の第一の態様の製造方法における環状シラン化合物の製造は、原料である鎖状ポリシラン、及び上記の金属酸化物を反応槽内に仕込み、加熱することで行われる。加熱によって鎖状ポリシランが熱分解し、環状シラン化合物となる。

【0030】

反応温度は、仕込量や装置によって適当に選択しうるが、おおむね３５０〜４５０℃であり、好ましくは約４００℃である。反応時間は、仕込量や温度、装置によって適当に選択しうるが、おおむね１０分〜９０分である。
また反応は常圧、不活性ガス気流下で行われることが好ましく、不活性ガスとしては、窒素、アルゴン、及びこれらの混合ガス等が挙げられる。

【0031】

上記の方法で製造された環状シラン化合物は、ガスクロマトグラフィー（ＧＣ）、赤外分光（ＩＲ）分析等、公知の方法によって確認することができる。

【0032】

本発明の第二の態様の製造方法によって得られる環状カルボシラン化合物は、ケイ素と炭素からなる骨格を有し、かつ部分的にケイ素−炭素−ケイ素の結合を有する環状の化合物であり、特に、６〜８員の環状カルボシラン化合物が効率よく得られる。
６〜８員の環状カルボシラン化合物としては、例えば、原料としてポリ（ジメチルシリレン）を使用した場合には、下記式（３）〜（５）で表される化合物等を例示することができる。ただしこれ等の化学構造は、ガスクロマトグラフィー−質量分析（ＧＣ−ＭＳ）と赤外分光（ＩＲ）分析（Ｓｉ−Ｈ伸縮振動ν_Ｓｉ−Ｈによる吸収）の結果に基づく推測である。

【0033】

【化5】

【0034】

また、本発明においては、副産物として下記式で表される環状シランや鎖状ポリシランの分解物等も製造される。

【0035】

【化6】

【0036】

（式中、Ｒ^１、Ｒ^２は式（１）と同じ意味を表し、ｎは１〜２０の整数を表す。Ｒ^１及びＲ^２は互いに同一でも異なっていてもよく、また、Ｒ^１同士、及びＲ^２同士は、互いに同一でも異なっていてもよい。）
Ｒ^１及びＲ^２は式（１）で挙げたものと同様のものが例示でき、ｎは１〜２０のいずれかの整数であり、具体的には、パーアルキルシクロシラン、より具体的には例えば、デカメチルシクロペンタシラン、ドデカメチルシクロヘキサシラン等が挙げられる。

【0037】

本発明の環状カルボシラン化合物の製造方法は、遷移金属元素及び周期律表第１２〜１５族元素からなる群から選ばれる金属の単体又はその化合物（以後、これらをまとめて記載するときは「金属添加物）という）の存在下で行われる。これらの金属添加物の存在下に反応を行うことで、環状カルボシラン化合物、特に、６〜８員環状カルボシラン化合物を効率よく得ることができる。

【0038】

遷移金属としては、チタン（Ｔｉ）、マンガン（Ｍｎ）、鉄（Ｆｅ）、コバルト（Ｃｏ）又はパラジウム（Ｐｄ）等が挙げられる。
周期律表第１２族元素としては、亜鉛（Ｚｎ）、カドミウム（Ｃｄ）等、第１３族元素としては、アルミニウム（Ａｌ）等、第１４族元素としては、ケイ素（Ｓｉ）、スズ（Ｓｎ）、鉛（Ｐｂ）等、第１５族元素としてはアンチモン（Ｓｂ）、ビスマス（Ｂｉ）等が挙げられる。
金属単体としては、具体的には、Ｚｎ等が挙げられる。
また、金属化合物としては、ＴｉＣｌ_４，ＭｎＣｌ_２，ＦｅＣｌ_２，ＣｏＣｌ_２，ＰｄＣｌ_２，ＺｎＣｌ_２，ＺｎＯ，ＣｄＣｌ_２，ＡｌＣｌ_３，ＳｉＣｌ_４，ＳｎＣｌ_２，ＳｎＣｌ_４，ＳｎＯ，ＳｎＯ_２，ＰｂＣｌ_２，ＳｂＣｌ_５，ＢｉＣｌ_３等が挙げられる。これらのうち、ＺｎＣｌ_２，ＺｎＯ，ＡｌＣｌ_３，ＳｎＣｌ_２，ＳｎＣｌ_４，ＰｂＣｌ_２，ＳｂＣｌ_５，ＢｉＣｌ_３がとくに好ましい。なお、金属化合物は、第８族または第１１族遷移金属の酸化物でないことが好ましい。
本発明の第二の態様の製造方法においては、これらの金属添加物を１種単独で用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。

【0039】

本発明の第二の態様の製造方法において、金属添加物の使用量は、用いる鎖状ポリシランに対して、好ましくは１〜２０００ｗｔ．ｐｐｍであり、より好ましくは１〜１００ｗｔ．ｐｐｍである。
なお、本発明の第二の態様の製造方法を阻害しない限り、前記の金属添加物の他に任意成分を添加しうる。

【0040】

本発明の環状カルボシラン化合物の製造は、原料である鎖状ポリシラン、及び上記金属添加物を反応槽内に仕込み、加熱することで行われる。加熱によって鎖状のポリシランが熱分解し、環状カルボシラン化合物となる。

【0041】

反応温度は、仕込量や装置によって適当に選択しうるが、通常、３５０〜４５０℃、好ましくは約４００℃である。反応時間は、仕込量や温度、装置によって適当に選択しうるが、通常、１０分〜９０分である。
また反応は常圧、不活性ガス気流下で行われることが好ましく、不活性ガスとしては、窒素、アルゴン、これらの混合ガス等が挙げられる。

【0042】

上記の方法で製造された環状カルボシラン化合物は、ガスクロマトグラフィー（ＧＣ）、赤外分光（ＩＲ）分析等、公知の方法によって確認することができる。

【実施例】

【0043】

以下、参考例によって本発明の第一の態様による製造方法を説明するが、本発明の第一の態様はこれらの参考例に拘束されるものではない。

【0044】

［参考例１］
ポリ（ジメチルシリレン）（商品名ＰＤＭＳ、日本曹達社製）２０．４０ｇ、及び酸化鉄（ＩＩＩ）（和光純薬工業社製）０．２ｍｇ（ＰＤＭＳに対して１０ｗｔ．ｐｐｍ）を反応容器に投入し、窒素気流下で熱分解（室温から４０分かけて約４００℃に昇温した後、約４００℃で５０分間加熱）を行った。

【0045】

［参考例２〜８、比較例１］
用いる金属酸化物の種類及び投入量を変更した以外は参考例１と同様にして、表１のとおりポリ（ジメチルシリレン）の熱分解を行った。なお、表中（ｐｐｍ）は、（ｗｔ．ｐｐｍ）を表わす。

【0046】

【表1】

【0047】

（生成物の分析）
参考例１〜８で得た反応物をガスクロマトグラフィー（ＧＣ）にて分析した。
測定条件は以下の通りに行った。
ＧＣ装置：ＧＣ−１４Ａ（島津製作所製）
カラム：ガラスカラム ７Ｇ ３．２ｍｍφ×２．１ｍ（島津製作所製）
充填剤：Ｓｉｌｉｃｏｎｅ ＯＶ−１７ ２％ Ｃｈｒｏｍｏｓｏｒｂ ＷＡＷ ＤＭＣＳ ６０／８０ｍｅｓｈ（ジーエルサイエンス製）
注入口温度：２００℃
カラム温度：１００℃（１０分）→２０℃／分→２５０℃（５分）
検出器：ＴＣＤ １２５ｍＡ、２２０℃
キャリアガス：ヘリウム １００ｍＬ／分
注入量：０．６μＬ
データ処理装置：クロマトパック Ｃ−Ｒ６Ａ（島津製作所製）

【0048】

（生成物の評価）
参考例１〜８及び比較例１で得た熱分解生成物について、環状カルボシラン化合物を含有するＧＣ上のピーク（Ａ）（保持時間４．８分）の面積と、デカメチルシクロペンタシランのＧＣ上のピーク（Ｂ）（保持時間４．０分）の面積比（Ａ／Ｂ）及びＢの面積値を表２に示す。これらの結果より、何も添加せずにポリ（ジメチルシリレン）の熱分解を行った比較例１に比べて、金属酸化物を添加した参考例においてＡ／Ｂ値が減少しており、該金属酸化物を添加することにより、環状シラン化合物の生成量を環状カルボシラン化合物に対して相対的に増加させることができることがわかった。また、比較例１に比べて、金属酸化物を添加した参考例において、デカメチルシクロペンタシランの生成量を表す面積値が増加しており（特に、銅又は鉄の酸化物を用いた場合）、該金属酸化物を添加することにより、その生成量を増加させることができることがわかった。

【0049】

【表2】

【0050】

次に、実施例によって本発明の第二の態様を説明するが、本発明の第二の態様はこれらの実施例に拘束されるものではない。
［実施例１］
ポリ（ジメチルシリレン）（商品名：ＰＤＭＳ、日本曹達社製）２０．６ｇ、及びＡｌＣｌ_３（和光純薬工業社製）２４ｍｇ（ＰＤＭＳに対して１１７０ｗｔ．ｐｐｍ）を反応容器に投入し、窒素気流下で熱分解（室温から４５分かけて４００℃に昇温した後、約４００℃で３０分間加熱）を行った。

【0051】

［実施例２〜１６、比較例２］
用いる金属添加物の種類及び添加量を変更した以外は実施例１と同様にして、表３のとおりポリ（ジメチルシリレン）の熱分解を行った。

【0052】

【表3】

【0053】

（生成物の分析）
実施例及び比較例で得た反応物をガスクロマトグラフィー（ＧＣ）にて分析した。測定条件は以下の通りに行った。
ＧＣ装置：ＧＣ−１４Ａ（島津製作所製）
カラム：ガラスカラム７Ｇ ３．２ｍｍφ×２．１ｍ（島津製作所製）
充填剤：Ｓｉｌｉｃｏｎｅ ＯＶ−１７ ２％ Ｃｈｒｏｍｏｓｏｒｂ ＷＡＷ ＤＭＣＳ ６０／８０ｍｅｓｈ（ジーエルサイエンス製）
注入口温度：２００℃
カラム温度：１００℃（１０分）→２０℃／分→２５０℃（５分）
検出器：ＴＣＤ １２５ｍＡ，２２０℃
キャリアガス：ヘリウム １００ｍＬ／分
注入量：０．６μＬ
データ処理装置：クロマトパック Ｃ−Ｒ６Ａ（島津製作所製）

【0054】

（生成物の評価）
実施例１〜１６及び比較例２の化合物について、本発明の環状カルボシラン化合物を含有するＧＣ上のピーク（Ａ）（保持時間４．８分）の面積と、デカメチルシクロペンタシランのＧＣ上のピーク（Ｂ）（保持時間４．０分）の面積比（Ａ／Ｂ値）及びＡの面積値を表４に示す。これらの結果より、何も添加せずにポリ（ジメチルシリレン）の熱分解を行った比較例２に比べて、金属化合物を添加した実施例においてＡ／Ｂ値が増加しており、該金属化合物を添加することにより、環状カルボシラン化合物の生成量を環状シラン化合物に対して相対的に増加させることができることがわかった。また比較例２に比べて、実施例において、環状カルボシラン化合物の生成量を表す面積値が増加しており（一部例外有り）、該金属化合物を添加することにより、その生成量を増加させることができることがわかった。

【0055】

【表4】

【0056】

本発明を詳細に、また特定の実施態様を参照して説明したが、本発明の精神と範囲を逸脱することなくさまざまな変更や修正を加えることができることは、当業者にとって明らかである。
本発明は、２００９年４月１３日出願の日本国特許出願２００９−０９６７２０、及び２００９年４月１３日出願の日本国特許出願２００９−０９６７２１に基づくものであり、それらの内容はここに参照として取り込まれる。