特許5773438ナノ粒子を製造するための低圧高周波パルス・プラズマ反応器システム

発明の名称　ナノ粒子を製造するための低圧高周波パルス・プラズマ反応器システム

出願人　ダウ　コーニング　コーポレーション　（識別番号 590001418）

　　　　特許公開件数ランキング 347 位（35件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 447 位（28件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5773438

公報発行日　2015年9月2

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5773438

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