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特許5774579円錐型蒸着チャンバにおける密度最適化のためのＨＵＬＡ基板ホルダを特徴とする、リフトオフ蒸着システム
発明の名称 円錐型蒸着チャンバにおける密度最適化のためのＨＵＬＡ基板ホルダを特徴とする、リフトオフ蒸着システム
出願人 フェローテック（ユーエスエー）コーポレイション （識別番号 503093316）
特許公開件数ランキング 8324 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 6699 位（0件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-5774579
公報発行日 2015年9月9
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5774579
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