特許第5774579号(P5774579)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許5774579円錐型蒸着チャンバにおける密度最適化のためのＨＵＬＡ基板ホルダを特徴とする、リフトオフ蒸着システム
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  • 特許5774579-円錐型蒸着チャンバにおける密度最適化のためのＨＵＬＡ基板ホルダを特徴とする、リフトオフ蒸着システム 図000007
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  • 特許5774579-円錐型蒸着チャンバにおける密度最適化のためのＨＵＬＡ基板ホルダを特徴とする、リフトオフ蒸着システム 図000012
  • 特許5774579-円錐型蒸着チャンバにおける密度最適化のためのＨＵＬＡ基板ホルダを特徴とする、リフトオフ蒸着システム 図000013
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