特許5774778プラズマ発生源、スパッタリング装置、中性粒子ビーム発生源及び薄膜蒸着システム

発明の名称　プラズマ発生源、スパッタリング装置、中性粒子ビーム発生源及び薄膜蒸着システム

出願人　コリア　ベーシック　サイエンス　インスティテュート　（識別番号 505280369）

　　　　特許公開件数ランキング 30447 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 24615 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5774778

公報発行日　2015年9月9

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5774778

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特許-5774778「プラズマ発生源、スパッタリング装置、中性粒子ビーム発生源及び薄膜蒸着システム」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録