特許5776090成膜プロセス

発明の名称　成膜プロセス

出願人　株式会社　天谷製作所　（識別番号 510052285）

　　　　特許公開件数ランキング 1788 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1520 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5776090

公報発行日　2015年9月9

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5776090

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