特許5776555金属アルコキシド化合物及び当該化合物を用いた金属含有薄膜の製造法

発明の名称　金属アルコキシド化合物及び当該化合物を用いた金属含有薄膜の製造法

出願人　宇部興産株式会社　（識別番号 206）

　　　　特許公開件数ランキング 864 位（29件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 466 位（53件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5776555

公報発行日　2015年9月9

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5776555

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