特許5776563透明膜およびその製造方法並びに透明膜形成用スパッタリングターゲット

発明の名称　透明膜およびその製造方法並びに透明膜形成用スパッタリングターゲット

出願人　三菱マテリアル株式会社　（識別番号 6264）

　　　　特許公開件数ランキング 232 位（137件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 221 位（135件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5776563

公報発行日　2015年9月9

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5776563

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特許-5776563「透明膜およびその製造方法並びに透明膜形成用スパッタリングターゲット」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録