特許 5776701 半導体装置、および、半導体装置の製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5776701

(24)【登録日】2015年7月17日

(45)【発行日】2015年9月9日

(54)【発明の名称】半導体装置、および、半導体装置の製造方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/58 20060101AFI20150820BHJP

   H01L 21/52 20060101ALI20150820BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/58

   H01L21/52 A

【請求項の数】8

【全頁数】19

(21)【出願番号】特願2012-546718(P2012-546718)

(86)(22)【出願日】2011年9月8日

(86)【国際出願番号】JP2011070472

(87)【国際公開番号】WO2012073572

(87)【国際公開日】20120607

【審査請求日】2012年11月2日

(31)【優先権主張番号】特願2010-270080(P2010-270080)

(32)【優先日】2010年12月3日

(33)【優先権主張国】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】000005234

【氏名又は名称】富士電機株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100092152

【弁理士】

【氏名又は名称】服部 毅巖

(72)【発明者】

【氏名】大西 一永

(72)【発明者】

【氏名】高宮 喜和

(72)【発明者】

【氏名】船越 孝章

(72)【発明者】

【氏名】小平 悦宏

【審査官】 鈴木 和樹

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１０−１０３２２２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００６−３５１９８８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０００−２８６２８９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００２−３５３２７０（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２１／５８

Ｈ０１Ｌ ２１／５２

Ｈ０１Ｌ ２１／６０

Ｈ０１Ｌ ２３／１２ − ２３／１５

Ｈ０１Ｌ ２５／００ − ２５／１８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

基板と、
前記基板上に搭載された絶縁基板と、
前記絶縁基板の電子部品搭載領域上に形成された金属層と、
前記金属層上に、接合材を介して前記金属層の端部に沿って搭載された電子部品と、
前記接合材をはじく材料を含み、前記金属層上であって前記電子部品と前記端部との間に形成された、配線用ワイヤーとは別のワイヤー部材と、
を有し、
前記別のワイヤー部材は、前記電子部品と、前記電子部品と前記端部との間に搭載された別の電子部品との間に形成されていることを特徴とする半導体装置。

【請求項2】

前記ワイヤー部材は、ワイヤー部分を有し、前記ワイヤー部分は、前記金属層の前記端部に沿って延びていることを特徴とする請求項１記載の半導体装置。

【請求項3】

前記ワイヤー部材は、ボンディング部分を有し、前記金属層の前記端部に沿って複数並んで配置されていることを特徴とする請求項１記載の半導体装置。

【請求項4】

前記電子部品は、外部接続用端子であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の半導体装置。

【請求項5】

前記接合材は、はんだであることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の半導体装置。

【請求項6】

基板上に搭載された絶縁基板の電子部品搭載領域上に形成された金属層の前記電子部品搭載領域と前記金属層の端部との間に、接合材をはじく材料を含み、配線用ワイヤーとは別のワイヤー部材を形成する工程と、
前記ワイヤー部材を形成した後、前記金属層上に、前記電子部品搭載領域を覆うように前記接合材を介して電子部品を前記端部に沿って搭載する工程と、
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。

【請求項7】

前記ワイヤー部材を形成する工程は、前記配線用ワイヤーを形成する工程と同じワイヤーボンディング工程で行われることを特徴とする請求項６記載の半導体装置の製造方法。

【請求項8】

前記接合材は、はんだであることを特徴とする請求項６または７記載の半導体装置の製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、接合材が用いられた半導体装置、および、半導体装置の製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

絶縁基板上に形成された金属層上に、はんだを介して電子部品を搭載する半導体装置がある。この半導体装置では、電子部品をはんだを介して金属層上に搭載する際等に、はんだが周辺に向けて流動し、例えば、金属層の端部まで拡がってしまう場合や、金属層に搭載された他の電子部品が配置されている位置まで拡がってしまう場合がある。

【0003】

はんだが金属層の端部まで拡がると、熱が加えられた際に、金属層の端部付近の絶縁基板に大きな応力がかかりクラックが発生してしまう可能性がある。また、はんだが他の電子部品の配置位置まで拡がると、他の電子部品の接合に影響を与えてしまう可能性がある。

【0004】

これに対して、はんだの拡がりを抑制するため、例えば、電子部品が搭載される位置の周辺の金属層上にはんだをはじく絶縁膜を形成することや、電子部品が搭載される位置の周辺の金属層にスリットを形成することが考えられる。

【0005】

例えば、放熱板の一方の主面に絶縁層を介して載置された金属パターン上に電力半導体素子がはんだ接合され、金属パターンは、はんだレジストによって電力半導体素子形成領域と配線中継領域とに隔てられている電力半導体装置が存在する（例えば、特許文献１参照）。

【0006】

また、例えば、絶縁性材料の表面に封止用の蓋をはんだ付けするはんだ封止領域を有し、はんだ封止領域よりも内側もしくは外側の領域に金属層が設けられ、はんだ封止領域と金属層との境界部分には一定幅の帯状の金属層のない領域が閉ループ状に形成されたマルチチップモジュール用基板が存在する（例えば、特許文献２参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0007】

【特許文献1】特開２００９−１５８７８７号公報

【特許文献2】特開平９−７４１６５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0008】

しかしながら、電子部品が搭載される位置の周辺の金属層上にはんだをはじく絶縁膜を形成する方法では、絶縁膜を形成するための工程が新たに必要となり、製造コストが増大してしまう可能性がある。また、２８０℃〜３００℃を超えた温度領域では、有機物の熱分解によりガスが発生し、（１）レジストが剥離しやすくなるため組み立てが困難となる。（２）雰囲気中の不純物濃度が高くなり、組立が困難になる。

【0009】

また、電子部品が搭載される位置の周辺の金属層にスリットを形成する方法では、金属層が電気信号の経路を成している場合、金属層に設けられたスリットにより、金属層のインダクタンスが変化してしまい、半導体装置の電気特性に影響を与えてしまう可能性がある。このため、金属層にスリットを形成することができない場合がある。

【0010】

なお、これらの問題は、はんだを用いた場合に限らず、他の接合材を用いた場合にも同様に生じ得る。
このような点に鑑み、製造コストを抑制しつつ、信頼性を向上させた半導体装置、および、半導体装置の製造方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0011】

上記目的を達成するために以下のような半導体装置、および、半導体装置の製造方法が提供される。
この半導体装置は、基板と、基板上に搭載された絶縁基板と、絶縁基板の電子部品搭載領域上に形成された金属層と、金属層上に、接合材を介して金属層の端部に沿って搭載された電子部品と、接合材をはじく材料を含み、金属層上であって電子部品と端部との間に形成された、配線用ワイヤーとは別のワイヤー部材と、を有し、別のワイヤー部材は、電子部品と、電子部品と端部との間に搭載された別の電子部品との間に形成されている。

【0012】

また、この半導体装置の製造方法は、基板上に搭載された絶縁基板の電子部品搭載領域上に形成された金属層の電子部品搭載領域と金属層の端部との間に、接合材をはじく材料を含み、配線用ワイヤーとは別のワイヤー部材を形成する工程と、ワイヤー部材を形成した後、金属層上に、電子部品搭載領域を覆うように接合材を介して電子部品を端部に沿って搭載する工程と、を有する。

【発明の効果】

【0013】

開示の半導体装置、および、半導体装置の製造方法によれば、製造コストを抑制しつつ、信頼性を向上させることが可能となる。
本発明の上記および他の目的、特徴および利点は本発明の例として好ましい実施の形態を表す添付の図面と関連した以下の説明により明らかになるであろう。

【図面の簡単な説明】

【0014】

【図1】第１の実施の形態に係る半導体装置の一例を示す上面図である。

【図2】第１の実施の形態に係る半導体装置の一例を示す断面図である。

【図3】第１の実施の形態に係る半導体装置の一例を示す部分拡大図である。

【図4】第１の実施の形態に係る半導体装置の一例を示す部分拡大図である。

【図5】参考例１の装置を示す図である。

【図6】参考例２の装置を示す図である。

【図7】参考例２における試験結果を示す図である。

【図8】参考例３の装置を示す図である。

【図9】参考例３における試験結果を示す図である。

【図10】第１の実施の形態に係る半導体装置の変形例１を示す図である。

【図11】第１の実施の形態に係る半導体装置の変形例１を示す図である。

【図12】第１の実施の形態に係る半導体装置の変形例１を示す図である。

【図13】第１の実施の形態に係る半導体装置の変形例２を示す図である。

【図14】第２の実施の形態に係る半導体装置の製造方法の一例を示す工程図である。

【図15】第２の実施の形態に係る半導体装置の製造方法の一例を示す工程図である。

【図16】第２の実施の形態に係る半導体装置の製造方法の一例を示す工程図である。

【図17】第２の実施の形態に係る半導体装置の製造方法の一例を示す工程図である。

【発明を実施するための形態】

【0015】

以下、実施の形態を図面を参照して説明する。
［第１の実施の形態］
図１は、第１の実施の形態に係る半導体装置の一例を示す上面図である。図２は、第１の実施の形態に係る半導体装置の一例を示す断面図である。ここで、図２は、図１の点線Ａ−Ａにおける断面図に相当する。

【0016】

半導体装置１００は、表面１１１と裏面１１２とを備えた基板１１０を有している。基板１１０には、例えば、金属板が用いられている。具体的には、基板１１０の材料には、例えば、銅、Ｃｕ−Ｍｏ（銅−モリブデン合金）等の銅合金、ＡｌＳｉＣ（アルミニウムシリコンカーバイド）が用いられている。また、基板１１０の裏面１１２上には、例えば、放熱フィン（不図示）が設けられている。

【0017】

基板１１０の表面１１１上には、接合材１２１，１２２をそれぞれ介して、金属パターン１３１，１３２が形成されている。接合材１２１，１２２には、例えば、はんだが用いられている。金属パターン１３１，１３２の材料には、例えば、銅、アルミニウムが用いられている。アルミニウムの場合は、はんだ接合できるようにＮｉメッキ等の加工が行われる。

【0018】

金属パターン１３１上には、絶縁基板１４１が形成されている。金属パターン１３２上には、絶縁基板１４２が形成されている。絶縁基板１４１，１４２の材料には、例えば、窒化アルミニウム、窒化ケイ素、または、アルミナ等を主成分としたセラミックが用いられている。

【0019】

絶縁基板１４１上には、金属パターン１５１，１５２，１５３，１５４が形成されている。絶縁基板１４２上には、金属パターン１５５，１５６が形成されている。金属パターン１５１〜１５６の材料には、例えば、銅が用いられている。

【0020】

金属パターン１５２上には、接合材１６１を介して、半導体素子１７１，１７２，１７３，１７４と外部接続用端子１８１とが搭載されている。外部接続用端子１８１は、半導体素子１７１と半導体素子１７３との間に配置されている。

【0021】

金属パターン１５５上には、接合材１６２を介して、外部接続用端子１８２が搭載されている。金属パターン１５６上には、接合材１６２を介して、外部接続用端子１８３が搭載されている。

【0022】

接合材１６１，１６２には、例えば、はんだが用いられている。外部接続用端子１８１〜１８３の材料には、例えば、銅、真ちゅう、リン青銅が用いられている。半導体素子１７１〜１７４には、例えば、絶縁ゲートバイポーラトランジスタ（Insulated Gate Bipolar Transistor：ＩＧＢＴ）、または、フリーホイールダイオード（Free Wheeling Diode：ＦＷＤ）等が用いられている。

【0023】

半導体素子１７１と金属パターン１５１とは、複数の配線用ボンディングワイヤー１９１により電気的に接続されている。半導体素子１７１と半導体素子１７２とは、複数の配線用ボンディングワイヤー１９２により電気的に接続されている。半導体素子１７２と金属パターン１５３とは、配線用ボンディングワイヤー１９３により電気的に接続されている。

【0024】

半導体素子１７３と金属パターン１５１とは、複数の配線用ボンディングワイヤー１９４により電気的に接続されている。半導体素子１７３と半導体素子１７４とは、複数の配線用ボンディングワイヤー１９５により電気的に接続されている。半導体素子１７４と金属パターン１５３とは、配線用ボンディングワイヤー１９６により電気的に接続されている。

【0025】

金属パターン１５４と金属パターン１５６とは、配線用ボンディングワイヤー１９７により電気的に接続されている。金属パターン１５３と金属パターン１５５とは、配線用ボンディングワイヤー１９８により電気的に接続されている。配線用ボンディングワイヤー１９１〜１９８の材料には、例えば、アルミニウム、銅、金が用いられている。

【0026】

さらに、金属パターン１５２上には、外部接続用端子１８１と半導体素子１７１との間に、ワイヤー部材２０１が形成され、外部接続用端子１８１と半導体素子１７３との間に、ワイヤー部材２０２が形成されている。

【0027】

また、金属パターン１５５上には、外部接続用端子１８２と金属パターン１５５の端部との間に、ワイヤー部材２０３，２０４が形成されている。金属パターン１５６上には、外部接続用端子１８３と金属パターン１５６の端部との間に、ワイヤー部材２０５，２０６が形成されている。

【0028】

ワイヤー部材２０１，２０２には、接合材１６１をはじく材料が用いられ、ワイヤー部材２０３〜２０６には、接合材１６２をはじく材料が用いられている。接合材をはじくとは、つまり、接合材と反応性が低いことである。すなわち、ワイヤー部材２０１，２０２には、接合材１６１に対する濡れ性が悪い材料が用いられ、ワイヤー部材２０３〜２０６には、接合材１６２に対する濡れ性が悪い材料が用いられている。

【0029】

例えば、ワイヤー部材２０１〜２０６には、配線用ボンディングワイヤー１９１〜１９８と同じ材料が用いられている。具体的には、ワイヤー部材２０１〜２０６の材料には、アルミニウムが用いられている。なお、アルミニウムは、はんだをはじく特性を備えている。すなわち、アルミニウムは、はんだに対する濡れ性が悪い。

【0030】

また、ワイヤー部材２０１〜２０６は、配線用ボンディングワイヤー１９１〜１９８のような配線用のボンディングワイヤーとは別に設けられたものである。すなわち、ワイヤー部材２０１，２０２は、金属パターン１５２を除く他の金属パターン１５１，１５３〜１５６、および、半導体素子１７１〜１７４とは接合されていない。ワイヤー部材２０３，２０４は、金属パターン１５５を除く他の金属パターン１５１〜１５４，１５６、および、半導体素子１７１〜１７４とは接合されていない。ワイヤー部材２０５，２０６は、金属パターン１５６を除く他の金属パターン１５１〜１５５、および、半導体素子１７１〜１７４とは接合されていない。

【0031】

なお、上述した半導体素子１７１〜１７４、および、外部接続用端子１８１〜１８３は、それぞれ、単に電子部品と称される場合もある。
次に、金属パターン１５５上の構造の詳細について説明する。図３は、第１の実施の形態に係る半導体装置の一例を示す部分拡大図である。図３（Ａ）は、図１の点線Ｄ１で囲まれた領域を切り出した部分上面図である。図３（Ｂ）は、図３（Ａ）の点線Ａ−Ａにおける断面図に相当する。

【0032】

金属パターン１５５の形状は、長方形であり、長辺に相当する端部１５５ａ，１５５ｂと、短辺に相当する端部１５５ｃ，１５５ｄとを有している。外部接続用端子１８２は、台座部１８２ａと、突起部１８２ｂとを有している。外部接続用端子１８２は、台座部１８２ａが金属パターン１５５の中央に位置するように配置されている。

【0033】

接合材１６２は、外部接続用端子１８２を包囲するように形成されている。外部接続用端子１８２の台座部１８２ａは、接合材１６２により接合されている。接合材１６２と、金属パターン１５５の端部１５５ａ〜１５５ｄとは、所定間隔離間している。

【0034】

ワイヤー部材２０３は、外部接続用端子１８２と金属パターン１５５の端部１５５ａとの間に配置されている。ワイヤー部材２０３は、複数のワイヤー部分２０３ａと、複数のボンディング部分２０３ｂとを有している。複数のボンディング部分２０３ｂは、端部１５５ａに沿って一列に並んで配置されている。複数のワイヤー部分２０３ａはそれぞれ、端部１５５ａに沿って延びている。

【0035】

ワイヤー部材２０４は、外部接続用端子１８２と金属パターン１５５の端部１５５ｂとの間に位置している。ワイヤー部材２０４は、複数のワイヤー部分２０４ａと、複数のボンディング部分２０４ｂとを有している。複数のボンディング部分２０４ｂは、端部１５５ｂに沿って一列に並んで配置されている。複数のワイヤー部分２０４ａはそれぞれ、端部１５５ｂに沿って延びている。

【0036】

ワイヤー部分２０３ａ，２０４ａの直径は、例えば、１２５〜５００μｍである。また、複数のボンディング部分２０３ｂ，２０４ｂの間隔はそれぞれ、例えば、６ｍｍ以下、好ましくは、３ｍｍ以下である。

【0037】

なお、金属パターン１５６上の外部接続用端子１８３、接合材１６２、および、ワイヤー部材２０５，２０６も、金属パターン１５５上の外部接続用端子１８２、接合材１６２、および、ワイヤー部材２０３，２０４と同様の構成を有している。

【0038】

次に、金属パターン１５２上の構造の詳細について説明する。図４は、第１の実施の形態に係る半導体装置の一例を示す部分拡大図である。図４（Ａ）は、図１の点線Ｄ２で囲まれた領域を切り出した部分上面図である。図４（Ｂ）は、図４（Ａ）の点線Ａ−Ａにおける断面図に相当する。図４（Ｃ）は、図４（Ａ）の点線Ｂ−Ｂにおける断面図に相当する。

【0039】

ここで、接合材１６１について、半導体素子１７１を接合しているものを接合材１６１ａとし、外部接続用端子１８１を接合しているものを接合材１６１ｂとして説明を行う。
半導体素子１７１と外部接続用端子１８１とは、隣り合って配置されている。接合材１６１ａは、金属パターン１５２と半導体素子１７１との間に充填されている。さらに、接合材１６１ａは、半導体素子１７１の周囲に一部はみ出している。

【0040】

外部接続用端子１８１は、台座部１８１ａと、突起部１８１ｂとを有している。接合材１６１ｂは、外部接続用端子１８１を包囲するように形成されている。外部接続用端子１８１の台座部１８１ａは、接合材１６１ｂにより接合されている。接合材１６１ａと接合材１６１ｂとは、所定間隔離間している。

【0041】

ワイヤー部材２０１は、半導体素子１７１と外部接続用端子１８１との間に配置されている。ワイヤー部材２０１は、複数のワイヤー部分２０１ａと、複数のボンディング部分２０１ｂとを有している。

【0042】

複数のボンディング部分２０１ｂは、半導体素子１７１と外部接続用端子１８１とを結ぶ方向と垂直に交差する方向に一列に並んで配置されている。複数のワイヤー部分２０１ａはそれぞれ、半導体素子１７１と外部接続用端子１８１とを結ぶ方向と垂直に交差する方向に延びている。

【0043】

ワイヤー部分２０１ａの直径は、例えば、１２５〜５００μｍである。また、複数のボンディング部分２０１ｂの間隔は、例えば、６ｍｍ以下、好ましくは、３ｍｍ以下である。

【0044】

なお、ワイヤー部材２０２についても、半導体素子１７３と外部接続用端子１８１との間に、ワイヤー部材２０１と同様に形成されている。
以上説明してきたように、半導体装置１００では、図３に示したように、金属パターン１５５上において、外部接続用端子１８２と金属パターン１５５の端部１５５ａ，１５５ｂとの間に、接合材１６２をはじく材料を含み、配線用ボンディングワイヤーとは別のワイヤー部材２０３，２０４が形成されている。

【0045】

この構成によれば、外部接続用端子１８２を接合材１６２を介して金属パターン１５５上に搭載する際等に、外部接続用端子１８２を接合する接合材１６２が流動して周囲に拡がった場合でも、ワイヤー部材２０３，２０４が接合材１６２をはじき、接合材１６２はワイヤー部材２０３，２０４によりせき止められる。このため、接合材１６２が金属パターン１５５の端部１５５ａ，１５５ｂに到達することを抑制することができる。

【0046】

接合材１６２が金属パターン１５５の端部１５５ａ，１５５ｂにまで拡がってしまうと、熱が加えられた際に、金属パターン１５５の端部１５５ａ，１５５ｂ付近の絶縁基板１４２に大きな応力がかかりクラックが発生してしまう可能性がある。絶縁基板１４２にクラックが発生すると、部分放電が発生したり、絶縁耐圧の低下が起こる可能性がある。

【0047】

ここで、クラックの発生について、参考例を用いて説明する。図５は、参考例１の装置を示す図である。図６は、参考例２の装置を示す図である。図５（Ａ）は、参考例１の装置を示す上面図であり、図５（Ｂ）は、図５（Ａ）の点線Ａ−Ａにおける断面図に相当する。図６（Ａ）は、参考例２の装置を示す上面図であり、図６（Ｂ）は、図６（Ａ）の点線Ａ−Ａにおける断面図に相当する。

【0048】

まず、参考例１の装置３００を説明する。図５（Ａ）、（Ｂ）に示すように、装置３００は、銅合金を材料とする金属基板３１０を有している。金属基板３１０上には、はんだ３２０を介して銅箔３３０が形成されている。銅箔３３０上には、セラミックス基板３４０が形成されている。セラミックス基板３４０上には、銅箔３５０が形成されている。銅箔３５０上には、はんだ３６０を介して、銅を材料とする外部接続用端子３７０が搭載されている。

【0049】

ここで、外部接続用端子３７０は、銅箔３５０の端部３５１に接近して配置されており、はんだ３６０は、銅箔３５０の端部３５１にまで拡がっている。この場合、装置３００に熱が加えられると、セラミックス基板３４０と銅箔３５０およびはんだ３６０との熱膨張係数が大きく異なるため、銅箔３５０の端部３５１付近に位置するセラミックス基板３４０に大きな応力がかかり、図５（Ｂ）に示すように、クラック３４１が発生してしまう可能性がある。

【0050】

次に、参考例２の装置４００を説明する。図６（Ａ）、（Ｂ）に示すように、装置４００は、銅合金を材料とする金属基板４１０を有している。金属基板４１０上には、はんだ４２０を介して銅箔４３０が形成されている。銅箔４３０上には、セラミックス基板４４０が形成されている。セラミックス基板４４０上には、銅箔４５０が形成されている。銅箔４５０上には、はんだ４６０を介して、銅を材料とする外部接続用端子４７０が搭載されている。

【0051】

ここで、外部接続用端子４７０は、銅箔４５０の中央に配置され、はんだ４６０は、銅箔４５０の端部４５１，４５２にまで拡がっている。この場合、装置４００に熱が加えられると、セラミックス基板４４０と銅箔４５０およびはんだ４６０との熱膨張係数が大きく異なるため、銅箔４５０の端部４５１，４５２付近に位置するセラミックス基板４４０に大きな応力がかかり、図６（Ｂ）に示すように、クラック４４１，４４２が発生してしまう可能性がある。

【0052】

半導体装置１００では、上述したように、接合材１６２が金属パターン１５５の端部１５５ａ，１５５ｂに到達することを抑制することができるため、金属パターン１５５の端部１５５ａ，１５５ｂ付近の絶縁基板１４２にクラックが発生してしまう可能性を抑制することができる。また、半導体装置１００では、金属パターン１５６上にも、金属パターン１５５上と同様に、ワイヤー部材２０５，２０６が形成されているため、金属パターン１５６の端部付近の絶縁基板１４２にクラックが発生してしまう可能性を抑制することができる。これにより、半導体装置１００の信頼性を向上させることが可能となる。

【0053】

図７は、参考例２における試験結果を示す図である。図７に示すグラフの横軸は経過温度サイクルを示し、縦軸はセラミックス基板４４０に発生するクラックのクラック長を示す。このグラフは、装置４００において、銅箔４５０を厚く形成した構造Ａと、銅箔４５０を薄く形成した構造Ｂとに対して、外部接続用端子４７０と銅箔４５０の端部４５１，４５２との間にワイヤー部材を形成した場合と、ワイヤー部材を形成しない場合とにおいて、温度サイクル試験を行った結果を示す。

【0054】

折れ線ａ１は、構造Ａにおいて、ワイヤー部材を形成した場合の試験結果を示す。折れ線ａ２は、構造Ａにおいて、ワイヤー部材を形成しない場合の試験結果を示す。折れ線ｂ１は、構造Ｂにおいて、ワイヤー部材を形成した場合の試験結果を示す。折れ線ｂ２は、構造Ｂにおいて、ワイヤー部材を形成しない場合の試験結果を示す。

【0055】

グラフから、構造Ａ，Ｂの両方において、ワイヤー部材を形成した方が、セラミックス基板４４０に発生するクラックのクラック長が短くなっていることが伺える。構造Ｂにおいては、折れ線ｂ１により示されるように、クラックはほとんど発生していない。

【0056】

さらに、半導体装置１００では、図３に示したように、ワイヤー部材２０３，２０４のワイヤー部分２０３ａ，２０４ａはそれぞれ、金属パターン１５５の端部１５５ａ，１５５ｂに沿って延びている。

【0057】

これにより、接合材１６２の流動方向と交差する方向に、ワイヤー部分２０３ａ，２０４ａが延在するため、金属パターン１５５の端部１５５ａ，１５５ｂに向けて流動する接合材１６２を効果的にせき止めることが可能となる。また、ワイヤー部材２０５，２０６についても、ワイヤー部材２０３，２０４と同様に、金属パターン１５６の端部に向けて流動する接合材１６２を効果的にせき止めることが可能となる。

【0058】

さらに、半導体装置１００では、ワイヤー部材２０３〜２０６は、配線用ボンディングワイヤー１９１〜１９８と同じワイヤーボンディング工程で形成することが可能であるため、ワイヤー部材２０３〜２０６を設けるために、新たな工程を必要としない。これにより、製造コストを抑制することが可能となる。

【0059】

さらに、ワイヤー部材２０３〜２０６は、材料費が安いため、半導体装置１００のコストを低減することが可能となる。
また、半導体装置１００では、図４に示したように、金属パターン１５２上において、半導体素子１７１と外部接続用端子１８１との間に、接合材１６１ａ，１６１ｂをはじく材料を含み、配線用ボンディングワイヤーとは別のワイヤー部材２０１が形成されている。

【0060】

この構成によれば、半導体素子１７１および外部接続用端子１８１を接合材１６１ａ，１６１ｂを介して金属パターン１５２上に搭載する際等に、接合材１６１ａと接合材１６１ｂとが流動して周囲に拡がった場合でも、ワイヤー部材２０１が接合材１６１ａ，１６１ｂをはじき、接合材１６１ａ，１６１ｂは、ワイヤー部材２０１によりせき止められる。このため、接合材１６１ａと接合材１６１ｂとが交わってしまうことを抑制することができる。

【0061】

接合材１６１ａと接合材１６１ｂとが交わってしまった場合、半導体素子１７１の接合に影響を与えてしまう場合がある。この影響について、参考例３を用いて説明する。図８は、参考例３の装置を示す図である。

【0062】

図８（Ａ）は、参考例３の装置を示す上面図である。図８（Ｂ）、（Ｃ）は、図８（Ａ）の点線Ａ−Ａにおける断面図に相当する。ここで、図８（Ｂ）、（Ｃ）は、異なる現象が発生した際の装置の断面図をそれぞれ示すものである。

【0063】

図８（Ａ）〜（Ｃ）に示すように、装置５００は、銅合金を材料とする金属基板５１０を有している。金属基板５１０上には、はんだ５２０を介して銅箔５３０が形成されている。銅箔５３０上には、セラミックス基板５４０が形成されている。セラミックス基板５４０上には、銅箔５５０が形成されている。銅箔５５０上には、はんだ５６０ａを介して半導体素子５７０が搭載され、さらに、はんだ５６０ｂを介して銅を材料とする外部接続用端子５８０が搭載されている。

【0064】

ここで、半導体素子５７０と外部接続用端子５８０とは、隣り合って配置されており、はんだ５６０ａとはんだ５６０ｂとが交わっている。この場合、次の２つの現象が発生する可能性がある。

【0065】

まず、１つ目の現象としては、図８（Ｂ）に示すように、はんだ５６０ａとはんだ５６０ｂとが交わると、はんだ５６０ａが外部接続用端子５８０側に引き寄せられて、半導体素子５７０の下にボイド５６１が発生してしまう可能性がある。この場合、半導体素子５７０から金属基板５１０へ向かう放熱経路の熱抵抗が大きくなってしまい、放熱性が低下してしまう可能性がある。放熱性が低下すると、半導体素子５７０が十分に冷却されず温度が高くなり、配線等が影響を受け、信頼性が低下してしまう。

【0066】

次に、２つ目の現象としては、図８（Ｃ）に示すように、はんだ５６０ａとはんだ５６０ｂとが交わると、はんだ５６０ｂが半導体素子５７０側に引き寄せられて、半導体素子５７０の下の接合材が厚くなってしまう可能性がある。この場合も、半導体素子５７０から金属基板５１０へ向かう放熱経路の熱抵抗が大きくなってしまい、放熱性が低下してしまう可能性がある。

【0067】

なお、はんだの熱伝導率は、４０〜６０Ｗ／ｍＫ程度であり、例えば、アルミニウムや銅等の金属の熱伝導率（２００〜４００Ｗ／ｍＫ程度）と比べて大幅に低い。
半導体装置１００では、上述したように、接合材１６１ａと接合材１６１ｂとが交わってしまうことを抑制できるため、半導体素子１７１の下の接合材に、ボイドが発生したり、半導体素子１７１の下の接合材が厚くなってしまう現象を回避することができる。これにより、半導体素子１７１から基板１１０へ向かう放熱経路の熱抵抗が高くなることを抑制できる。

【0068】

また、半導体装置１００では、金属パターン１５２上において、半導体素子１７３と外部接続用端子１８１との間にも同様に、ワイヤー部材２０２が形成されているため、半導体素子１７３を接合する接合材と、外部接続用端子１８１を接合する接合材１６１ｂとが交わってしまうことを抑制でき、半導体素子１７３から基板１１０へ向かう放熱経路の熱抵抗が高くなることを抑制できる。

【0069】

これにより、半導体装置１００では、放熱性を低下させることなく、半導体素子１７１，１７３と外部接続用端子１８１とを、同じ金属パターン１５２上に近接して配置させることが可能となる。つまり、半導体装置１００は、小型化と放熱性の向上とを両立して実現できる。

【0070】

さらに、半導体装置１００では、図４に示したように、ワイヤー部材２０１のワイヤー部分２０１ａは、半導体素子１７１と外部接続用端子１８１とを結ぶ方向と垂直に交差する方向に延びている。

【0071】

これにより、接合材１６１ａ，１６１ｂの流動方向と交差する方向に、ワイヤー部分２０１ａが延在するため、接合材１６１ａ，１６１ｂを効果的にせき止めることが可能となる。また、ワイヤー部材２０２についても、ワイヤー部材２０１と同様に、半導体素子１７３を接合する接合材と、外部接続用端子１８１を接合する接合材１６１ｂとを効果的にせき止めることが可能となる。

【0072】

さらに、半導体装置１００では、ワイヤー部材２０１，２０２は、配線用ボンディングワイヤー１９１〜１９８と同じワイヤーボンディング工程で形成することが可能であるため、ワイヤー部材２０１，２０２を設けるために、新たな工程を必要としない。これにより、製造コストを抑制することが可能となる。

【0073】

さらに、ワイヤー部材２０１，２０２は、材料費が安いため、半導体装置１００のコストを低減することが可能となる。
図９は、参考例３における試験結果を示す図である。図９に示す表は、参考例３の装置５００に対して、半導体素子５７０と外部接続用端子５８０との間に、ボンディングピッチが６ｍｍのワイヤー部材を形成したものと、ボンディングピッチが３ｍｍのワイヤー部材を形成したものと、ワイヤー部材を形成しないものとをそれぞれ多数投入した場合に、はんだ５６０ａとはんだ５６０ｂとが交わってしまった件数（発生数）をそれぞれカウントした結果である。

【0074】

表に示されるように、ボンディングピッチが３ｍｍのワイヤー部材を形成した場合の発生率は０％である。ボンディングピッチが６ｍｍのワイヤー部材を形成した場合の発生率は６％と低い値である。ワイヤー部材を形成しなかった場合の発生率は１００％である。このように、ワイヤー部材を形成することにより、はんだ５６０ａとはんだ５６０ｂとが交わることを抑制することができる。

【0075】

なお、半導体装置１００において、外部接続用端子１８１〜１８３に換えて、他の電子部品、例えば、半導体素子を搭載した場合も、上述した効果と同様の効果を得ることができる。

【0076】

（変形例１）
次に、半導体装置１００に対して、金属パターン１５５，１５６上に、ワイヤー部材２０３〜２０６に換えて、他のワイヤー部材を形成した複数の変形例を、変形例１として説明する。図１０〜図１２は、第１の実施の形態に係る半導体装置の変形例１を示す図である。ここでは代表して、金属パターン１５５上の構成について説明する。

【0077】

図１０〜図１２に示す各図面はそれぞれ、互いに異なる変形例を示すものである。また、図１０〜図１２に示す各図面はそれぞれ、図３（Ａ）に示した部分上面図に対応している。

【0078】

図１０（Ａ）に示す変形例では、外部接続用端子１８２と金属パターン１５５の端部１５５ａ，１５５ｂとの間に、ワイヤー部分と複数のボンディング部分とを有するワイヤー部材５０１が形成されている。

【0079】

図１０（Ｂ）に示す変形例では、外部接続用端子１８２と金属パターン１５５の端部１５５ａ，１５５ｂとの間に、複数のワイヤー部分と複数のボンディング部分とを有するワイヤー部材５０２が形成されている。

【0080】

図１０（Ｃ）に示す変形例では、ワイヤー部分が切断され、ボンディング部分のみから成るワイヤー部材５０３が複数形成されている。複数のワイヤー部材５０３は、外部接続用端子１８２と金属パターン１５５の端部１５５ａ，１５５ｂとの間に、端部１５５ａ，１５５ｂに沿って一列に並んで配置されている。

【0081】

なお、ここでは、ボンディング部分のみから成るものも、ワイヤー部材と称している。ワイヤー部材５０３は、ワイヤー部分を有していないが、ボンディング部分により、接合材１６２をせき止めることができる。

【0082】

さらに、ワイヤー部材５０３が、ワイヤー部分を有していないことにより、複数のワイヤー部材５０３を、ワイヤーボンディング装置により、短い間隔で配置させることができる。

【0083】

図１０（Ｄ）に示す変形例では、複数のワイヤー部材５０３が、外部接続用端子１８２を包囲するように形成されている。
図１１（Ａ）に示す変形例では、外部接続用端子１８２が金属パターン１５５の端部１５５ｄに近接している。なお、これは、図１１（Ｂ）〜（Ｆ）、図１２（Ａ）〜（Ｅ）に示す変形例についても同様である。

【0084】

さらに、図１１（Ａ）に示す変形例では、外部接続用端子１８２と金属パターン１５５の端部１５５ａ，１５５ｂとの間に、複数のワイヤー部分と複数のボンディング部分とを有するワイヤー部材５０４が形成されている。

【0085】

図１１（Ｂ）に示す変形例では、ワイヤー部材５０４が、外部接続用端子１８２と金属パターン１５５の端部１５５ａ，１５５ｂとの間に形成されている。さらに、ワイヤー部材５０３が、外部接続用端子１８２と金属パターン１５５の端部１５５ｄとの間に形成されている。

【0086】

図１１（Ｃ）に示す変形例では、ワイヤー部材５０４が、外部接続用端子１８２と金属パターン１５５の端部１５５ａ，１５５ｂとの間に形成されている。さらに、ワイヤー部材５０３が、外部接続用端子１８２と金属パターン１５５の端部１５５ｃ，１５５ｄとの間に形成されている。

【0087】

図１１（Ｄ）に示す変形例では、ワイヤー部材５０１が、外部接続用端子１８２と金属パターン１５５の端部１５５ａ，１５５ｂとの間に形成されている。
図１１（Ｅ）に示す変形例では、複数のワイヤー部材５０３が、外部接続用端子１８２と金属パターン１５５の端部１５５ａ，１５５ｂとの間に、端部１５５ａ，１５５ｂに沿って一列に並んで配置されている。

【0088】

図１１（Ｆ）に示す変形例では、ワイヤー部材５０３が、外部接続用端子１８２と金属パターン１５５の端部１５５ａ，１５５ｂ，１５５ｄとの間に形成されている。
図１２（Ａ）〜（Ｅ）に示す変形例では、それぞれ、複数のワイヤー部材５０３が、外部接続用端子１８２を包囲するように形成されている。

【0089】

（変形例２）
次に、半導体装置１００に対して、金属パターン１５２上に、ワイヤー部材２０１，２０２に換えて、他のワイヤー部材を形成した複数の変形例を、変形例２として説明する。図１３は、第１の実施の形態に係る半導体装置の変形例２を示す図である。ここでは代表して、半導体素子１７１と外部接続用端子１８１との間の構成について説明する。

【0090】

図１３に示す各図面はそれぞれ、互いに異なる変形例を示すものである。また、図１３に示す各図面はそれぞれ、図４（Ａ）に示した部分上面図に対応している。
図１３（Ａ）に示す変形例では、外部接続用端子１８１と半導体素子１７１との間に、ワイヤー部分と複数のボンディング部分とを有するワイヤー部材５１１が形成されている。

【0091】

図１３（Ｂ）〜（Ｅ）に示す変形例では、ワイヤー部分が切断され、ボンディング部分のみから成るワイヤー部材５１２が複数形成されている。複数のワイヤー部材５１２は、外部接続用端子１８１と半導体素子１７１との間に形成され、外部接続用端子１８１と半導体素子１７１とを結ぶ方向と交差する方向に一列に並んで配置されている。

【0092】

ワイヤー部材５１２は、ワイヤー部分を有していないが、ボンディング部分により、接合材１６１ａ，１６１ｂをせき止めることができる。
さらに、ワイヤー部材５１２が、ワイヤー部分を有していないことにより、複数のワイヤー部材５１２を、ワイヤーボンディング装置により、短い間隔で配置させることができる。

【0093】

［第２の実施の形態］
次に、第１の実施の形態の半導体装置１００の製造方法を、第２の実施の形態として説明する。図１４〜図１７は、第２の実施の形態に係る半導体装置の製造方法の一例を示す工程図である。図１４は、上面図であり、図１５は、図１４の点線Ａ−Ａにおける断面図である。図１６は、上面図であり、図１７は、図１６の点線Ａ−Ａにおける断面図である。

【0094】

まず、図１４、図１５に示すように、基板１１０上に接合材１２１，１２２を介して金属パターン１３１，１３２が形成され、金属パターン１３１，１３２上に絶縁基板１４１，１４２が形成され、絶縁基板１４１，１４２上に金属パターン１５１〜１５６が形成された積層体を準備する。そして、この積層体に対して、金属パターン１５２上に接合材１６１を介して半導体素子１７１〜１７４を搭載する。

【0095】

次に、図１６、図１７に示すように、ワイヤーボンディング装置を用いて、配線用ボンディングワイヤー１９１〜１９８、および、ワイヤー部材２０１〜２０６を形成する。すなわち、配線用ボンディングワイヤー１９１〜１９８、および、ワイヤー部材２０１〜２０６は、同じワイヤーボンディング工程で形成される。

【0096】

次に、金属パターン１５２上に接合材１６１を供給し、金属パターン１５５，１５６上に接合材１６２を供給する。その後、金属パターン１５２上に、接合材１６１を介して外部接続用端子１８１を搭載し、金属パターン１５５上に接合材１６２を介して外部接続用端子１８２を搭載し、金属パターン１５６上に接合材１６２を介して外部接続用端子１８３を搭載する。以上の工程により、図１、図２に示す半導体装置１００が生成される。

【0097】

このように、第２の実施の形態の半導体装置の製造方法によれば、ワイヤー部材２０１〜２０６は、配線用ボンディングワイヤー１９１〜１９８と同じワイヤーボンディング工程で形成される。

【0098】

この構成によれば、ワイヤー部材２０１〜２０６を形成するために、新たな工程を必要としない。これにより、製造コストを抑制することが可能となる。
上記については単に本発明の原理を示すものである。さらに、多数の変形、変更が当業者にとって可能であり、本発明は上記に示し、説明した正確な構成および応用例に限定されるものではなく、対応するすべての変形例および均等物は、添付の請求項およびその均等物による本発明の範囲とみなされる。

【符号の説明】

【0099】

１００ 半導体装置
１１０ 基板
１１１ 表面
１１２ 裏面
１２１，１２２，１６１，１６１ａ，１６１ｂ，１６２ 接合材
１３１，１３２，１５１〜１５６ 金属パターン
１４１，１４２ 絶縁基板
１５５ａ〜１５５ｄ 端部
１７１〜１７４ 半導体素子
１８１〜１８３ 外部接続用端子
１８１ａ，１８２ａ 台座部
１８１ｂ，１８２ｂ 突起部
１９１〜１９８ 配線用ボンディングワイヤー
２０１〜２０６，５０１〜５０４，５１１，５１２ ワイヤー部材
２０１ａ，２０３ａ，２０４ａ ワイヤー部分
２０１ｂ，２０３ｂ，２０４ｂ ボンディング部分

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】