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特許 5779545出願番号 特願 2012-113006
光学素子操作装置
出願人 カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー（識別番号 503263355）
2026年 特許公開件数ランキング 388位 58件（※）
2026年 特許取得件数ランキング 576位 29件（※）
公報発行日 2015年9月16
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5779545 ログイン済みの方はこのURLへ
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※ 共同出願を含む
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技術分野
少なくとも３つのアクチュエータデバイスを介して、構造体について、光学素子を６自由度まで操作するための装置に関する。本発明は同様に、光学素子または光学アセンブリを直接連結するためのアクチュエータデバイスに関する。本発明はまた、少なくとも３つのアクチュエータデバイスを介して、構造体について、光学アセンブリを６自由度まで操作するための装置に関する。さらに、本発明は、力制御アクチュエータ及び力制御アクチュエータデバイス
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1】光源と、照射システムと、投影レンズとを備えたＥＵＶ投射照明システムの基本構成を示す。
【図2】光学素子の操作のための本発明に基づく装置の基本説明図を示す。
【図3】アクチュエータデバイスの基本説明図を示す。
【図4】投影レンズのハウジングにミラーを取り付けるための本発明に基づく装置の簡略平面図を示す。
【図5】ミラーを取り付けるための本発明に基づく装置の斜視図を示す。
【図6】アクチュエータデバイスの斜視図を示す。
【図7】力制御アクチュエータを概略的に示す。
【図8】図３及び図６に示したものと類似のアクチュエータデバイスを概略的に示す。
選択図 図1出願人が指定した本件の代表的な図
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