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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハーの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 7787155	放射劣化からの光学部品の光学材料の保護	2025年12月16日
特許 7781305	ウェハの結像データセットにおける異常の検出のためのコンピュータ実施方法、およびそのような方法を利用するシステム	2025年12月 5日
特許 7780484	リソグラフィシステムのマスクを認定するための方法および装置	2025年12月 4日
特許 7777146	ファセットシステム及びリソグラフィ装置	2025年11月27日
特許 7777178	ＥＵＶマイクロリソグラフィ用のフォトマスクを検査するための測定デバイスおよび方法	2025年11月27日
特許 7773689	マスク修復のための方法および装置	2025年11月20日
特許 7773589	ＥＵＶリソグラフィ用マスクを検査するためのシステムおよび方法	2025年11月19日
特許 7770568	光学測定システムによる物体の照明および結像中の光学生成システムの照明および結像特性をシミュレートするための瞳絞り形状を最適化するための方法	2025年11月14日
特許 7769803	レンズ用のマウント、アセンブリ、リソグラフィシステム、および方法	2025年11月13日
特許 7767275	投影露光装置の照明光学ユニットのファセットミラー	2025年11月11日
特許 7765967	ビーム誘導光学ユニットによって誘導された光ビームのビーム角を測定するためのデバイスおよび方法	2025年11月 7日
特許 7762804	フォトマスクに対する動作を較正するための方法および装置	2025年10月30日
特許 7759689	ペルチェモジュール、アセンブリ、マスク検査用の装置	2025年10月24日
特許 7759690	測定チャンバにおける配置のためのセンサー構成体、マスクを適切なものにするための装置、およびマスクを適切なものにするための方法	2025年10月24日
特許 7759511	光学素子、ならびにそれに伴うアセンブリおよび光学系	2025年10月23日

47 件中 1-15 件を表示

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7787155 7781305 7780484 7777146 7777178 7773689 7773589 7770568 7769803 7767275 7765967 7762804 7759689 7759690 7759511

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