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特許5787284反応種供給装置および表面等処理装置
発明の名称 反応種供給装置および表面等処理装置
出願人 国立大学法人名古屋大学 （識別番号 504139662）
特許公開件数ランキング 267 位（189件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 257 位（177件）（共同出願を含む）
出願人 ＮＵエコ・エンジニアリング株式会社 （識別番号 304036008）
特許公開件数ランキング 30460 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 24686 位（0件）（共同出願を含む）
出願人 富士機械製造株式会社 （識別番号 237271）
特許公開件数ランキング 261 位（117件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 104 位（239件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-5787284
公報発行日 2015年9月30
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5787284
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