特許 5789463 シート貼付装置及び貼付方法、並びに、シート製造装置及び製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5789463

(24)【登録日】2015年8月7日

(45)【発行日】2015年10月7日

(54)【発明の名称】シート貼付装置及び貼付方法、並びに、シート製造装置及び製造方法

(51)【国際特許分類】

   B65H 35/08 20060101AFI20150917BHJP

   H01L 21/683 20060101ALI20150917BHJP

【ＦＩ】

   B65H35/08

   H01L21/68 N

【請求項の数】7

【全頁数】14

(21)【出願番号】特願2011-211956(P2011-211956)

(22)【出願日】2011年9月28日

(65)【公開番号】特開2013-71809(P2013-71809A)

(43)【公開日】2013年4月22日

【審査請求日】2014年6月5日

(73)【特許権者】

【識別番号】000102980

【氏名又は名称】リンテック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100101188

【弁理士】

【氏名又は名称】山口 義雄

(72)【発明者】

【氏名】杉下 芳昭

【審査官】 石黒 雄一

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１３−７１８０９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１３−７４０９８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１３−７４１０３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１３−７４１００（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１３−７４０９９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００７−１６５３６３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１１−１１４２７０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００９−２９８４７１（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｂ６５Ｈ ３５／００−３５／１０

Ｂ６５Ｃ １／００−１１／０６

Ｈ０１Ｌ ２１／６８−２１／６８３

Ｂ３１Ｂ １／００−４９／０４

Ｂ３１Ｃ １／００−９９／００

Ｂ３１Ｄ １／００−９９／００

Ｂ２６Ｄ １／２５− １／６２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段と、前記剥離シートに仮着された前記接着シートを当該接着シートの繰出方向先端部から当該接着シートの内側領域に向かって剥離する剥離手段と、前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを含むシート貼付装置であって、
前記切断手段は、前記原反の帯状シート側に配置されて前記切込を形成可能な切断刃を有するダイカットローラと、前記原反を間に挟んで前記ダイカットローラと対向配置されて当該ダイカットローラの押圧力を受け止めるプラテンローラと、前記ダイカットローラ及びプラテンローラの少なくとも一方の外周面に装着されるとともに、これらダイカットローラとプラテンローラとの間に挟まれてそれらを間接的に接触させることで所定の間隔を維持可能なベアラとを備え、
前記ベアラは、装着されるダイカットローラの外周面又は、プラテンローラの外周面から接触面までの距離が不均一に設けられ、前記切込の形成にあたり、前記接着シートの繰出方向先端部に対応する切込の深さが、前記接着シートの内側領域に対応する切込の深さに比べて深い切込を形成可能に設けられていることを特徴とするシート貼付装置。

【請求項2】

前記ベアラの接触面、ダイカットローラの外周面又はプラテンローラの外周面の付着物を除去可能な除去手段を有することを特徴とする請求項１記載のシート貼付装置。

【請求項3】

前記除去手段を変位可能な変位手段を有することを特徴とする請求項２記載のシート貼付装置。

【請求項4】

前記繰出手段は、前記切断手段と連動して１枚の接着シート形成に対し、前記接着シートの繰出方向先端部での切断を複数回行うことを特徴とする請求項１、２又は３記載のシート貼付装置。

【請求項5】

帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出工程と、
所定形状の切込を形成可能な切断刃を有するダイカットローラと、前記原反を間に挟んで前記ダイカットローラと対向配置されて当該ダイカットローラの押圧力を受け止めるプラテンローラとにより、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断工程と、
前記剥離シートに仮着された前記接着シートを当該接着シートの繰出方向先端部から当該接着シートの内側領域に向かって剥離する剥離工程と、
前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧工程とを備え、
前記切断工程において、装着される前記ダイカットローラの外周面又は、プラテンローラの外周面から接触面までの距離が不均一に設けられたベアラをダイカットローラとプラテンローラとの間に挟んでそれらを間接的に接触させておき、前記接着シートの繰出方向先端部に対応する切込の深さが、前記接着シートの内側領域に対応する切込の深さに比べて深い切込を形成することを特徴とするシート貼付方法。

【請求項6】

帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段とを含むシート製造装置であって、
前記切断手段は、前記原反の帯状シート側に配置されて前記切込を形成可能な切断刃を有するダイカットローラと、前記原反を間に挟んで前記ダイカットローラと対向配置されて当該ダイカットローラの押圧力を受け止めるプラテンローラと、前記ダイカットローラ及びプラテンローラの少なくとも一方の外周面に装着されるとともに、これらダイカットローラとプラテンローラとの間に挟まれてそれらを間接的に接触させることで所定の間隔を維持可能なベアラとを備え、
前記ベアラは、装着されるダイカットローラの外周面又は、プラテンローラの外周面から接触面までの距離が不均一に設けられ、前記切込の形成にあたり、前記接着シートの繰出方向先端部に対応する切込の深さが、前記接着シートの内側領域に対応する切込の深さに比べて深い切込を形成可能に設けられていることを特徴とするシート製造装置。

【請求項7】

帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出工程と、
所定形状の切込を形成可能な切断刃を有するダイカットローラと、前記原反を間に挟んで前記ダイカットローラと対向配置されて当該ダイカットローラの押圧力を受け止めるプラテンローラとにより、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断工程とを備え、
前記切断工程において、装着される前記ダイカットローラの外周面又は、プラテンローラの外周面から接触面までの距離が不均一に設けられたベアラをダイカットローラとプラテンローラとの間に挟んでそれらを間接的に接触させておき、前記接着シートの繰出方向先端部に対応する切込の深さが、前記接着シートの内側領域に対応する切込の深さに比べて深い切込を形成することを特徴とするシート製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、シート貼付装置及び貼付方法、並びに、シート製造装置及び製造方法に係り、更に詳しくは、帯状シートに切込を形成して接着シートを形成することができるシート貼付装置及び貼付方法、並びに、シート製造装置及び製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来より、半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」と称する場合がある）等の被着体に接着シートを貼付するシート貼付装置が広く利用されるに至っており、かかるシート貼付装置としては、例えば、特許文献１に開示されている。特許文献１のシート貼付装置は、帯状シートが剥離シートに仮着されてなる原反を繰り出す繰出手段と、この原反を繰り出す過程で閉ループ状の切込を形成する切断刃と、切込の内側に形成された接着シートを剥離シートから剥離するピールプレートと、剥離された接着シートをウエハ及びリングフレームに押圧して貼付可能なプレスローラとを備えている。このようなシート貼付装置で切込を形成する場合、図６（Ａ）に示されるように、切断刃ＨＣの刃先が２０μｍ前後剥離シートＲＬに入り込むように、当該切断刃ＨＣとプラテンローラＰＲとの相対間隔が調整される。なお、このような剥離シートＲＬは、通常５０μｍ前後の厚みを有するものが採用される。同図中ＷＳは帯状シート、ＢＳは基材シート、ＡＤは接着剤層、ＲＳは原反を示す。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００５−１１６９２８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

ところで、剥離シートＲＬにあっては、材料コストを低減するために、２５μｍ前後の薄手のものが採用される機会が多くなっている。このような薄手の剥離シートＲＬが採用された原反を特許文献１の装置で使用すると、図６（Ｂ）に示されるように、切断刃ＨＣの刃先が剥離シートＲＬに入り込まなくなり、ピールプレートで切込ＣＵの内側に形成された接着シートと、その外側に形成された不要シートとを確実に切り離すことができず、当該接着シートが不要シートと共に巻き取られてしまうことで、接着シートの貼付が行えなくなる、という不都合が発生する。

【0005】

ここで、図６（Ｂ）において、切断刃ＨＣの刃先が剥離シートＲＬに入り込むように当該切断刃ＨＣとプラテンローラＰＲとの相対間隔を再調整することで、接着シートを確実に不要シートから切り離すようにできる。ところが、この場合、切込ＣＵが形成された位置における剥離シートＲＬの厚みが薄くなり過ぎてしまうので、少しの外力を受けただけで接着シートとそれに対応する剥離シート部分とが原反ＲＳから抜け落ちてしまったり、ピールプレートで接着シートを剥離するときに、当該接着シートと共に対応する剥離シート部分も抜けてしまい、剥離シート部分が付随した状態の接着シートが被着体に貼付されてしまったりするといった接着シートの貼付不良を発生してしまう、という不都合を招来する。

【0006】

［発明の目的］
本発明の目的は、剥離シートが薄厚化した場合でも、接着シートの形成、剥離及び貼付を良好に行うことができるシート貼付装置及び貼付方法、並びに、シート製造装置及び製造方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0007】

前記目的を達成するため、本発明は、帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段と、前記剥離シートに仮着された前記接着シートを当該接着シートの繰出方向先端部から当該接着シートの内側領域に向かって剥離する剥離手段と、前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを含むシート貼付装置であって、

前記切断手段は、前記原反の帯状シート側に配置されて前記切込を形成可能な切断刃を有するダイカットローラと、前記原反を間に挟んで前記ダイカットローラと対向配置されて当該ダイカットローラの押圧力を受け止めるプラテンローラと、前記ダイカットローラ及びプラテンローラの少なくとも一方の外周面に装着されるとともに、これらダイカットローラとプラテンローラとの間に挟まれてそれらを間接的に接触させることで所定の間隔を維持可能なベアラとを備え、
前記ベアラは、装着されるダイカットローラの外周面又は、プラテンローラの外周面から接触面までの距離が不均一に設けられ、前記切込の形成にあたり、前記接着シートの繰出方向先端部に対応する切込の深さが、前記接着シートの内側領域に対応する切込の深さに比べて深い切込を形成可能に設けられる、という構成を採っている。

【0008】

本発明において、前記ベアラの接触面、ダイカットローラの外周面又はプラテンローラの外周面の付着物を除去可能な除去手段を有する、という構成を採ることが好ましい。

【0009】

また、前記除去手段を変位可能な変位手段を有するとよい。

【0010】

更に、前記繰出手段は、前記切断手段と連動して１枚の接着シート形成に対し、前記接着シートの繰出方向先端部での切断を複数回行うとよい。

【0011】

更に、本発明のシート貼付方法は、帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出工程と、
所定形状の切込を形成可能な切断刃を有するダイカットローラと、前記原反を間に挟んで前記ダイカットローラと対向配置されて当該ダイカットローラの押圧力を受け止めるプラテンローラとにより、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断工程と、
前記剥離シートに仮着された前記接着シートを当該接着シートの繰出方向先端部から当該接着シートの内側領域に向かって剥離する剥離工程と、
前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧工程とを備え、
前記切断工程において、装着される前記ダイカットローラの外周面又は、プラテンローラの外周面から接触面までの距離が不均一に設けられたベアラをダイカットローラとプラテンローラとの間に挟んでそれらを間接的に接触させておき、前記接着シートの繰出方向先端部に対応する切込の深さが、前記接着シートの内側領域に対応する切込の深さに比べて深い切込を形成する、という方法を採っている。

【0012】

また、本発明のシート製造装置は、帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段とを含むシート製造装置であって、
前記切断手段は、前記原反の帯状シート側に配置されて前記切込を形成可能な切断刃を有するダイカットローラと、前記原反を間に挟んで前記ダイカットローラと対向配置されて当該ダイカットローラの押圧力を受け止めるプラテンローラと、前記ダイカットローラ及びプラテンローラの少なくとも一方の外周面に装着されるとともに、これらダイカットローラとプラテンローラとの間に挟まれてそれらを間接的に接触させることで所定の間隔を維持可能なベアラとを備え、
前記ベアラは、装着されるダイカットローラの外周面又は、プラテンローラの外周面から接触面までの距離が不均一に設けられ、前記切込の形成にあたり、前記接着シートの繰出方向先端部に対応する切込の深さが、前記接着シートの内側領域に対応する切込の深さに比べて深い切込を形成可能に設けられる、という構成を採っている。

【0013】

また、本発明のシート製造方法は、帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出工程と、
所定形状の切込を形成可能な切断刃を有するダイカットローラと、前記原反を間に挟んで前記ダイカットローラと対向配置されて当該ダイカットローラの押圧力を受け止めるプラテンローラとにより、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断工程とを備え、
前記切断工程において、装着される前記ダイカットローラの外周面又は、プラテンローラの外周面から接触面までの距離が不均一に設けられたベアラをダイカットローラとプラテンローラとの間に挟んでそれらを間接的に接触させておき、前記接着シートの繰出方向先端部に対応する切込の深さが、前記接着シートの内側領域に対応する切込の深さに比べて深い切込を形成する、という方法を採っている。

【発明の効果】

【0014】

本発明によれば、ダイカットローラとプラテンローラとの間隔をベアラにより変更させることにより、接着シートの繰出方向先端部に対応する切込の深さが接着シートの内側領域に対応する切込の深さより深く形成できるので、接着シートの繰出方向先端部を確実に不要シートから切り離すことができる。これにより、従来のように接着シートが不要シートと共に巻き取られてしまうことで、接着シートの貼付が行えなくなるといった不都合を解消することができる。このとき、接着シートの内側領域に対応する切込の深さは、接着シートの繰出方向先端部に対応する切込に比べて浅く形成されているが、接着シートの繰出方向先端部さえ不要シートと切り離しできれば、接着シートの剥離の進行に伴って当該接着シートは、接着シートの内側領域に対応する切込に沿って不要シートから切り離される。
また、接着シートの内側領域に対応する剥離シートの切込の深さが、接着シートの繰出方向先端部に対応する剥離シートの切込の深さより浅くなっているので、接着シートとそれに対応する剥離シート部分が原反から抜け落ちてしまったり、剥離シート部分が付随した状態の接着シートが被着体に貼付されてしまったりするといった接着シートの貼付不良を抑制することができる。このとき、特許文献１の装置のように、接着シートの繰出方向先端部に対応する剥離シート部分が、ピールプレートで接着シートと一緒に抜けてしまうことがあるが、接着シートの内側領域に対応する剥離シートの切込の深さが浅いので、接着シートと一緒に抜けてしまった剥離シート部分がそれ以上大きくなることはなく、当該剥離シート部分は剥離シートの正規の回収方向に引っ張って回収されるようになる。
なお、前記シート製造装置及び製造方法によれば、前述と同様に切込が形成された原反を準備でき、当該原反をシート貼付装置や貼付方法に用いた場合、前述したように接着シートの剥離及び貼付を難なく行えるようになる。

【0015】

更に、ベアラの接触面等の付着物を除去可能な除去手段を有する場合、ベアラと当該ベアラが接触する部材との間に付着物が挟まって、それらの間隔に誤差が生じることを防止でき、間隔を高精度に維持することができる。ここで、変位手段により除去手段を変位可能とした場合、ベアラの径寸法の変化等により、当該ベアラと除去手段との距離が変化しても、この変化に応じて除去手段を変位でき、付着物を安定して除去することが可能となる。

【0016】

また、初期剥離領域での切断を複数回行うことで、接着シートの繰出方向先端部をより確実に不要シートから切り離すことができる。

【図面の簡単な説明】

【0017】

【図1】（Ａ）は、実施形態に係るシート貼付装置の概略正面図、（Ｂ）は付勢手段の正面図、（Ｃ）は、ダイカットローラ及びその周辺構造の側面図。

【図2】切込形成後の原反の概略斜視図。

【図3】切断手段の切込形成の準備状態を示す説明図。

【図4】（Ａ）、（Ｂ）は、切断手段の切断要領を示す説明図。

【図5】変形例に係るシート貼付装置の要部概略正面図。

【図6】（Ａ）及び（Ｂ）は、従来例に係る切断要領を示す説明図。

【発明を実施するための形態】

【0018】

以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
なお、本明細書において、特に明示しない限り、「左」、「右」、「上」、「下」は、図１（Ａ）を基準として用いる。

【0019】

図１〜図５において、シート貼付装置１０は、被着体としてのウエハＷＦ及びリングフレームＲＦを吸着支持するテーブル１１と、このテーブル１１を左右方向に移動可能な駆動機器としての直動モータ１２と、帯状の剥離シートＲＬと、その一方の面に仮着された帯状シートＷＳとにより構成された原反ＲＳを繰り出し可能な繰出手段１４と、この繰出手段１４により繰り出された原反ＲＳの帯状シートＷＳに切込ＣＵを形成し、当該切込ＣＵの内側に接着シートＡＳを形成するとともに、当該切込ＣＵの外側に不要シートＵＳを形成する切断手段１５と、不要シートＵＳを巻き取り可能な巻取手段１６と、剥離シートＲＬを折り返して接着シートＡＳを剥離シートＲＬから剥離する剥離手段としての剥離板１８と、この剥離板１８で剥離された接着シートＡＳをリングフレームＲＦ及びウエハＷＦに押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ１９とを備えて構成されている。帯状シートＷＳは、基材シートＢＳと、この基材シートＢＳの一方の面に積層された接着剤層ＡＤとを備え、当該接着剤層ＡＤを介して剥離シートＲＬに仮着されている。なお、ウエハＷＦの下面には保護シートＰＳが貼付されている。

【0020】

前記繰出手段１４は、原反ＲＳを支持する支持軸２５と、この支持軸２５から繰り出されて切断手段１５を通過する前の原反ＲＳを挟み込む第１駆動ローラ２７及び第１ピンチローラ２８と、剥離板１８を経た後の剥離シートＲＬを挟み込む第２駆動ローラ３１及び第２ピンチローラ３２と、これらを通過した後の剥離シートＲＬを図示しない駆動機器によって所定のトルクで巻き取る巻取軸３４とを備えている。各駆動ローラ２７、３１は、駆動機器としての回動モータＤＭ１、ＤＭ２を介して回転可能に設けられている。

【0021】

前記切断手段１５は、繰り出される原反ＲＳの帯状シートＷＳ側に配置され、駆動機器としての回動モータＤＭ３によって回転可能に設けられたダイカットローラ３６と、原反ＲＳを間に挟んでダイカットローラ３６と対向配置され、ダイカットローラ３６の押圧力を受け止めるプラテンローラ３７と、ダイカットローラ３６の外周面３６Ａに装着されて、ダイカットローラ３６とプラテンローラ３７との間に挟まれてそれらを間接的に接触させることで、これらダイカットローラ３６とプラテンローラ３７との間に所定の間隔を維持可能なベアラ３８と、ダイカットローラ３６及び回動モータＤＭ３をプラテンローラ３７側に付勢する付勢手段３９とを備えている。なお、プラテンローラ３７は、図示しない機構によりダイカットローラ３６と連動して回転可能に設けられている。

【0022】

前記ダイカットローラ３６は、外周面から突設する閉ループ状の切断刃４０を備え、帯状シートＷＳにリングフレームＲＦの内径寸法よりも大きく、外形寸法よりも小さい略円形の切込ＣＵを形成可能に設けられている。また、切断刃４０は、例えば、ダイカットローラ３６の回転方向に２７０°の範囲に亘って設けられ、その高さは、４５０μｍに設定されている。

【0023】

ここで、切断刃４０によって形成された接着シートＡＳは、帯状シートＷＳの繰出方向（原反ＲＳが支持軸２５から巻取軸３４に向かう方向）先端領域が切断刃４０の先端４０ａにより形成される。この先端４０ａにより形成された接着シートＡＳ部分が、剥離板１８によって剥離シートＲＬから最初に剥離される接着シートの繰出方向先端部としての初期剥離領域Ｓａとなり、この初期剥離領域Ｓａに対応する切込ＣＵ部分が初期切込ＣＵ１とされる。また、初期剥離領域Ｓａの剥離の次に剥離される領域、つまり、接着シートＡＳにおいて初期剥離領域Ｓａ以外の全領域が、接着シートの内側領域としての次期剥離領域Ｓｂとなり、この次期剥離領域Ｓｂに対応する切込ＣＵ部分が次期切込ＣＵ２とされ、接着シートの繰出方向後端部は、切断刃４０の後端４０ｂにより形成される。なお、次期剥離領域Ｓｂは、初期剥離領域Ｓａ以外の全領域に限られず、初期剥離領域Ｓａに隣接して当該初期剥離領域Ｓａの剥離の次に剥離される接着シートＡＳの一部領域としてもよい。

【0024】

前記ベアラ３８は、プラテンローラ３７の外周面３７Ａに接触面３８Ａが接触し、当該プラテンローラ３７とダイカットローラ３６との間隔を確保可能に設けられている。また、図３に示されるように、ベアラ３８は、ダイカットローラ３６の外周面３６Ａから接触面３８Ａまでのベアラ高さがその他の領域のベアラ高さよりも低い深切込領域４２と、この深切込領域４２よりもベアラ高さが高い浅切込領域４３と、深切込領域４２と浅切込領域４３との間で次第にベアラ高さが変化する変位領域４４とを備え、ダイカットローラ３６の外周面３６Ａから接触面３８Ａまでの距離が不均一に設けられている。深切込領域４２は、ダイカットローラ３６の外周面３６Ａから切断刃４０の頂点までの高さよりも５μｍ高いベアラ高さに設定され、図３中切断刃４０の先端４０ａから左回り５°の位置から右回りに５０°の範囲に亘って形成されている。これにより、ベアラ３８をプラテンローラ３７に接した状態でダイカットローラ４０を回転させることで、切断刃４０の頂点とプラテンローラ３７との間隔ＣＬ１を５μｍに維持可能となっている（図４（Ａ）参照）。変位領域４４は、深切込領域４２の右回り及び左回り方向両側にそれぞれ２０°の範囲に亘って形成されている。浅切込領域４３は、ダイカットローラ３６の外周面３６Ａから切断刃４０の頂点までの高さよりも２０μｍ高いベアラ高さに設定され、各変位領域４４の間における深切込領域４２の反対側で２７０°の範囲に亘って形成されている。これにより、ベアラ３８をプラテンローラ３７に接した状態でダイカットローラ４０を回転させることで、切断刃４０の頂点とプラテンローラ３７との間隔ＣＬ２を２０μｍに維持可能となっている（図４（Ｂ）参照）。

【0025】

前記付勢手段３９は、ダイカットローラ３６の回転軸線ＭＣを中心に当該ダイカットローラ３６を回転可能に支持するスライダ４６と、このスライダ４６を左右に移動可能に支持するレール部材４７と、スライダ４６に当接し、切断刃４０をプラテンローラ３７側に付勢するばね部材４８とを備えている。

【0026】

ここで、切断手段１５には図示しないエネルギー付与手段が設けられ、このエネルギー付与手段により原反ＲＳにエネルギーを付与しながら切込ＣＵを形成可能となっている。エネルギー付与手段としては、例えば、ダイカットローラ３６及びプラテンローラ３７の少なくとも一方に内蔵されるコイルヒータの他、これらローラ３６、３７から離れた位置から切込ＣＵの形成位置に温風を送風する送風機器や紫外線、赤外線、マイクロ波等のエネルギー線等を照射する照射装置等が例示できる。

【0027】

前記巻取手段１６は、切断手段１５により切込ＣＵを形成した後の不要シートＵＳに掛け回されて当該不要シートＵＳを剥離シートＲＬから剥離する剥離ローラ５０と、剥離ローラ５０を経た後の不要シートＵＳを巻き取る巻取軸５１とを備えて構成されている。巻取軸５１は、駆動機器としての回動モータＤＭ４を介して回転可能に設けられ、所定のトルクで不要シートＵＳを巻き取り可能となっている。

【0028】

次に、本実施形態における接着シートＡＳの貼付方法について説明する。

【0029】

まず、支持軸２５に支持された原反ＲＳを第１駆動ローラ２７と第１ピンチローラ２８との間、及び、ダイカットローラ３６とプラテンローラ３７との間を通過させる。そして、剥離シートＲＬから帯状シートＷＳを剥離し、当該帯状シートＷＳを剥離ローラ５０に掛け回した後、そのリード端を巻取軸５１に固定する。また、剥離シートＲＬは、剥離板１８の先端で折り返して第２駆動ローラ３１と第２ピンチローラ３２との間を通過させ、そのリード端を巻取軸３４に固定する。なお、本実施形態では、帯状シートＷＳの厚みは１００μｍ、剥離シートＲＬの厚みは２５μｍのものが採用されている。本実施形態では、図１に示されるように、ダイカットローラ３６の回転方向における切断刃４０が形成されていない領域の中央をダイカットローラ３６のスタート位置Ｓｔとし、当該スタート位置Ｓｔがプラテンローラ３７に再接近した状態で、ダイカットローラ３６の回転を停止させておく。

【0030】

そして、回動モータＤＭ１〜ＤＭ４を連動させて原反ＲＳを繰り出すと、切断刃４０により基材シートＢＳ側から剥離シートＲＬ側に向かって切込ＣＵが形成され、帯状シートＷＳは、切込ＣＵの内側の接着シートＡＳと、切込ＣＵの外側の不要シートＵＳとに区分される。この接着シートＡＳの形成過程では、先ず、ベアラ３８の深切込領域４２がプラテンローラ３７に当接した状態で、ダイカットローラ３６が図３（Ａ）に示される矢印方向に回転し、スタート位置Ｓｔから４５°回転した時点から切込ＣＵの形成が開始される。切込ＣＵの形成開始からダイカットローラ３６が５°回転する間は、ベアラ３８の深切込領域４２がプラテンローラ３７に当接しているので、切断刃４０の頂点とプラテンローラ３７との間隔ＣＬ１が５μｍに維持され、帯状シートＷＳに初期切込ＣＵ１が形成されて初期剥離領域Ｓａが形成される。これにより、初期切込ＣＵ１に対応する剥離シートＲＬには、切断刃４０が２０μｍ入り込むことにより、初期切込ＣＵ１が確実に剥離シートＲＬに入り込み、初期剥離領域Ｓａが不要シートＵＳと切り離され易くなる。

【0031】

初期切込ＣＵ１の形成後は、ベアラ３８の変位領域４４がプラテンローラ３７に当接した状態でダイカットローラ３６が回転し、当該ダイカットローラ３６とプラテンローラ３７との間隔が徐々に大きくなり、ダイカットローラ３６が２０°回転した時点でプラテンローラ３７に浅切込領域４３が当接することとなる。そして、浅切込領域４３がプラテンローラ３７に当接した状態のまま更にダイカットローラ３６が２７０°回転する間は、切断刃４０の頂点とプラテンローラ３７との間隔ＣＬ２が２０μｍに維持され、帯状シートＷＳに次期切込ＣＵ２が形成されて次期剥離領域Ｓｂが形成される。これにより、次期切込ＣＵ２に対応する剥離シートＲＬには、切断刃４０が５μｍしか入り込まないので、次期剥離領域Ｓｂに対応する剥離シートＲＬ部分は、初期剥離領域Ｓａに対応する剥離シートＲＬ部分に比べて切断され難くなる。次期切込ＣＵ２の形成後は、ベアラ３８の変位領域４４がプラテンローラ３７に当接した状態でダイカットローラ３６が回転し、当該ダイカットローラ３６とプラテンローラ３７との間隔が徐々に小さくなり、ダイカットローラ３６が２０°回転した時点でダイカットローラ３６がスタート位置Ｓｔに復帰する。

【0032】

切込ＣＵの形成後、繰り出された原反ＲＳは、剥離ローラ５０で剥離シートＲＬから不要シートＵＳが剥離され、不要シートＵＳが巻取軸５１に巻き取られる。このとき、剥離領域Ｓａが不要シートＵＳと切り離され易くなっているので、接着シートＡＳが不要シートＵＳと共に巻取軸５１方向へ共上がりすることはない。次いで、不要シートＵＳが巻き取られた原反ＲＳの接着シートＡＳが剥離板１８の先端から所定量剥離されて抜け出ると、図示しないセンサで当該接着シートＡＳの先端が検出されて停止し、スタンバイ状態となる。このとき、初期切込ＣＵ１が確実に剥離シートＲＬに入り込んでいるので、初期剥離領域Ｓａは確実に剥離シートＲＬから剥離され、剥離シートＲＬと共に第２駆動ローラ３１方向に巻き取られるようなことはない。なお、初期剥離領域Ｓａに対応する剥離シートＲＬ部分も接着シートＡＳと共に剥離板１８から抜け出る場合がある。しかし、次期剥離領域Ｓｂに対応する剥離シートＲＬ部分が切断され難くなっているので、原反ＲＳの繰出に伴って接着シートＡＳと共に抜け出た剥離シート部分がそれ以上大きくなることはなく、この接着シートＡＳと共に抜け出た剥離シート部分に剥離板１８の先端から第２駆動ローラ３１方向に引っ張る力が働き、初期剥離領域Ｓａに対応する剥離シートＲＬ部分を確実に接着シートＡＳから剥離することができる。なお、スタンバイ状態のとき、ダイカットローラ３６は、図１に示されるように、切断刃４０がない位置がプラテンローラ３７側に位置するように設定され、図示しない駆動機器である切込位置調整手段によって、ダイカットローラ３６及びプラテンローラ３７の位置を上下方向に変位できるように構成されている。これによれば各接着シートＡＳの間隔を任意に調整することができる上、接着シートＡＳの繰出方向における長さに応じ、それらの位置を上下方向に変更できる。その後、図示しない搬送手段を介してリングクレームＲＦとウエハＷＦとがテーブル１１上に載置され、吸着保持される。次いで、直動モータ１２を介してテーブル１１が剥離板１８の下方を右側から左側に搬送される。テーブル１１が所定の位置で図示しないセンサによって検知されると、テーブル１１の搬送に同期して第１及び第２駆動ローラ２７、３１が回転して原反ＲＳが繰り出され、剥離板１８の先端で接着シートＡＳが剥離される。そして、剥離された接着シートＡＳが押圧ローラ１９による押圧力を受け、リングクレームＲＦ及びウエハＷＦの各上面に貼付され、接着シートＡＳを介してウエハＷＦとリングクレームＲＦとが一体化される。このとき、初期剥離領域Ｓａに対応する剥離シートＲＬ部分が確実に接着シートＡＳから剥離されているので、剥離シートＲＬ部分が付随した状態の接着シートＡＳが被着体に貼付されるようなことはない。

【0033】

従って、このような実施形態によれば、１の切込ＣＵの形成中にベアラ３８の形状に応じて切断刃４０とプラテンローラ３７との間隔ＣＬ１、ＣＬ２を前述のように変化することが可能となる。これにより、切断刃４０による切断で初期剥離領域Ｓａが次期剥離領域Ｓｂより切込深さを深くできるので、接着シートＡＳが不要シートＵＳと共に剥離され、当該接着シートＡＳが貼付不能となることを防止することが可能となる。しかも、次期剥離領域Ｓｂに対応する剥離シートＲＬ部分への切断刃４０の切込深さが浅いので、切断手段１５を経た後の原反ＲＳから、接着シートＡＳが抜け落ち、当該接着シートＡＳの貼付が行えなくなることを防止できる。このように、前記実施形態によれば、剥離シートＲＬが薄厚化しても、これに対応して接着シートＡＳの形成、剥離及び貼付を良好に行うことができ、当該薄厚化によるコストダウンの要求に応じることが可能となる。

【0034】

以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。

【0035】

例えば、前記巻取手段１６を省略し、剥離シートＲＬから不要シートＵＳを剥離せずに、剥離板１８で接着シートＡＳを剥離し、剥離シートＲＬと不要シートＵＳとを巻取軸３４で巻き取るようにしてもよい。このような場合にでも、剥離板１８で初期剥離領域Ｓａが剥離できず、接着シートＡＳが不要シートＵＳと共に第２駆動ローラ３１方向に巻き取れてしまうことを防止することができる。

【0036】

また、切込Ｃの形成にあっては、各回動モータＤＭ１〜ＤＭ４を連動させて原反ＲＳを繰り出し方向に往復動させ、１枚の接着シートＡＳ形成に対し、初期剥離領域Ｓａでの切断を複数回行ってもよい。

【0037】

更に、前記シート貼付装置１０の剥離板１８及び押圧ローラ１９を省略することにより、シート製造装置を構成してもよい。同装置によれば、前記実施形態と同様に切断手段１５によって接着シートＡＳを形成した後、当該接着シートＡＳが剥離シートＲＬに仮着された原反ＲＳが巻取軸３４に巻き取られる。巻取軸３４に巻き取られた原反ＲＳは、別途搬送、保管したり、切断手段を有しないシート貼付装置等で利用したりすることができる。このように、巻取軸３４に巻き取られた原反ＲＳをその状態のまま切断手段を有しないシート貼付装置等で利用する場合、繰出手段１４の繰出方向後端部が当該シート貼付装置等の初期剥離領域Ｓａとなるので、少なくとも接着シートＡＳにおける繰出手段１４の繰出方向後端部の切込ＣＵが他の領域に比べて深くなるように、ベアラ３８の形状を変更すればよい。

【0038】

また、切断刃４０の平面形状は、帯状シートＷＳに切込ＣＵを形成して当該切込ＣＵの内側を接着シートＡＳとして形成し得る限りにおいて、多角形状、楕円、長円、菱形、直線と曲線とを組み合わせた形状等、種々の変更が可能であり、刃の高さも任意に変更できる。

【0039】

更に、切断刃４０は、エッチング加工の他、機械加工によって形成される彫刻刃や、ロータリダイの他、平らな板上に刃が形成された平刃や、トムソン刃等を使用してもよい。

【0040】

また、ベアラ３８による切断刃４０とプラテンローラ３７との間隔は、原反ＲＳの厚みや性質、特に剥離シートＲＳの厚みや性質等を考慮して適宜変更することができる。
更に、前記次期剥離領域Ｓｂは、初期剥離領域Ｓａ以外の全領域に限られず、初期剥離領域Ｓａに隣接して当該初期剥離領域Ｓａの剥離の次に剥離される接着シートＡＳの一部領域としてもよい。例えば、前期実施形態のベアラ３８における浅切込領域４４中間部に深切込領域４２より小さい径寸法となる領域を形成し、次期剥離領域Ｓｂの次に剥離される接着シートＡＳ部分の切込ＣＵの深さを、次期切込ＣＵ２や初期切込ＣＵ１より深く形成してもよい。

【0041】

また、付勢手段３９は、エアシリンダやモータ等の駆動機器を採用してもよい。

【0042】

更に、繰出手段１４や剥離板１８、押圧ローラ１９は、種々の設計変更が可能である。
また、原反ＲＳを構成する部材の厚みは、上記実施形態で例示したものに何ら限定されることはない。
更に、シート貼付装置１０を移動させる駆動機器を設け、テーブル１１を停止させた状態で、シート貼付装置１０を図１中右方向に移動させたり、テーブル１１を左方向に移動させるとともに、シート貼付装置１０を右方向に移動させたりして接着シートＡＳを被着体に貼付するように構成してもよいし、
また、上記実施形態と同様のベアラ３８をプラテンローラ３７側にも装着し、ダイカットローラ３６に装着したベアラ３８に当接させ、切込ＣＵの深さを変更するように構成したり、ダイカットローラ３６にはベアラ３８を装着せずに、プラテンローラ３７に装着したベアラ３８をダイカットローラ３６の外周面３６Ａに当接させ、切込ＣＵの深さを変更するように構成したりしてもよい。

【0043】

更に、図５に示されるように、プラテンローラ３７及びベアラ３８の外周側に除去手段５４を設けてもよい。この除去手段５４は、プラテンローラ３７の外周面３７Ａやベアラ３８の外周面３８Ａに先端が当接する板状部材、ブラシ状部材等の当接手段５５により構成されている。当接手段５５は、変位手段５７を介して先端が揺動可能に設けられている。この変位手段５７は、当接手段５５の基端側で当該当接手段５５の揺動を許容し得る支持軸や弾性部材等の揺動手段５８と、当接手段５５の先端側をベアラ３８等の外周面に付勢するばねや弾性部材等の除去部材付勢手段５９とを備えている。当接手段５５の先端側には、当接手段５５によって除去された塵埃等を吸引可能な吸引手段６０が設けられている。

【0044】

図５の構成において、プラテンローラ３７及びベアラ３８が回転して切込ＣＵを形成する際、ベアラ３８等の外周面の塵埃等の付着物があっても、当接手段５５の先端で付着物を掻き取って除去可能となる。このとき、ベアラ３８の径寸法が前述のように各領域４２〜４４で変化するが、当該変化に応じて変位手段５７により当接手段５５の先端が揺動可能となる。これにより、当接手段５５とベアラ３８との接触を確実に維持でき、付着物を確実に掻き取って当該付着物に起因する切込ＣＵの精度低下を回避することができる。また、掻き取られた付着物は吸引手段６０で吸引して装置の外部に排出でき、掻き取った付着物の再付着を防止することができる。なお、除去手段５４及び変位手段５７は、プラテンローラ３７及びベアラ３８の少なくとも一方に設ければよいが、それらの両方に設けた方が付着物をより良く除去できる点で有利となる。なお、除去手段５４は、ダイカットローラ３６にベアラ３８を装着せずに、プラテンローラ３７にベアラ３８を装着した場合には、ダイカットローラ３６の外周面３６Ａの外周側に除去手段５４を設けてもよい。

【0045】

また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。

【0046】

更に、被着体は、ウエハＷＦやリングフレームＲＦに代えて、ガラス板、鋼板、または、樹脂板等、その他のものも対象とすることができ、半導体ウエハは、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハであってもよい。また、リングフレームＲＦに代えて、Ｃ字状やＵ字状等の別形状のフレームを用いてもよいし、リングフレームＲＦなしで単独の被着体を接着シートＡＳの貼付対象としてもよい。

【符号の説明】

【0047】

１０ シート貼付装置
１４ 繰出手段
１５ 切断手段
１８ 剥離板（剥離手段）
１９ 押圧ローラ（押圧手段）
３６ ダイカットローラ
３７ プラテンローラ
３８ ベアラ
４０ 切断刃
５４ 除去手段
５７ 変位手段
ＡＤ 接着剤層
ＡＳ 接着シート
ＢＳ 基材シート
ＣＵ 切込
ＣＵ１ 初期切込
ＣＵ２ 次期切込
ＲＦ リングフレーム（被着体）
ＲＬ 剥離シート
ＲＳ 原反
Ｓａ 初期剥離領域（接着シートの繰出方向先端部）
Ｓｂ 次期剥離領域（接着シートの内側領域）
ＵＳ 不要シート
ＷＦ 半導体ウエハ（被着体）
ＷＳ 帯状シート

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】