特許5790096反射型フォトマスクの塵付着防止用治具、その取付け方法、その取付け装置、及び反射型フォトマスクの保管装置

発明の名称　反射型フォトマスクの塵付着防止用治具、その取付け方法、その取付け装置、及び反射型フォトマスクの保管装置

出願人　凸版印刷株式会社　（識別番号 3193）

　　　　特許公開件数ランキング 18 位（917件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 30 位（628件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5790096

公報発行日　2015年10月7

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5790096

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