【図1】本発明の一気体中微粒子検出装置を示す説明図である。

【図2】本発明の一気体中微粒子検出装置の検出原理を示す説明図である。

【図3】本発明の一微粒子検出用ディスクの断面図である。

【図4】本発明の更に他の微粒子検出用ディスクの断面図である。

【図5】本発明の更に他の微粒子検出用ディスクの断面図である。

【図6】本発明の一気体中微粒子検出装置の微粒子の大きさを測定する原理を示す説明図である。

【図7】本発明の実施例に用いた円盤状部材の斜視図である。

【図8】本発明の実施例におけるポリスチレンビーズが吸着した微粒子検出用ディスク表面の電子顕顕微鏡写真である。

【図9】本発明の実施例に係る気体中微粒子検出装置を用いて観測した反射光強度を示す図である。