特許 5791101 貼り合せ板状体検査装置及び方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5791101

(24)【登録日】2015年8月14日

(45)【発行日】2015年10月7日

(54)【発明の名称】貼り合せ板状体検査装置及び方法

(51)【国際特許分類】

   G01N 21/958 20060101AFI20150917BHJP

【ＦＩ】

   G01N21/958

【請求項の数】6

【全頁数】17

(21)【出願番号】特願2011-109951(P2011-109951)

(22)【出願日】2011年5月16日

(65)【公開番号】特開2012-242142(P2012-242142A)

(43)【公開日】2012年12月10日

【審査請求日】2014年5月10日

(73)【特許権者】

【識別番号】000002428

【氏名又は名称】芝浦メカトロニクス株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100097205

【弁理士】

【氏名又は名称】樋口 正樹

(72)【発明者】

【氏名】林 義典

(72)【発明者】

【氏名】若葉 博之

(72)【発明者】

【氏名】井筒 紀

(72)【発明者】

【氏名】関 勝利

(72)【発明者】

【氏名】小野 洋子

(72)【発明者】

【氏名】権藤 隆徳

【審査官】 森口 正治

(56)【参考文献】

【文献】 特開平１１−３２８７５６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００７−０２４８７３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００４−３０９２６２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００４−３０１８８２（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０１Ｎ ２１／８４−２１／９５８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

透光領域を有する第１板状体と、周辺部に形成された不透光領域と、該不透光領域の形成された周辺部より内側に形成された透光領域を有する第２板状体とを透光性を有する接着剤にて貼り合せてなる貼り合せ板状体を撮影して検査画像を生成する貼り合せ板状体検査装置であって、
前記貼り合せ板状体の前記第１板状体に対向して配置され、その光軸が前記第１板状体の表面に直交するように配置されるラインセンサカメラと、
前記貼り合せ板状体の前記第１板状体側から、光軸が前記ラインセンサカメラの光軸を横切ることのない状態で、当該貼り合せ板状体の表面を照明する第１照明手段と、
前記貼り合せ板状体の前記第２板状体側から前記ラインセンサカメラに向けて照明する前記第１照明手段とは別の第２照明手段とを有し、
前記第１照明手段は、前記貼り合せ板状体の表面における前記ラインセンサカメラの撮影ラインから所定距離だけ離れて当該撮影ラインに沿った方向に延びる所定領域を斜めに照明し、
第１照明手段及び第２照明手段による照明がなされている状態で、前記ラインセンサカメラと前記第１照明手段との相対的な位置関係を維持させつつ、前記ラインセンサカメラが前記貼り合せ板状体を走査することにより前記検査画像を生成する貼り合せ板状体検査装置。

【請求項2】

前記第２照明手段は、前記第２板状体に対向して配置され、前記貼り合せ板状体を透過した前記第１照明手段からの照明光を前記ラインセンサカメラに向けて反射する反射部材を有する請求項１記載の貼り合せ板状体検査装置。

【請求項3】

前記第１照明手段により照明される前記貼り合せ板状体の表面における前記所定領域は、前記ラインセンサカメラの前記貼り合せ板状体の表面上での撮影領域に含まれない請求項１または２記載の貼り合せ板状体検査装置。

【請求項4】

前記第１照明手段により照明される前記貼り合せ板状体の表面における前記所定領域は、前記ラインセンサの前記撮影領域より当該ラインセンサカメラの走査方向の上流側にある請求項３記載の貼り合せ板状体検査装置。

【請求項5】

透光領域を有する第１板状体と、周辺部に形成された不透光領域と、該不透光領域の形成された周辺部より内側に形成された透光領域とを有する第２板状体とを透光性を有する接着剤にて貼り合せてなる貼り合せ基板を撮影して検査画像を生成する貼り合せ板状体検査方法であって、
前記貼り合せ板状体の前記第１板状体に対向して配置され、その光軸が前記第１板状体の表面に直交するように配置されるラインセンサカメラと、
前記貼り合せ板状体の前記第１板状体側から、光軸が前記ラインセンサカメラの光軸を横切ることのない状態で、当該貼り合せ板状体の表面を照明する第１照明手段と、
前記貼り合せ板状体の前記第２板状体側から前記ラインセンサカメラに向けて照明する前記第１照明手段とは別の第２照明手段とを用い、
前記第１照明手段が、前記貼り合せ板状体の表面における前記ラインセンサカメラの撮影ラインから所定距離だけ離れて当該撮影ラインに沿った方向に延びる所定領域を斜めに照明するステップと、
第１照明手段及び第２照明手段による照明がなされている状態で、前記ラインセンサカメラと前記第１照明手段との相対的な位置関係を維持させつつ、前記ラインセンサカメラが前記貼り合せ板状体を走査するステップとを有し、
前記ラインセンサカメラが前記貼り合せ板状体を走査することにより前記検査画像を生成する貼り合せ板状体検査方法。

【請求項6】

前記第１照明手段により照明される前記貼り合せ板状体の表面における前記所定領域は、前記ラインセンサカメラの前記貼り合せ板状体の表面上での撮影領域に含まれない請求項５記載の貼り合せ板状体検査方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、透光領域を有する第１板状体と、周辺部に不透光領域が形成され、該不透光領域の内側に透光領域が形成された第２板状体とを透光性を有する接着剤にて貼り合せてなる貼り合せ板状体を撮影して検査画像を生成する貼り合せ板状体検査装置及び方法に関する。なお、前記不透光領域は、可視光が完全に透過できない領域は勿論、カメラ撮影が実質的に影響されるほど可視光が透過できない領域も含む。

【背景技術】

【0002】

タッチパネル式の液晶表示パネルには、例えば、図１Ａ及び図１Ｂに示すようなセンサパネルアッセンブリ１０（貼り合せ板状体）が用いられる。なお、図１Ａは、センサパネルアッセンブリ１０の構造を示す断面図であり、図１Ｂは、センサパネルアッセンブリ１０の構造を示す平面図である。このセンサパネルアッセンブリ１０は、センサ素子やグリッド等の回路部品が配列形成されたセンサパネル１１（第１板状体）とカバーガラス１２（第２板状体）とが当該センサパネル１１の全面に塗布された透光性を有する接着剤１３（レジン）によって貼り合わされた構造となっている。センサパネル１１は、ガラス基板上に回路部品が形成された構造となり、全体的に透光性を有する透光領域（ただし、回路部品の部分は不透光）となっている。また、カバーガラス１２は、周辺部が所定の幅の不透光領域１２ｂ（黒色領域）となっており、その内側の領域が透光性を有する透光領域１２ａとなっている。

【0003】

このような構造のセンサパネルアッセンブリ１０は、図１Ｃに示すように、液晶パネルアッセンブリ２０（液晶パネル、色フィルタ、偏光板等で構成される）に透光性を有する接着剤１５によって接着されている。このように形成されたタッチパネル式の液晶表示パネルでは、液晶パネルアッセンブリ２０によって画像表示がなされるとともに、指でタッチされたカバーガラス１２上の位置に対応するセンサパネル１１上のセンサ素子から信号が出力されるようになっている。そして、このセンサパネル１１の各センサ素子から出力される信号によって液晶パネルアッセンブリ２０による画像表示を制御することができる。

【0004】

ところで、上述したような構造のセンサパネルアッセンブリ２０（貼り合せ板状体）を製造する過程で、例えば、図２に示すように、接着剤１３内に気泡ＢＬが生じたり、センサパネル１１の端縁から接着剤１３がはみ出したり（実線参照：以下、オーバーフローという）、センサパネル１１とカバーガラス１２との間で接着剤１３がセンサパネル１１の縁端まで満たされなかったり（破線参照：以下、アンダーフローという）する場合がある。このような接着剤１３内の気泡ＢＬの有無や、その形状等を検査するため、及び、センサパネル１１とカバーガラス１２との間の接着剤１３のオーバーフローやアンダーフローの有無やそれらの程度を検査するために、センサパネルアッセンブリ１０を撮影して、接着剤１３内の気泡や接着剤１３のオーバーフローやアンダーフローの状態が現れた検査画像を生成する検査装置が有用である。

【0005】

このような検査装置（貼り合せ板状体検査装置）に、例えば、特許文献１に開示されるような技術を利用することが考えられる。

【0006】

この特許文献１に開示される技術は、２枚のディスク（ＤＶＤ等）を接着剤によって貼り合せてなる貼り合せ型ディスク（貼り合せ板状体）の一方の面から光を照射した状態で、他方の面側から当該貼り合せディスクをカメラによって撮影するものである。この撮影により生成される検査画像では、接着剤の部分と、空気層の部分と溝の部分とで明るさが異なっており、この検査画像を用いて接着剤内の気泡（空気層）や接着剤の所定位置からのはみ出しを検査することができる（段落００５１〜段落００５５参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0007】

【特許文献1】特開平１１−３２８７５６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0008】

前述したセンサパネルアッセンブリ１０の検査装置に、前記従来の技術（引用文献１参照）を適用した場合、アッセンブリパネル１０の例えばカバーガラス１２側から光を照射した状態で、センサパネル１１側からセンサパネルアセンブリ１０がカメラにて撮影される。この撮影により生成される検査画像には接着剤１３内の気泡や異物等が現れ得るので、この検査画像を用いて接着剤１３内の気泡や異物の有無やそれらのサイズ等を検査することができる。

【0009】

しかしながら、前述したセンサパネルアッセンブリ１０におけるカバーガラス１２の周辺部が不透過領域１２ｂとなっていることから、この不透過領域１２ｂでは、カバーガラス１２側から照射される光が透過しない。このため、カバーガラス１２側から光を照射した状態でセンサパネル１１側からの撮影により生成される検査画像には、カバーカラス１２の周辺部で発生する接着剤１３のオーバーフローの状態やアンダーフロー状態（図２参照）が現れず、この検査画像を用いて接着剤１３のオーバーフローやアンダーフローの検査を行うことができない。

【0010】

本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、貼り合せ板状体の周辺部に不透光領域があっても、接着剤内の気泡や異物とともにその周辺部における接着剤の状態が現れ得る検査画像を得ることのできる貼り合せ板状体検査装置及び方法を提供するものである。

【課題を解決するための手段】

【0011】

本発明に係る貼り合せ板状体検査装置は、透光領域を有する第１板状体と、周辺部に形成された不透光領域と、該不透光領域の形成された周辺部より内側に形成された透光領域を有する第２板状体とを透光性を有する接着剤にて貼り合せてなる貼り合せ板状体を撮影して検査画像を生成する貼り合せ板状体検査装置であって、前記貼り合せ板状体の前記第１板状体に対向して配置され、その光軸が前記第１板状体の表面に直交するように配置されるラインセンサカメラと、前記貼り合せ板状体の前記第１板状体側から、光軸が前記ラインセンサカメラの光軸を横切ることのない状態で、当該貼り合せ板状体の表面を照明する第１照明手段と、前記貼り合せ板状体の前記第２板状体側から前記ラインセンサカメラに向けて照明する前記第１照明手段とは別の第２照明手段とを有し、前記第１照明手段は、前記貼り合せ板状体の表面における前記ラインセンサカメラの撮影ラインから所定距離だけ離れて当該撮影ラインに沿った方向に延びる所定領域を斜めに照明し、第１照明手段及び第２照明手段による照明がなされている状態で、前記ラインセンサカメラと前記第１照明手段との相対的な位置関係を維持させつつ、前記ラインセンサカメラが前記貼り合せ板状体を走査することにより前記検査画像を生成する構成となる。

【0012】

また、本発明に係る貼り合せ板状体検査方法は、透光領域を有する第１板状体と、周辺部に形成された不透光領域と、該不透光領域の形成された周辺部より内側に形成された透光領域とを有する第２板状体とを透光性を有する接着剤にて貼り合せてなる貼り合せ基板を撮影して検査画像を生成する貼り合せ板状体検査方法であって、前記貼り合せ板状体の前記第１板状体に対向して配置され、その光軸が前記第１板状体の表面に直交するように配置されるラインセンサカメラと、前記貼り合せ板状体の前記第１板状体側から、光軸が前記ラインセンサカメラの光軸を横切ることのない状態で、当該貼り合せ板状体の表面を照明する第１照明手段と、前記貼り合せ板状体の前記第２板状体側から前記ラインセンサカメラに向けて照明する前記第１照明手段とは別の第２照明手段とを用い、前記第１照明手段が、前記貼り合せ板状体の表面における前記ラインセンサカメラの撮影ラインから所定距離だけ離れて当該撮影ラインに沿った方向に延びる所定領域を斜めに照明するステップと、第１照明手段及び第２照明手段による照明がなされている状態で、前記ラインセンサカメラと前記第１照明手段との相対的な位置関係を維持させつつ、前記ラインセンサカメラが前記貼り合せ板状体を走査するステップとを有し、前記ラインセンサカメラが前記貼り合せ板状体を走査することにより前記検査画像を生成する構成となる。

【0013】

このような構成により、第１照明手段及び第２照明手段による照明がなされている状態で、前記ラインセンサカメラと前記第１照明手段との相対的な位置関係が維持されつつ、前記ラインセンサカメラが貼り合せ板状体を走査する過程で、第２照明手段による照明光が第２板状体の透光領域、接着剤及び第１板状体の透光領域を通過してラインセンサカメラに達し得る。このとき、ラインセンサカメラに向かう前記照明光が接着剤中の気泡や異物によって影響される。

【0014】

また、第２照明手段による照明光が第２板状体の周辺部に形成された不透光領域によりラインセンサカメラに届かない状態において、第１照明手段からの照明光が接着剤の縁端等で乱反射し、その乱反射の一部がラインセンサカメラに達し得る。

【0015】

第１照明手段が斜めに照明する所定領域と貼り合せ板状体の表面におけるラインセンサカメラの撮影ラインとの間の所定距離及び斜めの角度は、第１照明手段からの照明光が第１板状体の透光領域及び接着剤を通過する際に、第２照明手段からの光により照明される接着剤中の気泡や異物の明るさに与える影響ができるだけ小さく、また、接着剤の縁部等での乱反射光の一部がラインセンサカメラに入射し得るという条件に基づいて決めることができる。

【発明の効果】

【0016】

第１照明手段及び第２照明手段による照明がなされている状態で、前記ラインセンサカメラと前記第１照明手段との相対的な位置関係が維持されつつ、前記ラインセンサカメラが貼り合せ板状体を走査する過程で、接着剤中をラインセンサカメラに向かう第２照明手段からの照明光が接着剤中の気泡や異物によって影響され、また、第１照明手段からの照明光が接着剤の縁端等で乱反射し、その乱反射の一部がラインセンサカメラに達し得るので、貼り合せ板状体の周辺部に不透光領域があっても、接着剤中の気泡や異物とともにその周辺部における接着剤の状態が現れ得る検査画像を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【0017】

【図1A】貼り合せ板状体の一例であるセンサパネルアッセンブリの構造を示す断面図である。

【図1B】貼り合せ板状体の一例であるセンサパネルアッセンブリの構造を示す平面図である。

【図1C】図１Ａ及び図１ Ｂに示すセンサパネルアッセンブリと液晶アッセンブリとを接着剤により貼り合せた構造のタッチパネル式の液晶表示パネルの構造を示す断面図である。

【図2】センサパネルアッセンブリの縁端部の構造を拡大して示す断面図である。

【図3A】本発明の実施の一形態に係る貼り合せ板状体検査装置（センサパネルアッセンブリ検査装置）の側方から見た基本的な構成を示す図である。

【図3B】本発明の実施の一形態に係る貼り合せ板状体検査装置（センサパネルアッセンブリ検査装置）の上方から見た基本的な構成を示す図である。

【図4A】ラインセンサカメラと照明ユニットとの関係を示す図（その１）である。

【図4B】ラインセンサカメラと照明ユニットとの関係を示す図（その２）である。

【図5】本発明の実施の一形態に係る貼り合せ板状体検査装置（センサパネルアッセンブリ）の処理系の基本構成を示す図である。

【図6】センサパネルアッセンブリ中を進む照明ユニットからの照明光と該照明光の反射板での反射光の状態（その１）を示す図である。

【図7】センサパネルアッセンブリ中を進む照明ユニットからの照明光と該照明光の反射板での反射光の状態（その２）を示す図である。

【図8】センサパネルアッセンブリ中を進む照明ユニットからの照明光と該照明光の反射板での反射光の状態（その３）を示す図である。

【図9】センサパネルアッセンブリ中を進む照明ユニットからの照明光と該照明光の反射板での反射光の状態（その４）を示す図である。

【図10】センサパネルアッセンブリ中を進む照明ユニットからの照明光と該照明光の反射板での反射光の状態（その５）を示す図である。

【図11】センサパネルアッセンブリ中を進む照明ユニットからの照明光と該照明光の反射板での反射光の状態（その６）を示す図である。

【図12】センサパネルアッセンブリ中を進む照明ユニットからの照明光と該照明光の反射板での反射光の状態（その７）を示す図である。

【図13】センサパネルアッセンブリの縁端部での照明ユニットからの照明光の状態（その１）を示す図である。

【図14】センサパネルアッセンブリの縁端部での照明ユニットからの照明光の状態（その２）を示す図である。

【図15】センサパネルアッセンブリの縁端部での照明ユニットからの照明光の状態（その３）を示す図である。

【図16】検査画像の一例を示す図である。

【図17】検査画像の他の一例を示す図である。

【図18】本発明の他の実施の形態に係る貼り合せ板状体検査装置（センサパネルアッセンブリ検査装置）の構造を示す図である。

【図19】本発明の更に他の実施の形態に係る貼り合せ板状体検査装置（センサパネルアッセンブリ検査装置）の構造を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0018】

以下、本発明の実施の形態について図面を用いて説明する。

【0019】

本発明の実施の一形態に係る貼り合せ板状体検査装置は、図３Ａ及び図３Ｂに示すように構成される。この貼り合せ板状検査装置は、前述したように（図１Ａ、図１Ｂ及び図２参照）、センサパネル１１（第１板状体）とカバーガラス１２（第２板状体）とが接着剤１３にて貼り合わされた構造となるセンサパネルアッセンブリ１０（貼り合せ板状体）を検査するもの（センサパネルアッセンブリ検査装置）である。なお、図３Ａは、センサパネルアッセンブリ検査装置の側方から見た基本的な構成を示し、図３Ｂは、センサパネルアッセンブリ検査装置の上方から見た基本的な構成を示している。

【0020】

図３Ａ及び図３Ｂにおいて、このセンサパネルアッセンブリ検査装置は、ラインセンサカメラ５０、照明ユニット５１（第１照明手段）、反射板５２（第２照明手段）、及び移動機構６０を有している。移動機構６０は、センサパネル１１を上方に、カバーガラス１２を下方にそれぞれ向けて移動経路上にセットされたセンサパネルアッセンブリ１０を所定の速度にて直線移動させる。ラインセンサカメラ５０は、例えばＣＣＤ素子列にて構成されたラインセンサ５０ａ及びレンズ等の光学系（図示略）を含み、移動経路上のセンサパネルアッセンブリ１０のセンサパネル１１に対向するように固定配置されている。そして、ラインセンサカメラ５０の姿勢が、ラインセンサ５０ａの延びる方向がセンサパネルアッセンブリ１０の移動方向Ａを横切り（例えば、移動方向Ａと直交し）、かつ、その光軸Ａ_OPT1がセンサパネルアッセンブリ１０（センサパネル１１）の表面に直交するように調整されている。反射板５２は、入射光を乱反射するように加工された反射面を有しており、移動経路上のセンサパネルアッセンブリ１０の近傍で、その反射面がセンサパネルアッセンブリ１０のカバーガラス１２に対向するように固定配置されている。このように配置された反射板５２（反射面）での反射光（照明光）により、センサパネルアッセンブリ１０のカバーガラス１２側からラインセンサカメラ５０に向けて照明がなされるようになる。

【0021】

照明ユニット５１は、移動経路上のセンサパネルアッセンブリ１０の移動方向Ａにおけるラインセンサカメラ５０の下流側、即ち、後述するラインセンサカメラ５０の走査方向Ｂにおける当該ラインセンサカメラ５０の上流側に、センサパネル１１に対向するように配置されている。照明ユニット５１の姿勢は、センサパネルアッセンブリ１０の斜め上方から、具体的には、センサパネルアッセンブリ１０（センサパネル１１）の表面の法線方向に対してその光軸Ａ_OPT2が所定角度αとなる方向からラインセンサカメラ５０の光軸Ａ_OPT1を横切ることなくセンサパネルアッセンブリ１０の表面を照明するように調整されている。そして、照明ユニット５１は、図４Ａ及び図４Ｂに示すように、センサパネルアッセンブリ１０の表面におけるラインセンサカメラ５０の撮影ラインＬｃからセンサパネルアッセンブリ１０の移動方向Ａの下流側（ラインセンサカメラ５０の走査方向Ｂの上流側）に所定距離だけ離れて当該撮影ラインＬｃに沿った方向に延びる所定領域（以下、照明領域という）Ｅ_Lを照明する。照明ユニット５１によるセンサパネルアッセンブリ１０の表面での前記照明領域Ｅ_Lの前記センサパネルアッセンブリ１０の移動方向Ａに直交する方向における中央に位置する照明ラインＬ_Lとラインセンサカメラ５０のセンサパネルアッセンブリ１０の表面での前記撮影ラインＬｃとが所定の間隔に維持され、前記照明領域Ｅ_Lはラインセンサカメラ５０の前記撮影領域Ｅ_cに重なることはない（含まれない）。

【0022】

前述したような構造のセンサパネルアッセンブリ検査装置では、移動機構６０によりセンサパネルアッセンブリ１０が移動経路上を方向Ａに移動することにより、ラインセンサカメラ５０と照明ユニット５１との相対的な位置関係が維持されつつラインセンサカメラ５０が前記移動方向Ａと逆方向Ｂにセンサパネルアッセンブリ１０を光学的に走査する。この走査によりラインセンサカメラ５０によるセンサパネルアッセンブリ１０の撮影がなされる。なお、ラインセンサ５０ａの長さの制約から、ラインセンサカメラ５０の一回の方向Ｂへの走査によってセンサパネルアッセンブリ１０の全面を走査することができない場合は、撮影領域Ｅ_cを走査方向Ｂと直交する方向にステップ的に移動させつつ、複数回走査することによって、センサパネルアッセンブリ１０の全面についての撮影がなされる。

【0023】

センサパネルアッセンブリ検査装置の処理系は、図５に示すように構成される。

【0024】

図５において、ラインセンサカメラ５０、表示ユニット７１及び操作ユニット７２が処理ユニット７０に接続されている。また、処理ユニット７０は、移動機構６０によるセンサパネルアッセンブリ１０の移動に同期してセンサパネルアッセンブリ１０を光学的に走査するラインセンサカメラ５０からの映像信号に基づいてセンサパネルアッセンブリ１０の画像を表す画像情報を生成する。そして、処理ユニット７０は、前記画像情報に基づいてセンサパネルアッセンブリ１０の検査画像を表示ユニット７１に表示させる。この検査画像には、後述するように、センサパネルアッセンブリ１０の接着剤１３中の気泡、異物、センサパネル１１の回路部品、また、接着剤１３の縁端部（オーバーフロー状態またはアンダーフロー状態）が現れ得る。なお、処理ユニット７０は、操作ユニット７２の操作に応じた各種指示に係る情報を取得するとともに、前記検査画像から各種情報（気泡や異物のサイズ、接着剤１３の縁端部の位置等）を生成し、それを検査結果として表示ユニット７１に表示させることができる。

【0025】

上述したセンサパネルアッセンブリ検査装置では、照明ユニット５１からの照明がなされている状態で、処理ユニット７０の制御のもと、移動機構６０によるセンサパネルアッセンブリ１０の移動によってラインセンサカメラ５０がセンサパネルアッセンブリ１０を光学的に走査する。その過程で、ラインセンサカメラ５０の撮影領域Ｅ_Cがカバーガラス１２の透光領域１２ａに対応する部分を移動する際には、センサパネル１１の表面に所定角度αをもって斜めに入射する（図３Ａ参照）照明ユニット５１からの照明光Ｒ_L1が、例えば、図６〜図１２に示すように、センサパネル１１（透光領域）、接着剤１３及びカバーガラス１２（透光領域１２ａ）内を屈折しつつ通過して反射板５２に達する。そして、その照明光Ｒ_L1が反射板５２で乱反射してその反射光の一部が照明光Ｒ_L2としてセンサパネルアッセンブリ１０のカバーガラス１２（透光領域１２ａ）側からラインセンサカメラ５０に向けて進む。このように、ラインセンサカメラ５０は、照明ユニット５１によるセンサパネル１１側からの照明（照明光Ｒ_L1）と反射板５２によるカバーガラス１２側からの照明（照明光Ｒ_L2）とがなされている状態で、センサパネルアッセンブリ１０を走査する。

【0026】

反射板５２からの前記照明光Ｒ_L2（反射光）は、例えば、図６及び図８に示すように、センサパネルアッセンブリ１０における接着剤１３の異物や気泡の無い部分及びセンサパネル１１の回路素子の形成されていない部分を進むとそのままラインセンサカメラ５０に入射する。反射板５２による前記照明光Ｒ_L2（反射光）のセンサパネルアッセンブリ１０中の進路に、例えば、図７に示すように、センサパネル１１に形成された回路素子ＥＬがあると、その照明光Ｒ_L2は、その回路素子ＥＬによって遮蔽、屈折、散乱されてラインセンサカメラ５０に十分入射しない。反射板５２による前記照明光Ｒ_L2が、例えば、図９に示すように、接着剤１３中の気泡ＢＬの外表部を通ると、その照明光Ｒ_L2は、気泡ＢＬの外表部での屈折や散乱によってラインセンサカメラ５０に十分に入射しない。照明光Ｒ_L2が、例えば、図１０に示すように、気泡ＢＬの中央部を通ると、その照明光Ｒ_L2は、そのままラインセンサカメラ５０に入射し得る。反射板５２による前記照明光Ｒ_L2のセンサパネルアッセンブリ１０中の進路に、例えば、図１１に示すように、センサパネル１１に形成されたキズＤがあると、その照明光Ｒ_L2は、前記キズＤでの屈折や散乱によってラインセンサカメラ５０に十分入射しない。更に、反射板５２による前記照明光Ｒ_L2のセンサパネルアッセンブリ１０中の進路に、例えば、図１２に示すように、接着剤１３中に混ざった異物ＦＢがあると、その照明光Ｒ_L2は、異物ＦＢでの遮断、屈折、散乱によってラインセンサカメラ５０に十分入射しない。

【0027】

このように、照明ユニット５１からの照明がなされている状態でランセンサカメラ５０がセンサパネルアッセンブリ１０のカバーガラス１２の透光領域１２ａに対応した部分を走査している過程では、照明ユニット５１からの照明光Ｒ_L1を反射する反射板５２からの照明光Ｒ_L2は、接着剤１３の異物ＦＢや気泡ＢＬの無い部分及びセンサパネル１１の回路素子ＥＬの形成されていない部分を進むとそのままラインセンサカメラ５０に入射し得るものの（図６及び図８参照）、センサパネル１１の回路素子ＥＬ（図７参照）、接着剤１３中の気泡ＢＬ（図９及び図１０参照）や異物（図１２参照）、センサパネル１１のキズＤ（図１１参照）によって影響されて（遮蔽、屈折、散乱等）、ラインセンサカメラ５０に十分入射しない。このため、ラインセンサカメラ５０からの映像信号に基づいて処理ユニット７０が生成する画像情報にて表されるセンサパネルアッセンブリ１０の検査画像Ｉ₁₀では、例えば、図１６に示すように、カバーガラス１２の透光領域１２ａに対応した明画像部分Ｉ_12a（図６及び図８参照）を背景にして、回路素子ＥＬに対応した暗画像部分Ｉ_EL（図７参照）、気泡ＢＬに対応した外周が暗く（気泡の外表部に対応：図９参照）内部が明部（図１０参照）となるリング状画像部分Ｉ_BL、キズＤに対応した暗画像部分Ｉ_D（図１１参照）、異物ＦＢに対応した暗画像部分Ｉ_FB（図１２参照）が表れ得る。

【0028】

次に、ラインセンサカメラ５０の撮影領域Ｅ_Cがカバーガラス１２の不透光領域１２ｂ（ラインセンサカメラ５０での撮影が実施的に影響されるほどの可視光が透過できない領域も含む）に対応する部分を移動する（ラインセンサカメラ５０が走査する）際には、センサパネル１１の表面に所定角度αをもって斜めに入射する（図３Ａ参照）照明ユニット５１からの照明光Ｒ_L1は、例えば、図１３〜図１５に示すように、カバーガラス１２の不透光領域１２ｂに遮断されて反射板５２に達しない。このため、反射板５２の反射光（照明光Ｒ_L2）は生じることがなく、センサパネルアッセンブリ１０をカバーガラス１２側から通ってラインセンサカメラ５０に届く照明光は無い。

【0029】

このような状況において、センサパネルアッセンブリ１０における走査方向Ｂ上流側の縁端部は、例えば、図１３に示すように、斜め上方の照明ユニット５１からの照明光Ｒ_L1に向かっていくように移動する（センサパネルアッセンブリ１０の当該縁端部が照明光Ｒ_L1の受け面となる）。図１３において、ラインセンサカメラ５０がカバーガラス１２（不透明領域１２ｂ）の表面の領域Ｅ１を走査する場合、照明ユニット５１からの照明光Ｒ_L1がその領域Ｅ１で正反射してラインセンサカメラ５０に入射しない。オーバーフロー状態にある接着剤１３の先端１３ｐ１に照明光Ｒ_L1が入射すると、その照明光Ｒ_L1が接着剤１３の先端１３ｐ１で乱反射してその反射光の一部が位置Ｐ１にあるラインセンサカメラ５０に入射し得る。ラインセンサカメラ５０がオーバーフロー状態にある接着剤１３の表面の領域Ｅ２を走査する場合、センサパネル１１よりはみ出した接着剤１３の表面に凹凸があると、照明ユニット５１からの照明光Ｒ_L1が接着剤１３の表面で乱反射してその反射光の一部がラインセンサカメラ５０に入射し得る。また、照明ユニット５１からの照明光Ｒ_L1がセンサパネル１１の縁角１１ｐ１に入射すると、その照明光Ｒ_L1がセンサパネル１１の縁角１１ｐ１で乱反射してその反射光の一部が位置Ｐ２にあるラインセンサカメラ５０に入射し得る。更に、ラインセンサカメラ５０がカバーガラス１２の不透光領域１２ｂに対応したセンサパネル１１の領域Ｅ３を走査する場合、照明ユニット５１からの照明光Ｒ_L1は、センサパネル１１及び接着剤１３を透過するものの、カバーガラス１２の不透光領域１２ｂの表面で正反射してラインセンサカメラ５０に入射しない。そして、ラインセンサカメラ５０がカバーガラス１２の透光領域１２ａに対応した領域Ｅ４を走査する場合は、前述したように（図６〜図１２参照）、反射板５２での反射光（照明光Ｒ_L2）がカバーガラス１２側からラインセンサカメラ５０に向けて照射される状態となる。

【0030】

また、センサパネルアッセンブリ１０における走査方向Ｂ下流側の縁端部は、例えば、図１４に示すように、斜め上方の照明ユニット５１からの照明光Ｒ_L1から逃げるように移動する（センサパネルアッセンブリ１０の当該縁端部が照明光Ｒ_L1の逃げ面となる）。図１４において、カバーガラス１２の透光領域１２ａに対応した領域Ｅ４の走査を終えたラインセンサカメラ５０が引き続きカバーガラス１２の不透光領域１２ｂに対応したセンサパネル１１の領域Ｅ５を走査する場合、照明ユニット５１からの照明光Ｒ_L1は、センサパネル１１及び接着剤１３を透過するものの、カバーガラス１２の不透光領域１２ｂで正反射してラインセンサカメラ５０に入射しない。照明ユニット５１からの照明光Ｒ_L1がセンサパネル１１の縁角１１ｐ２に入射すると、その照明光Ｒ_L1がセンサパネル１１の縁角１１ｐ２で乱反射してその反射光の一部が位置Ｐ３にあるラインセンサカメラ５０に入射し得る。また、ラインセンサカメラ５０がオーバーフロー状態にある接着剤１３の表面の領域Ｅ６を走査する場合、センサパネル１１よりはみ出した接着剤１３の表面に凹凸があると、照明ユニット５１からの照明光Ｒ_L1が接着剤１３のセンサパネル１１による影の部分を除く表面で乱反射してその反射光の一部がラインセンサカメラ５０に入射し得る。そのはみ出し状態にある接着剤１３の先端１３ｐ２に入射すると、その照明光Ｒ_L1が接着剤１３の先端１３ｐ２で乱反射してその反射光の一部が位置Ｐ４にあるラインセンサカメラ５０に入射し得る。更に、ラインセンサカメラ５０が接着剤１３の影となる部分を除くカバーガラス１２（不透光領域１２ｂ）の表面の領域Ｅ７を走査する場合、照明ユニット５１からの照明光Ｒ_L1がその領域Ｅ７で正反射してラインセンサカメラに入射しない。

【0031】

更に、図１３と同様に、照明ユニット５１からの照明光Ｒ_L1に向かっていくように移動するセンサパネルアッセンブリ１０の走査方向Ｂ側の縁端部において接着剤１３がアンダーフロー状態となっている場合が図１５に示されている。

【0032】

図１５において、照明ユニット５１からの照明光Ｒ_L1がセンサガラス１１を透過してアンダーフロー状態の接着剤１３の先端１３ｐ３に入射すると、その照明光Ｒ_L1が接着剤１３の先端１３ｐ３で乱反射してその反射光の一部がセンサガラス１１を透過して位置Ｐ２にあるラインセンサカメラ５０に入射し得る。他の場合、具体的には、ラインセンサカメラ５０がカバーガラス１２の不透光領域１２ｂの表面の領域Ｅ１を走査する場合、ラインセンサカメラ５０がセンサガラス１１の接着剤１３に接していない部分の領域Ｅ２を走査する場合、及びラインセンサカメラ５０がセンサガラス１１の前記領域Ｅ２に続く領域Ｅ３を走査する場合は、基本的に、照明ユニット５１からの照明光Ｒ_L1がカバーガラス１２の不透光領域１２ｂの表面にて正反射してラインセンサカメラ５０に光が入射しない。また、照明ユニット５１からの照明光Ｒ_L1がセンサパネル１１の縁角１１ｐ１に入射する場合、図１３に示す場合と同様に、その照明光Ｒ_L1がセンサパネル１１の縁角１１ｐ１で乱反射してその反射光の一部がラインセンサカメラ５０に入射し得る。

【0033】

このように、照明ユニット５１からの照明がなされている状態でラインセンサカメラ５０がセンサパネルアッセンブリ１０のカバーガラス１２の不透光領域１２ｂに対応した部分を走査している過程では、照明ユニット５１からの照明光Ｒ_L1が基本的にカバーガラス１２の不透光領域１２ｂの表面で正反射してラインセンサカメラ５０に入射しないが、センサパネル１１の縁角１１ｐ１、１１ｐ２（図１３〜図１５参照）、接着剤１３の先端１３ｐ１、１３ｐ２、１３ｐ３（図１３〜図１５参照）、及び接着剤１３の表面の凹凸の部分（図１３、図１４参照）のそれぞれでの反射光の一部がラインセンサカメラ５０に入射し得る。このため、ラインセンサカメラ５０からの映像信号に基づいて処理ユニット７０が生成する画像信号にて表されるセンサパネルアッセンブリ１０の検査画像Ｉ₁₀では、例えば、図１６に示すように、カバーガラス１２の不透光領域１２ｂに対応した暗画像部分Ｉ_12bを背景にして、接着剤１３に対応した画像部分Ｉ₁₃及びセンサガラス１１に対応した画像部分Ｉ₁₁が表れ得る。

【0034】

更に、具体的には、図１７に示すように、カバーガラス１２の不透光領域１２ｂに対応した暗画像部分Ｉ_12bを背景にして、反射光の一部がラインセンサカメラ５０に入射し得るカバーガラス１１の縁角、例えば、図１３及び図１４に示す縁角１１ｐ１、１１ｐ２に対応した明線Ｉ_11p1、Ｉ_11p2（カバーガラス１１の縁端線に対応）、反射光の一部がラインセンサカメラ５０に入射し得るオーバーフロー状態となる接着剤１３の先端、例えば、図１３に示す先端１３ｐ１に対応した明線Ｉ_13p1（接着剤１３の縁端線に対応）、及び反射光の一部がラインセンサカメラ５０に入射し得るオーバーフロー状態となる接着剤１３の表面の凹凸の部分に対応した細かい明線からなる明画像Ｉ₁₃が表れ得る。

【0035】

上述したように、照明ユニット５１からの照明光Ｒ_L1による照明と、反射板５２からの照明光Ｒ_L2による照明がなされる状態で、センサパネルアッセンブリ１０を走査するラインセンサカメラ５０からの映像信号に基づいて処理ユニット７０が生成する画像情報が表す検査画像には、接着剤１３中の気泡ＢＬや異物ＦＢ、センサガラス１１の回路素子ＥＬやキズＤとともに、カバーガラス１２の不透光領域１２ｂに対応した部分にある接着剤の状態が現れ得るようになる（図１６及び図１７参照）。この検査画像は、処理ユニット７０の制御のもと表示ユニット７１に表示される。ユーザは、表示ユニット７１に表示される単一の検査画像から、センサパネルアッセンブリ１０における接着剤１３中の気泡ＢＬや異物ＦＢの有無や状態、センサガラス１１の回路素子ＥＬの状態やキズＤの有無やその状態、接着剤１３のオーバーフローやアンダーフローの状態を判断することができる。

【0036】

上述したセンサパネルアッセンブリ検査装置では、照明ユニット５１からの照明光Ｒ_L1によってセンサパネルユニット１０の表面に形成される照明領域Ｅ_Lとラインセンサカメラ５０の撮影ラインＬ_Cや撮影領域Ｅ_Cとの間の距離、及び照明ユニット５１の傾き角度α（センサパネルユニット１０の表面の法線方向に対する光軸Ａ_OPT2の角度）（図４Ａ及び図４Ｂ参照）は、照明ユニット５１からの照明光Ｒ_L1がセンサパネル１１及び接着剤１３を通過する際に（図６〜図１２参照）反射板５２からの照明光Ｒ_L2により照明される接着剤１３中の気泡ＢＬや異物ＦＢ、センサパネル１１のキズＤや回路素子ＥＬの明るさに与える影響ができるだけ小さく、かつ、センサパネル１１の縁角や接着剤１３の先端及び表面の凹凸での乱反射光の一部がラインセンサカメラ５０に入射し得る条件に基づいて決められる。

【0037】

前述したセンサパネルアッセンブリ検査装置では、反射板５２をセンサパネルアッセンブリ１０のカバーガラス１２に対向するように配置されているが、例えば、図１８に示すように、反射板５２に代えて、センサパネルアッセンブリ１０のカバーガラス１２に対向するように背面照明ユニット５３（第２照明手段）を配置させることもできる。

【0038】

また、前述したセンサパネルアッセンブリ検査装置では、照明ユニット５１がセンサパネルアッセンブリ１０の移動方向Ａにおけるラインセンサカメラ５０の下流側、即ち、ラインセンサカメラ５０の走査方向Ｂにおける当該ラインセンサカメラ５０の上流側に配置されているが、例えば、図１９に示すように、センサパネルアッセンブリ１０の移動方向Ａにおけるラインセンサカメラ５０の上流側、即ち、ラインセンサカメラ５０の走査方向Ｂにおける当該ラインセンサカメラ５０の下流側に配置させることもできる。この場合、照明ユニット５０の傾きや照明領域Ｅ_Lと撮影領域Ｅ_C（撮影ラインＬ_C）との相対的な位置関係は、前述したのと同様に設定される。

【0039】

検査対象となる貼り合せ板状体は、タッチパネル式の液晶表示パネルに用いられるセンサパネルアッセンブリ１０であったが、透光領域を有する第１板状体と、周辺部に形成された不透光領域と、該不透光領域の形成された周辺部より内側に形成された透光領域を有する第２板状体とを透光性を有する接着剤にて貼り合せてなる貼り合せ板状体であれば特に限定されない。

【0040】

なお、前述したセンサパネルアッセンブリ検査装置では、センサパネル１１を上側にして移動するセンサパネルアッセンブリ１０の上方から照明ユニット５１の照明及びラインセンサカメラ５０による撮影がなされたが（図３Ａ、図１８、図１９参照）、このような構成に限定されず、センサパネル１１を下側にして移動するセンサパネルアッセンブリ１０の下方から照明ユニット５１の照明及びラインセンサカメラ５０による撮影がなされるように構成することもできる。

【0041】

また、図３Ａに示すセンサアッセンブリ検査装置において、反射板５２は、センサパネルアッセンブリ１０のカバーガラス１２に対向するように固定配置されたが、センサパネルアッセンブリ１０と同期して移動可能にすることもできる。

【符号の説明】

【0042】

１０ センサパネルアッセンブリ（貼り合せ板状体）
１１ センサパネル（第１板状体）
１２ カバーガラス（第２板状体）
１２ａ 透光領域
１２ｂ 不透光領域
１３、１５ 接着剤
２０ 液晶パネルアッセンブリ
５０ ラインセンサカメラ
５０ａ ラインセンサ
５１ 照明ユニット（第１照明手段）
５２ 反射板（第２照明手段）
５３ 背面照明ユニット（第２照明手段）
６０ 移動機構
７０ 処理ユニット
７１ 表示ユニット
７２ 操作ユニット

【図1A】

【図1B】

【図1C】

【図2】

【図3A】

【図3B】

【図4A】

【図4B】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】