特許 5791382 ウエハの接合方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5791382

(24)【登録日】2015年8月14日

(45)【発行日】2015年10月7日

(54)【発明の名称】ウエハの接合方法

(51)【国際特許分類】

   B23K 20/00 20060101AFI20150917BHJP

   G02B 5/30 20060101ALI20150917BHJP

   H01L 21/02 20060101ALI20150917BHJP

   H01L 21/68 20060101ALI20150917BHJP

【ＦＩ】

   B23K20/00 310L

   G02B5/30

   H01L21/02 B

   H01L21/68 G

【請求項の数】1

【全頁数】12

(21)【出願番号】特願2011-133778(P2011-133778)

(22)【出願日】2011年6月16日

(65)【公開番号】特開2013-768(P2013-768A)

(43)【公開日】2013年1月7日

【審査請求日】2014年5月22日

(73)【特許権者】

【識別番号】000104722

【氏名又は名称】京セラクリスタルデバイス株式会社

(72)【発明者】

【氏名】伊東 明則

(72)【発明者】

【氏名】齋藤 尚紀

(72)【発明者】

【氏名】若林 小太郎

(72)【発明者】

【氏名】石内 真吾

【審査官】 豊島 唯

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１１−０２５３０２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００４−００１３２１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許出願公開第２００３／０１７３０１７（ＵＳ，Ａ１）

【文献】 特開２０１３−４７０１（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｂ２３Ｋ ２０／００ − ２０／２６

Ｇ０２Ｂ ５／３０

Ｈ０１Ｌ ２１／０２

Ｈ０１Ｌ ２１／６８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

両主面が四角形状となっている２枚のウエハの主面同士を接合するウエハの接合方法であって、
両主面が四角形状に形成され一方の主面から他方の主面にかけて貫通孔が形成されている平板部の一方の主面に、前記平板部に接する面の中心をそれぞれ直線で結ぶと三角形状となるように三つの柱部が設けられている接合用ジグに、前記柱部が設けられている前記平板部の面に前記ウエハの一方の主面を接触させつつ前記柱部の側面に前記ウエハの所定の二つの側面を接触させるように、前記ウエハを搭載するウエハ搭載工程と、
前記接合用ジグの前記平板部に接する面に対向する前記ウエハの面に、エキシマ照射ランプから放射された光を照射する照射工程と、
前記ウエハの一方の主面が前記平板部に接触したままとなるように前記平板部の他方の主面側の前記貫通孔の開口部から吸引し、前記ウエハを前記接合用ジグに保持した状態で、一方のウエハの所定の二つの側面が接している前記柱部の側面が、他方のウエハの所定の他の二つの側面が同一平面上に位置する前記平板部の側面と接触するように、前記接合用ジグを配置する接合用ジグ配置工程と、
配置された二つの前記接合用ジグに保持されている前記ウエハを接触させ前記ウエハを貼り合わせる貼り合わせ工程と、
前記接合用ジグから貼り合わせた前記ウエハを取り外す取り外し工程と、
を備え、
前記接合用ジグ配置工程で、一方のウエハが搭載されている前記接合用ジグの前記柱部が設けられている前記平板部の面と他方のウエハが搭載されている前記接合用ジグの前記平板部に接している面に対向する前記柱部の面が対向している
ことを特徴とするウエハの接合方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、主面の大きさが同じウエハの主面を接合するウエハの接合方法に関する。

【背景技術】

【0002】

ウエハの接合方法には、例えば、陽極接合による接合を用いる場合、接着剤による接合を用いる場合、直接接合による接合を用いる場合がある。
特に、直接接合を用いたウエハの接合方法では、陽極接合を用いて接合する場合のようにウエハの間に金属膜を設けることなく接合することができ、接着剤を用いて接合する場合のようにウエハの間に接触剤を設けることなく接合することができるので、光学変換素子の製造方法に多く用いられる。

【0003】

光学変換素子は、入射された光を変換し出射させる特性を有している。
このような光学変換素子は、例えば、二つのウエハから構成されており、この二つのウエハの主面同士が直接接合により接合されている。

【0004】

一方のウエハは、互いに直交するＸ軸とＹ軸とＺ軸とからなる結晶軸を有している左水晶が用いられ、両主面が四角形状となっている。
また、一方のウエハは、主面がＸ軸とＹ軸に平行でかつ厚み方向がＺ軸に平行となっている旋光板となっている。

【0005】

他方のウエハは、互いに直交するＸ軸とＹ軸とＺ軸とからなる結晶軸を有している右水晶が用いられ、両主面が四角形状となっている。
また、他方のウエハは、主面の大きさが一方のウエハの主面の大きさと同じとなっている。
また、他方のウエハは、主面がＸ軸とＹ軸に平行でかつ厚み方向がＺ軸に平行となっている旋光板となっている。

【0006】

このような光学部品素子は、一方のウエハの一方の主面と他方のウエハの一方の主面とが直接接合によって接合され、一方のウエハの他方の主面から光が入射された光を変換し他方のウエハの他方の主面から出射させる特性を有している（例えば、特許文献１参照）。

【0007】

ウエハを直接接合によって接合する接合方法は、例えば、ウエハ搭載工程、照射工程、ウエハ配置工程、貼り合わせ工程、を備えている。

【0008】

（ウエハ搭載工程）
ウエハ搭載工程は、例えば、スペーサーに接合されるウエハを搭載する工程である。
スペーサー２１０は、図６（ａ）及び図６（ｂ）に示すように、矩形形状の平板状となっており、一方の主面に第一の凹部空間２１１と第二の凹部空間２１２とが形成されている。
また、スペーサー２１０は、一方の主面を見た場合、第一の凹部空間２１１が矩形形状となっており、第二の凹部空間２１２が第一の凹部空間２１１の開口部の四つの隅部に円形形状となるように形成されている。
第一の凹部空間２１１は、その底面が接合されるウエハの主面と同じ大きさとなっており、第一の凹部空間２１１の開口部から底面までの長さがウエハの一方の主面から他方の主面までの長さより短くなっている。
第二の凹部空間２１２は、ピンセットの先端を挿入することができる大きさとなっており、スペーサー２１０からウエハを取り出す際に用いられる。
ウエハ搭載工程では、接合されるウエハをスペーサー２１０の第一の凹部空間２１２内に収納するようにしてスペーサー２１０に搭載する工程である。

【0009】

（照射工程）
照射工程は、例えば、図７に示すように、スペーサー２１０に搭載されているウエハＷの接合される面にエキシマ照射ランプ１２０から放射された光を照射する工程である。
照射工程では、エキシマ照射ランプ１２０から放射された光が照射されることで、ウエハＷの面の酸化膜や吸着物や汚染物が除去され、照射されたウエハＷの面が活性化される。

【0010】

（ウエハ配置工程）
ウエハ配置工程は、図９に示すように、スペーサー２１０から取り出されたウエハＷの照射された面同士が対向するように配置される工程である。
ウエハ配置工程では、一方のウエハＷのエキシマ照射ランプ１２０から照射された光が照射された面が他方のウエハＷのエキシマ照射ランプ１２０から照射された光が照射された面と対向するように、他方のウエハＷの側面を挟むようにピンセットによって保持した状態でウエハＷが配置される。

【0011】

（貼り合わせ工程）
貼り合わせ工程は、他方のウエハＷの側面を挟むようにピンセットによって保持した状態でウエハＷの照射された面同士が対向するように配置されているウエハＷの面を接触させて活性化された面同士を接合する工程である。

【0012】

従って、ウエハの接合方法は、エキシマ照射ランプ１２０から放射された光をウエハＷに照射した後、一方のウエハＷの照射された面と他方のウエハＷの照射された面とが対向するようにピンセットで他方のウエハＷを挟み保持しウエハＷを配置させた後接触させて接合している。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0013】

特開２００７−１１４５２０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0014】

しかしながら、従来のウエハの接合方法は、エキシマ照射ランプから放射された光をウエハに照射した後、一方のウエハの照射された面と他方のウエハの照射された面とが対向するようにピンセットで他方のウエハを挟み保持しウエハを配置させた後接触させて接合しているので、手間と時間を要する上に、接合後に一方のウエハから他方のウエハに向かう向きに一方のウエハの主面を見たとき、一方のウエハの主面の所定の縁部と他方のウエハの主面の所定の縁部とが重なっていないといった接合ずれが生じてしまう恐れがある。
従って、従来のウエハの接合方法では、接合ずれが生じた場合、接合をしなおすために接合ずれが生じたウエハを洗浄し、再び、接合しなければならず、手間と時間を要し、生産性が低減する恐れがある。

【0015】

また、従来のウエハの接合方法は、エキシマ照射ランプから放射された光を接合したいウエハに照射し、一方のウエハの照射された面と他方のウエハの照射された面とが対向するように、ピンセットで他方のウエハを挟み保持し二つのウエハを配置させた後接触させ接合しているので、ピンセットに付着していた付着物が接合されるウエハの面に付着し接合されウエハの間に異物として混入する恐れがある。また、接合されるウエハの面の縁部がピンセットによって欠損し、この欠損した部分がウエハの間に異物として混入する恐れがある。
このため、従来のウエハの接合方法によれば、接合されるウエハの間に異物が混入し、
接合後の生産性が低減する恐れがある。
接合されている一方のウエハから他方のウエハに向かう向きに光を入射させる場合、
従来のウエハの接合方法では、接合されているウエハの間に混入した異物により干渉縞が生じるといった外観不良が発生し生産性が低減する恐れがある。

【0016】

本発明は、ウエハの接合ずれがなくウエハの間に異物が混入することなくウエハを接合することができる生産性が向上されたウエハの接合方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0017】

前記課題を解決するため、両主面が四角形状となっている２枚のウエハの主面同士を接合するウエハの接合方法であって、両主面が四角形状に形成され一方の主面から他方の主面にかけて貫通孔が形成されている平板部の一方の主面に、前記平板部に接する面の中心をそれぞれ直線で結ぶと三角形状となるように三つの柱部が設けられている接合用ジグに、前記柱部が設けられている前記平板部の面に前記ウエハの一方の主面を接触させつつ前記柱部の側面に前記ウエハの所定の二つの側面を接触させるように、前記ウエハを搭載するウエハ搭載工程と、前記接合用ジグの前記平板部に接する面に対向する前記ウエハの面に、エキシマ照射ランプから放射された光を照射する照射工程と、前記ウエハの一方の主面が前記平板部に接触したままとなるように前記平板部の他方の主面側の前記貫通孔の開口部から吸引し、前記ウエハを前記接合用ジグに保持した状態で、一方のウエハの所定の二つの側面が接している前記柱部の側面が、他方のウエハの所定の他の二つの側面が同一平面上に位置する前記平板部の側面と接触するように、前記接合用ジグを配置する接合用ジグ配置工程と、配置された二つの前記接合用ジグに保持されている前記ウエハを接触させ前記ウエハを貼り合わせる貼り合わせ工程と、前記接合用ジグから貼り合わせた前記ウエハを取り外す取り外し工程と、を備え、前記接合用ジグ配置工程で、一方のウエハが搭載されている前記接合用ジグの前記柱部が設けられている前記平板部の面と他方のウエハが搭載されている前記接合用ジグの前記平板部に接している面に対向する前記柱部の面が対向していることを特徴とする。

【発明の効果】

【0018】

このようなウエハの接合方法によれば、貫通孔が形成されている平板部と平板部に接する三つの柱部の面のそれぞれの中心を直線で結ぶと三角形状となるように平板部の一方の主面に設けられている柱部が設けられている接合用ジグであって、ウエハの一方の主面を柱部が設けられている平板部の面に接触させつつ、ウエハの所定の二つの側面を柱部の側面に接触させることで、平板部の二つの側面と同一平面上とすることができる接合用ジグにウエハを搭載し、ウエハを接合用ジグに保持した状態で、一方のウエハの所定の二つの側面が接している柱部の側面と他方のウエハの所定の他の二つの側面が同一平面上に位置する平板部の側面とが接触するように、それぞれの接合用ジグを配置しているので、エキシマ照射ランプから放射された光が照射されたウエハの面同士を容易に対向させ接触させることができる。
このため、このようなウエハの接合方法によれば、主面が四角形状のウエハを接合ずれのないように容易に接合することができ、接合後の生産性を向上させることができる。

【0019】

また、このようなウエハの接合方法によれば、接合用ジグにウエハを搭載した状態でウエハにエキシマ照射ランプから放射された光を照射し、貫通孔から吸引しウエハを接合用ジグに保持し接合用ジグを配置し、光が照射されたウエハの面を貼り合わせて接合しているので、ウエハの側面をピンセットで挟むことなくウエハを接合することができる。
このため、このようなウエハの接合方法によれば、従来のウエハの接合方法と比較して接合されているウエハの主面の間に異物が混入するのを抑えることができ、接合後の生産性を向上させることができる。
接合されている一方のウエハから他方のウエハに向かう向きに光を入射させる場合、このようなウエハの接合方法によれば、従来のウエハの接合方法と比較して異物の混入を抑えることができるので、従来のウエハの接合方法と比較して異物の混入により干渉縞による外観不良を抑えることができ、従来のウエハの接合方法と比較して生産性を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【0020】

【図1】（ａ）は、本発明の実施形態に係るウエハの接合方法で用いる接合用ジグの状態の一例を示す斜視図であり、（ｂ）は、本発明の実施形態に係るウエハの接合方法で用いる接合用ジグの状態の一例を示す平面図であり、（ｃ）は、本発明の実施形態に係るウエハの接合方法で用いる接合用ジグの状態の一例を示す断面図である。

【図2】本発明の実施形態に係るウエハの接合方法におけるウエハ搭載工程の状態の一例を示す斜視図である。

【図3】本発明の実施形態に係るウエハの接合方法における照射工程の状態の一例を示す断面図である。

【図4】本発明の実施形態に係るウエハの接合方法における接合用ジグ配置工程の状態の一例を示す断面図である。

【図5】本発明の実施形態に係るウエハの接合方法における貼り合わせ工程の状態の一例を示す断面図である。

【図6】（ａ）は、従来のウエハの接合方法で用いるスペーサーの状態の一例を示す斜視図であり、（ｂ）は、従来のウエハの接合方法で用いるスペーサーの状態の一例を示す断面図である。

【図7】従来のウエハの接合方法における照射工程の状態の一例を示す断面図である。

【図8】従来のウエハの接合方法におけるウエハ配置工程の状態の一例を示す断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0021】

次に、本発明を実施するための最良の形態について説明する。なお、各図面におけて各構成要素の状態を分かりやすくするために誇張して図示している。

【0022】

本発明の実施形態に係るウエハの接合方法では、両主面が四角形状となっている二つのウエハの主面同士を直接接合により接合している。ここでは、ウエハの主面が、例えば、正方形形状となっている場合で説明している。
また、本発明の実施形態に係る接合方法は、ウエハ搭載工程、照射工程、接合ジグ配置工程、貼り合わせ工程、取り外し工程、を備えている。

【0023】

（ウエハ搭載工程）
ウエハ搭載工程は、図２に示すように、両主面が四角形状に形成され一方の主面から他方の主面にかけて貫通孔１１２（図１参照）が形成されている平板部１１１の一方の主面に、前記平板部１１１に接する面の中心をそれぞれ直線で結ぶと三角形状となるように三つの柱部１１３が設けられている接合用ジグ１１０に、前記柱部１１３が設けられている前記平板部１１１の面に前記ウエハＷの一方の主面を接触させつつ前記柱部１１１の側面に前記ウエハＷの所定の二つの側面を接触させるように、前記ウエハＷを搭載する工程である。

【0024】

ウエハ搭載工程では、例えば、ウエハＷが二つ用いられ、それぞれのウエハＷが接合用ジグ１１０に搭載される。

【0025】

一方のウエハＷは、例えば、互いに直交するＸ軸とＹ軸とＺ軸とからなる結晶軸を有している右水晶が用いられ、両主面が正方形形状となっている。
また、一方のウエハＷは、例えば、主面がＸ軸及びＹ軸に平行でかつ厚み方向がＺ軸に平行となっている旋光板となっている。

【0026】

他方のウエハＷは、主面の大きさが一方のウエハＷの主面と同じ大きさとなっている。
また、他方のウエハＷは、例えば、互いに直交するＸ軸とＹ軸とＺ軸とからなる結晶軸を有している左水晶が用いられ、両主面が正方形形状となっている。
また、他方のウエハＷは、例えば、主面がＸ軸及びＹ軸に平行でかつ厚み方向がＺ軸に平行となっている。

【0027】

接合用ジグ１１０は、図１（ａ）と図１（ｂ）と図１（ｃ）に示すように、平板部１１１と三つ一対の柱部１１３とから構成されている。

【0028】

平板部１１１は、例えば、両主面が四角形状となっており、所定の一つの隅部に切り欠きが形成されている。このとき、平板部１１１の主面の大きさは、接合されるウエハＷの主面の大きさより大きくなっている。
また、平板部１１１は、図１（ａ）及び図１（ｃ）に示すように、一方の主面から他方の主面にかけて貫通孔１１２が形成されている。
また、平板部１１１は、図１（ａ）と図１（ｂ）と図１（ｃ）に示すように、一方の主面に柱部１１３が設けられている。

【0029】

柱部１１３は、例えば、図１（ａ）と図１（ｂ）と図１（ｃ）に示すように、三つ一対で用いられる。
また、柱部１１３は、例えば、図１（ａ）及び図１（ｂ）に示すように、両主面が円形形状となっている円柱形状に設けられている。
また、柱部１１３は、柱部１１３の一方の主面から柱部１１３の他方の主面までの長さが接合されるウエハＷの一方の主面からウエハＷの他方の主面までの長さより長くなっている。
また、柱部１１３は、例えば、柱部１１３の一方の主面側にネジ用の溝部（図示せず）が設けられており、平板部１１１の他方の主面側からネジ（図示せず）により柱部１１３を固定することができる構成となっている。

【0030】

また、柱部１１３は、図１（ａ）及び図１（ｃ）に示すように、柱部１１３の一方の主面が平板部１１１の一方の主面に接触するように、柱部１１３が一方の主面に設けられている。
また、柱部１１３は、柱部１１３側から平板部１１１の一方の主面を見た場合、平板部１１１に接している柱部１１３の面の中心をそれぞれ直線で結ぶと三角形状となる位置に設けられている。
また、柱部１１３は、例えば、図１（ａ）及び図１（ｂ）に示すように、平板部１１１の一方の主面の所定の二つの辺の縁部に沿って設けられている。このとき、所定の二つの辺であって一方の辺の縁部に沿って二つの柱部１１３が並んで設けられ、所定の二つの辺であって他方の辺の縁部に沿って一つの柱部１１３が設けられている。

【0031】

また、柱部１１３は、平板部１１１の一方の主面にウエハＷの一方の主面を接触させつつ所定の二つの側面が柱部１１３の側面に接触させるように接合用ジグにウエハＷを搭載した場合、ウエハＷの所定の他の二つの側面が、平板部１１１の一方の主面の所定の他の二つの辺を含む側面と同一平面上に位置するように、平板部１１１の一方の主面に設けられている。

【0032】

ここで、柱部１１３の側面とは、平板部１１１に接する柱部１１３の面及びこの面に対向する柱部１１３の面に接する面とする。

【0033】

また、柱部１１３は、後述する接合ジグ配置工程で、平板部１１１に接している面に対向する柱部１１３の面同士が対向しない位置に設けられている。

【0034】

従って、接合用ジグ１１０は、貫通孔１１２が形成されている平板部１１１の一方の主面に三つの柱部１１３が設けられており、柱部１１３側から平板部１１１の一方の主面を見た場合、ウエハＷの一方の主面を柱部１１３が設けられている平板部１１１の主面に接触させつつ、ウエハＷの所定の二つの側面を柱部１１３の側面に接触させると、ウエハＷの所定の他の二つの側面が平板部１１１の側面と同一平面上に位置するように、構成されている。

【0035】

ウエハ搭載工程では、ウエハＷの一方の主面が柱部１１３の設けられている平板部１１１の面に接触しつつ、ウエハＷの所定の二つの側面が柱部１１３の側面に接触するようにウエハＷが接合用ジグ１１０に搭載される。
このとき、ウエハＷの所定の二つの側面が柱部１１３の側面と同一平面上に位置しており、ウエハＷの所定の他の二つの側面が平板部１１１の側面と同一平面上に位置している。

【0036】

（照射工程）
照射工程は、図３に示すように、前記接合用ジグ１１０の前記平板部１１１に接する面に対向する前記ウエハＷの面に、エキシマ照射ランプ１２０から放射された光を照射する工程である。
照射工程では、エキシマ照射ランプ１２０から放射された光がウエハＷに照射されることで、ウエハＷの面の酸化膜や吸着物や汚染物が除去され、ウエハＷの面が活性化される。

【0037】

（接合用ジグ配置工程）
接合用ジグ配置工程は、図４に示すように、前記ウエハＷの一方の主面が前記平板部１１１に接触したままとなるように前記平板部１１１の他方の主面側の前記貫通孔１１２の開口部から吸引し、前記ウエハＷを前記接合用ジグ１１０に保持した状態で、一方のウエハＷの所定の二つの側面が接している前記柱部１１３の側面と他方のウエハＷの所定の他の二つの側面が同一平面上に位置する前記平板部１１１の側面とが接触するように、前記接合用ジグ１１０を配置する工程である。

【0038】

ここで、一方のウエハＷが搭載されている接合用ジグ１１０を第一の接合用ジグとし、他方のウエハＷが搭載されている接合用ジグ１１０を第二の接合用ジグ１１０とする。

【0039】

接合用ジグ配置工程では、接合用ジグ１１０の平板部１１１に形成されている貫通孔１１２の開口部であって平板部１１１の他方の主面側の開口部から吸引手段（図示せず）によって吸引して接合用ジグ１１０にウエハＷを保持している。
その後、接合用ジグ配置工程では、図４に示すように、それぞれの接合用ジグ１１０にウエハＷを保持した状態で、一方のウエハＷの所定の二つの側面が接している柱部１１３の側面と他方のウエハＷの所定の他の二つの側面と同一平面上にある平板部１１１の側面とが接触しつつ、一方のウエハＷの所定の他の二つの側面と同一平面上にある平板部１１１の側面と他方のウエハＷの所定の二つの側面に接している柱部１１３の側面とが接触する位置にそれぞれの接合用ジグ１１０が配置される。

【0040】

従って、ウエハ搭載工程では、ウエハＷの所定の二つの側面が柱部１１３の側面と同一平面上に位置しつつウエハＷの所定の他の二つの側面が平板部１１１の側面と同一平面上に位置しているので、ウエハＷの所定の二つの側面が接している柱部１１３の側面とウエハＷの所定の他の二つの側面と同一平面上にある平板部１１１の側面とを接触する位置に設けることで、平板部１１１に接する面に対向するウエハＷの面同士が対向するように容易に配置することができる。

【0041】

また、ウエハ搭載工程では、一方のウエハＷが搭載されている接合用ジグ１１０の柱部１１３の面であって平板部１１１に接している面に対向する面と他方のウエハＷが搭載されている接合用ジグ１１０の柱部１１３が設けられている平板部１１１の面が対向しつつ、一方のウエハＷが搭載されている接合用ジグ１１０の柱部１１３が設けられている平板部１１１の面と他方のウエハＷが搭載されている接合用ジグ１１０の柱部１１３の面であって平板部１１１に接している面に対向する面とが対向する位置に配置されている。
従って、ウエハ搭載工程では、一方のウエハＷが搭載されている接合用ジグ１１０の柱部１１３の主面であって平板部１１１に接している面に対向する面と他方のウエハＷが搭載されている接合用ジグ１１０の柱部１１３の主面であって平板部１１１に接している面に対抗する面とが対向しない位置に位置している。

【0042】

（貼り合わせ工程）
貼り合わせ工程は、図５に示すように、配置された二つの前記接合用ジグ１１０に保持されている前記ウエハＷを接触させ前記ウエハＷを貼り合わせる工程である。
貼り合わせ工程では、平板部１１１に接する面に対向する照射工程で活性化されている一方のウエハＷの主面と平板部１１１に接する面に対向する照射工程で活性化されている他方のウエハＷの主面と接触されることで、一方のウエハＷと他方のウエハＷとが直接接合により接合される。

【0043】

（取り外し工程）
取り外し工程は、前記接合用ジグ１１０から貼り合わせた前記ウエハＷを取り外す
工程である。
取り外し工程では、前述したように、平板部１１１の一方の主面の一つの端部に切り欠きが形成されている接合用ジグ１１０を用いているので、接合用ジグ１１０から接合されたウエハＷを容易に取り外すことができる。

【0044】

このような本発明の実施形態に係るウエハの接合方法によれば、貫通孔１１２が形成されている平板部１１１と平板部１１１に接する三つの柱部１１３の面のそれぞれの中心を直線で結ぶと三角形状となるように平板部１１１の一方の主面に柱部１１３が設けられている接合用ジグ１１０であって、ウエハＷの一方の主面を柱部１１３が設けられている平板部１１１の面に接触させつつ、ウエハＷの所定の二つの側面を柱部の側面に接触させることで、平板部１１１の二つの側面と同一平面上とすることができる接合用ジグ１１０にウエハＷを搭載し、ウエハＷを接合用ジグ１１０に保持した状態で、一方のウエハＷの所定の二つの側面が接している柱部１１３の側面と他方のウエハＷの所定の他の二つの側面が同一平面上に位置する平板部１１１の側面とが接触するように、それぞれの接合用ジグ１１０を配置しているので、エキシマ照射ランプ１２０から放射された光が照射されたウエハＷの面同士を容易に対向させ接触させることができる。
このため、このような本発明の実施形態に係るウエハＷの接合方法によれば、主面が四角形状のウエハＷを接合ずれのないように容易に接合することができ、接合後の生産性を向上させることができる。

【0045】

また、このような本発明の実施形態に係るウエハの接合方法によれば、接合用ジグ１１０にウエハＷを搭載した状態でウエハＷにエキシマ照射ランプ１２０から放射された光を照射し、貫通孔１１２から吸引しウエハＷを接合用ジグ１１０に保持し接合用ジグ１１０を配置し、光が照射されたウエハＷの面を貼り合わせて接合しているので、ウエハＷの側面をピンセットで挟むことなくウエハＷを接合することができる。
このため、このような本発明の実施形態に係るウエハの接合方法によれば、従来のウエハの接合方法と比較して接合されているウエハＷの主面の間に異物が混入するのを抑えることができ、接合後の生産性を向上させることができる。
接合されている一方のウエハＷから他方のウエハＷに向かう向きに光を入射させる場合、このような本発明の実施形態に係るウエハの接合方法によれば、従来のウエハの接合方法と比較して異物の混入を抑えることができるので、従来のウエハの接合方法と比較して異物の混入により干渉縞による外観不良を抑えることができ、従来のウエハの接合方法と比較して生産性を向上させることができる。

【0046】

また、本発明の実施形態に係るウエハの接合方法によれば、平板部１１３側を向く柱部１１３の主面にネジ用の溝部を設け平板部１１３と柱部１１３とをネジを用いて固定しているので、容易に接合用ジグ１１０を形成することができる。
このため、本発明の実施形態に係るウエハの接合方法によれば、両主面の形状が同じ四角形状のウエハの接合であれば容易に接合用ジグ１１０を形成することができ、生産性を向上させることができる。

【0047】

なお、貫通孔が平板部に一つ設けられている場合について説明しているが、平板部の他方の主面側の貫通孔の開口部から吸引手段を用いて吸引しウエハを平板部の一方の主面に保持することができれば、貫通孔を複数形成してもよい。

【0048】

右水晶からなる旋光板と左水晶からなる旋光板とを接合する場合について説明しているが、ウエハの主面を直接接合によって接合していれば、例えば、波長板を貼り合わせてもよい。

【0049】

また、ウエハが水晶からなる場合について説明しているが、ウエハの主面を直接接合によって接合していれば、例えば、ガラスであってもよい。

【0050】

また、２枚のウエハを接合する場合について説明しているが、例えば、接合されているウエハを一つのウエハとみなして、接合されているウエハ同士をさらに接合してもよい。

【0051】

また、柱部の両主面が円形形状となっている接合用ジグを用いている場合について説明したが、柱部の両主面が同形状となっていれば、例えば、四角形状となっていてもよい。

【0052】

また、柱部が三つ設けられている場合について説明しているが、平板部の一方の主面の所定の二つの辺の縁部に沿って並んで設けられていれば、四つ以上設けてもよい。柱部は、例えば、柱部が５つ設けてもよい。このとき、平板部の一方の主面の所定の二つの辺であって一方の辺の縁部に沿って二つ並んで設けられ、平板部の一方の主面の所定の二つの辺であって他方の辺の縁部に沿って三つ並んで設けられている。

【符号の説明】

【0053】

１１０，２１０ 接合用ジグ
１１１，２１１ 平板部
１１２，２１２ 貫通孔
１１３，２１３ 柱部
１２０ エキシマ照射ランプ
Ｗ ウエハ
２１０ スペーサー
２１１ 第一の凹部空間
２１２ 第二の凹部空間

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】