特許 5791383 ウエハの接合方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5791383

(24)【登録日】2015年8月14日

(45)【発行日】2015年10月7日

(54)【発明の名称】ウエハの接合方法

(51)【国際特許分類】

   B23K 20/00 20060101AFI20150917BHJP

   H01L 21/02 20060101ALI20150917BHJP

   H01L 21/68 20060101ALI20150917BHJP

【ＦＩ】

   B23K20/00 310L

   H01L21/02 B

   H01L21/68 G

【請求項の数】1

【全頁数】13

(21)【出願番号】特願2011-133784(P2011-133784)

(22)【出願日】2011年6月16日

(65)【公開番号】特開2013-769(P2013-769A)

(43)【公開日】2013年1月7日

【審査請求日】2014年5月22日

(73)【特許権者】

【識別番号】000104722

【氏名又は名称】京セラクリスタルデバイス株式会社

(72)【発明者】

【氏名】伊東 明則

(72)【発明者】

【氏名】齋藤 尚紀

(72)【発明者】

【氏名】若林 小太郎

(72)【発明者】

【氏名】石内 真吾

【審査官】 豊島 唯

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１１−０２５３０２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００９−０７１１８３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００７−１４２３８１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許出願公開第２００３／０１７３０１７（ＵＳ，Ａ１）

【文献】 特開２００４−００１３２１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１３−４７０１（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｂ２３Ｋ ２０／００ −２０／２６

Ｈ０１Ｌ ２１／０２

Ｈ０１Ｌ ２１／６８

Ｇ０２Ｂ ５／３０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

両主面が矩形形状となっている２枚のウエハの主面同士を接合するウエハの接合方法であって、
両主面が矩形形状に形成され一方の主面から他方の主面にかけて貫通孔が形成されている平板部の一方の主面の所定の三辺に沿った縁部に第一の壁部と前記第一の壁部の両端部に設けられている二つ一対の第二の壁部とからなる壁部が設けられ、前記壁部が前記平板部と接する面から前記平板部に接する面に対向する前記壁部の面までの長さが前記ウエハの一方の主面から前記ウエハの他方の主面までの長さの２倍の長さとなっており、前記第一の壁部に接する前記第二の壁部の面から前記第一の壁部に接する前記第二の壁部の面に対向する前記第二の壁部の面までの長さが、前記第一の壁部に接する前記第二の壁部の面から前記第一の壁部が縁部に設けられている前記平板部の所定の一つの辺に対向する辺を含む前記平板部の所定の一つの側面までの長さの半分となっている第一の接合用ジグ及び第二の接合用ジグに、前記平板部の一方の主面に前記ウエハの一方の主面を接触させ、前記第一の壁部の側面が前記ウエハの所定の一つの側面に接触しつつ二つ一対の前記第二の壁部の側面が前記ウエハの所定の他の二つの側面に接触するように、第一の接合用ジグに一方のウエハを搭載し、第二の接合用ジグに他方のウエハを搭載するウエハ搭載工程と、
前記第一の接合用ジグ及び前記第二の接合用ジグに搭載されている前記ウエハの前記平板部に接する面に対向する前記ウエハの面に、エキシマ照射ランプから放射された光を照射する照射工程と、
前記ウエハの一方の主面が前記ウエハの前記平板部に接触したままとなるように前記平板部の他方の主面側の前記貫通孔の開口部から吸引し前記ウエハを前記第一の接合用ジグ及び前記第二の接合用ジグに保持した状態で、前記第一の接合用ジグの前記一方のウエハの所定の一辺に接している前記第一の壁部の側面が前記他方のウエハの所定の他の辺と同一平面上にある前記第二の接合用ジグの平板部の側面と接触しつつ、前記一方のウエハの所定の他の辺と同一平面上にある前記第一の接合用ジグの平板部の側面が前記第二の接合用ジグの前記他方のウエハの所定の一辺に接している前記第一の壁部の側面と接触するように前記第一の接合用ジグと前記第二の接合用ジグとを配置する接合用ジグ配置工程と、
配置された前記第一の接合用ジグに保持されている前記一方のウエハと前記第二の接合用ジグに保持されている前記他方のウエハを接触させ前記一方のウエハと前記他方のウエハを貼り合わせる貼り合わせ工程と、
前記第一の接合用ジグ及び前記第二の接合用ジグから貼り合わせた前記ウエハを取り外す取り外し工程と、を備えていることを特徴とするウエハの接合方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、主面の大きさが同じウエハの主面を接合するウエハの接合方法に関する。

【背景技術】

【0002】

ウエハの接合方法には、例えば、陽極接合による接合を用いる場合、接着剤による接合を用いる場合、直接接合による接合を用いる場合がある。
特に、直接接合を用いたウエハの接合方法では、陽極接合を用いて接合する場合のようにウエハの間に金属膜を設けることなく接合することができ、接着剤を用いて接合する場合のようにウエハの間に接着剤を設けることなく接合することができるので、光学変換素子の製造方法に多く用いられる。

【0003】

光学変換素子は、入射された光を変換し出射させる特性を有している。
このような光学変換素子は、例えば、二つのウエハから構成されており、この二つのウエハの主面同士が直接接合により接合されている。

【0004】

一方のウエハは、互いに直交するＸ軸とＹ軸とＺ軸とからなる結晶軸を有している右水晶が用いられ、両主面が四角形状となっている。
また、一方のウエハは、主面がＸ軸とＹ軸に平行でかつ厚み方向がＺ軸に平行となっている旋光板となっている。

【0005】

他方のウエハは、互いに直交するＸ軸とＹ軸とＺ軸とからなる結晶軸を有している左水晶が用いられ、両主面が四角形状となっている。
また、他方のウエハは、主面の大きさが一方のウエハの主面の大きさと同じとなっている。
また、他方のウエハは、主面がＸ軸とＹ軸に平行でかつ厚み方向がＺ軸に平行となっている旋光板となっている。

【0006】

このような光学部品素子は、一方のウエハの一方の主面と他方のウエハの一方の主面とが直接接合によって接合され、一方のウエハの他方の主面から光が入射された光を変換し他方のウエハの他方の主面から出射させる特性を有している（例えば、特許文献１参照）。

【0007】

ウエハを直接接合によって接合する接合方法は、例えば、ウエハ搭載工程、照射工程、ウエハ配置工程、貼り合わせ工程、を備えている。

【0008】

（ウエハ搭載工程）
ウエハ搭載工程は、例えば、スペーサーに接合されるウエハを搭載する工程である。
スペーサー３１０は、例えば、図６（ａ）及び図６（ｂ）に示すように、矩形形状の平板状となっており、一方の主面に第一の凹部空間２１１と第二の凹部空間２１２が形成されている。
また、スペーサー２１０は、一方の主面を見た場合、第一の凹部空間２１１が矩形形状となっており、第二の凹部空間２１２が第一の凹部空間２１１の開口部の四つの隅部に円形となるように形成されている。
第一の凹部空間２１１は、その底面が接合されるウエハの主面と同じ大きさとなっており、第一の凹部空間２１１の開口部から底面までの長さがウエハの一方の主面から他方の主面までの長さより短くなっている。
第二の凹部空間２１２は、ピンセットの先端を挿入することができる大きさとなっており、スペーサー２１０からウエハを取り出す際に用いられる。
ウエハ搭載工程では、接合されるウエハをスペーサー２１０の第一の凹部空間２１０内に収納するようにしてスペーサー２１０に搭載する工程である。

【0009】

（照射工程）
照射工程は、例えば、図７に示すように、スペーサー２１０に搭載されているウエハＷの接合される面にエキシマ照射ランプ１２０から放射された光を照射する工程である。
照射工程では、エキシマ照射ランプ１２０から放射された光が照射されることで、ウエハＷの面の酸化膜や吸着物や汚染物が除去され、照射されたウエハＷの面が活性化される。

【0010】

（ウエハ配置工程）
ウエハ配置工程は、図８に示すように、スペーサー２１０から取り出されたウエハＷの照射された面同士が対向するように配置する工程である。
ウエハ配置工程では、一方のウエハＷのエキシマ照射ランプ１２０から照射された光が照射された面が他方のウエハＷのエキシマ照射ランプ１２０から照射された光が照射された面と対向するように、他方のウエハＷの側面を挟むようにピンセットによって保持した状態でウエハＷが配置される。

【0011】

（貼り合わせ工程）
貼り合わせ工程は、他方のウエハＷの側面を挟むようにピンセットによって保持した状態でウエハＷの照射された面同士が対向するように配置されているウエハＷの面を接触させて活性化された面同士を接合する工程である。

【0012】

従って、ウエハの接合方法は、エキシマ照射ランプ１２０から放射された光をウエハＷに照射した後、一方のウエハＷの照射された面と他方のウエハＷの照射された面とが対向するようにピンセットで他方のウエハＷを挟み保持しウエハＷを配置させた後接触させて接合している。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0013】

特開２００７−１１４５２０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0014】

しかしながら、従来のウエハの接合方法は、エキシマ照射ランプから放射された光をウエハに照射した後、一方のウエハの照射された面と他方のウエハの照射された面とが対向するようにピンセットで他方のウエハを挟み保持しウエハを配置させた後接触させて接合しているので、手間と時間を要する上に、接合後に一方のウエハから他方のウエハに向かう向きに一方のウエハの主面を見たとき、一方のウエハの主面の所定の縁部と他方のウエハの主面の所定の縁部とが重なっていないといった接合ずれが生じてしまう恐れがある。
従って、従来のウエハの接合方法では、接合ずれが生じた場合、接合をしなおすために接合ずれが生じたウエハを洗浄し、再び、接合しなければならず、手間と時間を要し、生産性が低減する恐れがある。

【0015】

また、従来のウエハの接合方法は、エキシマ照射ランプから放射された光を接合したいウエハに照射し、一方のウエハの照射された面と他方のウエハの照射された面とが対向するように、ピンセットで他方のウエハを挟み保持し二つのウエハを配置させた後接触させ接合しているので、ピンセットに付着していた付着物が接合されるウエハの面に付着し接合されウエハの間に異物として混入する恐れがある。また、接合されるウエハの面の縁部がピンセットによって欠損し、この欠損した部分がウエハの間に異物として混入する恐れがある。
このため、従来のウエハの接合方法によれば、接合されるウエハの間に異物が混入し、
接合後の生産性が低減する恐れがある。
接合されている一方のウエハから他方のウエハに向かう向きに光を入射させる場合、
従来のウエハの接合方法では、接合されているウエハの間に混入した異物により干渉縞が生じるといった外観不良が発生し生産性が低減する恐れがある。

【0016】

本発明は、ウエハの接合ずれがなくウエハの間に異物が混入することなくウエハを接合することができる生産性が向上されたウエハの接合方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0017】

前記課題を解決するため、両主面が矩形形状となっている２枚のウエハの主面同士を接合するウエハの接合方法であって、両主面が矩形形状に形成され一方の主面から他方の主面にかけて貫通孔が形成されている平板部の一方の主面の所定の三辺に沿った縁部に第一の壁部と前記第一の壁部の両端部に設けられている二つ一対の第二の壁部とからなる壁部が設けられ、前記壁部が前記平板部と接する面から前記平板部に接する面に対向する前記壁部の面までの長さが前記ウエハの一方の主面から前記ウエハの他方の主面までの長さの２倍の長さとなっており、前記第一の壁部に接する前記第二の壁部の面から前記第一の壁部に接する前記第二の壁部の面に対向する前記第二の壁部の面までの長さが、前記第一の壁部に接する前記第二の壁部の面から前記第一の壁部が縁部に設けられている前記平板部の所定の一つの辺に対向する辺を含む平板部の所定の一つの側面までの長さの半分となっている第一の接合用ジグ及び第二の接合用ジグに、前記平板部の一方の主面に前記ウエハの一方の主面を接触させ、前記第一の壁部の側面が前記ウエハの所定の一つの側面に接触しつつ二つ一対の前記第二の壁部の側面が前記ウエハの所定の他の二つの側面に接触するように、前記第一の接合用ジグに一方のウエハを搭載し、前記第二接合用ジグに他方のウエハを搭載するウエハ搭載工程と、前記第一の接合用ジグ及び前記第二の接合用ジグに搭載されている前記ウエハの前記平板部に接する面に対向する前記ウエハの面に、エキシマ照射ランプから放射された光を照射する照射工程と、前記ウエハの一方の主面が前記ウエハの前記平板部に接触したままとなるように前記平板部の他方の主面側の前記貫通孔の開口部から吸引し前記ウエハを前記第一の接合用ジグ及び前記第二の接合用ジグに保持した状態で、前記第一の接合用ジグの前記一方のウエハの所定の一辺に接している前記第一の壁部の側面が前記他方のウエハの所定の他の辺と同一平面上にある前記第二の接合用ジグの平板部の側面と接触しつつ、前記一方のウエハの所定の他の辺と同一平面上にある前記第一の接合用ジグの平板部の側面が前記第二の接合用ジグの前記他方のウエハの所定の一辺に接している前記第一の壁部の側面と接触するように前記第一の接合用ジグと前記第二の接合用ジグとを配置する接合用ジグ配置工程と、配置された前記第一の接合用ジグに保持されている前記一方のウエハと前記第二の接合用ジグに保持されている前記他方のウエハを接触させ前記一方のウエハと前記他方のウエハを貼り合わせる貼り合わせ工程と、前記第一の接合用ジグ及び前記第二の接合用ジグから貼り合わせた前記ウエハを取り外す取り外し工程と、を備えていることを特徴とする。

【発明の効果】

【0018】

このようなウエハの接合方法によれば、第一の壁部及びこの第一の壁部の両端部に設けられている二つ一対の第二の壁部とからなる壁部が一方の主面から他方の主面にかけて貫通孔が形成されている平板部の一方の主面の所定の三辺の沿った縁部に設けられ壁部の厚みがウエハの厚みの２倍となっており、第一の壁部に接する第二の壁部の面から第一の壁部に接する第二の壁部の面に対向する第二の壁部の面までの長さが第二の壁部に接する第二の壁部の面から第一の壁部が縁部に設けられている平板部の所定の一つの辺に対向する辺を含む平板部の所定の一つの側面までの長さの半分となっている接合用ジグであって、平板部の一方の主面にウエハの一方の主面を接触させ、第一の壁部の側面がウエハの所定の一つの側面に接触しつつ二つ一対の第二の壁部の側面がウエハの所定の他の二つの側面に接触するようにそれぞれのウエハをそれぞれの接合用ジグに搭載し、エキシマ照射ランプから放射された光を照射した後、平板部の他方の主面側の貫通孔の開口部から吸引してウエハを接合用ジグに保持した状態で、一方のウエハが搭載されている接合用ジグの第一の壁部に接する面に対向する第二の壁部の面が他方のウエハが搭載されている接合用ジグの第一の壁部に接する面に対向する第二の壁部の面に接触するようにウエハが搭載されている接合用ジグを配置しているので、エキシマ照射ランプから放射された光が照射されたウエハの面同士を容易に対向させ接触させることができる。
このため、このようなウエハの接合方法によれば、主面が四角形状のウエハを接合ずれのないように容易に接合することができ、接合後の生産性を向上させることができる。

【0019】

また、このようなウエハの接合方法によれば、接合用ジグにウエハを搭載した状態でウエハにエキシマ照射ランプから放射された光を照射し、貫通孔から吸引しウエハを接合用ジグに保持し接合用ジグを配置し、光が照射されたウエハの面を貼り合わせて接合しているので、ウエハの側面をピンセットで挟むことなくウエハを接合することができる。
このため、このようなウエハの接合方法によれば、従来のウエハの接合方法と比較して接合されているウエハの主面の間に異物が混入するのを抑えることができ、接合後の生産性を向上させることができる。
接合されている一方のウエハから他方のウエハに向かう向きに光を入射させる場合、このようなウエハの接合方法によれば、従来のウエハの接合方法と比較して異物の混入を抑えることができるので、従来のウエハの接合方法と比較して異物の混入により干渉縞による外観不良を抑えることができ、従来のウエハの製造方法と比較して生産性を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【0020】

【図1】（ａ）は、本発明の実施形態に係るウエハの接合方法で用いる接合用ジグの状態の一例を示す斜視図であり、（ｂ）は、本発明の実施形態に係るウエハの接合方法で用いる接合用ジグの状態の一例を示す平面図であり、（ｃ）は、本発明の実施形態に係るウエハの接合方法で用いる接合用ジグの状態の一例を示す断面図である。

【図2】本発明の実施形態に係るウエハの接合方法におけるウエハ搭載工程の状態の一例を示す斜視図である。

【図3】本発明の実施形態に係るウエハの接合方法における照射工程の状態の一例を示す断面図である。

【図4】本発明の実施形態に係るウエハの接合方法における接合用ジグ配置工程の状態の一例を示す断面図である。

【図5】本発明の実施形態に係るウエハの接合方法における貼り合わせ工程の状態の一例を示す断面図である。

【図6】（ａ）は、従来のウエハの接合方法で用いるスペーサーの状態の一例を示す斜視図であり、（ｂ）は、従来のウエハの接合方法で用いるスペーサーの状態の一例を示す断面図である。

【図7】従来のウエハの接合方法における照射工程の状態の一例を示す断面図である。

【図8】従来のウエハの接合方法におけるウエハ配置工程の状態の一例を示す断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0021】

次に、本発明を実施するための最良の形態について説明する。なお、各図面において各構成要素の状態を分かりやすくするために誇張して図示している。

【0022】

本発明の実施形態に係るウエハの接合方法では、両主面が四角形状となっている二つのウエハの主面同士を直接接合により接合している。
また、本発明の実施形態に係るウエハの接合方法は、ウエハ搭載工程、照射工程、接合ジグ配置工程、貼り合わせ工程、取り外し工程を備えている。

【0023】

（ウエハ搭載工程）
ウエハ搭載工程は、図２に示すように、両主面が矩形形状に形成され一方の主面から他方の主面にかけて貫通孔１１２が形成されている平板部１１１の一方の主面の所定の三辺に沿った縁部に第一の壁部１１３ａと前記第一の壁部１１３ａの両端部に設けられている二つ一対の第二の壁部１１３ｂとからなる壁部１１３が設けられている接合用ジグ１１０に、前記平板部１１１の一方の主面に前記ウエハＷの一方の主面を接触させ、前記第一の壁部１１３ａの側面が前記ウエハＷの所定の一つの側面に接触しつつ二つ一対の前記第二の壁部１１３ｂの側面が前記ウエハＷの所定の他の二つの側面に接触するように、それぞれに前記接合用ジグ１１０にそれぞれのウエハＷを搭載する工程である。

【0024】

ウエハ搭載工程では、例えば、ウエハＷが二つ用いられ、それぞれのウエハＷの接合用ジグ１１０に搭載される。

【0025】

一方のウエハＷは、例えば、互いに直交するＸ軸とＹ軸とＺ軸とからなる結晶軸を有している右水晶が用いられ、両主面が四角形状となっている。
また、一方のウエハＷは、例えば、主演がＸ軸およびＹ軸に平行でかつ厚み方向がＺ軸に平行となっている旋光板となっている。

【0026】

他方のウエハＷは、主面の大きさが一方のウエハＷの主面と同じ大きさとなっている。
また、他方のウエハＷは、例えば、互いに直交するＸ軸とＹ軸とＺ軸とからなる結晶軸を有している左水晶が用いられ、両主面が四角形状となっている。
また、他方のウエハＷは、例えば、主面がＸ軸及びＹ軸に平行でかつ厚み方向がＺ軸に平行となっている。

【0027】

接合用ジグ１１０は、図１（ａ）と図１（ｂ）と図１（ｃ）に示すように、平板部１１１と壁部１１３とから構成されている。

【0028】

平板部１１１は、図１（ａ）と図１（ｂ）と図１（ｃ）に示すように、一方の主面から他方の主面にかけて貫通孔１１２が形成されている。
また、平板部１１１は、図１（ａ）と図１（ｂ）と図１（ｃ）に示すように、一方の主面に壁部１１３が設けられている。

【0029】

壁部１１３は、図１（ａ）と図１（ｂ）と図１（ｃ）に示すように、第一の壁部１１３ａと第二の壁部１１３ｂとで設けられている。
また、壁部１１３は、平板部１１１に接している面からこの面に対向する面までの長さが接合されるウエハＷの一方の主面からウエハＷの他方の主面までの長さの２倍の長さとなっている。

【0030】

第一の壁部１１３ａは、平板部１１１の一方の主面の所定の一辺の縁部に沿って設けられている。
また、第一の壁部１１３ａは、両主面が矩形形状となっている直方体形状となっている。

【0031】

第二の壁部１１３ｂは、図１（ａ）と図１（ｂ）と図１（ｃ）に示すように、二つ一対で設けられている。
また、第二の壁部１１３ｂは、図１（ａ）と図１（ｂ）に示すように、平板部１１１の一方の主面の所定の一辺に接続している所定の他の二辺に沿って設けられている。従って、第二の壁部１１３ｂは、図１（ａ）及び図１（ｂ）に示すように、第一の壁部１１３ａの両端部に設けられている。
また、第二の壁部１１３ｂは、両主面が矩形形状となっている直方体形状となっている。

【0032】

従って、接合用ジグ１１０は、図１（ａ）及び図１（ｂ）に示すように、一方の主面を見た場合、第一の壁部１１３ａの両端部に第二の壁部１１３ｂが設けられて一方の主面を見た場合に片仮名のコの字状となっている壁部１１３が平板部の一方の主面の所定の三辺の縁部に沿って設けられている。

【0033】

また、接合用ジグ１１０は、図２に示すように、一方の第二の壁部１１３ｂの他方の第二の壁部１１３ｂ側を向く面から他方の第二の壁部１１３ｂの一方の第二の壁部１１３ｂ側を向く面までの長さがウエハＷの所定の一辺の長さと同じ長さとなっている。

【0034】

また、接合用ジグ１１０は、図２に示すように、第二の壁部１１３ｂに接している第一の壁部１１３ａの面から平板部１１１の一方の主面の所定の他の一辺を含む側面までの長さが、ウエハＷの所定の一辺に接続している所定の他の一辺の長さと同じ長さとなっている。
つまり、接合用ジグ１１０は、平板部１１１と二つの第二の壁部１１３ｂとに接している第一の壁部１１３ａの辺から、この辺に平行でかつ第一の壁部１１３ａと第二の壁部１１３ｂに接していない平板部１１１の辺までの長さが、前記ウエハＷの所定の一辺に接続している所定の他の一辺の長さと同じ長さとなっている。

【0035】

また、接合用ジグ１１０は、第一の壁部１１３ａに接している第二の壁部１１３ｂの面からこの面に対向する第二の壁部１１３ｂの面までの長さが、第二の壁部１１３ｂに接している第一の壁部１１３ａの面から第一の壁部１１３ａが縁部に沿って設けられている平板部１１１の一方の主面の所定の一辺を含む側面に対向している平板部１１１の側面までの長さの半分の長さとなっている。
つまり、接合用ジグ１１０は、平板部１１１と二つの第二の壁部１１３ｂとに接している第一の壁部１１３ａの辺から、この辺に平行で平板部１１１に接している第二の壁部１１３ｂまでの辺の長さが、平板部１１１と二つの第二の壁部１１３ｂとに接している第一の壁部１１３ａの辺から、この辺に平行でかつ第一の壁部１１３ａと第二の壁部１１３ｂに接していない平板部１１１の辺までの長さの半分の長さとなっている。

【0036】

また、接合用ジグ１１０は、平板部１１１の一方の主面にウエハＷの一方の主面を接触させた状態で、第一の壁部１１３ａの面にウエハＷの所定の一つの側面を接触させつつ、ウエハＷの所定の一つの側面に接している二つの側面がそれぞれ第二の壁部１１３ｂの側面に接触させた場合、ウエハＷの所定の一つの側面に対向するウエハＷの側面が平板部１１１の一方の主面の所定の他の一辺を含む側面と同一平面上に位置している。

【0037】

ここで、第一の壁部１１３ａに接している第二の壁部１１３ｂの面からこの面に対向する第二の壁部１１３ｂの面までの長さを第一の距離Ｌ１とする。
また、第一の壁部１１３ａに接している第二の壁部１１３ｂの面から第一の壁部１１３ａが縁部に沿って設けられている平板部１１１の一方の主面の所定の一辺を含む側面に対向している平板部１１１の側面までの長さを第二の距離Ｌ２とする。

【0038】

つまり、接合用ジグ１１０は、一方の第二の壁部１１３ｂの他方の第二の壁部１１３ｂ側を向く面から他方の第二の壁部１１３ｂの一方の第二の壁部１１３ｂ側を向く面までの長さがウエハＷの所定の一辺の長さと同じとなっている。
また、接合用ジグ１１０は、第二の距離Ｌ２がウエハＷの所定の一辺に接続している所定の他の一辺と同じ長さとなっている。
また、接合用ジグ１１０は、第一の距離Ｌ１が第二の距離Ｌ２の半分の長さとなっている。

【0039】

ウエハ搭載工程では、平板部１１１の一方の主面とウエハＷの一方の主面が接触しつつ、第一の壁部１１３ａの側面及び隣接する第二の壁部１１３ｂ側を向く第二の壁部１１３ｂの側面がウエハの所定の三つの側面に接触するように、それぞれのウエハＷがそれぞれの接合用ジグ１１０に搭載される。
このとき、ウエハＷの所定の一つの側面に対向するウエハＷの側面が平板部１１１の一方の主面の所定の他の一辺を含む側面と同一平面上に位置している。

【0040】

（照射工程）
照射工程は、図３に示すように、前記接合用ジグ１１０に搭載されている前記ウエハＷの前記平板部１１１に接する面に対向する前記ウエハＷの面に、エキシマ照射ランプ１２０から放射された光を照射する工程である。
照射工程では、エキシマ照射ランプ１２０か放射された光がウエハＷに照射されることで、ウエハＷの面の酸化膜や吸着物や汚染物が除去され、ウエハＷの面が活性化される。

【0041】

（接合用ジグ配置工程）
接合用ジグ配置工程は、図４に示すように、前記ウエハＷの一方の主面が前記ウエハＷの前記平板部に接触したままとなるように前記平板部１１１の他方の主面側の前記貫通孔１１２の開口部から吸引し前記ウエハＷを前記接合用ジグ１１０に保持した状態で、一方の前記ウエハＷが搭載されている前記接合用ジグ１１０の前記第一の壁部１１３ａに接する面に対向する前記第二の壁部１１３ｂの面が他方の前記ウエハＷが搭載されている前記接合用ジグ１１０の前記第一の壁部１１３ａに接する面に対向する前記第二の壁部１１３ｂの面に接触するように、前記ウエハＷが搭載されている前記接合用ジグ１１０を配置する工程である。

【0042】

ここで、一方のウエハＷが搭載されている接合用ジグ１１０を第一の接合用ジグとし、他方のウエハＷが搭載されている接合用ジグ１１０を第二の接合用ジグとする。

【0043】

接合用ジグ配置工程では、第一の接合用ジグに着目すると、平板部１１１の他方の主面側の貫通孔１１２の開口部から吸引手段（図示せず）によって吸引して一方のウエハＷを第一の接合用ジグの平板部１１１の一方の主面側に保持している。
また、接合用ジグ配置工程では、第二の接合用ジグに着目すると、平板部１１１の他方の主面の貫通孔１１２の開口部から吸引手段（図示せず）によって吸引して他方のウエハＷを第二の接合用ジグの平板部１１１の一方の主面側に保持している。

【0044】

その後、接合用ジグ配置工程では、図４に示すように、それぞれの接合用ジグ１１０にそれぞれのウエハＷを保持した状態で、第一の接合用ジグの第二の壁部１１３ｂの面であって第一の壁部１１１ａに接する面に対向する面が第二の接合用ジグの第二の壁部１１３ｂの面であって第一の壁部１１１ａに接する面に対向する面と接触するように、第一の接合用ジグと第二の接合用ジグとが配置される。
また、接合用ジグ配置工程では、図４に示すように、第一の接合用ジグのウエハＷの所定の一辺に接している第一の壁部１１３ａの側面がウエハＷの所定の他の辺と同一平面上にある第二の接合用ジグの平板部１１１の側面と接触しつつ、ウエハＷの所定の他の辺と同一平面上にある第一の接合用ジグの平板部１１１の側面が第二の接合用ジグのウエハＷの所定の一辺に接している第一の壁部１１３ａの側面と接触するように、第一の接合用ジグと第二の接合用ジグが配置される。

【0045】

接合用ジグ配置工程では、図４に示すように、接合用ジグ１１０に搭載されているウエハＷの側面であって第一の壁部１１３ａに接している面に対向している側面が平板部１１１の一方の主面の辺であって第一の壁部１１３ａが縁部に沿って設けられている辺に対向する辺を含む平板部１１１の側面と同一平面上に位置するように、ウエハＷが接合用ジグ１１０に搭載され保持された状態で行われる。
また、接合用ジグ配置工程では、接合用ジグ１１０の第一の距離Ｌ１が接合用ジグ１１０の第二の距離Ｌ２の半分の長さとなっている接合用ジグを用いている。
このため、接合用ジグ配置工程では、図４に示すように、第一の接合用ジグの第二の壁部１１３ｂの面であって第一の壁部１１１ａに接する面に対向する面が第二の接合用ジグの第二の壁部１１３ｂの面であって第一の壁部１１１ａに接する面に対向する面と接触するように第一の接合用ジグと第二の接合用ジグとを配置することで、第一の接合用ジグのウエハＷの所定の一辺に接している第一の壁部１１３ａの側面がウエハＷの所定の他の辺と同一平面上にある第二の接合用ジグの平板部１１１の側面と接触しつつ、ウエハＷの所定の他の辺と同一平面上にある第一の接合用ジグの平板部１１１の側面が第二の接合用ジグのウエハＷの所定の一辺に接している第一の壁部１１３ａの側面と接触するように容易に配置することができる。
従って、接合用ジグ配置工程では、エキシマ照射ランプ１２０から照射され光が照射され活性化された一方のウエハＷの面とエキシマ照射ランプ１２０に照射され活性化された他方のウエハＷの面とが対向するように容易に配置することができる。

【0046】

（貼り合わせ工程）
貼り合わせ工程は、図５に示すように、配置された二つの前記接合用ジグ１１０に保持されている前記ウエハＷを接触させ前記ウエハＷを貼り合わせる工程である。
貼り合わせ工程では、一方のウエハＷの活性化されている主面と他方のウエハＷの活性化されている主面とが接触されることで、一方のウエハＷと他方のウエハＷとが直接接合により接合される。

【0047】

（取り外し工程）
取り外し工程は、前記接合用ジグ１１０から貼り合わせた前記ウエハＷを取り外す工程である。

【0048】

このような本発明の実施形態に係るウエハの接合方法によれば、第一の壁部１１３ａ及びこの第一の壁部１１３ａの両端部に設けられている二つ一対の第二の壁部１１３ｂとからなる壁部１１３が一方の主面から他方の主面にかけて貫通孔１１２が形成されている平板部１１１の一方の主面の所定の三辺の沿った縁部に設けられ壁部１１３の厚みがウエハＷの厚みの２倍となっており、第一の壁部１１３ａに接する第二の壁部１１３ｂの面から第一の壁部１１３ａに接する第二の壁部１１３ｂの面に対向する第二の壁部１１３ｂの面までの長さが第二の壁部１１３ｂに接する第二の壁部１１３ｂの面から第一の壁部１１３ａが縁部に設けられている平板部１１１の所定の一つの辺に対向する辺を含む平板部１１１の所定の一つの側面までの長さの半分となっている接合用ジグ１１０であって、平板部１１１の一方の主面にウエハＷの一方の主面を接触させ、第一の壁部１１３ａの側面がウエハＷの所定の一つの側面に接触しつつ二つ一対の第二の壁部１１３ｂの側面がウエハＷの所定の他の二つの側面に接触するようにそれぞれのウエハＷをそれぞれの接合用ジグ１１０に搭載し、エキシマ照射ランプ１２０から放射された光を照射した後、平板部１１１の他方の主面側の貫通孔１１２の開口部から吸引してウエハＷを接合用ジグ１１０に保持した状態で、一方のウエハＷが搭載されている接合用ジグ１１０の第一の壁部１１３ａに接する面に対向する第二の壁部１１３ｂの面が他方のウエハＷが搭載されている接合用ジグ１１０の第一の壁部１１３ａに接する面に対向する第二の壁部１１３ｂの面に接触するようにウエハＷが搭載されている接合用ジグ１１０を配置しているので、エキシマ照射ランプ１２−から放射された光が照射されたウエハＷの面同士を容易に対向させ接触させることができる。
このため、このような本発明の実施形態に係るウエハの接合方法によれば、主面が四角形状のウエハＷを接合ずれのないように容易に接合することができ、接合後の生産性を向上させることができる。

【0049】

また、このような本発明の実施形態に係るウエハの接合方法によれば、接合用ジグ１１０にウエハＷを搭載した状態でウエハＷにエキシマ照射ランプ１２０から放射された光を照射し、貫通孔１１２から吸引しウエハＷを接合用ジグ１１０に保持し接合用ジグ１１０を配置し、光が照射されたウエハＷの面を貼り合わせて接合しているので、ウエハＷの側面をピンセットで挟むことなくウエハＷを接合することができる。
このため、このような本発明の実施形態に係るウエハの接合方法によれば、従来のウエハの接合方法と比較して接合されているウエハＷの主面の間に異物が混入するのを抑えることができ、接合後の生産性を向上させることができる。
接合されている一方のウエハＷから他方のウエハＷに向かう向きに光を入射させる場合、このような本発明の実施形態に係るウエハの接合方法によれば、従来のウエハＷの接合方法と比較して異物の混入を抑えることができるので、従来のウエハの接合方法と比較して異物の混入により干渉縞による外観不良を抑えることができ、従来のウエハの製造方法と比較して生産性を向上させることができる。

【0050】

また、このような本発明の実施形態に係るウエハの接合によれば、一方のウエハの主面を平板部１１１の一方の主面上で１８０度の角度で面内回転させた状態で、一方のウエハの主面と他方のウエハの主面とが接合されるので、ウエハＷの両主面が長方形形状であっても接合することができる。

【0051】

なお、貫通孔が平板部に一つ設けられている場合について説明しているが、平板部の他方の主面側の貫通孔の開口部から吸引手段を用いて吸引しウエハを平板部の一方の主面に保持することができれば、貫通孔を複数形成してもよい。

【0052】

右水晶からなる旋光板と左水晶からなる旋光板とを接合する場合について説明しているが、ウエハの主面を直接接合によって接合していれば、例えば、波長板を貼り合わせてもよい。

【0053】

また、ウエハが水晶からなる場合について説明しているが、ウエハの主面を直接接合によって接合していれば、例えば、ガラスであってもよい。

【0054】

また、２枚のウエハを接合する場合について説明しているが、例えば、接合されているウエハを一つのウエハとみなして、接合されているウエハ同士をさらに接合してもよい。

【符号の説明】

【0055】

１１０ 接合用ジグ
１１１ 平板部
１１２ 貫通孔
１１３ 柱部
１２０ エキシマ照射ランプ
Ｗ ウエハ
２１０ スペーサー
２１１ 第一の凹部空間
２１２ 第二の凹部空間

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】