特許 5792021 光学素子の製造方法、及び、光学素子の製造装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5792021

(24)【登録日】2015年8月14日

(45)【発行日】2015年10月7日

(54)【発明の名称】光学素子の製造方法、及び、光学素子の製造装置

(51)【国際特許分類】

   C03B 11/12 20060101AFI20150917BHJP

   B29C 43/36 20060101ALI20150917BHJP

   G02B 3/00 20060101ALI20150917BHJP

   B29L 11/00 20060101ALN20150917BHJP

【ＦＩ】

   C03B11/12

   B29C43/36

   G02B3/00 Z

   B29L11:00

【請求項の数】8

【全頁数】13

(21)【出願番号】特願2011-227612(P2011-227612)

(22)【出願日】2011年10月17日

(65)【公開番号】特開2013-87003(P2013-87003A)

(43)【公開日】2013年5月13日

【審査請求日】2014年8月7日

(73)【特許権者】

【識別番号】000000376

【氏名又は名称】オリンパス株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100074099

【弁理士】

【氏名又は名称】大菅 義之

(72)【発明者】

【氏名】廣瀬 生典

【審査官】 岡田 隆介

(56)【参考文献】

【文献】 特開平０３−１８７９２９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００６−２４０９４３（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｃ０３Ｂ １１／００−１１／１６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

光学素子材料を加熱する加熱工程と、
加熱された前記光学素子材料を加圧する加圧工程と、
加圧された前記光学素子材料を冷却する冷却工程と、を含み、
鉛直方向に延びて設けられた気体流路管内に気体を流す気体入出工程を更に含み、
前記気体流路管内には、前記光学素子材料が収容された光学素子成形用の型セットが配置され、
前記気体入出工程では、前記型セットの外周面に沿う方向に前記気体が流れるように前記気体流路管の上部及び下部のうち一方に設けた気体吹き出し部から前記気体を前記気体流路管内に鉛直方向に流入させ、前記気体流路管内の鉛直方向の流路を流れる前記気体を前記気体流路管の前記上部及び前記下部のうち他方に設けた気体排出部から排出する、光学素子の製造方法。

【請求項2】

光学素子材料を加熱する加熱工程と、
加熱された前記光学素子材料を加圧する加圧工程と、
加圧された前記光学素子材料を冷却する冷却工程と、を含み、
上下に延びて設けられた気体流路管内に気体を流す気体入出工程を更に含み、
前記気体流路管内には、前記光学素子材料が収容された光学素子成形用の型セットが配置され、
前記気体入出工程では、前記型セットの外周面に沿う方向に前記気体が流れるように前記気体流路管の上部及び下部のうち一方から前記気体を流入させ、流入させた前記気体を前記気体流路管の前記上部及び前記下部のうち他方から排出し、
前記気体入出工程では、鉛直方向に対して傾斜するように前記気体を流入させることによって、らせん状の旋回流を発生させる、光学素子の製造方法。

【請求項3】

前記気体入出工程では、前記気体流路管の前記上部から前記気体を流入させ、流入させた前記気体を前記気体流路管の前記下部から排出する、請求項１又は２記載の光学素子の製造方法。

【請求項4】

少なくとも前記冷却工程では、前記気体入出工程が行われる、請求項１から請求項３のいずれか１項記載の光学素子の製造方法。

【請求項5】

光学素子材料が収容される光学素子成形用の型セットが内部に配置され、鉛直方向に延びて設けられた気体流路管と、
前記気体流路管の上部及び下部のうち一方に接続され、前記型セットの外周面に沿う方向に向けて気体が流れるように前記気体流路管内に鉛直方向に前記気体を吹き出す気体吹き出し部と、
前記気体流路管の上部及び下部のうち他方に接続され、前記気体流路管内の鉛直方向の流路を流れる前記気体を前記気体流路管内から排出する気体排出部と、を備える、光学素子の製造装置。

【請求項6】

光学素子材料が収容される光学素子成形用の型セットが内部に配置され、上下に延びて設けられた気体流路管と、
前記気体流路管の上部及び下部のうち一方に接続され、前記型セットの外周面に沿う方向に向けて気体を吹き出す気体吹き出し部と、
前記気体流路管の上部及び下部のうち他方に接続され、前記気体流路管内から前記気体を排出する気体排出部と、を備え、
前記気体吹き出し部は、鉛直方向に対して傾斜するように前記気体を吹き出すことによって、らせん状の旋回流を発生させる、光学素子の製造装置。

【請求項7】

光学素子材料が収容される光学素子成形用の型セットが内部に配置され、上下に延びて設けられた気体流路管と、
前記気体流路管の上部及び下部のうち一方に接続され、前記型セットの外周面に沿う方向に向けて気体を吹き出す気体吹き出し部と、
前記気体流路管の上部及び下部のうち他方に接続され、前記気体流路管内から前記気体を排出する気体排出部と、を備え、
前記気体流路管の内周面及び前記型セットの外周面のうち少なくとも一方には、前記気体をガイドすることによって、らせん状の旋回流を発生させる溝が形成されている、光学素子の製造装置。

【請求項8】

前記気体をガイドすることによって、らせん状の旋回流を発生させるガイド部材を更に備える、請求項６又は７記載の光学素子の製造装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、光学素子を製造する光学素子の製造方法及び製造装置に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、例えば上型と下型と胴型とを有する型セットの周囲に配置された円環状の管路に複数個の吹き出し口を設け、この吹き出し口から気体を吹き付けることで型セットを冷却する手法が知られている（例えば、特許文献１参照）。

【0003】

上記特許文献１記載の円環状の管路は、型セットを加熱するヒータの加熱領域外へ退避するための退避手段を備えている。
なお、一般に、型セットの胴型には、光学素子が収容される上型と下型との間のキャビティと外部とを径方向に連通させるガス抜き孔が設けられている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０００−５３４３２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

ところで、上記特許文献１記載の手法では、成形室内や円環状の管路内に存在する粉塵が型セットに吹き付けられ、ガス抜き孔から型セットのキャビティにまで侵入する。そのため、光学素子表面に欠陥を生じさせてしまったり、光学素子材料とともに粉塵を成形することにより成形型の成形面を傷めて成形型寿命を低下させてしまったりするという問題があった。

【0006】

また、円環状の管路自体のレイアウトスペースが必要になり、型セットの加熱時に円環状の管路を退避させる機構も必要で設備が大型化してしまう。
本発明の目的は、簡素な構成で型セットへの異物侵入を防ぐことができる光学素子の製造方法及び製造装置を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明の光学素子の製造方法は、光学素子材料を加熱する加熱工程と、加熱された上記光学素子材料を加圧する加圧工程と、加圧された上記光学素子材料を冷却する冷却工程と、を含み、上下に延びて設けられた気体流路管内に気体を流す気体入出工程を更に含み、上記気体流路管内には、上記光学素子材料が収容された光学素子成形用の型セットが配置され、上記気体入出工程では、上記型セットの外周面に沿う方向に上記気体が流れるように上記気体流路管の上部及び下部のうち一方から上記気体を流入させ、流入させた上記気体を上記気体流路管の上記上部及び上記下部のうち他方から排出する。

【0008】

また、上記光学素子の製造方法において、上記気体入出工程では、鉛直方向に上記気体を流入させるようにしてもよい。
また、上記光学素子の製造方法において、上記気体入出工程では、鉛直方向に対して傾斜するように上記気体を流入させることによって、らせん状の旋回流を発生させるようにしてもよい。

【0009】

また、上記光学素子の製造方法において、上記気体入出工程では、上記気体流路管の上記上部から上記気体を流入させ、流入させた上記気体を上記気体流路管の上記下部から排出するようにしてもよい。

【0010】

また、上記光学素子の製造方法において、少なくとも上記冷却工程では、上記気体入出工程が行われるようにしてもよい。

【0011】

本発明の光学素子の製造装置は、光学素子材料が収容される光学素子成形用の型セットが内部に配置され、上下に延びて設けられた気体流路管と、上記気体流路管の上部及び下部のうち一方に接続され、上記型セットの外周面に沿う方向に向けて気体を吹き出す気体吹き出し部と、上記気体流路管の上部及び下部のうち他方に接続され、上記気体流路管内から上記気体を排出する気体排出部と、を備える。

【0012】

また、上記光学素子の製造装置において、上記気体吹き出し部は、鉛直方向に上記気体を吹き出すようにしてもよい。
また、上記光学素子の製造装置において、上記気体吹き出し部は、鉛直方向に対して傾斜するように上記気体を吹き出すことによって、らせん状の旋回流を発生させるようにしてもよい。

【0013】

また、上記光学素子の製造装置において、上記気体をガイドすることによって、らせん状の旋回流を発生させるガイド部材を更に備えるようにしてもよい。
また、上記光学素子の製造装置において、上記気体流路管の内周面及び上記型セットの外周面のうち少なくとも一方には、上記気体をガイドすることによって、らせん状の旋回流を発生させる溝が形成されているようにしてもよい。

【発明の効果】

【0014】

本発明によれば、簡素な構成で型セットへの異物侵入を防ぐことができる。

【図面の簡単な説明】

【0015】

【図1】本発明の第１実施形態に係る光学素子の製造装置を示す概略断面図である。

【図2】本発明の第１実施形態に係る光学素子の製造装置を示す要部断面図である。

【図3】本発明の第２実施形態に係る光学素子の製造装置を示す要部断面図である。

【図4】本発明の第３実施形態に係る光学素子の製造装置を示す要部断面図である。

【図5】本発明の第４実施形態に係る光学素子の製造装置を示す要部断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0016】

以下、本発明の実施の形態に係る光学素子の製造方法及び製造装置について、図面を参照しながら説明する。

【0017】

＜第１実施形態＞
図１は、本発明の第１実施形態に係る光学素子の製造装置１を示す概略断面図である。
図２は、光学素子の製造装置１を示す要部断面図である。

【0018】

図１及び図２に示すように、光学素子の製造装置１は、光学素子材料１００が収容される光学素子成形用の型セット２が配置される気体流路管６と、この気体流路管６の上部から型セット２の外周面に沿う鉛直方向に図２に示す気体（例えば、窒素等の不活性ガス）Ａを吹き出す例えば２つの気体吹き出し部７と、気体流路管６の下部から気体Ａを排出する例えば２つの気体排出部８と、を備える。

【0019】

なお、気体Ａが型セット２の外周面に沿うのは、本実施の形態のように、型セット２の外周面の鉛直方向に沿う場合、及び、後述する第２〜第４実施形態のように型セット２の外周面の周方向及び鉛直方向に沿う場合（例えば、らせん状）が挙げられる。また、型セット２の外周面とは、型セット２の上下面以外の面（側面）とする。

【0020】

また、気体流路管６の上部は、型セット２よりも上方をいい、気体流路管６の下部は、型セット２よりも下方をいうものとする。

【0021】

光学素子の製造装置１は、上型取付部材９、上型支持部材１０、下型取付部材１１、下型支持部材１２、駆動軸１３、エアシリンダ（加圧部）１４、シリンダ取付台１５、筐体１６、可動上ベース板１７、固定上ベース板１８、連結ピン１９、下ベース部２０、ランプヒータ（加熱部）２１、上カートリッジヒータ（加熱部）２２、下カートリッジヒータ（加熱部）２３、伸縮可能接続部材２４、上Ｏリング２５、下Ｏリング２６等を備える。

【0022】

型セット２は、対向して配置された例えば略円柱形状の上型３及び下型４と、これら上型３及び下型４の周囲に配置された胴型５と、を有する。型セット２には、上型３と下型４との間のキャビティ２ａに光学素子材料１００が収容される。

【0023】

胴型５は例えば円筒形状を呈するが、多角形状を呈しいてもよい。そのため、型セット２（胴型５）の外周面は、曲面に限られない。図２に示すように、胴型５には、キャビティ２ａと胴型５の外部とを径方向に連通させるガス抜き孔５ａが複数形成されている。このガス抜き孔５ａは、例えば、真空引きや、気体置換のために形成されている。

【0024】

気体流路管６は、上下に延びて設けられている。気体流路管６は、円筒形状を呈し、例えば石英ガラスから形成され、軸方向が鉛直方向となるように配置されている。気体流路管６と型セット２との間隔は、例えば５ｍｍ程度である。この間隔は、光学素子の製造装置１の簡素化のため、或いは少ない流量で高い流速を得るためには小さいことが望ましいが、大きさは特に限定されない。

【0025】

気体吹き出し部７は、図示しない気体供給源に接続され、気体吹き出し口７ａにおいて、型セット２の外周面に沿う鉛直下方に気体Ａを吹き出す。気体吹き出し部７は、例えば基体流路管６の上部に接続されている。本実施形態では、気体吹き出し部７は、例えば２５Ｌ／ｍｉｎの気体Ａを吹き出す。なお、気体吹き出し部７は、型セット２の外周面に直接気体Ａを吹き付けるか、型セット２の外周面の近傍に向けて気体Ａを吹き付けることが望ましい。

【0026】

気体排出部８は、下ベース部２０上に配置され、気体流路管６の下方に、下Ｏリング２６を挟んで位置する。気体排出部８は、例えば気体流路管６の下部に、下Ｏリング２６を介して接続されている。気体排出部８は、気体吹き出し部７の気体吹き出し口７ａから鉛直下方に吹き出された気体Ａを例えば水平方向に排出する。

【0027】

なお、気体吹き出し部７及び気体排出部８は、例えば２つずつ配置されるが、配置される数は１つでも３つ以上でもよい。また、気体吹き出し部７の数と気体排出部８の数とが異なっていてもよい。また、気体吹き出し部７及び気体排出部８が複数配置される場合、型セット２の周方向において均等に配置することが望ましい。

【0028】

例えば２つの上型取付部材９は、上型３をその上部に位置する上型支持部材１０に取り付けるために、例えば、上型３に係合し且つ上型支持部材１０に固定される。この上型支持部材１０には、上型３を強制冷却するための冷却水路（強制冷却部）１０ａが設けられている。

【0029】

例えば２つの下型取付部材１１は、下型４をその下部に位置する下型支持部材１２に取り付けるために、例えば、下型４に係合し且つ下型支持部材１２に固定される。この下型支持部材１２には、下型４を強制冷却するための冷却水路（強制冷却部）１２ａが設けられている。

【0030】

駆動軸１３は、エアシリンダ１４に連結され、上型支持部材１０を上下動させることで、上型３を上下動させる。
エアシリンダ１４は、シリンダ取付台１５に固定され、このシリンダ取付台１５は、筐体１６の上面に固定されている。

【0031】

可動上ベース板１７は、筐体１６の側面に対し移動可能に連結されており、上型支持部材１０の上端に設けられたフランジ部に固定されることで上型支持部材１０とともに上下動する。

【0032】

固定上ベース板１８は、可動上ベース板１７の下方に設けられ、筐体１６に固定されている。固定上ベース板１８は、上Ｏリング２５を挟んで気体流路管６の上部に配置されている。なお、可動上ベース板１７と固定上ベース板１８とは、複数の連結ピン１９によって相対距離が一定値以上にならないように規制されている。

【0033】

固定上ベース板１８の上には、上述の気体吹き出し部７が配置されている。気体吹き出し部７と、その上に位置する可動上ベース板１７との間には、気体流路管６、上型支持部材１０、可動上ベース板１７、下型支持部材１２、下ベース部２０等で区画されるスペースが閉空間となるように、伸縮可能接続部材２４が配置されている。

【0034】

下ベース部２０は、筐体１６の内部の底面に配置されている。下ベース部２０には、下型支持部材１２が下端のフランジ部において固定されている。
ランプヒータ２１は、固定上ベース板１８に懸架され、気体流路管６の外側に位置する例えばリング状のヒータである。

【0035】

上カートリッジヒータ２２は、上型３及び上型支持部材１０の内部に上型３及び上型支持部材１０の両方に亘って配置されている。
下カートリッジヒータ２３は、下型４及び下型支持部材１２の内部に下型４及び下型支持部材１２の両方に亘って配置されている。

【0036】

以下、光学素子の製造方法について、上述の説明と重複する点については省略しながら説明する。
まず、エアシリンダ１４によって上型３が駆動軸１３および上型固定部材１０とともに図２に示す位置よりも上方に移動した状態で、上型３と胴型５との間から光学素子材料１００がキャビティ２に供給される。

【0037】

次に、上型３が下降し、例えば光学素子材料１００と接触した状態で、図１に示すランプヒータ２１、上カートリッジヒータ２２、及び下カートリッジヒータ２３によって、光学素子材料１００が加熱される（加熱工程）。

【0038】

その後、上型３が更に下降することで、加熱された光学素子材料１００が加圧される（加圧工程）。
そして、上型支持部材１０及び下型支持部材１２の冷却水路１０ａ，１２ａに冷却水が供給されること、或いは、自然冷却によって、光学素子材料１００が冷却される（冷却工程）。

【0039】

冷却された光学素子材料１００は、離型した後、型セット２から取り出される。以上のように、光学素子が製造される。
例えば、上述の冷却工程においては、気体吹き出し部７が、型セット２の外周面に沿う方向、本実施形態では鉛直下方に、気体流路管６の上部の気体吹き出し７ａから気体Ａを吹き出す。即ち、気体Ａは、気体流路管６の上部から気体流路管６内に流入する。吹き出された気体Ａは、気体流路管６の下部の気体排出口８から排出される（気体入出工程）。気体入出工程では、気体流路管６内に気体Ａが流される。

【0040】

これにより、光学素子材料１００は、冷却工程において、冷却水や自然冷却とは別に、気体Ａの供給によって冷却される。このとき、供給される気体Ａは、気体流路管６内を鉛直下方へ流れるため、胴型５のガス抜き孔５ａに異物が混入するのが抑えられる。

【0041】

なお、上記気体入出工程は、例えば、上記加熱工程において加熱ガスが供給されるようにしてもよい。また、上記気体入出工程は、例えば加熱工程前の雰囲気置換時に行われるようにしてもよい。

【0042】

以上説明した本実施形態では、光学素子材料１００が収容され気体流路管６内に配置される型セット２の外周面に沿う方向に気体が流れるように、気体流路管６の上部（又は下部）から気体Ａが流入し、流入した気体Ａは、気体流路管６の下部（又は上部）から排出される。

【0043】

そのため、気体Ａが吹き付けられても、胴型５のガス抜き孔５ａに異物が侵入するのが抑えられる。また、気体流路管６の上下のスペースを利用して気体Ａを供給することができるため、気体流路管６と型セット２との間に気体吹き付け部を配置したり気体吹き付け部を移動させる機構を配置したりする必要がなくなり、気体流路管６と型セット２との隙間を小さくすることができる。

【0044】

よって、本実施形態によれば、簡素な構成で型セット２への異物侵入を防ぐことができる。

【0045】

また、本実施形態の気体入出工程では、鉛直方向（本実施形態では鉛直下方）に気体Ａが流入する。そのため、ガスを最短経路で流すことができ、冷却効率等を高めることができるとともに、異物侵入をより一層防ぐことができる。

【0046】

また、本実施形態の気体入出工程では、気体流路管６の上部（気体吹き出し部７）から気体Ａが流入し、流入した気体Ａは気体流路管６の下部（気体排出口８）から排出される。そのため、異物が舞い上がるのを重力によって抑えることができ、異物侵入をより一層防ぐことができる。

【0047】

また、本実施形態では、少なくとも冷却工程において、気体入出工程が行われるようにすることで、型セット２ひいては光学素子材料１００の冷却を促進することができる。
なお、上述の第１実施形態では、気体流路管６の上部から気体Ａが流入し、流入した気体Ａが気体流路管６の下部から排出される例について説明したが、例えば下型４を上型３よりも積極的に冷却する場合などには、気体流路管６の下部から気体Ａが流入し、吹き出された気体Ａが気体流路管６の上部から排出されるようにしてもよい。

【0048】

また、例えば上型３の温度と下型４の温度とに偏りを生じさせたくない場合などには、吹き出し側と排出側とを切り替え可能にしてもよい。
また、上述の第１実施形態では、気体Ａが鉛直下方に吹き出される例について説明したが、気体Ａは、型セット２の外周面に沿う方向であれば、例えば、鉛直方向から型セット２の外周面の周方向に傾いて吹き出されるようにしてもよい。

【0049】

＜第２実施形態＞
図３は、本発明の第２実施形態に係る光学素子の製造装置を示す要部断面図である。
本実施形態では、気体吹き出し部２７が、鉛直方向に対して傾斜するように気体Ａを吹き出すことによって、らせん状の旋回流を発生させる点において、上述の第１実施形態と相違し、その他の点は同様であるため、相違点のみ説明する。

【0050】

なお、図３は、図２の左右方向から光学素子の製造装置の内部構造を示す図であり、流路管６、固定上ベース板１８、上Ｏリング２５、及び下Ｏリング２６のみ断面で表されている。

【0051】

本実施形態の気体吹き出し部２７は、例えば１つ配置される。気体吹き出し部２７の気体吹き出し口２７ａは、上述の第１実施形態の気体入出工程において、鉛直下方（鉛直方向）に対して傾斜し、型セット２の外周面に沿う方向（本実施形態では、型セット２の外周面の周方向及び鉛直方向の両方）に気体Ａを吹き出すことによって、型セット２と気体流路管６との間にらせん状の旋回流を発生させる。

【0052】

これにより、型セット２と気体流路管６との間のスペースにおいて流れが均一になり、偏った温度変動を防ぐことができる。また、らせん状の旋回流によって遠心力が作用することにより、型セット２への異物侵入をより一層防ぐことができる。

【0053】

以上説明した第２実施形態によっても、第１実施形態と同様に、型セット２の外周面に沿う方向へ気体流路管６に気体Ａが流入するため、簡素な構成で型セット２への異物侵入を防ぐことができる。

【0054】

また、本実施形態の気体入出工程では、鉛直方向に対して傾斜するように気体Ａが吹き出され、らせん状の旋回流が発生するため、遠心力が作用することにより、型セット２への異物侵入をより一層防ぐことができる。

【0055】

＜第３実施形態＞
図４は、本発明の第３実施形態に係る光学素子の製造装置を示す要部断面図である。
本実施形態では、ガイド部材の一例であるらせん状補助翼２８が、気体Ａをガイドすることによって、らせん状の旋回流を発生させる点において、上述の第２実施形態と相違し、その他の点は同様であるため、相違点のみ説明する。ガイド部材は、気体Ａを誘導してらせん状の旋回流を発生させることができる。

【0056】

本実施形態の気体吹き出し部２７は、上型支持部材１０よりも図４の奥側（第２実施形態は手前側）に配置されている。
気体吹き出し部２７の気体吹き出し口２７ａは、上述の第１実施形態の気体入出工程において、第２実施形態と同様に、鉛直下方（鉛直方向）に対して傾斜して型セット２の外周面に沿うように気体Ａを吹き出すことによって、型セット２と気体流路管６との間にらせん状の旋回流を発生させる。

【0057】

更に、本実施形態では、らせん状補助翼２８が型セット２と気体流路管６との間のスペースにらせん状に配置されることによっても、気体Ａにらせん状の旋回流を発生させる。
らせん状補助翼２８のガイド面である上面２８ａは、気体Ａの流れを妨げないように、気体流路管６側から型セット２側に向かって下方に傾斜するように形成されている。

【0058】

以上説明した第３実施形態によっても、第１実施形態及び第２実施形態と同様に、型セット２の外周面に沿う方向に気体流路管６に気体Ａが流入するため、簡素な構成で型セット２への異物侵入を防ぐことができる。

【0059】

また、本実施形態の気体入出工程では、ガイド部材の一例であるらせん状補助翼２８が気体Ａをガイドすることによって、らせん状の旋回流を発生させるため、吹き出し方向のみによってらせん状の旋回流を発生させる場合よりも、遠心力が強く作用し、型セット２への異物侵入をより一層防ぐことができる。

【0060】

なお、気体吹き出し口２７ａの吹き出し方向が鉛直方向であっても、らせん状補助翼２８がらせん状の旋回流を発生させることができる。

【0061】

＜第４実施形態＞
図５は、本発明の第４実施形態に係る光学素子の製造装置を示す要部断面図である。
本実施形態では、型セット２（胴型５）の外周面に、気体Ａをガイドすることによって、らせん状の旋回流を発生させるらせん状の溝（整流溝）５ｂが形成されている点において、上述の第２実施形態及び第３実施形態と相違し、その他の点は同様であるため、相違点のみ説明する。

【0062】

本実施形態の気体吹き出し部２７は、第２実施形態と同様に、上型支持部材１０よりも図５の手前側（第３実施形態は奥側）に配置されているが、気体排出部８は、下型支持部材１２よりも図５の奥側（第２及び第３実施形態は手前側）に配置されている。

【0063】

気体吹き出し部２７の気体吹き出し口２７ａは、上述の第１実施形態の気体入出工程において、第２実施形態及び第３実施形態と同様に、鉛直下方（鉛直方向）に対して傾斜し、型セット２の外周面に沿うように気体Ａを吹き出すことによって、型セット２と気体流路管６との間にらせん状の旋回流を発生させる。

【0064】

更に、本実施形態では、型セット２（胴型５）の外周面に、気体Ａをガイドすることによって、らせん状の旋回流を発生させるらせん状の溝５ｂが形成されていることによっても、気体Ａにらせん状の旋回流を発生させる。なお、型セット２の溝５ｂは、胴型５のみではなく、上型３や下型４に形成してもよい。

【0065】

以上説明した第４実施形態によっても、第１実施形態〜第３実施形態と同様に、型セット２の外周面に沿う方向に気体流路管６に気体Ａが流入するため、簡素な構成で型セット２への異物侵入を防ぐことができる。

【0066】

また、本実施形態の気体入出工程では、らせん状の溝５ｂが気体Ａをガイドすることによって、らせん状の旋回流を発生させるため、吹き出し方向のみによってらせん状の旋回流を発生させる場合よりも、遠心力が強く作用し、型セット２への異物侵入をより一層防ぐことができる。

【0067】

なお、本実施形態では、溝５ｂを型セット２の外周面に形成する場合について説明したが、気体流路管６の内周面のみに形成するようにしても、型セット２の外周面及び気体流路管６の内周面の両方に形成するようにしてもよい。

【0068】

また、気体吹き出し口２７ａの吹き出し方向が鉛直方向であっても、らせん状の旋回流を溝５ｂが発生させることができる。また、第３実施形態のらせん状補助翼２８を本実施形態において更に配置するようにしてもよい。

【符号の説明】

【0069】

１ 光学素子の製造装置
２ 型セット
２ａ キャビティ
３ 上型
４ 下型
５ 胴型
５ａ ガス抜き孔
５ｂ 溝
６ 気体流路管
７ 気体吹き出し部
７ａ 気体吹き出し口
８ 気体排出部
９ 上型取付部材
１０ 上型支持部材
１０ａ 冷却水路
１１ 下型取付部材
１２ 下型支持部材
１２ａ 冷却水路
１３ 駆動軸
１４ エアシリンダ
１５ シリンダ取付台
１６ 筐体
１７ 可動上ベース板
１８ 固定上ベース板
１９ 連結ピン
２０ 下ベース部
２１ ランプヒータ
２２ 上カートリッジヒータ
２３ 下カートリッジヒータ
２４ 伸縮可能接続部材
２５ 上Ｏリング
２６ 下Ｏリング
２７ 気体吹き出し部
２７ａ 気体吹き出し口
２８ らせん状補助翼
２８ａ 上面
１００ 光学素子材料

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】