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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】5792936
(24)【登録日】2015年8月14日
(45)【発行日】2015年10月14日
(54)【発明の名称】板状部材移載設備
(51)【国際特許分類】
B65G 1/04 20060101AFI20150928BHJP
B65G 49/06 20060101ALI20150928BHJP
H01L 21/677 20060101ALI20150928BHJP
【ＦＩ】
B65G1/04 555Z
B65G49/06 Z
H01L21/68 A
【請求項の数】10
【全頁数】51
(21)【出願番号】特願2010-190667(P2010-190667)
(22)【出願日】2010年8月27日
(65)【公開番号】特開2012-46330(P2012-46330A)
(43)【公開日】2012年3月8日
【審査請求日】2013年7月10日
(73)【特許権者】
【識別番号】000000974
【氏名又は名称】川崎重工業株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110000556
【氏名又は名称】特許業務法人 有古特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】橋本 康彦
(72)【発明者】
【氏名】小野 茂樹
(72)【発明者】
【氏名】坂東 賢二
【審査官】
日下部 由泰
(56)【参考文献】
【文献】
実開平０２−１０５９０６（ＪＰ，Ｕ）
【文献】
実開昭６２−１０９４８８（ＪＰ，Ｕ）
【文献】
特開２００９−２３８９０４（ＪＰ，Ａ）
【文献】
特開平１１−３４２９８６（ＪＰ，Ａ）
【文献】
特開昭５５−０４８０７３（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）
Ｂ６５Ｇ １／０４
Ｂ６５Ｇ ４９／０６
Ｈ０１Ｌ ２１／６７７
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
支持部で支持されて搬送方向に延在するように立てられた複数の板状部材を前記搬送方向に交差する配列方向に並べて収納し、且つ挿入口から前記複数の板状部材を前記搬送方向に夫々搬入及び搬出可能に構成されたラックと、
前記挿入口から前記板状部材を前記搬送方向に前記ラックに搬入し又は前記ラックから搬出する板状部材移載機構と、を備える板状部材移載設備であって、
前記板状部材移載機構は、
前記ラックの前記挿入口に臨むトラック側空間に位置し、前記板状部材を支持して前記搬送方向に平行な回動軸線回りに回動可能なフリップを有し、前記フリップを回動させることによってコンベア上に載置された前記板状部材を前記フリップに載せて立て又は前記フリップを回動させて前記板状部材を倒して前記コンベア上に載置するフリップ回動機構と、
前記搬送方向に延在し、前記フリップ回動機構により立てられた前記板状部材を前記搬送方向に送る送り部を有する搬送機構と、
前記フリップ回動機構及び前記搬送機構を前記配列方向に移動させる移動機構と、を備えており、
前記コンベアは、複数のホイール軸によって構成されるホイールコンベアであり、
前記フリップは、前記コンベア上に載置された前記板状部材を載せる、又は前記板状部材を倒して前記コンベア上に載置する際にホール軸の間に入るようになっており、
前記フリップ回動機構は、前記コンベア上に載置された前記板状部材を載せる、又は前記板状部材を倒して前記コンベア上に載置する際、前記フリップが前記ホイール軸と面一又はそれより下側に位置するように前記フリップを倒すようになっており、
前記搬送機構は、前記トラック側空間と前記ラックとの間で前記送り部により前記板状部材を立った状態で受け渡しするように構成されている、板状部材移載設備。
前記挿入口から前記板状部材を前記搬送方向に前記ラックに搬入し又は前記ラックから搬出する板状部材移載機構と、を備える板状部材移載設備であって、
前記板状部材移載機構は、
前記ラックの前記挿入口に臨むトラック側空間に位置し、前記板状部材を支持して前記搬送方向に平行な回動軸線回りに回動可能なフリップを有し、前記フリップを回動させることによってコンベア上に載置された前記板状部材を前記フリップに載せて立て又は前記フリップを回動させて前記板状部材を倒して前記コンベア上に載置するフリップ回動機構と、
前記搬送方向に延在し、前記フリップ回動機構により立てられた前記板状部材を前記搬送方向に送る送り部を有する搬送機構と、
前記フリップ回動機構及び前記搬送機構を前記配列方向に移動させる移動機構と、を備えており、
前記コンベアは、複数のホイール軸によって構成されるホイールコンベアであり、
前記フリップは、前記コンベア上に載置された前記板状部材を載せる、又は前記板状部材を倒して前記コンベア上に載置する際にホール軸の間に入るようになっており、
前記フリップ回動機構は、前記コンベア上に載置された前記板状部材を載せる、又は前記板状部材を倒して前記コンベア上に載置する際、前記フリップが前記ホイール軸と面一又はそれより下側に位置するように前記フリップを倒すようになっており、
前記搬送機構は、前記トラック側空間と前記ラックとの間で前記送り部により前記板状部材を立った状態で受け渡しするように構成されている、板状部材移載設備。
【請求項2】
前記搬送機構は、前記送り部であるトラック側送り部を有し、前記トラック側空間に配置されているトラック側搬送機構と、前記送り部であるラック側送り部を有し、前記ラックに配置されるラック側搬送機構とによって構成される、請求項１に記載の板状部材移載設備。
【請求項3】
前記トラック側搬送機構と前記ラック側搬送機構は、前記トラック側送り部と前記ラック側送り部との間で立った状態で前記板状部材を受け渡しするように構成されている、請求項２に記載の板状部材移載装置。
【請求項4】
前記移動機構は、前記トラック側搬送機構を前記配列方向に移動させるトラック側移動機構と、前記ラック側搬送機構を前記配列方向に移動させるラック側移動機構とによって構成される、請求項２又は３に記載の板状部材移載設備。
【請求項5】
前記トラック側移動機構は、前記トラック側搬送機構と一緒に前記フリップ回動機構を前記配列方向に移動するように構成されている、請求項２乃至４の何れか１つに記載の板状部材移載設備。
【請求項6】
前記ラックは、複数の支持部材を有し、
前記複数の支持部材は、前記搬送方向に間隔をあけて配置され、その上面で前記板状部材を夫々支持可能に構成されており、
前記ラック側送り部は、ラック側送り部面上を移動させて前記板状部材を送るラック側駆動部材を有し、
前記ラック側搬送機構は、前記ラック側送り部面が前記支持部材の上面より高い位置にあるラック側搬送位置と、前記ラック側送り部面が前記支持部材の上面より低い位置にあるラック側待機位置との間で前記ラック側送り部を昇降可能に構成されている、請求項２乃至５の何れか１つに記載の板状部材移載設備。
前記複数の支持部材は、前記搬送方向に間隔をあけて配置され、その上面で前記板状部材を夫々支持可能に構成されており、
前記ラック側送り部は、ラック側送り部面上を移動させて前記板状部材を送るラック側駆動部材を有し、
前記ラック側搬送機構は、前記ラック側送り部面が前記支持部材の上面より高い位置にあるラック側搬送位置と、前記ラック側送り部面が前記支持部材の上面より低い位置にあるラック側待機位置との間で前記ラック側送り部を昇降可能に構成されている、請求項２乃至５の何れか１つに記載の板状部材移載設備。
【請求項7】
前記トラック側送り部は、前記トラック側送り部面上を移動させて前記板状部材を送るトラック側駆動部材を有し、
前記トラック側搬送機構は、前記トラック側送り部面が前記ラック側搬送位置に対応する前記ラック側送り部面と実質的に同じ高さにあるトラック側搬送位置と、前記トラック側送り部面が前記支持部材の上面より低い待機位置との間で前記トラック側送り部を昇降可能に構成されている、請求項６に記載の板状部材移載設備。
前記トラック側搬送機構は、前記トラック側送り部面が前記ラック側搬送位置に対応する前記ラック側送り部面と実質的に同じ高さにあるトラック側搬送位置と、前記トラック側送り部面が前記支持部材の上面より低い待機位置との間で前記トラック側送り部を昇降可能に構成されている、請求項６に記載の板状部材移載設備。
【請求項8】
前記トラック側送り部と前記ラック側送り部とが前記搬送方向に並んでいるか否かを検出する位置検出センサを更に備え、
前記トラック側送り部及び前記ラック側送り部は、これらが前記搬送方向に並んでいることが前記位置検出センサで検出されると、前記板状部材の受け渡しを行うように構成されている、請求項２乃至７の何れか１つに記載の板状部材移載設備。
前記トラック側送り部及び前記ラック側送り部は、これらが前記搬送方向に並んでいることが前記位置検出センサで検出されると、前記板状部材の受け渡しを行うように構成されている、請求項２乃至７の何れか１つに記載の板状部材移載設備。
【請求項9】
前記フリップ回動機構は、前記移動機構により移動する際に前記フリップを回動させて該フリップに支持された前記板状部材を倒すように構成されている、請求項１乃至８の何れか１つに記載の板状部材移載設備。
【請求項10】
前記フリップは、転動可能な複数の球面ローラを有し、前記複数の球面ローラにより前記板状部材の背面を支持するように構成されている、請求項１乃至９の何れか１つに記載の板状部材移載設備。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、複数の板状部材を立てた状態で並べて収納可能なラックと、前記ラックに板状部材を挿入したり、前記ラックから板状部材を取り出したりする板状部材移載機構とを備える板状部材移載設備に関する。
【背景技術】
【0002】
従来から、基板を搬送する様々な搬送装置が知られている。それら様々な搬送装置のうちの１つとして、特許文献１に開示されるような、基板をラック（又はカセット等）に収納したり、ラックに収納された基板を取り出したりするロボットがある。特許文献１に記載のロボットは、ロボットアームを備えている。ロボットアームは、３つのリンクを有しており、これら３つのリンクは、鉛直方向に延びる垂直軸線回りに回動可能に連結されている。ロボットアームの先端部には、エンドエフェクタが取付けられている。このエンドエフェクタは、その先端側部分に基板を載置可能に構成されており、その先端部分が水平方向に延びる水平軸線回りに回動可能に構成されている。
【0003】
このように構成されるロボットは、３つのリンクを回動させながらエンドエフェクトを動かし、そこに載置されている基板をラックに挿入したり、ラックから基板を取り出したりする。また、ロボットは、エンドエフェクトの先端部を水平軸線回りに回動させることで、エンドエフェクトに載置された基板を起こしたり倒したりできる。それ故、エンドエフェクトを様々な方向からラックに挿入することができ、ラックの向きに係わらず、基板を挿入したり、そこから基板を取り出したりすることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特表２００２−５２２２３８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
特許文献１に記載のロボットは、基板８１〜８３をラック８４に挿入したり、ラック８４から取り出したりする際、ラックの基板を収容する基板収容部の中にエンドエフェクタを挿入するようになっている。他方、複数の基板８１〜８３は、図２９及び３０に示すように互いが接触しないように配列方向に並べてラック８４に収容されている。従って、複数の基板８１〜８３を一番前側の基板８１から順に搬出する場合、搬出する各基板８１〜８３の前にエンドエフェクト８５を挿入できるオープンスペースが形成されるため、上述するエンドエフェクト８５を用いても搬出に何ら問題を生じない。
【0006】
しかし、ラック８４に収容された複数の基板８１〜８３は、必ずしも前の基板８１から順番に搬出されるとは限らず、２つの基板８１，８３の間に収容された基板８２を先に取り出すことがしばしばある。この場合、エンドエフェクト８５を２つの基板８１，８２（又は、基板８２，８３）の間に挿入しなければならない。
【0007】
一般的に、隣接する基板の収容間隔は、ラック８４の設置面積に対する収容可能な基板の枚数を密にするべく短くなっている。これに対して、エンドエフェクト８５は、基板８１〜８３を挟持する機能をもたせたり、剛性を確保しなければならなかったりするため厚くなっている。したがって、２つの基板８１，８２（又は、基板８２，８３）の間に挿入しようとしても挿入できず、また挿入できたとしても基板８１〜８３等に当たってそれらを破損させる虞がある。そのため、ラック８４における基板の収容間隔を大幅に広げなければならず、そうすると、ラック８４の設置面積が大きくなってしまう。
【0008】
このような問題は、基板８１〜８３を搬出する場合だけでなく、基板８１〜８３を搬入する場合にも同様の問題が生じる。つまり、基板８１〜８３を配列方向に順番に搬入する場合についても何ら問題がないが、２つの基板８１，８３が先にラック８４に搬入され、その後から基板８２を搬入する場合に搬出時と同様の問題が生じる。この問題を解消するためには、やはりラック８４における基板８１〜８３の収容間隔を大幅に広げなければならず、ラック８４の設置面積が大きくなってしまう。
【0009】
そこで本発明は、ラックの基板収容部にエンドエフェクトを挿入することなしに、板状部材の収納ピッチが密であっても間隔をあけた２つの板状部材の間に新たな板状部材を搬入し、また並んだ複数の板状部材の中から何れの板状部材でも搬出することができる板状部材移載設備を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【0010】
本発明の板状部材移載設備は、支持部で支持されて搬送方向に延在するように立てられた複数の板状部材を前記搬送方向に交差する配列方向に並べて収納し、且つ挿入口から前記複数の板状部材を前記搬送方向において夫々搬入及び搬出可能に構成されたラックと、前記挿入口から前記板状部材を前記搬送方向において前記ラックに搬入し、また前記ラックから搬出する板状部材移載機構と、を備え、前記板状部材移載機構は、前記ラックの前記挿入口に臨むトラック側空間に位置し、前記板状部材を支持して前記搬送方向に平行な回動軸線回りに回動可能なフリップを有し、前記フリップを回動させることによってコンベア上に載置された前記板状部材を前記フリップに載せて立て又は前記フリップを回動させて前記板状部材を倒して前記コンベア上に載置するフリップ回動機構と、前記搬送方向に延在し、前記フリップ回動機構により立てられた状態の前記板状部材を前記搬送方向に送る送り部を有する搬送機構と、前記フリップ回動機構及び前記搬送機構を配列方向に移動させる移動機構と、を備えており、前記コンベアは、複数のホイール軸によって構成されるホイールコンベアであり、前記フリップは、前記コンベア上に載置された前記板状部材を載せる、又は前記板状部材を倒して前記コンベア上に載置する際にホール軸の間に入るようになっており、前記フリップ回動機構は、前記コンベア上に載置された前記板状部材を載せる、又は前記板状部材を倒して前記コンベア上に載置する際、前記フリップが前記ホイール軸と面一又はそれより下側に位置するように前記フリップを倒すようになっており、前記搬送機構は、前記フリップ回動機構が位置するトラック側空間と前記ラックとの間で前記送り部により前記板状部材を立った状態で受け渡しするように構成されているものである。
【0011】
本発明に従えば、板状部材移載機構は、フリップ回動機構によりフリップを回動させてフリップに支持されている板状部材を立てることができる。更に、このフリップ回動機構と搬送機構とをラックの配列方向の任意の位置に移動させ、立てた状態の板状部材を送り機構により搬送方向へと移動させることでトラック側空間にある板状部材を挿入口からラックに搬入して収納することができる。このように板状部材移載機構は、水平状態の板状部材を立ててラックに挿入し、収納することができる。なお、本発明において、「水平状態」とは、真に水平な姿勢になっている状態だけでなく、水平な姿勢から多少傾いた状態のものも含む。
【0012】
また、本発明は、ラックの任意の位置までフリップ回動機構及び搬送機構を移動させて送り部を駆動することで、ラックに収納された板状部材を搬送方向に移動させてトラック側空間に戻すことができる。そして、トラック側空間に戻された板状部材がエンドエフェクトとしてのフリップに載り移った後、フリップ回動機構によりフリップを回動させて倒すことで板状部材を水平状態にすることができる。このように板状部材移載機構は、ラックに立てた状態で収納された板状部材を取り出して水平状態にすることができる。
【0013】
このように、本発明では、送り部により板状部材を搬送方向に移動させて受け渡しするので、板状部材を搬入及び搬出する際に搬送機構やフリップをラック内に直に挿入する必要がない。これにより、設備の設置面積を低減すべく板状部材同士の間隔を狭くして板状部材の配列方向の収納ピッチを密にしても、従来技術のように収納された板状部材とエンドエフェクトとが接触して損傷させるような事態を生じることなく、２つの板状部材の間に新たな板状部材を搬入し、並んだ複数の板状部材の中から何れの位置の板状部材でも搬出することができる。それ故、確実にかつ迅速にラックに対する板状部材の搬入及び搬出を行なうことができる。
【0014】
上記発明において、前記送り部であるトラック側送り部を有し、前記トラック側空間に配置されているトラック側搬送機構と、前記送り部であるラック側送り部を有し、前記ラックに配置されるラック側搬送機構とによって構成されることが好ましい。
【0015】
上記構成に従えば、移動機構によりトラック側搬送機構を収容位置にあるラック側搬送機構の前まで移動させ、トラック側及びラック側送り部を夫々駆動することで、トラック側及びラック側搬送機構の間で板状部材を受け渡しすることができる。それ故、搬送機構自体をスライドさせてラック内に挿入する必要がなく、その時間を省くことができる。これにより、板状部材一枚当りの搬入及び搬出時間を短くすることができる。
【0016】
上記発明において、前記トラック側搬送機構と前記ラック側搬送機構は、前記トラック側送り部と前記ラック側送り部との間で立った状態で前記板状部材を受け渡しするように構成されていることが好ましい。
【0017】
上記構成に従えば、トラック側搬送機構とラック側搬送機構との間で板状部材を受け渡しすることができるので、トラック側及びラック側搬送機構自体をスライドさせてラック内に挿入することなく、板状部材をラックに挿入することを実現することができる。
【0018】
上記発明において、前記移動機構は、前記トラック側搬送機構を前記配列方向に移動させるトラック側移動機構と、前記ラック側搬送機構を前記配列方向に移動させるラック側移動機構とによって構成されることが好ましい。
【0019】
上記構成に従えば、ラックの収納位置毎にラック側搬送機構を設ける必要がなく、部品点数を低減することができる。また、例えば、トラック側搬送機構とラック側搬送機構を互いに独立して移動させることで別々の位置にてトラック側搬送機構及びラック側搬送機構を動作させることができ、それらが並行して別の動作を実行させることができる。これにより、搬入及び搬出時間を短縮することができる。
【0020】
上記発明において、前記トラック側移動機構は、前記トラック側搬送機構と一緒に前記フリップ回動機構を前記配列方向に移動するように構成されていることが好ましい。
【0021】
上記構成に従えば、フリップ回動機構とトラック側搬送機構とが一緒に移動するので、これらの機構の位置合わせを行なう必要がなく各機構の動作プログラムが容易にすることができ、また移動機構の部品点数を低減して製造コストを削減することができる。
【0022】
上記発明において、前記ラックは、複数の支持部材を有し、前記複数の支持部材は、前記搬送方向に間隔をあけて配置され、その上面で前記板状部材を夫々支持可能に構成されており、前記ラック側送り部は、ラック側送り部面上を移動させて前記板状部材を送るラック側駆動部材を有し、前記ラック側搬送機構は、前記ラック側送り部面が前記支持部材の上面より高い位置にあるラック側搬送位置と、前記ラック側送り部面が前記支持部材の上面より低い位置にあるラック側待機位置との間で前記ラック側送り部を昇降可能に構成されていることが好ましい。
【0023】
上記構成に従えば、ラック側送り部をラック側搬送位置まで上げることでラック内において支持部材に当たることなく板状部材を左右方向にスムーズに移動させることができ、ラックとトラック側空間との間における板状部材の受け渡しをスムーズに行うことができる。また、ラック側送り部をラック側待機位置まで降ろすことで、ラック側送り部面にある板状部材を支持部材に降ろし、更にラック側送り部面から離してラック内に収納することができる。これにより、収納作業において板状部材が損傷することを抑えることができる。
【0024】
上記発明において、前記トラック側送り部は、トラック側送り部面上を移動させて前記板状部材を送るトラック側駆動部材を有し、前記トラック側搬送機構は、前記トラック側送り部面が前記ラック側搬送位置に対応する前記ラック側送り部面と実質的に同じ高さにあるトラック側搬送位置と、前記トラック側送り部面が前記支持部材の上面より低いトラック側待機位置との間で前記トラック側送り部を昇降可能に構成されていることが好ましい。
【0025】
上記構成に従えば、トラック側送り部を搬送位置まで上げることでラック内において支持部材に当たることなく板状部材を左右方向にスムーズに移動させることができ、ラックとトラック側空間との間における板状部材の受け渡しをスムーズに行うことができる。これにより、収納作業において板状部材が損傷することを抑えることができる。また、トラック側送り部を待機位置まで降ろすことができるので、ラックに板状部材を挿入している途中にトラック側送り部を板状部材から離し、前記トラック側送り部をラック側搬送機構に先んじて次の収納位置の前まで移動させることができる。これにより、板状部材の搬出時間を短縮することができる。
【0026】
上記発明において、前記トラック側送り部と前記ラック側送り部とが前記搬送方向に並んでいる否かを検出する位置検出センサを更に備え、前記トラック側送り部及び前記ラック側送り部は、これらが前記搬送方向に並んでいることが前記位置検出センサで検出されると、前記板状部材の受け渡しを行うように構成されていることが好ましい。
【0027】
上記構成に従えば、トラック側送り部とラック側送り部との間で板状部材を受け渡し損ねて損傷することを防ぐことができる。
【0028】
上記発明において、前記フリップ回動機構は、前記移動機構により移動する際、前記フリップを回動させて該フリップに支持された前記板状部材を倒すように構成されていることが好ましい。
【0029】
上記構成に従えば、板状部材を倒した状態でフリップ回動機構を動かすので、板状部材が動くことで発生する風の風量を抑えることができる。移動時に生じる風は、ラックに並べて収納された板状部材をバタつかせ、また損傷させるおそれがあるが、本発明では風を抑えることができるので、このような板状部材のバタつきを抑え、板状部材の損傷を防ぐことができる。
【0030】
上記発明において、前記フリップは、転動可能な複数の球面ローラを有し、前記複数の球面ローラにより前記板状部材の背面を支持するように構成されていることが好ましい。
【0031】
上記構成に従えば、板状部材が転動する球面ローラにより支持されているので、送り機構が板状部材を移動させる際に板状部材をフリップに立て掛けたままスライド移動させても滑らかに動かすことができる。これにより、ラックとフリップとの間で板状部材を受け渡しする際に、板状部材をフリップに沿ってスライド移動させることができフリップが倒れることを防ぐことができる。
【発明の効果】
【0032】
本発明によれば、ラックの基板収容部にエンドエフェクトを挿入することなしに、板状部材の収納ピッチが密であっても間隔をあけた２つの板状部材の間に新たな板状部材を搬入し、また並んだ複数の板状部材の中から何れの板状部材でも搬出することができる。
【図面の簡単な説明】
【0033】
【図1】本発明の実施形態に係るストッカ設備の全体を示す平面図である。
【図8】ストッカ設備のラックの一部分を拡大して示す右側面図であり、（ａ）は、ラックの上側部分を拡大して示す右側面図であり、（ｂ）は、ラックの下側部分を拡大して示す右側面図である。
【図11】ラックロボットとストッカとの間におけるセンサやり取りを後方から見て示す斜視図であり、（ａ）は、ラック側搬送機構と搬送機構とが配列方向にずれている状態を示し、（ｂ）は、ラック側搬送機構と搬送機構とが配列方向に一致している状態を示している。
【図12】ガラス板を搬入及び搬送する際の制御手順を示すダイヤフラム図である。
【図23】第２実施形態のストッカ設備の一部を示す拡大斜視図である。
【図25】第３実施形態のストッカ設備の制御系の構成を示すブロック図である。
【図27】第４実施形態のストッカ設備の一部を示す拡大斜視図である。
【図29】複数の基板を収納する可能なラックを正面から見た正面図である。
【発明を実施するための形態】
【0034】
以下では、前述する図面を参照しながら、本発明の実施形態に係る板状部材移載設備であるストッカ設備１について説明する。なお、実施形態における上下、左右、及び前後等の方向の概念は、説明の便宜上使用するものであって、ストッカ設備１に関して、それらの構成の配置及び向き等をその方向に限定することを示唆するものではない。また、以下に説明するストッカ設備１は、本発明の一実施形態に過ぎず、本発明は実施の形態に限定されず、発明の趣旨を逸脱しない範囲で追加、削除、変更が可能である。
【0035】
［ストッカ設備］図１に示すように、ストッカ設備１は、１つの処理装置から別の処理装置に板状部材２を搬送する搬送路に設けられ、搬送されてくる板状部材２を一時的に蓄えておくための設備である。板状部材２は、例えば太陽光パネルや液晶パネル等で使用される大型のガラス板であり、以下では、ガラス板２として説明する。但し、板状部材２は、大型のガラス板に限定されず、鋼板や樹脂板であってもよく、板状の部材であればよい。本実施形態において、ストッカ設備１は、１つの処理装置から別の処理装置にガラス板２を搬送するホイールコンベア３に設けられている。
【0036】
ホイールコンベア３は、搬送路に沿って延在する一対の桁４を有しており、一対の桁４には、複数のホイール軸５が設けられている。ホイール軸５は、一対の桁４に回動可能に架け渡され、一対の桁４に直交するように延在している。また、ホイール軸５は、図示しない駆動装置により回動されており、ホイール軸５を回動させることによってそれら上に載置されたガラス板２が一方向（本実施形態では、右方向）に移動するようになっている。
【0037】
また、ホイールコンベア３は、ストッパ６を有している。ストッパ６は、隣接する２つのホイール軸５ａ，５ｂの間に設けられている。ストッパ６は、上下に出没可能に構成されており、ストッパ６を突出させることでホイールコンベア３上を移動するガラス板２が停止位置にて止められ、ストッパ６を没入させることでガラス板２が停止位置から下流側（つまり、右側）へと移動することが許容される。ストッカ設備１は、ストッパ６により止められたガラス板２を一時的にストックし、またストックしたガラス板２をホイールコンベア３上に戻して別の処理装置に移送させるように構成されている。以下では、ストッカ設備１の具体的な構成について説明する。
【0038】
＜トラックロボット＞ストッカ設備１は、図１乃至図７に示すようにトラックロボット１０及びラック３２を備えている。ストッカ設備１では、複数のラック３２が左右両側に夫々一列に並べられており、各列の間にトラックロボット１０が設けられている。トラックロボット１０は、図２乃至図４に示すようにスライド装置１１を備えている。トラック側移動機構であるスライド装置１１は、ガイドレール１２とトラック側スライドアクチュエータ１３（図５参照）とを有している。ガイドレール１２は、設置場所の床等に取り付けられている。ガイドレール１２は、その一端がホイールコンベア３付近に位置し、そこから複数のラック３２の間を貫くように前後方向に延在している。また、ガイドレール１２上には、トラック側走行基台１４がスライド可能に取り付けられ、ガイドレール１２の中には、トラック側スライドアクチュエータ１３が収納されている。トラック側スライドアクチュエータ１３は、例えばボールねじ機構及びサーボモータにより構成されており、トラック側走行基台１４をガイドレール１２に沿って前後方向にスライドさせるようになっている（図６の矢符Ａ参照）。
【0039】
トラック側走行基台１４は、大略的に台形状に形成されている。トラック側走行基台１４の上部後側には、図７に示すようにヒンジ１５が設けられており、更にこのヒンジ１５を介してフリップ回動機構１６が設けられている。フリップ回動機構１６は、フリップ１７とフリップアクチュエータ１８とを有している（図５参照）。フリップ１７は、いわゆるハンド又はエンドエフェクタの役割をするものであり、ヒンジ１５に取り付けられている。このフリップ１７は、大略的に三叉状に形成されており、その上にガラス板２を載せて支持可能に構成されている。このように構成されているフリップ１７は、ヒンジ１５を介して左右に延びる回動軸線Ｌ１回りに回動可能に構成されている。
【0040】
また、トラック側走行基台１４には、フリップアクチュエータ１８が設けられている。フリップアクチュエータ１８は、例えばサーボモータであり、フリップ１７を回動軸線Ｌ１回りに回動可能に構成されている。フリップ１７は、このフリップアクチュエータ１８により、フリップ１７が後方側に倒れて水平になる水平姿勢とフリップ１７が略直立する直立姿勢との間で姿勢を変えられるように構成されている（図６の矢符Ｂ参照及び図７の矢符Ｂ参照）。
【0041】
以下では、図６及び図７を参照しながら、フリップ１７について更に詳述する。フリップ１７は、基部１９と３つの支持板２０を有している。基部１９は、Ｌ字板１９ａと、一対の取付板１９ｂとを有している。Ｌ字板１９ａは、左右方向に延在している部材であり、左右方向に垂直に切断した断面がＬ字状になるように２つの板が直角に配置されている。このＬ字板１９ａの左右両端側には、一対の取付板１９ｂが夫々取付けられている。取付板１９ｂは、２つの板の間に立てた状態で配置されており、これら２つの板の間にはそれらを繋ぐようにヒンジ軸１５ａが取り付けられている。ヒンジ軸１５ａは、ヒンジ１５を構成する部材であり、トラック側走行基台１４に回動軸線Ｌ１回りに回動可能に取り付けられている。また、Ｌ字板１９ａの前面には、図６及び７に示すような３つの支持板２０が取り付けられている。
【0042】
支持板２０は、図６及び７に示すようにＬ字板１９ａから後斜め上方に延在する短冊状の板部材であり、その下端側が基部１９に固定されている。支持板２０は、基部１９を回動軸線Ｌ１回りに回動させることで、支持板２０が上下方向に直立する直立姿勢と、支持板２０が略水平に延在する水平姿勢との間でその姿勢を変更できるように構成されている。このように構成される３つの支持板２０は、互いに左右に略等間隔をあけて位置しており、その間隔は、ホイールコンベア３のホイール軸５の間隔に合わせて設計されている。これにより、支持板２０を水平姿勢にすることで、各支持板２０が隣接するホイール軸５ａの間に入り、ホイールコンベア３の停止位置に位置するようになっている。
【0043】
また、支持板２０の上面２０ａ（支持板２０が直立姿勢時の前面に相当）側には、複数の球面ローラ２１（本実施形態では、４つの球面ローラ２１）が取付けられている。複数の球面ローラ２１は、転動可能に支持板２０に取付けられ、支持板２０が延在する方向（図６において上下方向）に間隔をあけて配置されている。球面ローラ２１は、その一部分が支持板２０の上面２０ａから上方に突出し、上面２０ａに載るガラス板２を点で支持している。また、支持板２０の上面２０ａには、支持部２２が取付けられている。支持部２２は、大略的に五叉状に形成されており、球面ローラ２１より支持板２０の基端側に配置されている。支持部２２の各先端部分（つまり、下端側の部分）は、前方に向かって突出しており、その突出した部分にガラス板２の下端部を引っ掛けて支持できるように構成されている。このように構成される支持部２２には、リフトシリンダ２３が設けられており、リフトシリンダ２３により上下方向に昇降可能に構成されている（図６の矢符Ｃ参照）。
【0044】
また、トラック側走行基台１４の上部前側には、トラック側搬送機構２４が取付けられている。トラック側搬送機構２４は、トラック側搬送基台２５を有している。トラック側搬送基台２５は、左右横長の板状部材であり、左右両端が両側にあるラック３２付近まで延びている。トラック側搬送基台２５の上部には、複数の取付部２５ａ（本実施形態では、６つの取付部２５ａ）が形成されている。取付部２５ａは、左右方向に略等間隔をあけて配置されており、その略中央に上下方向に延びる切欠きが形成されている。取付部２５ａは、切欠きによって分断された左及び右側部分にトラック側駆動部材であるローラ２６が夫々取り付けられている。
【0045】
ローラ２６は、トラック側搬送基台２５の後部に点在するように取り付けられており、本実施形態ではトラック側搬送基台２５に１２個のローラ２６が取り付けられている。なお、駆動部材をベルトで構成してもよい。例えば、ローラ２６に代えてプーリーを設け、２つ又はそれ以上のプーリーにベルトを張架することによって実現することができる。
【0046】
ローラ２６は、前後方向に延在する回動軸線回りに回動可能に構成されている。また、トラック側搬送基台２５内には、トラック側ローラアクチュエータ２７が設けられている（図５参照）。トラック側ローラアクチュエータ２７は、例えばタイミングベルト等により構成される伝達機構とサーボモータとから成り、複数のローラ２６を同一方向に連動して回動させるように構成されている。また、ローラ２６は、その上にガラス板２を載せることができるように形成されている。このように構成されるローラ２６及びトラック側ローラアクチュエータ２７によってトラック側送り部が構成されており、トラック側送り部は、トラック側ローラアクチュエータ２７によってローラ２６を駆動することでローラ２６の上に載せられたガラス板２を左又は右方向に送ることができるようになっている（図６の矢符Ｄ参照）。
【0047】
また、トラックロボット１０は、図５に示すように、そこに備わる各アクチュエータ１３，１８，２７及びシリンダ２３の動作を制御すべくトラック制御部２８を備えている。トラック制御部２８は、ストッカ設備１に備わる制御装置２９の一部の制御ブロックである。トラック制御部２８は、信号配線を介してトラック側スライドアクチュエータ１３、フリップアクチュエータ１８、リフトシリンダ２３、及びトラック側ローラアクチュエータ２７に接続されている。トラック制御部２８は、制御装置２９の記憶部２９ａに予め記憶されたプログラム及び入力装置３０により入力された指令に基づいて前記各アクチュエータ１３，１８，２７及びシリンダ２３に信号を送ってそれらの動作を制御する機能を有している。＜ラック及びラックロボット＞
このように構成されるトラックロボット１０の左右両側には、図３に示すような複数のラック基台３１が夫々設けられている。ラック基台３１は、図３に示すような台枠であり、設置場所の床等に固定されている。具体的に説明すると、ラック基台３１は、平面視で矩形状に形成されており、４つの脚３１ａ及び２つの梁部材３１ｂを有している。４つの脚３１ａは、四隅に配置されており、梁部材３１ｂは、左右に配置された一対の脚３１ａの上端部に掛け渡すように固定されている。このように固定されている２つの梁部材３１ｂは、互いに平行、且つ前後方向に離れて位置している。また、２つの梁部材３１ｂには、前後方向に延在する複数の横桁部材３１ｃが掛け渡されており、その上にラック３２が載せられている。
【0048】
ラック３２は、図２乃至４に示すように直方体の籠状又は檻状に枠組みされた枠体３３を有している。枠体３３は、底部分に複数の底桁３３ａを有し、また天井部分に複数の上桁３３ｂを有している。底桁３３ａは、横桁部材３１ｃと同様に前後方向に延在しており、互いに左右方向に間隔をあけて配置されている。底桁３３ａの上面には、図８（ｂ）に示すような複数のセパレータ３４が設けられている。複数のセパレータ３４は、上方に突出する部材であり、前後方向において略等間隔で配置されている。隣接する２つのセパレータ３４の間隔は、ガラス板２の厚みより少しだけ広くなっている。
【0049】
また、上桁３３ｂは、底桁３３ａと同様に前後方向に延在しており、互いに左右方向に間隔をあけて配置されている。上桁３３ｂの下面には、図８（ａ）に示すような複数の案内ローラ３５が取付けられている。複数の案内ローラ３５は、前後方向に略等間隔で位置しており、その間隔は、セパレータ３４と略同様の間隔となっている。このように構成される案内ローラ３５は、上下方向に延在する回動軸線Ｌ２回りに回動可能に構成されている。
【0050】
このように構成されるラック３２では、ガラス板２が左右方向に延在するように収納されており、その下端が隣接する２つのセパレータ３４の間に通され、その上端が隣接する２つの案内ローラ３５の間に通されている。これにより、ガラス板２の下端がセパレータ３４に、そしてその上端が案内ローラ３５により倒れないように夫々支持され、ガラス板２が立った状態でラック３２内に収納されている。ラック３２には、同様の方法で複数のガラス板２を収容することができ、これにより複数のガラス板２が前後方向（配列方向）に並べて収容される。
【0051】
また、ガラス板２は、ラック３２において後側に若干傾けた状態で収納されており、ガラス板２の上端側は、その下端側が通されている２つのセパレータ３４よりも平面視で若干後側に位置している２つの案内ローラ３５に通されている。このように収納されているガラス板２は、２つのセパレータ３４の間及び案内ローラ３５の間に一枚一枚通されており、隣接するガラス板２同士がセパレータ３４及び案内ローラ３５により仕切られている。これにより、ラック３２内には、ガラス板２が互いに接触しない程度に密に配置することができる。
【0052】
なお、上桁３３ｂは、必ずしも固定されている必要はなく、その高さを調整できるように構成されていてもよい。上桁３３ｂの位置を調整する調整機構としては、例えばボールねじ機構等の昇降機構が用いられる。また、上桁３３ｂは、昇降機構を用いず手動で調整できるように構成されていてもよい。このように上桁３３ｂを調整可能に構成することで、収納可能なガラス板２の高さに応じて上桁３３ｂの高さを調整することができ、ラック３２に収納可能なガラス板２のバリエーションを増やすことができる。なお、本実施形態では、全てのラック３２の上桁３３ｂが同じ高さに設定されている。
【0053】
このように構成されるラック３２は、各ラック基台３１の上に１つずつ載せられており、トラックロボット１０の左右両側に前後方向に並ぶように配置されている。これらラック３２は、左右両側に開口を有しており、その一方の開口がガラス板２を挿入できる挿入口３２ａの役割を果たしている。各ラック３２は、挿入口３２ａがトラックロボット１０側（即ち、トラック側）に位置するようにラック基台３１に載せられている。つまり、トラックロボット１０が挿入口３２ａに臨むように位置している。
【0054】
更に具体的に説明すると、トラックロボット１０の左側に位置するラック３２は、挿入口３２ａが右側に位置するようにラック基台３１に載せられ、トラックロボット１０の右側に位置するラック３２は、挿入口３２ａが左側に位置するようにラック基台３１に載せられている。このように、トラックロボット１０は、２つのラック３２の間であって、各ラック３２の挿入口３２ａに臨むトラック側空間に位置している。また、ラック３２は、列毎に挿入口３２ａ側の面が面一になるようにラック基台３１に固定されており、このラック基台３１には、更にラックロボット４０が設けられている。＜ラックロボット＞
ラックロボット４０は、図４及び図９に示しており、左右両側に一台ずつ設けられ、ラック側移動機構４１を備えている。ラック側移動機構４１は、一対のガイドレール４２，４３を有している。一対のレール４２，４３は、前後方向に延在しており、各ラック基台３１の２つの梁部材３１ｂに掛け渡されている。一対のレール４２，４３は、梁部材３１ｂの下面に固定されており、梁部材３１ｂの左右両端部に離れて位置している。また、一対のレール４２，４３は、前後に隣接するラック基台３１の一対のレール４２，４３に繋げて増設できるようになっており、複数のラック基台３１を一列に並べることでそれらを前後方向に貫通する一対のリニアガイド４４，４５が形成されている。この一対のリニアガイド４４，４５には、ラック側走行基台４６が掛け渡すように取り付けられている。
【0055】
ラック側走行基台４６は、左右横長に形成された走行基台本体４７を有しており、走行基台本体４７の左右両端部には、スライドブロック４８、４９が夫々設けられている。この一対のスライドブロック４８，４９は、前後方向にスライド可能に一対のリニアガイド４４，４５に夫々取り付けられている。走行基台本体４７は、この一対のスライドブロック４８，４９により一列に並べられた複数のラック基台３１の前端から後端まで前後方向にスライドすることができるようになっている（図９の矢符Ｅ参照）。なお、走行基台本体４７の左右両端部は、前後方向にスライドさせたときにラック基台３１に当たらないように形成されている。
【0056】
また、ラック側移動機構４１は、一対のスライドブロック４８，４９をスライドさせるラック側スライドアクチュエータ５０を有している（図５参照）。ラック側スライドアクチュエータ５０は、例えばラックアンドピニオン機構及びサーボモータで構成されている。ラックギア（図示せず）が一方のリニアガイド４４に設けられ、それに対応する一方のスライドブロック４８にピニオンギヤ（図示せず）が設けられている。また、サーボモータは、一方のスライドブロック４８内に設けられており、ピニオンギヤを回動するように構成されている。サーボモータによりピニオンギヤを回動させると、ピニオンギヤがラックギア上を前後方向に転動し、それに伴ってスライドブロック４８，４９がリニアガイド４４，４５上を前又は後方にスライド移動する。つまり、サーボモータを駆動することでラック側走行基台４６を前後方向にスライドさせることができる。このようにスライドするラック側走行基台４６には、ラック側搬送機構５１が取り付けられている。
【0057】
ラック側搬送機構５１は、一対の昇降レール５２，５３を有している。一対の昇降レール５２，５３は、上下方向に延在しているリニアレールであり、基台本体４６の左右両端部に離して設けられている。一対の昇降レール５２，５３には、図示しないスライダブロックが上下方向にスライド可能に夫々取り付けられており、更にこれらのスライダブロックを介してラック側搬送基台５４が設けられている。
【0058】
ラック側搬送基台５４は、左右横長の板状部材であり、その左右両端部に前記スライダブロックが夫々固定されている。ラック側搬送基台５４は、平面視で一対のリニアガイド４４，４５の間に位置しており、ラック側走行基台４６と共に前後方向にスライドする。また、ラック側搬送基台５４は、その上部に複数の取付部５４ａを有している。各取付部５４ａは、平面視でラック基台３１の横桁３１ｃに重ならないように位置しており、ラック側搬送基台５４を上昇させた時に各取付部５１ａが横桁３１ｃの間又はその横（左又は右側）から上方に突出するように構成されている。この取付部５４ａには、駆動部材であるローラ５５が取り付けられている。
【0059】
ローラ５５は、ラック側搬送基台５４の後部に点在するように取り付けられており、本実施形態ではラック側搬送基台５４に８個のローラ５５が取り付けられている。なお、駆動部材であるローラ５５は、ベルトであってもよい。例えば、ローラ５５に代えてプーリーを設け、２つ又はそれ以上のプーリーにベルトを張架することによって実現することができる。
【0060】
ローラ５５は、トラック側搬送基台２５のローラ２６と同様に、前後方向に延在する回動軸線回りに回動可能に構成されている。また、トラック側搬送基台２５内には、ラック側ローラアクチュエータ５６が設けられている（図５参照）。ラック側ローラアクチュエータ５６は、例えばタイミングベルトなどにより構成される伝達機構とサーボモータとから成り、複数のローラ５５を同一方向に連動して回動させるように構成されている。このように構成されるラック側ローラアクチュエータ５６は、ローラ５５と共にラック側送り部を構成し、ローラ５５を回動させてローラ５５の上に載せられたガラス板２を左又は右方向に送ることができるようになっている（図９の矢符Ｆ参照）。
【0061】
更に、ラック側搬送基台５４は、ラック側昇降機構５７を有している。ラック側昇降機構５７は、前述する一対の昇降レール５２，５３及びそれらに取り付けられているスライダブロック（図示せず）とボールねじ機構とサーボモータ等から成るラック側昇降アクチュエータ５８とを有している（図５参照）。ラック側昇降機構５７は、ラック側搬送基台５４を昇降可能に構成されており、ラック側搬送基台５４は、ローラ５５の上面が梁部材３１ｂ及び横桁３１ｃの上端よりも高い位置にある搬送位置とローラ５５全体が梁部材３１ｂ及び横桁３１ｃの上端より低い位置にある待機位置との間を昇降するように構成されている（図９の矢符Ｇ参照）。なお、搬送位置では、トラック側トラック側搬送基台２５のローラ２６の上面（つまり、トラック側送り部面）とラック側搬送基台５４のローラ５５の上面（つまり、ラック側送り部面）とが略同一平面状に位置している。
【0062】
このように構成されるラックロボット４０は、図５に示すように、そこに備わる各アクチュエータ５０，５６，５８の動作を制御すべくラック制御部５９を備えている。ラック制御部５９は、ストッカ設備１に備わる制御装置２９の一部の制御ブロックである。ラック制御部５９は、信号配線を介して、ラック側スライドアクチュエータ５０、ラック側ローラアクチュエータ５６、及びラック側昇降アクチュエータ５８に接続されている。ラック制御部５９は、制御装置２９の記憶部２９ａに予め記憶されたプログラム及び入力装置３０により入力された指令に基づいて前記各アクチュエータ５０，５６，５８に信号を送ってそれらの動作を制御する機能を有している。なお、本実施形態において、ラック制御部５９は、左右に夫々配置される２つのラックロボット４０の各構成を互いに独立して制御できるように構成されている。
【0063】
＜センサ類＞このように構成されるトラックロボット１０及びラックロボット４０には、図１１（ａ）及び（ｂ）に示すようなセンサ６０が設けられている。センサ６０は、例えばペア型のファイバーセンサであり、投光部６０ａと受光部６０ｂとを有している。投光部６０ａは、例えばトラック側搬送基台２５の左右両端面に夫々１つずつ取り付けられ、受光部６０ｂは、例えばラック側搬送基台５４の左右両端面のうちトラック側搬送基台２５側の端面に取り付けられている。
【0064】
このように取り付けられた投光部６０ａ及び受光部６０ｂは、各基台２５，５４に取付けられたローラ２６，５５が一列に並ぶと、投光部６０ａからの光を受光部６０ｂが受光し（図１０の（ｂ）参照）、そこから外れると、受光部６０ｂが投光部６０ａからの光を受光できない（図１０の（ａ）参照）ようになっている。また、投光部６０ａ及び受光部６０ｂは、信号線を介して制御装置２９に接続されている。そして、制御装置２９は、投光部６０ａの動作を制御し、受光部６０ｂの出力結果を受信するように構成されている。なお、センサ６０は、ペア型のファイバーセンサに限らず、反射型のファイバーセンサであってもよい。
【0065】
また、トラックロボット１０、ラック３２及びラックロボット４０には、図示しない様々なセンサが設けられている。例えば、トラックロボット１０に受け渡しするガラス板２の位置を検出するセンサが設けられていたり、ラック３２にその中の何れの位置にガラス板２が収納されているかを検出するセンサが設けられていたりしている。これらのセンサは、例えば反射型ファイバーセンサによって実現することができる。
【0066】
このように構成されるトラックロボット１０及びラックロボット４０は、ラック３２の挿入口３２ａを介してガラス板２を受け渡すように構成されている。以下では、ホイールコンベア３上を移動するガラス板２をラック３２に収容し、また収容されたガラス板２を搬出する際のトラックロボット１０及びラックロボット４０の動作について、図１、図３、図５及び図１２乃至図２２を参照しながら説明する。なお、図１１以降の図面では、図３と同様に右側のラック３２をラック基台３１から取り外した状態で示している。
【0067】
＜ガラス板の収納動作＞図１２は、制御装置２９がトラックロボット１０及びラックロボット４０の動作を制御する際に基づいているダイヤグラム図を示している。ダイヤグラム図の一番左の構成欄には、各ロボット１０，４０のアクチュエータが示されており、その右側のダイヤグラム欄には、各構成のダイヤグラム、つまり各タイミングにおいて駆動させるアクチュエータに色を付けて示している。以下では、このダイヤグラム図を参照しながら、ガラス板２を収納及び取り出す際のトラックロボット１０及びラックロボット４０の動作について説明する。
【0068】
まず、ダイヤグラム図に示す制御を実行する前に、制御装置２９のトラック制御部２８は、トラック側スライドアクチュエータ１３及びフリップアクチュエータ１８を駆動してフリップ１７を水平姿勢にしてホイールコンベア３の停止位置の下方にて待機させる。トラックロボット１０は、この状態でホイールコンベア３上を移動するガラス板２を待つ。更に詳細に説明すると、制御装置２９は、トラック側スライドアクチュエータ１３の動作を制御し、トラックロボット１０のトラック側走行基台１４をホイールコンベア３付近まで移動させる。移動させた後、制御装置２９は、フリップアクチュエータ１８の動作を制御してフリップ１７を後側へと倒す。この際、フリップ１７の３つの支持板２０がホイール軸５の間に夫々入り、フリップ１７の球面ローラ２１がホイール軸のローラと面一又はそれよりも下側に位置する。そして、ホイールコンベア３は、図示しないコンベア用制御装置がストッパ６を突出させると共にホイール軸５を駆動し（ステップＳ１）、ホイールコンベア３上を移動してくるガラス板２が停止位置まで来るのを待つ。
【0069】
ホイールコンベア３上を移動してきたガラス板２がストッパ部材６（図１参照）により停止位置にて止められると、ホイールコンベア３はホイール軸５の駆動を止める。それに伴って、トラック制御部２８は、フリップアクチュエータ１８を駆動してフリップ１７を前方に起こす（ステップＳ２）。停止位置の下方で待機しているフリップ１７を起こすことで、ガラス板２がフリップ１７の上に載せられ、更に起こすことでガラス板２が立ち上がっていく。この際、ガラス板２がフリップ１７から脱落しないようにフリップ１７の支持部２２がガラス板２の下端を下から支持している。
【0070】
次に、トラック制御部２８は、ガラス板２の下端を支持部２２に支持させた状態のままフリップ１７を起こし続け、フリップ１７が水平状態から角度α（図１３参照）回動したところでフリップアクチュエータ１８の動きを一旦止める。なお、角度αは、ガラス板２が直立しない角度であり、フリップ１７の各支持板２０が少なくともホイール軸５の間から上方に抜け出すように設定されている。このような角度αに設定することで、後述するガラス板２の移動の際にガラス板２が引き起こす風の風量を少なくすることができる。これにより、ラック３２に収納されているガラス板２に作用する風量を低減し、ガラス板２の移動時におけるガラス板２のバタつきが抑制できる。
【0071】
また、トラック制御部２８は、フリップ１７がホイール軸５の間から上方に抜けると、ステップＳ２に並行してトラック側スライドアクチュエータ１３を駆動し、トラック側走行基台１４を前方に移動させる（ステップＳ３）。トラック制御部２８は、収納位置の前までトラック側走行基台１４を移動させるとトラック側スライドアクチュエータ１３の動きを止める（図１４）。ここで収納位置とは、フリップ１７に載るガラス板２を収納すべきラック３２の位置である。この収納位置は、ガラス板２毎に予め決められており、例えばガラス板２に取り付けられたＱＲコードや非接触型ＩＣ等の識別子から該ガラス板２の識別情報を読み取ることでガラス板２の収納位置を取得するようになっている。
【0072】
トラック側搬送基台２５が収納位置の前までに辿り着くと、トラック制御部２８は、フリップアクチュエータ１８を駆動し、辿り着く前までに角度αまで回動させたフリップ１７を更に起こす（ステップＳ４）。トラック制御部２８は、フリップ１７を略垂直になる角度βまで回動させて略垂直な状態にまでガラス板２を立てる（図１７参照）。なお、角度βは、８５度以上９０度未満の範囲で設定される。但し、この角度βは、前記角度範囲に限定されない。
【0073】
このような一連のトラック制御部２８の制御に並行して、ラック制御部５９は、ラックロボット４０の動作を制御する。具体的には、トラック制御部２８がトラック側スライドアクチュエータ１３を駆動すると、ラック制御部５９もラック側スライドアクチュエータ５０を駆動する（ステップＳ５）。ラック側スライドアクチュエータ５０を駆動することで、事前に待機位置まで降ろされているラック側搬送基台５４（図１３及び図１４参照）が前後方向にスライド移動する。ラック制御部５９は、ラック側搬送基台５４を収納位置に向かって前方又は後方に動かし、ラック側搬送基台５４が収納位置に来たところでラック側スライドアクチュエータ５０の動きを止める（図１５参照）。
【0074】
ラック制御部５９は、続けてラック側昇降アクチュエータ５８を駆動する（ステップＳ６）。ラック側昇降アクチュエータ５８が駆動することでラック側搬送基台５４が昇っていき、やがてラック側搬送基台５４が搬送位置にきたところでラック側昇降アクチュエータ５８の動きを止める（図１６参照）。これにより、トラック側搬送基台２５及びラック側搬送基台５４が左右方向に一列に並び、それらに備わっているローラ２６，５５の上面が同一平面状に位置する。センサ６０は、このようにラック側搬送基台５４及びトラック側搬送基台２５が左右に一列に並んだ状態を検出し、そのことを制御装置２９へと送信する。
【0075】
これを受信した制御装置２９は、各基台２５，５４に設けられたローラ２６，５５が一列に並んだと判断する。この判断に基づき、トラック制御部２８は、リフトシリンダ２３を駆動して、支持部２２を降ろす（ステップＳ７）。支持部２２は、トラック側搬送基台２５を移動させる際にガラス板２がローラ２６やトラック側搬送基台２５に当たらないようにローラ２６から上方に離れて位置しており（図１８参照）、ローラ２６よりも高いところにある。そこで、トラック制御部２８は、リフトシリンダ２３を駆動して支持部２２をゆっくりと下降させ、ローラ２６の上面にガラス板２を載せる。トラック制御部２８は、載せた後も支持部２２を更に下降させ、支持部２２をガラス板２から離す（図１９参照の破線参照）。
【0076】
支持部２２からガラス板２が離れると、トラック制御部２８は、トラック側ローラアクチュエータ２７によりローラ２６を反時計回りに回動させる（ステップＳ８）。ローラ２６が反時計回りに回動すると、その上面に載せられたガラス板２が左側へと送られる。この際、ガラス板２はフリップ１７の方へと寄り掛かっているが、ガラス板２の背面が球面ローラ２１により支持されているので、ガラス板２は、後側や前側に倒れることなく滑らかに移動することができる。
【0077】
左側へと送っていくと、ガラス板２がラック３２の挿入口３２ａに挿入され、やがて、ガラス板２の上端部がラック３２の挿入口３２ａ付近にある上桁３３ｂに設けられている隣接する２つの案内ローラ３５（図８（ａ）参照）の間に嵌挿される（つまり、ラック３２に搬入される）。これにより、ガラス板２の上端部が案内ローラ３５によって支持され、ガラス板２がラック３２に送られても倒れることがない。更にガラス板２を左側に送ることで、ガラス板２の下端の左側がラック側搬送基台５４のローラ５５に乗り移る。
【0078】
ラック制御部５９もまた、トラック制御部２８と同様に、ラック側ローラアクチュエータ５６によりローラ５５を反時計回りに回動させている（ステップＳ９）。ローラ２６及びローラ５５は、同期しており、ローラ５５に乗り移ったガラス板２を協働して左側（つまり、ラック３２の奥側）に送る（図２０参照）。このようにガラス板２が更に左側に送られることで、ガラス板２の上端部が他の上桁３３ｂの案内ローラ３５の間に次々と嵌挿され、ガラス板２は、その上端部を複数の案内ローラ３５によって案内されながら収納位置まで移動する。やがて、ガラス板２が収納位置まで達すると、トラック制御部２８及びラック制御部５９は、ローラアクチュエータ２７，５６の動きを止めてガラス板２の送るのを止める（図２１参照）。
【0079】
ラック側ローラアクチュエータ５６の動きを止めた後、ラック制御部５９は、ラック側昇降アクチュエータ５８を駆動し、ラック側搬送基台５４を降ろす（ステップＳ１０）。収納位置では、ガラス板２の下端が側面視で前後に隣接する２つのセパレータ３４の間に位置しており、ラック側搬送基台５４を降ろすと各底桁３３ａに隣接する用に設けられた２つのセパレータ３４の間にガラス板２の下端部が挿入される（図８（ｂ）参照）。更に降ろすと、やがて、ガラス板２の下端が各下桁３３ａに載せられる（図２２参照）。このようにガラス板２の下端部が下桁３３ａにより下から支持され、また上端部を案内ローラ３５にもたれ掛かるような状態で、ガラス板２がラック３２に少し傾けて収納される。なお、ラック３２に収納されるガラス板２は、トラックロボット１０からラックロボット４０に受け渡す際の傾き、つまりフリップ１７の角度βと同じ角度で収納されている。
【0080】
ガラス板２を下桁３３ａに載せた後も、ラック側昇降機構５７は、ラック側昇降アクチュエータ５８を駆動し、ラック側搬送基台５４を下降させる。そして、全てのローラ２６が下桁３３ａの下側に抜けてラック側搬送基台５４が待機位置まで降りると、ラック制御部５９は、ラック側昇降アクチュエータ５８の動きを止めて、次のガラス板２の取り出し動作又は搬入作業に備える。
【0081】
＜ガラス板の取出し動作＞次に、ラック３２からガラス板２を取り出す（つまり、ラック３２からガラス板２を搬出する）場合のトラックロボット１０及びラックロボット４０の動作について、図１２等を参照しながら説明する。なお、ガラス板２の搬出作業は、ガラス板２の搬入作業の手順と逆の手順を踏むことで実行される作業のため、ガラス板２の搬出作業における各状態における図面として図１３〜図２２を参照する。
【0082】
トラック制御部２８は、ラック制御部５９がラック側搬送基台５４を降ろしてガラス板２を収納している際、それに並行してトラック側スライドアクチュエータ１３を駆動し、搬出すべきガラス板２の収納位置の前までトラック側搬送基台２５を移動させる（ステップ１１）。そして、収納位置の前にトラック側搬送基台２５が辿り着くと、トラック制御部２８は、トラック側トラック側スライドアクチュエータ１３の動きを止める（図２２参照）。また、ラック制御部５９は、ラック側搬送基台５４を待機位置に戻した後、ラック側スライドアクチュエータ５０を駆動し、搬出すべきガラス板２の収納位置に向かってラック側搬送基台５４を移動させる（ステップ１２）。そして、ラック側搬送基台５４が収納位置に来たところでラック側スライドアクチュエータ５０の動きを止める（図２２参照）。
【0083】
ラック制御部５９は、続けてラック側昇降アクチュエータ５８を駆動し、ラック側搬送基台５４を上昇させる（ステップＳ１３）。ラック側搬送基台５４のローラ５５は、平面視でガラス板２の下端の真下に位置しており、ラック側搬送基台５４を上昇させると、そのローラ５５の上面にガラス板２の下端が載る。更にラック側搬送基台５４を搬送位置まで上昇させることで、下桁３３ａに載っていたガラス板２が下桁３３ａから持ち上がり、やがてガラス板２が倒れないように支持していたセパレータ３４とそれに隣接するセパレータ３４との間から上方に抜け出す。このようにセパレータ３４の間から抜け出してラック側搬送基台５４が搬送位置に達すると、ラック制御部５９は、ラック側昇降アクチュエータ５８の動きを止める（図２１参照）。
【0084】
また、ラック側搬送基台５４が搬送位置に達し、ラック側搬送基台５４とトラック側搬送基台２５とが左右方向に一列に並ぶと、この状態をセンサ６０が検出し、そのことを制御装置２９に送信する。これを受信した制御装置２９は、各基台２５，５４に設けられたローラ２６，５５が一列に並んだと判断する。この判断に基づき、ラック制御部５９は、ラック側ローラアクチュエータ５６によりローラ５５を時計回りに回動させる（ステップＳ１４）。これにより、ガラス板２は、その上端部を複数の案内ローラ３５によって案内されながら右側に送られ、やがてその右側がラック３２の挿入口３２ａから出てトラック側搬送基台２５のローラ２６に乗り移る。
【0085】
トラック制御部２８もまた、ラック制御部５９と同様に、トラック側ローラアクチュエータ２７によりローラ２６を時計回りに回動させている（ステップＳ１５）。ローラ２６及びローラ５５は、同期しており、ローラ２６に乗り移ったガラス板２を協働して挿入口３２ａから右側（つまり、ラック３２の手前側）に送り出す（図２０参照）。
【0086】
このように右側に送り出されたガラス板２は、その上端部が案内ローラ３５の間から次々と抜けて上端部の支えが無くなっていくが、フリップ１７が送り出されるガラス板２の角度と略同じ角度βで立てられているため、挿入口３２ａから送り出された部分がそのままフリップ１７の球面ローラ２１に支持されその上を移動する。それ故、ガラス板２をラック側搬送基台５４からトラック側搬送基台２５に受け渡してもガラス板２が後側に倒れたり、またもたれかかって捻れたりして破損するようなことがない。
【0087】
ローラ２６及びローラ５５が協働してガラス板２を送り出し、ガラス板２の全体がトラック側搬送基台２５上（つまり、ローラ２６の上面）に載る（図１９参照）と、トラック制御部２８及びラック制御部５９は、トラック側ローラアクチュエータ２７，５６の動きを止めてガラス板２の送るのを止める。なお、トラック側搬送基台２５には、例えば図示しないセンサ（例えば、反射型ファイバーセンサ）が設けられ、このセンサによりガラス板２の全体がトラック側搬送基台２５上に載ったか否かを制御装置２９が判定できるように構成されている。
【0088】
ガラス板２の全体がトラック側搬送基台２５上に載ると、トラック制御部２８は、リフトシリンダ２３を駆動し、ローラ２６の上面より下に位置している支持部２２（図１９参照）をゆっくりと上昇させる（ステップＳ１６）。上昇させると、やがてガラス板２の下端がローラ２６の上面に載り、更に上昇させることでガラス板２の下端がローラ２６の上面から離れる。そして、ガラス板２の下端がローラ２６の上面から一定距離離れると、トラック制御部２８は、リフトシリンダ２３の動きを止める（図１７及び１８参照）。このように上昇させている間もガラス板２は、フリップ１７にもたれており、球面ローラ２１によって支持されている。また、ラック制御部５９は、次のガラス板２の搬入に備えるべく、ラック側昇降アクチュエータ５８を駆動してラック側搬送基台５４を待機位置まで降ろす（ステップＳ１７）。
【0089】
リフトシリンダ２３の動きを止めた後、トラック制御部２８は、続けてフリップアクチュエータ１８を駆動し、フリップ１７を回動させて後方に倒す（ステップＳ１８）。フリップ１７の傾きが角度αになる（図１６参照）と、トラック制御部２８は、フリップアクチュエータ１８を止める。そして、トラック制御部２８は、トラック側スライドアクチュエータ１３を駆動してトラック側搬送基台２５を後方に移動させる（ステップＳ１９）。そして、トラック側搬送基台２５がホイールコンベア３付近まで来ると、トラック制御部２８は、トラック側スライドアクチュエータ１３の動きを止める。
【0090】
トラック制御部２８は、続けてフリップアクチュエータ１８を駆動してフリップ１７を倒す（ステップＳ２０）。フリップ１７を水平姿勢まで倒すと、フリップ１７の各支持板２０をホイール軸５の間に入り、フリップ１７に支持されていたガラス板２がホイールコンベア３の停止位置に載せられる。トラック制御部２８は、フリップ１７を水平姿勢まで倒れたところでフリップアクチュエータ１８の動きを止める。ホイールコンベア３にガラス板２が載ると、コンベア用制御装置は、突出していたストッパ６を降ろし、ホイール軸５を駆動してガラス板２を下流側へと移動させる。そして次に上流側から移動してくるガラス板２をラック３２に収納すべくステップＳ１に戻る。このようにしてガラス板２の搬入及び搬出が繰り返し行われる。
【0091】
このようにストッカ設備１では、フリップ１７とラック３２との間において、トラック側搬送基台２５及びラック側搬送基台５４によりガラス板２を受け渡しすることで、ガラス板２をラック３２に収納することができる。この際、ガラス板２がフリップ１７により支持されているので、ガラス板２を倒すことなく立てた状態でラック３２に収納することができる。また、ラック３２に立てた状態で収納されるガラス板２をトラック側搬送基台２５及びラック側搬送基台５４によりフリップ１７に受け渡することができ、ラック３２からガラス板２を取り出すことができる。
【0092】
このようにトラック側搬送基台２５及びラック側搬送基台５４によりガラス板２を左右方向に移動させて受け渡しするので、ガラス板２を搬入及び搬出する際に、従来技術のようにトラックロボット１０をラック３２内に挿入する必要がない。これにより、ストッカ設備１の設置面積を低減すべくガラス板２同士の間隔を狭くしてガラス板２の収納ピッチを密にしても、２つのガラス板２の間に新たなガラス板２を搬入し、又は並んでいる複数のガラス板２の中から何れのガラス板２でも搬出する際に従来技術のように収納されたガラス板２とエンドエフェクトとが接触して損傷させることがない。それ故、確実にかつ迅速にラック３２に対するガラス板２の搬入及び搬出を行なうことができる。
【0093】
また、ガラス板２が太陽光パネルや液晶パネルの場合、様々な構成がガラス板２の一表面に集められているので、ガラス板２の裏側だけに触れることができる。本実施形態のストッカ設備１では、ホイールコンベア３上を移動するガラス板２をトラックロボット１０が下から掬って立て、そしてその状態でガラス板２を動かすようになっているので、フリップ１７がガラス板２の上面（又は前面）に触れることがない。それ故、ストッカ設備１では、ガラス板２をその一表面を上（又は前）にしてホイールコンベア３とラック３２との間を移動させることができ、ガラス板２上の構成を損傷させることなくガラス板２を移動させることができる。
【0094】
また、本実施形態のストッカ設備１では、ラック３２側にトラックロボット１０と別の搬送用ロボットが備わっているので、トラックロボット１０を左右にスライドさせてラック３２の収納部分はおろかそれ以外の部分、つまりラック隔壁３２の何れの部分にも挿入する必要がない。それ故、トラックロボット１０をラック３２内に挿入する時間を省くことができる。これにより、一枚当りのラック３２に対するガラス板２の搬入及び搬出時間を短くすることが可能になる。
【0095】
更に、本実施形態のストッカ設備１では、トラックロボット１０の左右両側にラック３２の列を配置し、ラック３２毎にラックロボット４０が設けられ、各ラックロボット４０は、全て独立して動作するように構成されている。例えば、同じ列にある別のラック３２からガラス板２を搬出する場合、ラック側搬送基台５４を一旦待機位置に降ろしてから収納位置まで移動させ、再度搬送位置に上げる必要がある。しかし、トラックロボット１０の左側にあるラック３２にガラス板２を搬入し、その後、右側にあるラック３２からガラス板２を搬出する場合、各ラックロボット４０を独立して動かすことで、左側にあるラックロボット４０が搬入動作をしている間に右側のラックロボット４０を搬出すべきガラス板２の収納位置に位置させておくことができる。これにより、ラック側搬送基台５４を昇降させて移動させる時間の分だけ搬出時間を短縮することができる。
【0096】
また、本実施形態のストッカ設備１では、ラック側昇降アクチュエータ５８によりトラック側搬送基台２５を昇降させることで、ガラス板２を下桁３３ａやセパレータ３４より高く位置させることができる。これにより、ラック３２に対してガラス板２を搬入及び搬出する際にガラス板２が下桁３３ａやセパレータ３４と擦れながら移動することを防ぐことができる。これにより、ガラス板２が傷ついたり、擦れて粉塵が発生したりすることを防ぐことができる。また、収納位置においてガラス板２をガラス板２をゆっくり昇降させるので、下降時にガラス板２が下桁３３ａに強く当たって破損し、また上昇時にガラス板２がラック側搬送基台５４に強く当たって破損することを防ぐことができる。
【0097】
更に、本実施形態のストッカ設備１において、ラック側搬送基台５４が搬送位置まで上昇すると、複数の下桁３３ａの間やその横から取付部５４ａが突出し、下桁３３ａより高いところにローラ２６の上面が位置する。これにより、ラック３２内でもガラス板２を左右方向にスムーズに移動させることができ、ラック３２とフリップ１７との間のガラス板２の受け渡しをスムーズに行うことができる。
【0098】
本実施形態のストッカ設備１では、フリップ１７が複数の球面ローラ２１によりガラス板２を支持している。それ故、ローラ２６によりガラス板２をスライド移動させる際、ガラス板２をフリップ１７に立て掛けたままスライド移動させても滑らかに動かすことができる。これによりラック３２とフリップ１７との間でガラス板２を受け渡しする際、ガラス板２が倒れることを防ぐことができる。また、フリップ１７の支持板２０上を摺動させるとガラス板２が損傷したり、粉塵が発生したりするが、そのようなことも防ぐことができる。
【0099】
更に、本実施形態のストッカ設備１では、トラック側走行基台１４によりフリップ１７及びトラック側搬送機構２４を一緒に動かすことができるので、フリップ１７とトラック側搬送機構２４との間の位置あわせが不要であるので、動作プログラムを容易にすることができる。また、一緒に動かすことで、フリップ１７とトラック側搬送機構２４とを別々に動かす場合に比べて部品点数を低減することができ、製造コストを低減することができる。
【0100】
なお、本実施形態のストッカ設備１では、図示していないがトラック側走行基台１４にヒンジ昇降機構が取り付けられていてもよい。ヒンジ１５は、このヒンジ昇降機構を介してトラック側走行基台１４に取付けられており、ヒンジ昇降機構によってヒンジ１５が昇降するようになっている。ヒンジ昇降機構は、支持板２０の上面２０ａがホイールコンベア３の上面より上に位置するまでヒンジ１５を上昇させ、また前記支持板２０の上面２０ａがホイールコンベア３の上面より下に位置するまでヒンジ１５を下降させる。
【0101】
具体的には、ホイールコンベア３からガラス板２を取る際、フリップ１７を回動させる前にヒンジ１５を上昇させることで、フリップ１７を回動させることなくその上にガラス板２を載せることができる。また、逆にホイールコンベア３にガラス板２を置く際、フリップ１７を水平状態にしてヒンジ１５を下降させることで、ホイールコンベア３に載せることができる。このようにガラス板２をホイールコンベア３に取り置きすることでガラス板２を水平状態のままフリップ１７に載せることができ、取り置きする際にガラス板２が傾くことを防ぐことができる。
【0102】
また、本実施形態のストッカ設備１では、センサ６０によりトラック側搬送基台２５とラック側搬送基台５４とが左右一列に並んでいることが検出さないとガラス板２の受け渡しを行なわないようになっている。それ故、ガラス板２の受け渡しが上手くいかずにガラス板２が底桁３３ａのところに落ちて損傷したり、また底桁３３ａに摺りながら移動して粉塵が生じたりすることを防ぐことができる。
【0103】
[第２実施形態]第２実施形態のストッカ設備１Ａは、第１実施形態のストッカ設備１と構成が類似している。そこで、第２実施形態のストッカ設備１Ａの構成については、第１実施形態のストッカ設備１の構成と異なる点についてだけ説明し、同じ点については同一の符号を付して説明を省略する。第３及び第４実施形態も同様である。
【0104】
第２実施形態のストッカ設備１Ａのトラックロボット１０Ａは、隣接する２つの支持板２０の間に補助板２０Ａが設けられている。補助板２０Ａは、支持板２０より短く形成されているが、その長さを除いて支持板２０と同じように構成されおり、その前面に複数の球面ローラ２１を有している。この補助板２０Ａを設けることで、第１実施形態で示す大型のガラス板２だけでなく、横幅がガラス板２の横幅の半分しかないハーフサイズのガラス板２Ａ（図２３参照）や横幅及び高さがガラス板２のそれの半分しかないクォータサイズのガラス板（図示せず）を２枚同時にフリップ１７に載せて、各ガラス板２Ａを別々のラック３２に収納することができる。以下では、フリップ１７に載せられた２枚のガラス板２Ａを別々のラック３２に収納し、更に他のラック３２から２枚のガラス板２Ａを同時に取り出す場合について図２４のダイヤフラム図を参照しながら説明する。なお、図２４のダイヤフラム図の各欄に記載される内容は、図１２と同様であるので、説明は省略する。
【0105】
＜ガラス板の収納動作＞トラック制御部２８及びラック制御部５９は、まず第１実施形態のストッカ設備１におけるステップＳ１〜Ｓ９と同様の制御を行う。つまり、ホイールコンベア３上を移動する２枚のガラス板２Ａをストッパ６で止め（ステップＳ３１）、トラック制御部２８は、フリップ１７を前方に回動させて起こして２枚のガラス板２Ａをその上に載せる（ステップＳ３２）。更に、トラック制御部２８は、フリップ１７の傾きが角度αになるまでフリップ１７を起こしながらトラック側走行基台１４を収納位置まで移動させる（ステップＳ３３）。
【0106】
他方、ラック制御部５９は、トラック制御部２８の制御に平行して、ラック側搬送基台５４を収納位置までスライドさせ（ステップＳ３４）、更に収納位置に来た後、ラック側搬送基台５４を搬送位置まで上昇させる（ステップＳ３５）。トラック側搬送基台２５が収納位置の前に辿り着き、ラック側搬送基台５４が搬送位置まで上昇したところでこれらが一列に並んだことを示す信号がセンサ６０から制御装置２９に送信される。それに伴って、トラック制御部２８は、フリップ１７の傾きが角度βになるまで再度フリップ１７を起こす（ステップＳ３６）。フリップ１７の傾きが角度βになると、トラック制御部２８は、支持部２２を降ろしてガラス板２Ａをトラック側搬送基台２５のローラ２６に載せ（ステップＳ３７）、ローラ２６を回動させる（ステップＳ３８）。ラック制御部５９もまた、ローラ２６に同期させてラック側搬送基台５４のローラ５５を回動させており（ステップＳ３９）、これにより１枚のガラス板２Ａがフリップ１７からラック３２に受け渡される。
【0107】
ガラス板２Ａが受け渡されてその全体がラック側搬送基台５４のローラ２６の上面に載ると、ラック制御部５９は、ラック側昇降アクチュエータ５８を駆動してラック側搬送基台５４を降ろし、ガラス板２Ａを下桁３３ａに載せる（ステップＳ４０）。これにより、１枚のガラス板２Ａの収納動作が完了する。なお、ラック制御部５９は、収納動作が完了した後もラック側搬送基台５４を待機位置まで降ろし、次のガラス板２Ａの取り出し作業又は搬入作業に備える。
【0108】
１枚のガラス板２Ａを受け渡し、もう１枚のガラス板２Ａがトラック側搬送基台２５のローラ２６の上面に載った状態で、トラック制御部２８は、リフトシリンダ２３を駆動して支持部２２を上昇させ、もう一枚のガラス板２Ａをローラ２６から持ち上げる（ステップＳ４１）。持ち上げた後、トラック制御部２８は、続けてフリップアクチュエータ１８を駆動してフリップ１７の傾きが角度αになるまでフリップ１７を回動させる（ステップＳ４２）。フリップ１７の傾きが角度αになったところで、トラック制御部２８は、トラック側スライドアクチュエータ１３を駆動し、別の収納位置の前までトラック側搬送基台２５を移動させる（ステップＳ４３）。
【0109】
他方、ラック制御部５９は、その後、ラック側スライドアクチュエータ５０を駆動してラック側搬送基台５４を収納位置まで移動させる（ステップＳ４４）。収納位置まで来たところで、ラック制御部５９は、ラック側昇降アクチュエータ５８を駆動してラック側搬送基台５４を搬送位置まで上昇させる（ステップＳ４５）。トラック側搬送基台２５が収納位置の前に辿り着き、ラック側搬送基台５４が搬送位置まで上昇したところでこれらが一列に並んだことを示す信号がセンサ６０から制御装置２９に送信される。それに伴って、トラック制御部２８は、フリップアクチュエータ１８を駆動してフリップ１７の傾きが角度βになるまで再度フリップ１７を回動させる（ステップＳ４６）。
【0110】
フリップ１７の傾きが角度βになると、トラック制御部２８は、支持部２２を降ろしてガラス板２Ａをトラック側搬送基台２５のローラ２６に載せ（ステップＳ４７）、ローラ２６を回動させる（ステップＳ３８）。ラック制御部５９もまた、ローラ２６に同期させてラック側搬送基台５４のローラ５５を回動させており（ステップＳ４９）、これによりもう１枚のガラス板２Ａもまたフリップ１７からラック３２に受け渡される。ガラス板２Ａがラック３２内に受け渡されてガラス板２Ａの全体がラック側搬送基台５４のローラ５５の上面に載ると、ラック制御部５９は、ラック側昇降アクチュエータ５８を駆動してラック側搬送基台５４を降ろし、ガラス板２Ａを下桁３３ａに載せる（ステップＳ５０）。なお、ラック制御部５９は、収納動作が完了した後もラック側搬送基台５４を待機位置まで降ろし、次のガラス板２Ａの取り出し作業又は搬入作業に備える。＜ガラス板の取り出し動作＞
ラック側搬送基台５４を降ろしている間、トラック制御部２８は、トラック側スライドアクチュエータ１３を駆動し、２枚のガラス板２Ａが左右に並べて収納された収納位置までトラック側搬送基台２５を移動させる（ステップＳ５１）。ラック制御部５９は、ラック側搬送基台５４を待機位置まで降ろした後、トラック制御部２８の制御に並行してラック側スライドアクチュエータ５０を駆動し、ラック側搬送基台５４を収納位置へと移動させる（ステップＳ５２）。ラック制御部５９は、続けてラック側昇降アクチュエータ５８を駆動し、ラック側搬送基台５４を搬送位置まで上昇させてローラ５５の上面にガラス板２Ａを載せる（ステップＳ５３）。
【0111】
ラック側搬送基台５４が搬送位置まで達すると、ラック側搬送基台５４とトラック側搬送基台２５とが左右方向に一列に並び、そのことがセンサ６０から制御装置２９に送信される。これを受信した制御装置２９はローラ２６，５５が一列に並んだと判断し、ラック制御部５９がラック側ローラアクチュエータ５６を駆動してローラ５５を回動させる（ステップＳ５４）。トラック制御部２８もまた、ローラ５５に同期させて、トラック側搬送基台２５のローラ２６を回動させており（ステップＳ５５）、これにより２枚のガラス板２Ａがラック３２からフリップ１７へと受け渡される。
【0112】
２つのガラス板２Ａがフリップ１７に受け渡されてそれらの全体がトラック側搬送基台２５に載ると、トラック制御部２８は、第１実施形態のストッカ設備１のステップＳ１６〜ステップＳ２１と同様の制御を行う。つまり、トラック制御部２８は、支持部２２をゆっくりと上昇させて２枚のガラス板２Ａをローラ２６から上方に離し（ステップＳ５６）、フリップ１７をその傾きが角度αになるまで後方に倒す（ステップＳ５７）。フリップ１７を角度αまで倒した後、トラック制御部２８は、トラック側搬送基台２５をホイールコンベア３付近まで移動させ（ステップＳ５８）、更にフリップ１７を水平姿勢まで倒してホイールコンベア３上に２枚のガラス板２Ａを載せる。２枚のガラス板２Ａがホイールコンベア３上に載せられると、コンベア用制御装置は、突出していたストッパ６を降ろし、ホイール軸５を駆動してガラス板２を下流側へと移動させる。そして、次に上流から移動してくるガラス板２又はガラス板２Ａをラック３２に収納すべくステップＳ１又はステップＳ３１に戻り、ガラス板２，２Ａの搬入及び搬出が繰り返し行われる。
【0113】
このように本実施形態のストッカ設備１Ａでは、２枚のガラス板２Ａを同時にフリップ１７に載せ、それらを別々のラック３２に収納することができる。またラック３２の１つの収納位置に２枚並べて収容されているガラス板２Ａを同時に搬出することができる。それ故、ガラス板２Ａの搬入及び搬出時間を短縮することができる。
【0114】
また、本実施形態のストッカ設備１では、ラックロボット４０によりラック３２に収納されているガラス板２Ａの左右方向に動かしてその位置を変えることができる。これにより、ガラス板２Ａが予め収納された収納位置に更にもう１枚のガラス板２Ａを収納する場合、収納されているガラス板２Ａを左右に動かしてその位置を予め調整しておくことで、その収納位置にもう１枚のガラス板２Ａを左右に並ぶように後から収納することができる。このように後からガラス板２Ａの左右の位置を調整できるので、ガラス板２Ａをラック３２に収容する時にその位置をきっちりと決めておく必要がなく、収納位置に２枚のガラス板２Ａを並べて収容する際の制御が容易である。
【0115】
その他、ストッカ設備１Ａは、第１実施形態のストッカ設備１と同様の作用効果を奏する。
【0116】
このように構成される第１及び第２実施形態のストッカ設備１，１Ａにおいて、ラックロボット４０は、トラックロボット１０より構成部材が少ないので、トラックロボット１０よりも素早く動かすことができる。また、ラックロボット４０は、トラックロボット１０に対して独立して動作することができる。それ故、トラックロボット１０からラックロボット４０にガラス板２を受け渡した後、ラックロボット４０よりもトラックロボット１０を先に次の搬出位置に向かって動かすことで、ガラス板２，２Ａの搬出時間を短縮することができる。以下では、１８Ａよりも搬出時間を更に短縮できる第３実施形態に示す。［第３実施形態］
第３実施形態のストッカ設備１Ｂでは、トラックロボット１０Ｂが更に昇降機構を有している。トラック側搬送基台２５は、このトラック側昇降機構を介してトラック側走行基台１４の前部に取付けられている。トラック側昇降機構は、トラック側昇降アクチュエータ７１により構成されている。トラック側昇降アクチュエータ７１は、例えば空気圧シリンダから成り、トラック側搬送基台２５を上下に昇降可能に構成されている（図２６参照の矢符Ｈ参照）。
【0117】
ストッカ設備１Ｂでは、ガラス板２，２Ａを搬出及び搬入する際、図１２及び図２４に示すような制御手順と略同じ手順でトラックロボット１０Ｂ及びラックロボット４０の動作を制御している。以下では、制御手順が異なる点についてだけ説明する。
【0118】
ストッカ設備１Ｂでは、ガラス板２，２Ａをトラック側搬送基台２５からラック側搬送基台５４を送り（例えばステップＳ８〜Ｓ９、ステップＳ３８〜Ｓ３９、又はステップＳ４８〜Ｓ４９）、ガラス板２，２Ａの少なくとも半分がラック側搬送基台５４に乗り移ったときにトラック側昇降アクチュエータ７１を駆動し、トラック側搬送基台２５を下降させる。これにより、トラック側搬送基台２５がガラス板２，２Ａから離れる。離れた後、トラック制御部２８は、トラック側スライドアクチュエータ１３を駆動し、ラック側搬送基台５４より先にトラック側搬送基台２５を次の収納位置の前に向かって移動させる。このように先に動きの遅いトラック側搬送基台２５を動かしておくことで、ガラス板２，２Ａの搬出時間を大幅に短縮することができる。
【0119】
その他、第３実施形態のストッカ設備１Ｂは、第１実施形態のストッカ設備１と同様の作用効果を奏する。
【0120】
［第４実施形態］第４実施形態のストッカ設備１Ｃでは、トラックロボット１０Ｃがトラック側搬送基台２５を有しておらず、その代わりにラックロボット４０Ｃにラック側トラバース機構７２を有している。ラック側トラバース機構７２は、ラック側走行基台４６に設けられており、ボールねじ機構等によって構成されるラック側トラバースアクチュエータ７３を有している。搬送機構であるラック側搬送機構５１では、ラック側搬送基台５４Ｃがこのラック側トラバース機構７２を介してラック側走行基台４６に取付けられている。ラック側トラバースアクチュエータ７３は、待機位置に位置するラック側搬送基台５４Ｃを左右方向に横移動可能（図２７の矢符Ｉ参照）に構成されており、ラック側搬送基台５４Ｃは、横移動させることでフリップ１７を有するトラックロボット１０Ｃ側とラック３２側との間を架け渡すように横方向に延在する（図２７参照）。
【0121】
このような構成を有するストッカ設備１Ｃでは、ラック側走行基台４６を収納位置まで移動させ、またフリップ１７を収納位置の前まで移動させると、ラック制御部５９がラック側トラバースアクチュエータ７３によりフリップ１７の支持部２２の下方位置までラック側搬送基台５４Ｃを横移動させ、更にラック側昇降アクチュエータ５８によりラック側搬送基台５４Ｃを上昇させる。上昇させた後、トラック制御部２８がリフトシリンダ２３により支持部２２を下降させることで、ラック側搬送基台５４Ｃのローラ５５の上面にガラス板２が載置される。
【0122】
この状態でラック側ローラアクチュエータ５６を駆動すると、フリップ１７にもたれかかっていたガラス板２がラック３２内へと送られる。ガラス板２の全体がラック３２内に収容されたところでラック側昇降アクチュエータ５８によりラック側搬送基台５４Ｃを下降させると、ガラス板２が隣接する２つのセパレータ３４の間に挿入され、やがて下桁３３ａに載せられる。これによりガラス板２がラック３２に収納される。
【0123】
このように構成されるストッカ設備１Ｃは、トラックロボット１０Ｃに備わる構成を少なくすることができるので、トラックロボット１０Ｃの重量を低減することができる。これにより、トラックロボット１０Ｃの動きを素早くすることができ、ガラス板２の搬入時間及び搬出時間を短縮することが可能になる。
【0124】
その他、第４実施形態のストッカ設備１Ｃは、第１実施形態のストッカ設備１と同様の作用効果を奏する。
【0125】
［その他の実施形態］本実施形態において、トラック側走行基台１４を動かす際、ガラス板２が支持板２０に支持されているだけであるが、支持板２０に吸着機構を設けてガラス板２を吸着するようにしてもよい。また、吸着機構でなくチャック等を設けて、トラック側走行基台１４を動かすときだけガラス板２をフリップ１７に把持させるような構成であってもよい。
【0126】
また、本実施形態では、トラック側走行基台１４を動かす際のフリップ１７の傾きを角度αにしているが、必ずしもそのような角度に摺る必要はない。フリップ１７の傾きを角度βにしてもよい。この際、制御装置２９がスライド装置１１の動作を制御し、トラック側走行基台１４の移動速度を遅くすることによってガラス板２が引き起こす風の風量を抑えることができる。
【0127】
また、前述するようにローラ２６は、ローラに限らず、ベルト機構であってもよく、ガラス板２を左方向又は右方向にスライド移動させることができる構成であればよい。また、本実施形態では、フリップ１７を角度αまで起こしたり倒したりしてからトラック側走行基台１４をスライド移動させているが、トラック側走行基台１４をスライド移動する際、必ずしもそのような動作をする必要はない。フリップ１７を倒したままトラック側走行基台１４をスライド移動させて収納位置の前に到着した後に角度βまで起こしてもよい。また、収納されたガラス板２を受け取った後、フリップ１７を角度βにしたままトラック側走行基台１４をスライド移動させてもよい。
【0128】
また、ラック３２には、案内ローラ３５が設けられているが、必ずしもローラである必要ない。例えば、セパレータ３４のような構成であってもよく、隣接して収納される２つのガラス板２を離しておくことができるような構成であればよい。またラック３２も上述するような形状でなくてもよい。
【0129】
本実施形態では、トラック側搬送機構２４が２つのラック３２の間に設けられているが、必ずしもその位置に限定されず、例えば、ラック３２の下に設けられてもよい。この場合、各ラック３２の下にトラック側走行基台１４と同じ構成を有する別の移動装置が設けられ、トラック側搬送機構２４は、この動送装置により前後方向に移動可能に構成されている。この場合、トラック側走行基台１４と移動装置により移動機構が構成されている。このように構成されるストッカ設備では、トラック側搬送機構２４のトラック側搬送基台２５がラック３２の下からフリップ１７の方へとスライド移動し、トラック側搬送基台２５によってラック３２とフリップ１７との間の受け渡しすることができる。
【産業上の利用可能性】
【0130】
本発明は、複数の板状部材を立てた状態で並べて収納可能なラックと、前記ラックに板状部材を挿入したり、前記ラックから板状部材を取り出したりする板状部材移載機構とを備えるストッカ設備に適用することができる。
【符号の説明】
【0131】
１，１Ａ〜１Ｃ ストッカ設備２，２Ａ ガラス板
１０，１０Ａ〜１０Ｃ トラックロボット
１１ スライド装置
１６ フリップ回動機構
１７ フリップ
２１ 球面ローラ
２２ 支持部
２４ トラック側搬送機構
２６ ローラ
３２ ラック
３３ａ 底桁
４０，４０Ｃ ラックロボット
４１ ラック側移動機構
５１ ラック側搬送機構
５５ ローラ
６０ センサ