特許 5793467 クランプ装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5793467

(24)【登録日】2015年8月14日

(45)【発行日】2015年10月14日

(54)【発明の名称】クランプ装置

(51)【国際特許分類】

   B23Q 3/06 20060101AFI20150928BHJP

   B23Q 3/18 20060101ALI20150928BHJP

【ＦＩ】

   B23Q3/06 304F

   B23Q3/18 B

【請求項の数】3

【全頁数】15

(21)【出願番号】特願2012-122197(P2012-122197)

(22)【出願日】2012年5月29日

(65)【公開番号】特開2013-244585(P2013-244585A)

(43)【公開日】2013年12月9日

【審査請求日】2014年1月8日

(73)【特許権者】

【識別番号】000106760

【氏名又は名称】ＣＫＤ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100068755

【弁理士】

【氏名又は名称】恩田 博宣

(74)【代理人】

【識別番号】100105957

【弁理士】

【氏名又は名称】恩田 誠

(72)【発明者】

【氏名】中井 政司

(72)【発明者】

【氏名】多田 昌弘

【審査官】 五十嵐 康弘

(56)【参考文献】

【文献】 特開平０５−２２８６４０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０７−２７６１７９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００５−３２４３１８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００８−３０７５７３（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｂ２３Ｑ ３／０６

Ｂ２３Ｑ ３／１８

Ｂ２３Ｑ １１／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

ワークに形成されたクランプ孔に挿通されて該ワークを位置決めするロケートピンと、
前記ロケートピンを上部に支持する支持筒と、
前記ロケートピンによって位置決めされた前記ワークが着座可能な着座部と、
前記ロケートピン内に形成された収容孔と、
前記ロケートピンに形成され、前記収容孔を外部に開口させる開口部と、
前記収容孔、及び前記支持筒の内部空間において上下動可能に設けられるとともに前記開口部から前進及び後退可能に設けられ、前記前進側のクランプ位置では前記開口部から前記ロケートピン外に突出し、前記着座部に着座した前記ワークをクランプするクランプアームと、
前記クランプアームに動力伝達機構を介して連結され、前記クランプアームを上下動させる駆動源と、
前記動力伝達機構よりも上側で、かつ前記クランプアームとは別体に設けられた磁性体よりなるスパッタ磁着手段と、を有し、
前記スパッタ磁着手段は、前記支持筒の内面に設けられた磁石であり、前記支持筒には前記磁石に対し摺接可能に設けられ、前記磁石に磁着したスパッタを前記磁石から除去するための排出プレートが設けられているクランプ装置。

【請求項2】

前記排出プレートは、前記クランプアームに連動する請求項１に記載のクランプ装置。

【請求項3】

前記磁石は、前記支持筒の軸方向に複数設けられている請求項１又は請求項２に記載のクランプ装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、クランプ位置では開口部からロケートピン外に突出し、着座部に着座したワークをクランプするクランプアームと、クランプアームを上下動させる駆動源と、を有するクランプ装置に関する。

【背景技術】

【0002】

例えば、自動車製造ラインにおいて、パネル材等のワークを溶接する際、ワークはクランプ装置によって位置決めされる。クランプ装置において、溶接の際に発生したスパッタがクランプ装置内に入り込んでしまうと、クランプ装置に動作不良が発生してしまうため、動作不良を防止するため、スパッタの侵入防止が図られている。このようなクランプ装置としては、例えば特許文献１が挙げられる。図７に示すように、クランプ装置８０は、エアシリンダ８１と、このエアシリンダ８１に支持された支持筒８２と、この支持筒８２に支持されたロケートピン８３と、を備えている。ロケートピン８３内には、長孔空間８４が形成されるとともに、長孔空間８４に連通する逃がし孔８５が形成されている。長孔空間８４と、支持筒８２内の内部空間８２ａには、クランプレバー８６が上下動可能に収容されている。このクランプレバー８６は、エアシリンダ８１に作動連結されている。

【0003】

スパッタの侵入防止を図るガード部材８７は板バネよりなり、クランプ側先端部８７ａが、クランプレバー８６先端のクランプ部８６ａに固定されるとともに、下端部８７ｂが逃がし孔８５の内部に固定されている。このガード部材８７は、クランプレバー８６の移動に合わせて変形可能になっている。そして、クランプレバー８６によってワーク９０がクランプされたときは、ロケートピン８３における着座面８３ａと、クランプ部８６ａとがそれぞれワーク９０に密着している。また、ガード部材８７が変形し、そのガード部材８７及びクランプレバー８６により、外部と支持筒８２側の空間との連通が遮断され、スパッタがクランプ装置８０内に入り込むことが防止される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２００９−２４８２５５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

特許文献１のクランプ装置８０において、ガード部材８７はクランプ時に変形してスパッタのクランプ装置８０内への侵入を防止する。このため、クランプ装置８０の長期に亘る使用によりガード部材８７の変形が繰り返されると、ガード部材８７に劣化や損傷が発生し、ガード部材８７によるスパッタの侵入防止機能が低下する結果、スパッタによるクランプ装置８０の動作不良が発生してしまう恐れがある。

【0006】

本発明は、クランプ時に変形することのないスパッタ磁着手段によってスパッタを磁着して、スパッタによる動作不良を防止することができるクランプ装置を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上記問題点を解決するために、請求項１に記載の発明は、ワークに形成されたクランプ孔に挿通されて該ワークを位置決めするロケートピンと、前記ロケートピンを上部に支持する支持筒と、前記ロケートピンによって位置決めされた前記ワークが着座可能な着座部と、前記ロケートピン内に形成された収容孔と、前記ロケートピンに形成され、前記収容孔を外部に開口させる開口部と、前記収容孔、及び前記支持筒の内部空間において上下動可能に設けられるとともに前記開口部から前進及び後退可能に設けられ、前記前進側のクランプ位置では前記開口部から前記ロケートピン外に突出し、前記着座部に着座した前記ワークをクランプするクランプアームと、前記クランプアームに動力伝達機構を介して連結され、前記クランプアームを上下動させる駆動源と、前記動力伝達機構よりも上側で、かつ前記クランプアームとは別体に設けられた磁性体よりなるスパッタ磁着手段と、を有し、前記スパッタ磁着手段は、前記支持筒の内面に設けられた磁石であり、前記支持筒には前記磁石に対し摺接可能に設けられ、前記磁石に磁着したスパッタを前記磁石から除去するための排出プレートが設けられていることを要旨とする。

【0008】

これによれば、ワークの溶接時に、スパッタが開口部を介してクランプ装置内に侵入しても、動力伝達機構よりも上側でスパッタ磁着手段にスパッタが磁着される。したがって、スパッタが動力伝達機構に達することを防止することができ、スパッタによって駆動源が動作不良を起こすことが防止できる。そして、スパッタ磁着手段は、クランプアームとは別体であるため、ワークをクランプするためにクランプアームが移動しても、スパッタ磁着手段は変形することも、クランプアームが接触することもない。したがって、クランプ装置が長期に亘って使用されてもスパッタ磁着手段が損傷を受けたり、変形することがなく、スパッタ磁着手段によるスパッタ磁着機能を発揮し続けることができる。また、排出プレートによって磁石からスパッタを除去して、磁石にスパッタが堆積することを防止することができる。

【0009】

請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のクランプ装置において、前記排出プレートは、前記クランプアームに連動することを要旨とする。

【0010】

これによれば、クランプ装置の動作時は、排出プレートによってスパッタを磁石から除去し続けることができ、磁石上にスパッタが堆積することを防止することができる。
請求項３に記載の発明は、請求項１又は請求項２に記載のクランプ装置において、前記磁石は、前記支持筒の軸方向に複数設けられていることを要旨とする。

【0011】

これによれば、複数段で磁石を設けることで、駆動源に達するスパッタを無くすことができる。

【発明の効果】

【0013】

本発明によれば、クランプ時に変形することのないスパッタ磁着手段によってスパッタを磁着して、スパッタによる動作不良を防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【0014】

【図1】第１の実施形態のクランプ装置を示す断面図。

【図2】クランプレバーによってワークをクランプした状態を示す部分断面図。

【図3】第２の実施形態のクランプ装置を示す部分断面図。

【図4】第３の実施形態において（ａ）は排出プレートを前進させた状態を示す部分断面図、（ｂ）は排出プレートでスパッタを押し出した状態を示す部分断面図。

【図5】第４の実施形態のクランプ装置を示す部分断面図。

【図6】クランプ装置の別例を示す部分断面図。

【図7】背景技術を示す図。

【発明を実施するための形態】

【0015】

（第１の実施形態）
以下、本発明を具体化した第１の一実施形態を図１〜図２にしたがって説明する。
図１に示すように、クランプ装置１０には、その下部に駆動源としてのエアシリンダ１１が設けられている。エアシリンダ１１には、その上端（先端）に支持筒１２の下端（基端）が固着されている。エアシリンダ１１において、外郭を構成する有底筒状のシリンダ本体１４内には、ピストン１５がシリンダ本体１４の軸方向（図１では矢印Ｙに示す上下方向）に沿って摺動可能に収容されている。また、シリンダ本体１４内の支持筒１２側には円環状のロッドカバー１４ａが装着されている。

【0016】

ピストン１５は、シリンダ本体１４の内部空間をロッドカバー１４ａ側の第１圧力作用室１６と、シリンダ本体１４の底側の第２圧力作用室１７と、に区画している。第１圧力作用室１６には、シリンダ本体１４に形成された第１流体給排用ポート（図示せず）を介してエアが給排される。一方、第２圧力作用室１７には、シリンダ本体１４に形成された第２流体給排用ポート１８を介してエアが給排される。ピストン１５の中央部には、ピストン１５から第１圧力作用室１６に向けて延びる出力ロッド１９が連結されている。ロッドカバー１４ａの内周面には、ロッドカバー１４ａの内周面と出力ロッド１９との間からのエア漏れを防止するシール部材１４ｃが装着されている。また、支持筒１２において、ロッドカバー１４ａより上側には、エアーを吹き込み可能なエアブロー孔１２ｇが対向する位置に一対形成されている。

【0017】

支持筒１２の上端には、円筒状をなすロケートピン２１が支持されるとともに、このロケートピン２１には有鍔円筒状のカバー部材２２が外装されている。ロケートピン２１は、カバー部材２２の内部を貫通して、軸方向（上下方向）に延びるように設けられている。ロケートピン２１には、その下端（基端）の外周部に、平面視長方形状のフランジ部２１ａが一体に設けられるとともに、このフランジ部２１ａは支持筒１２の上端に支持されている。また、ロケートピン２１内には、ロケートピン２１の軸方向（上下方向）に延びる収容孔２１ｂが形成されている。

【0018】

収容孔２１ｂは支持筒１２の内部空間１２ａに連通している。また、ロケートピン２１の周壁には開口部２１ｃが形成されるとともに、この開口部２１ｃは、カバー部材２２の上端面より上側においてロケートピン２１の外側に向けて開口している。なお、ロケートピン２１の周壁において、開口部２１ｃの反対側は開口しておらず、ロケートピン２１の周壁によって閉鎖されている。

【0019】

カバー部材２２の下端（基端）外周部には、平面視略円形状のフランジ部２２ａが設けられている。カバー部材２２の上端面（先端面）は、ロケートピン２１の下端（基端）側に位置するとともにワークが着座する着座部２２ｂとして構成されている。着座部２２ｂは平面視円環状に形成されている。

【0020】

支持筒１２の内部空間１２ａにはエアシリンダ１１の出力ロッド１９が突出している。出力ロッド１９の上端（先端）にはクランプアーム２３の下端（基端）が回動可能に連結されている。本実施形態では、出力ロッド１９が、エアシリンダ１１の動力をクランプアーム２３に伝達する動力伝達機構を構成している。クランプアーム２３の上側はロケートピン２１の収容孔２１ｂ内にまで延びている。クランプアーム２３の上端部（先端部）にはロケートピン２１の中心軸に対し直交する方向へ鉤型に延びるクランプ片２４が形成されている。そして、クランプアーム２３は、ロケートピン２１の収容孔２１ｂに出没可能に収容されている。

【0021】

クランプアーム２３には、その軸方向におけるほぼ中央部に、クランプアーム２３の軸方向へ細長に延びるガイド孔２５が形成されている。ガイド孔２５には両端が支持筒１２に固定されたガイドピン２６が挿通されている。ガイド孔２５は、全体的にはクランプアーム２３の下端側から上端側に向って、クランプ片２４の突出方向とは逆方向に斜めに延びるように形成される。

【0022】

支持筒１２の内周面において、ロケートピン２１の開口部２１ｃより下側で、かつ出力ロッド１９より上側には、スパッタ磁着手段としての磁石３０（磁性体）が装着されている。磁石３０は円環状をなすとともに、磁石３０の内側ではクランプアーム２３が磁石３０に接触することなく上下動可能に挿通されている。すなわち、クランプアーム２３が上下動する際、クランプアーム２３は磁石３０に接触しないようになっている。

【0023】

次に、クランプ装置１０の作用を記載する。
図１に示すように、クランプ装置１０がワークＷの投入を待っている状態では、クランプアーム２３は上昇した位置にあり、アンクランプ状態で待機している。このとき、第１流体給排用ポートは大気開放され、第２流体給排用ポート１８へはエアが供給されている。

【0024】

図２に示すように、ロケートピン２１がワークＷに形成されたクランプ孔Ｗａに挿入される。そして、ワークＷのクランプ孔Ｗａの周縁部が着座部２２ｂに着座すると、第１流体給排用ポートを介して第１圧力作用室１６にエアが供給されるとともに、第２流体給排用ポート１８から第２圧力作用室１７のエアが排出される。すると、ピストン１５及び出力ロッド１９が下降し、出力ロッド１９の下降に伴い、クランプアーム２３が下降する。そして、ガイドピン２６に対しガイド孔２５が摺接することにより、クランプアーム２３が下降しながらクランプ片２４が開口部２１ｃから前進し、ロケートピン２１より外へ突出する。

【0025】

すると、クランプアーム２３のクランプ片２４と、着座部２２ｂとの間に、ワークＷのクランプ孔Ｗａの周縁部がクランプされる。そして、第１流体給排ポートからエアが供給されて、クランプ装置１０によってワークＷがクランプされた状態が維持される。その後、ワークＷがクランプされた状態で、ワークＷが溶接される。ワークＷの溶接時に発生したスパッタＳは、開口部２１ｃにおいて、クランプアーム２３の後退側に開いた開口部２１ｃから収容孔２１ｂに侵入する。収容孔２１ｂにスパッタＳが侵入しても、スパッタＳは磁石３０の磁力によって、クランプアーム２３の後退側に位置する磁石３０に磁着され、磁石３０よりも下側（奥側）であるエアシリンダ１１側にスパッタＳが及ぶことが防止される。

【0026】

上記実施形態によれば、以下のような効果を得ることができる。
（１）クランプ装置１０において、エアシリンダ１１の出力ロッド１９より上側となる支持筒１２の内周面に磁石３０を装着するとともに、この磁石３０によってスパッタＳを磁着可能にした。このため、ワークＷの溶接時に、スパッタＳが開口部２１ｃを介して支持筒１２内に侵入しても、エアシリンダ１１より手前でスパッタＳが磁石３０に磁着され、エアシリンダ１１にスパッタＳが達することを防止することができる。このため、スパッタＳがエアシリンダ１１内に侵入して、出力ロッド１９とシール部材１４ｃとの間に入り込んでしまうことを防止することができる。その結果、シール部材１４ｃによるエア漏れを確実に防止して、エアシリンダ１１が動作不良を起こすことが防止できる。そして、磁石３０は、クランプアーム２３から離れた位置に配置され、ワークＷをクランプするためにクランプアーム２３が移動しても、磁石３０は変形することも、クランプアーム２３が接触することもない。したがって、クランプ装置１０が繰り返し使用されても磁石３０が損傷を受けたり、変形することがなく、磁石３０によるスパッタＳの磁着機能を発揮し続けることができる。

【0027】

（２）磁石３０を円環状に形成し、支持筒１２の内周面の周方向の全体に亘って延びるように配置したため、内部空間１２ａにおいて周方向のいずれの位置でも磁石３０によりスパッタＳを磁着することができる。

【0028】

（３）磁石３０は、クランプアーム２３に接触さえしなければよいため、その寸法を精度良く設定する必要がなく、クランプ装置１０の製造コストを抑えることができる。
（４）クランプアーム２３は、磁石３０に接触せずに上下動するため、磁石３０によるスパッタＳの磁着機能を発揮させつつ、クランプアーム２３の変形も無くすことができる。

【0029】

（第２の実施形態）
次に、本発明を具体化した第２の実施形態を図３にしたがって説明する。また、第１の実施形態と同一構成については同一符号を付すなどし、その重複する説明を省略又は簡略する。

【0030】

図３に示すように、支持筒１２には一対の連通孔１２ｄが、内部空間１２ａを挟んで対向する位置に形成されている。連通孔１２ｄのそれぞれには、スパッタ磁着手段としての磁石（磁性体）４０が挿通されている。磁石４０は、連通孔１２ｄに対し抜き差し可能になっている。磁石４０は、内部空間１２ａ側（先端側）の磁着部４０ａと、基端側の基部４０ｂと、から形成されている。磁着部４０ａは、連通孔１２ｄの孔径よりも小径をなすとともに、基部４０ｂより細く形成されている。このため、磁着部４０ａが連通孔１２ｄ内に引込まれると、磁着部４０ａと、連通孔１２ｄとの間には隙間が形成されるようになっている。基部４０ｂは、連通孔１２ｄの孔径より僅かに小径に形成され、基部４０ｂは連通孔１２ｄ内に摺接可能に支持されている。

【0031】

クランプ装置１０においては、磁石４０は、磁着部４０ａが内部空間１２ａ内に露出した状態で使用される。そして、ワークＷの溶接時に発生したスパッタＳは、開口部２１ｃにおいて、クランプアーム２３の後退側に開いた開口部２１ｃから収容孔２１ｂに侵入する。収容孔２１ｂにスパッタＳが侵入しても、スパッタＳは磁石４０の磁力によって磁着部４０ａに磁着され、磁石４０よりも奥であるエアシリンダ１１側にスパッタＳが及ぶことが防止される。また、クランプ装置１０の停止時、磁石４０を連通孔１２ｄから抜き取り、支持筒１２から取り外して、磁着部４０ａに磁着したスパッタＳを磁石４０から除去することができる。

【0032】

したがって、第２の実施形態によれば、第１の実施形態の（１）及び（４）と同様の効果に加え、以下の効果を得ることができる。
（５）磁石４０を支持筒１２に対し抜き差し可能かつ着脱可能にした。このため、磁石４０を支持筒１２の外側から取り外すことができ、クランプ装置１０とは別の位置で磁石４０からスパッタＳを除去することができる。

【0033】

（６）磁石４０の磁着部４０ａを連通孔１２ｄの孔径より小径に形成した。このため、磁石４０を支持筒１２から取り外すため連通孔１２ｄに引込んだ際、磁着部４０ａを連通孔１２ｄの内周面から離間させることができる。よって、磁着部４０ａに磁着したスパッタＳが連通孔１２ｄを通過する際に、連通孔１２ｄの内面で掻き取られてしまうことを防止することができる。

【0034】

（第３の実施形態）
次に、本発明を具体化した第３の実施形態を図４にしたがって説明する。また、第１の実施形態と同一構成については同一符号を付すなどし、その重複する説明を省略又は簡略する。

【0035】

図４（ａ）に示すように、支持筒１２において、磁石３０の上面より上側には一対の排出孔１２ｆが、内部空間１２ａを挟んで対向する位置に形成されている。また、クランプアーム２３には、環状をなす排出プレート４１が外装されている。排出プレート４１には、長孔４１ａが形成されている。そして、クランプアーム２３は、長孔４１ａ内で前進及び後退可能になっている。

【0036】

図４（ａ）に示すように、クランプアーム２３が前進してクランプ位置に位置したときは、クランプアーム２３は前進側で排出プレート４１を押して、排出プレート４１を前進させるようになっている。一方、図４（ｂ）に示すように、クランプアーム２３が後退してアンクランプ位置に位置したときは、クランプアーム２３は後退側で排出プレート４１を押して、排出プレート４１を後退させるようになっている。すなわち、排出プレート４１は、クランプアーム２３に連動して前進又は後退するようになっている。また、排出プレート４１は非磁性体（例えば、合成樹脂）によって形成されている。さらに、排出プレート４１は、磁石３０上に支持されるとともに、排出プレート４１の上面に摺接可能になっている。

【0037】

そして、クランプ装置１０においては、ワークＷの溶接時に発生したスパッタＳは、開口部２１ｃにおいて、クランプアーム２３の後退側に開いた開口部２１ｃから収容孔２１ｂに侵入する。収容孔２１ｂにスパッタＳが侵入しても、スパッタＳは磁石３０の上面に磁着される。

【0038】

クランプアーム２３の前進に合わせて排出プレート４１が前進する。すると、クランプアーム２３の後退側に位置する磁石３０上では、排出プレート４１は磁石３０上面との接触面積が減る方向へ移動する。そして、クランプ装置１０がアンクランプ状態に移行するためクランプアーム２３が後退すると、クランプアーム２３の後退側に位置する磁石３０上に磁着したスパッタＳは、排出プレート４１によって排出孔１２ｆに向けて押し出される。

【0039】

したがって、第３の実施形態によれば、第１の実施形態の（１）及び（４）と同様の効果に加え、以下の効果を得ることができる。
（７）クランプアーム２３の前進及び後退に連動する排出プレート４１を設けた。そして、溶接の行われないアンクランプ状態に移行する際にクランプアーム２３が後退すると、磁石３０に磁着したスパッタＳを排出プレート４１によって磁石３０上から押し出すことができる。そして、磁石３０上から押し出されたスパッタＳは排出孔１２ｆに排出される。よって、クランプアーム２３に連動した排出プレート４１を設けることで、クランプ装置１０の作動時はスパッタＳを磁石３０から除去し続けることができ、磁石３０上にスパッタＳが堆積することを防止することができる。

【0040】

（第４の実施形態）
次に、本発明を具体化した第４の実施形態を図５にしたがって説明する。また、第１の実施形態と同一構成については同一符号を付すなどし、その重複する説明を省略又は簡略する。

【0041】

図５に示すように、支持筒１２に設けたスパッタ磁着手段は電磁石４４となっている。電磁石４４には配線４５を介してコントローラ４６に信号接続されている。そして、クランプ装置１０の動作時（クランプ時及びアンクランプ時）は、コントローラ４６によって電磁石４４を磁化させ、スパッタＳを磁着させる。一方、クランプ装置１０の動作終了後は、コントローラ４６によって電磁石４４を非磁性とし、磁着したスパッタＳを電磁石４４から脱落させる。その後、一方のエアブロー孔１２ｇから支持筒１２内にエアーを吹き込み、他方のエアブロー孔１２ｇからスパッタＳを支持筒１２外へ排出する。

【0042】

したがって、第４の実施形態によれば、第１の実施形態の（１）及び（４）と同様の効果に加え、以下の効果を得ることができる。
（８）クランプ装置１０内に電磁石４４を設けた。そして、クランプ装置１０の動作時は、電磁石４４を磁化させてスパッタＳを磁着させ、クランプ装置１０の動作終了後は、電磁石４４を非磁性としてスパッタＳを脱落させた。よって、電磁石４４からスパッタＳを効率良く除去することができる。

【0043】

なお、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
○ 第３の実施形態では、排出プレート４１をクランプアーム２３に連動させる構成としたが、排出プレート４１はクランプアーム２３に連動しなくてもよい。そして、磁石３０にスパッタＳが堆積したら、手動で排出プレート４１を動かして磁石３０からスパッタＳを除去するようにしてもよい。

【0044】

○ 第１の実施形態では、支持筒１２の軸方向に磁石３０を１つだけ設けたが、図６に示すように、磁石３０を支持筒１２の軸方向に複数設けてもよい。なお、他の実施形態においても、磁石４０や電磁石４４を支持筒１２の軸方向に複数設けてもよい。この場合、上側の磁石３０，４０及び電磁石４４の磁力を、下側の磁石３０，４０及び電磁石４４の磁力よりも大きくするのが好ましい。

【0045】

このように構成すると、上側の磁石３０，４０及び電磁石４４によりスパッタＳがほとんど磁着され、上側の磁石３０，４０及び電磁石４４で磁着されなかったスパッタＳを、下側の磁石３０，４０及び電磁石４４に磁着させることができる。したがって、複数段で磁石３０，４０及び電磁石４４を設けることで、エアシリンダ１１に達するスパッタＳを無くすことができる。

【0046】

○ 各実施形態では、支持筒１２の内周面の周方向全体に亘って磁石３０，４０及び電磁石４４を設けたが、磁石３０，４０及び電磁石４４は、支持筒１２の周方向一部だけに設けられていてもよい。また、磁石３０，４０は、支持筒１２の周方向に分割して設けられていてもよい。

【0047】

○ 実施形態では、支持筒１２に磁石３０，４０及び電磁石４４を設けたが、磁石３０，４０及び電磁石４４は、ロケートピン２１やカバー部材２２に設けてもよい。
○ 実施形態では、スパッタ磁着手段として磁石３０，４０及び電磁石４４を支持筒１２に設けたが、支持筒１２を電磁石として、支持筒１２をスパッタ磁着手段としてもよい。

【0048】

○ 実施形態では、駆動源としてエアシリンダ１１に具体化したが、エアシリンダ１１の代わりに油圧シリンダ等の他の流体圧シリンダに具体化してもよい。
○ 実施形態では、動力伝達機構としてエアシリンダ１１の出力ロッド１９に具体化したが、これに限らない。駆動源を電動モータに変更した場合は、電動モータのボールネジを動力伝達機構としてもよい。

【0049】

次に、上記実施形態及び別例から把握できる技術的思想について以下に追記する。
（イ）前記ロケートピンにおいて、前記収容孔を挟んだ前記開口部の反対側は閉じられている請求項１〜請求項３のうちいずれか一項に記載のクランプ装置。

【符号の説明】

【0051】

Ｓ…スパッタ、Ｗ…ワーク、Ｗａ…クランプ孔、１１…駆動源としてのエアシリンダ、１２…支持筒、１２ａ…内部空間、１９…動力伝達機構としての出力ロッド、２１…ロケートピン、２１ｂ…収容孔、２１ｃ…開口部、２２ｂ…着座部、２３…クランプアーム、３０，４０…スパッタ磁着手段としての磁石、４１…排出プレート、４４…スパッタ磁着手段としての電磁石。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】