特許第5793816号(P5793816)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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5793816単結晶炭化ケイ素液相エピタキシャル成長用シード材及び単結晶炭化ケイ素の液相エピタキシャル成長方法
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