特許 5794856 電子部品装着装置、および、電子部品装着方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5794856

(24)【登録日】2015年8月21日

(45)【発行日】2015年10月14日

(54)【発明の名称】電子部品装着装置、および、電子部品装着方法

(51)【国際特許分類】

   H05K 13/04 20060101AFI20150928BHJP

【ＦＩ】

   H05K13/04 B

   H05K13/04 Z

【請求項の数】2

【全頁数】14

(21)【出願番号】特願2011-174377(P2011-174377)

(22)【出願日】2011年8月9日

(65)【公開番号】特開2013-38281(P2013-38281A)

(43)【公開日】2013年2月21日

【審査請求日】2014年8月4日

(73)【特許権者】

【識別番号】000010076

【氏名又は名称】ヤマハ発動機株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100104433

【弁理士】

【氏名又は名称】宮園 博一

(72)【発明者】

【氏名】大西 聖司

(72)【発明者】

【氏名】泉原 弘一

(72)【発明者】

【氏名】亀田 真希夫

【審査官】 遠藤 秀明

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１１−０２３６１６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００９−１５２６３８（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０５Ｋ １３／００−１３／０８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

二つの基板を搬送するレーンを有し、各々のレーンから搬送される基板に対して、独立して部品の装着をおこなう電子部品装着装置において、
各部を制御する制御部と、
データを保持する記憶部と、
部品を供給する一対の部品供給ユニットと、
前記部品供給ユニットから部品を吸着し、基板上に装着する一対の装着ヘッドと、
前記装着ヘッドを基板に、独立して位置づける一対のビームと、
前記装着ヘッドが吸着した部品を認識する一対の認識カメラとを備え、
前記記憶部は、各々一対のビームに対して、部品の吸着、認識、装着をおこなうステップの仕様を記述する装着データと、各々一対のビームに対して、部品の吸着、認識、装着からなる一連のサイクルごとに互いの優先順位が定められた３以上の優先度と、各々一対のビームに対して、動作する領域を定める干渉領域情報とを保持し、
前記制御部は、
前記装着データに記述された前記ステップごとに、各々のビームに対する前記優先度を比較し、
優先度の高いビームの装着ヘッドに対する吸着、認識、装着のステップを前記サイクルの終了まで実行させ、
優先度の低いビームの装着ヘッドに対しては、前記干渉領域情報を用いて、相手のビームと干渉するか否かを判定し、干渉しないステップのみを実行させ、干渉するステップの実行は、相手のビームと干渉しなくなるまで待機させ、
各々一対のビームに対して、実行中のサイクルが終了したときに、相手のビームの優先度を参照して、３以上の優先度の中から相手のビームより優先順位の低い優先度を付与することを特徴とする電子部品装着装置。

【請求項2】

二つの基板を搬送するレーンを有し、各々のレーンから搬送される基板に対して、独立して部品の装着をおこなう電子部品装着装置の電子部品装着方法において、
前記電子部品装着装置は、各部を制御する制御部と、
データを保持する記憶部と、
部品を供給する一対の部品供給ユニットと、
前記部品供給ユニットから部品を吸着し、基板上に装着する一対の装着ヘッドと、
前記装着ヘッドを基板に、独立して位置づける一対のビームと、
前記装着ヘッドが吸着した部品を認識する一対の認識カメラとを備え、
前記記憶部は、各々一対のビームに対して、部品の吸着、認識、装着をおこなうステップの仕様を記述する装着データと、各々一対のビームに対して、部品の吸着、認識、装着からなる一連のサイクルごとに互いの優先順位が定められた３以上の優先度と、各々一対のビームに対して、動作する領域を定める干渉領域情報とを保持し、
前記装着データに従い、前記装着ヘッドが、前記部品供給ユニットより部品を吸着する手順と、
前記装着データに従い、前記認識カメラが、前記装着ヘッドに吸着された部品を認識する手順と、
前記装着データに従い、前記ビームを位置づけ、前記装着ヘッドにより前記基板上に部品を装着する手順と、
前記制御部が、前記装着データに記述された前記ステップごとに、各々のビームに対する前記優先度を比較する手順と、
前記優先度を比較する手順の結果に従い、前記制御部が、優先度の高いビームの装着ヘッドに対する吸着、認識、装着のステップを前記サイクルの終了まで実行させる手順と、
前記優先度を比較する手順の結果に従い、前記制御部が、優先度の低いビームの装着ヘッドに対しては、前記干渉領域情報を用いて、相手のビームと干渉するか否かを判定し、干渉しないステップのみを実行させ、干渉するステップの実行は、相手のビームと干渉しなくなるまで待機させる手順と、
前記制御部が、各々一対のビームに対して、実行中のサイクルが終了したときに、相手のビームの優先度を参照して、３以上の優先度の中から相手のビームより優先順位の低い優先度を付与する手順とを有することを特徴とする電子部品装着方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、電子部品装着装置、および、電子部品装着方法に係り、特に、デュアル搬送により独立生産可能な複数のレーンを有する電子部品装着装置で、電子部品を効率よく搭載する用途に用いて好適な電子部品装着装置、および、電子部品装着方法に関する。

【背景技術】

【0002】

近年、プリント基板に電子部品を搭載する電子部品装着装置においては、生産性向上の観点から、二つの基板搬送ラインを設けて、それぞれ独立に動作するヘッドにより部品を搭載するデュアル搬送の形態が提案されている。

【0003】

例えば、特許文献１には、二つの並列した基板搬送ラインを設けたデュアル搬送ラインを有する電子部品装着装置において、生産性を向上させるために、ラインを構成するシュートに固定シュートと可動シュートを設けた技術が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０１０−１０４３６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

二つの装着ヘッドにより電子部品の装着をおこなう場合には、一方の装着ヘッドが他方の装着ヘッドと干渉を起こさないように制御することが重要である。

【0006】

装着ヘッドが互いに干渉を起こさないときには、独立して動作することが可能であるが、部品の配置によっては干渉を起こすときがある。その場合には、各々のヘッドに優先度をつけて、制御するアルゴリズムが考えられる。

【0007】

以下、図９Ａないし図１０を用いて従来技術に係る二つの装着ヘッドにより電子部品の装着をおこなう電子部品装着装置の動作について説明する。
図９Ａ，９Ｂは、従来技術に係る二つの装着ヘッドにより電子部品の装着をおこなう電子部品装着装置の上面から見た模式図である。
図１０は、従来技術に係る電子部品装着装置の各々のビームによる優先度をつけたときの処理順序を示す図である。

【0008】

一般的な電子部品装着装置においては、後に詳細に説明するが、装着ヘッドは、装置を位置決めするビームと呼ばれるガイドに従って、基板の搬送方向と同じ方向（Ｘ方向）を移動し、ビーム自体も基板搬送方向と直交する方向（Ｙ方向）に移動することにより、部品の装着位置を位置決めする。図１０の示す動作の記述では、独立して動作可能な各々のビームを、Ａビーム、Ｂビームとしている。

【0009】

電子部品装着装置は、基板を搬入したあと、装着ヘッドにより部品フィーダにより部品を吸着し、部品認識カメラにより部品を認識して、定められた位置に部品を装着するという１サイクルにより動作する。

【0010】

この場合に、従来では、図１０に示されるように、ＡビームとＢビームの動作にサイクルごとに優先度をつけて、それぞれ図９Ａ，９Ｂに示すそれぞれのヘッドの動作範囲内で動作させていた。すなわち、優先度の高いビームを優先して部品を動作させるようにするものである。

【0011】

図９Ａは、Ａビーム８ａに従って移動する装着ヘッド２０ａが、部品供給ユニット３ａのフィーダより部品を吸着して、部品認識カメラ１６ａにより部品の認識し、基板Ｐに装着するフェーズを示しており、図９Ｂは、逆に、Ｂビーム８ｂに従って移動する装着ヘッド２０ｂが、部品供給ユニット３ｂのフィーダより部品を吸着して、部品認識カメラ１６ｂにより部品の認識し、基板Ｐに装着するフェーズを示している。

【0012】

この従来技術に係る電子部品装着装置は、レーンが一つ（すなわち、同時に搬送される基板は一つ）であり、装着ヘッドが二つのものである。しかしながら、レーンが二つあるデュアル搬送の電子部品装着装置では、各々のレーンに基板が独立に基板が搬送されるため、タイミングが非同期であり、各々のビームに対して効率的に優先度を与えるのが難しいという問題点があった。

【0013】

すなわち、デュアル搬送において、各々のビームに優先度を与えて、それに従って動作させることは可能であるが、優先度の与え方によっては、ヘッドが干渉しない範囲でも、待ち時間が大きくなり、非効率になる恐れがあった。

【0014】

本発明は、上記問題点を解決するためになされたもので、その目的は、デュアル搬送により独立生産可能な複数のレーンを有する電子部品装着装置で、各々の装着ヘッドの干渉を防ぎながら電子部品を効率よく搭載することのできる電子部品装着装置を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0015】

本発明の電子部品装着装置は、二つの基板を搬送するレーンを有し、各々のレーンから搬送される基板に対して、独立して部品の装着をおこなう、いわゆるデュアル搬送の独立生産可能な電子部品装着装置であり、各部を制御する制御部と、データを保持する記憶部と、部品を供給するフィーダからなる一対の部品供給ユニットと、部品供給ユニットから部品を吸着し、基板上に装着する一対の装着ヘッドと、装着ヘッドを基板に、独立して位置づける一対のビーム（Ａビーム、Ｂビーム）と、装着ヘッドが吸着した部品を認識する一対の認識カメラとを備えている。

【0016】

また、記憶部は、各々一対のビームに対して、部品の吸着、認識、装着をおこなうステップの仕様を記述する装着データと、各々一対のビームに対して、部品の吸着、認識、装着からなる一連のサイクルごとに互いの優先順位が定められた３以上の優先度と、各々一対のビームに対して、動作する領域を定める干渉領域情報とを保持している。

【0017】

そして、制御部は、装着データに記述されたステップごとに、各々のビームに対する優先度を比較し、優先度の高いビームの装着ヘッドに対する吸着、認識、装着のステップを前記サイクルの終了まで実行させ、優先度の低いビームの装着ヘッドに対しては、前記干渉領域情報を用いて、相手のビームと干渉するか否かを判定し、干渉しないステップのみを実行させ、干渉するステップの実行は、相手のビームが干渉しなくなるまで待機させ、干渉しなくなったときに実行する。

【0018】

そして、制御部は、各々一対のビームに対して、実行中のサイクルが終了したときに、相手のビームの優先度を参照して、３以上の優先度の中から相手のビームより優先順位の低い優先度を付与する。

【発明の効果】

【0019】

本発明によれば、デュアル搬送により独立生産可能な複数のレーンを有する電子部品装着装置で、各々の装着ヘッドの干渉を防ぎながら電子部品を効率よく搭載することのできる電子部品装着装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0020】

【図1】本発明の一実施形態に係る電子部品装着装置の上面図である。

【図2】本発明の一実施形態に係る電子部品装着装置のブロック図である。

【図3】ビーム実行制御テーブルの一例を示す図である。

【図4】部品装着データの一例を示す図である。

【図5】干渉領域テーブルの一例を示す図である。

【図6A】本発明の一実施形態に係る二つの装着ヘッドにより電子部品の装着をおこなう電子部品装着装置の上面から見た模式図である（その一）。

【図6B】本発明の一実施形態に係る二つの装着ヘッドにより電子部品の装着をおこなう電子部品装着装置の上面から見た模式図である（その二）。

【図7】本発明の一実施形態に係る電子部品装着装置の基板の部品装着に関する処理を示すフローチャートである。

【図8】本発明の一実施形態に係る電子部品装着装置の各々のビームによる優先度をつけたときの処理順序を示す図である。

【図9A】従来技術に係る二つの装着ヘッドにより電子部品の装着をおこなう電子部品装着装置の上面から見た模式図である（その一）。

【図9B】従来技術に係る二つの装着ヘッドにより電子部品の装着をおこなう電子部品装着装置の上面から見た模式図である（その二）。

【図10】従来技術に係る電子部品装着装置の各々のビームによる優先度をつけたときの処理順序を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0021】

以下、図１ないし図８を用いて本発明の各実施形態に係る電子部品装着装置について説明する。

【0022】

先ず、図１および図２を用いて本発明の一実施形態に係る電子部品装着装置の構造について説明する。
図１は、本発明の一実施形態に係る電子部品装着装置の上面図である。
図２は、本発明の一実施形態に係る電子部品装着装置のブロック図である。
図１に示されるように、本実施形態に係る電子部品装着装置は、各々の独立して基板上に部品を装着できるようにしたＡレーンと、Ｂレーンを有したいわゆるデュアル搬送レーンを有するものである。

【0023】

以下では、一つのレーンにおける装置の部位と動作について説明するが、他のレーンについても同様である。

【0024】

本実施形態に係る電子部品装着装置の基台２上に、種々の電子部品をそれぞれその部品取出し部（部品吸着位置）に１個ずつ供給する部品供給ユニット３が複数並設されている。対向する部品供給ユニット３群の間には、供給コンベア４、位置決め部５および排出コンベア６が設けられている。供給コンベア４は、上流側装置より受けたプリント基板Ｐを位置決め部５に搬送し、位置決め部５で位置決め機構(図示せず)により位置決め固定されたプリント基板Ｐ上に電子部品が装着された後、排出コンベア６に搬送される。

【0025】

ビーム８は、Ｘ方向に長く伸ばされており、それぞれＹ軸モータ９の駆動によりネジ軸１０を回転させ、左右一対のガイド１１に沿ってプリント基板Ｐや部品供給ユニット３の部品取出し位置（部品吸着位置）上方を個別にＹ方向に移動する。

【0026】

ビーム８にはその長手方向、すなわちＸ方向にＸ軸モータ１２によりガイド(図示せず)に沿って移動する装着ヘッド２０がそれぞれθ軸モータ１４（図示せず）により回動可能に設けられている。各装着ヘッド２０には、ｎ（ｎは、１以上の整数）本の吸着ノズルの任意のものを上下動させるための上下軸モータ１３が搭載され、また、θ軸モータ１４が搭載されている。したがって、装着ヘッド２０の各吸着ノズルは、Ｘ方向およびＹ方向（平面方向）に移動可能であり、垂直線回りに回転可能で、かつ上下動可能となっている。

【0027】

部品認識カメラ１６は、吸着ノズルに吸着保持された電子部品を下方向から撮像するカメラである。

【0028】

基板認識カメラ１８は、装着ヘッド２０に取り付けられており、プリント基板Ｐに付された位置決めマークを撮像するカメラである
また、本実施形態の電子部品装着装置の機能ブロックを示すと、図２に示さるようになる。

【0029】

なお、図２においては、一つのブロックしか図示していないが、部品認識カメラ１６、基板認識カメラ１８、Ｘ軸モータ１２、Ｙ軸モータ９、上下軸モータ１３、θ軸モータ１４は、各々の系にそれぞれ存在する。

【0030】

電子部品装着装置１の各部は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）３０の指示を受け、制御される。そして、この制御に係るプログラムを格納するＲＯＭ（Read Only Memory）３１および各種データを格納するＲＡＭ（Random Access Memory）３２がバスライン３３を介して接続されている。また、ＣＰＵ３０には操作画面等を表示するモニタ３４およびそのモニタ３４の表示画面に形成された入力手段としてのタッチパネルスイッチ３５がインターフェース３６を介して接続されている。また、Ｙ軸モータ９、Ｘ軸モータ１２、上下軸モータ１３、θ軸モータ１４が駆動回路３８、インターフェース３６を介してＣＰＵ３０に接続されている。

【0031】

ＲＡＭ３２には、部品装着に係るプリント基板Ｐの種類毎に装着データが記憶されており、その装着順序毎（ステップ番号毎）に、プリント基板Ｐ内での各電子部品の装着座標のＸ方向、Ｙ方向および角度情報や、各部品供給ユニット３の配置番号情報等が格納されている。また、ＲＡＭ３２には、各部品供給ユニット３の部品供給ユニット配置番号に対応した各電子部品の種類の情報、部品配置データが格納されており、さらには、形状データ・認識データ・制御データ・部品供給データから成る部品ライブラリデータが格納されている。また、ＲＡＭ３２には、電子部品装着装置の管理データなども格納されている。

【0032】

画像認識処理装置３７は、インターフェース３６を介して、ＣＰＵ３０に接続されており、部品認識カメラ１６により撮像して取込まれた画像の認識処理がこの画像認識処理装置３７にておこなわれ、ＣＰＵ３０に処理結果が送出される。すなわち、ＣＰＵ３０は、部品認識カメラ１６により撮像された画像を認識処理（位置ずれ量の算出など）するように指示を画像認識処理装置３７に出力すると共に、認識処理結果を画像認識処理装置３７から受取るものである。

【0033】

次に、本実施形態に係る電子部品装着装置の部品の装着動作の概要について説明する。

【0034】

先ず、プリント基板Ｐの生産運転が開始され、プリント基板Ｐが上流側装置（図示せず）より受継がれて供給コンベア４上に存在すると、供給コンベア４上のプリント基板Ｐを位置決め部５へ移動させ、位置決め固定する。そして、ＲＡＭ３２に格納された装着データ、すなわちプリント基板Ｐ上の装着すべきＸＹ座標位置、鉛直軸線回りへの回転角度位置およびフィーダ番号（各部品供給ユニット３の配置番号）等が指定された装着データに従い、Ｙ方向は、Ｙ軸モータ９を駆動させて一対のガイド１１に沿って、ビーム８を移動させ、Ｘ方向は、Ｘ軸モータ１２を駆動させて対応する装着ヘッド２０の吸着ノズルのいずれかを装着すべき電子部品を供給する所定の部品供給ユニット３上方に移動させ、上下軸モータ１３を駆動させて吸着ノズルを下降させて電子部品を吸着して取出すことになる。

【0035】

さらに、部品認識カメラ１６上方に吸着ノズルを移動させながら吸着保持された電子部品を撮像（フライ撮像）して画像認識処理装置３７で認識処理し、また、ビーム８をプリント基板Ｐ上方へ移動させてプリント基板Ｐに付された位置決めマークを基板認識カメラ１８で撮像して画像認識処理装置３７で位置ずれ量を認識処理し、それらの結果に基づき、再び基板Ｐの装着位置上方へ移動させて吸着ノズルが装着データの装着座標に両認識結果を加味して位置ずれを補正しつつ、それぞれ当該装着ヘッド２０の吸着ノズルに吸着保持された全電子部品をプリント基板Ｐ上に装着する。

【0036】

このようにして、１枚のプリント基板Ｐ上へ装着すべき電子部品を全て終了するまで、電子部品の吸着、認識、装着が繰り返され、全て終了すると、位置決め部５から排出コンベア６にプリント基板Ｐが搬送され、１枚目のプリント基板Ｐの電子部品装着に係る生産が終了し、２枚目のプリント基板Ｐに対する生産がおこなわれることになる。

【0037】

次に、図３ないし図５を用いて本発明の一実施形態に係る電子部品装着装置の処理に用いられるデータ構造について説明する。
図３は、ビーム実行制御テーブルの一例を示す図である。
図４は、部品装着データの一例を示す図である。
図５は、干渉領域テーブルの一例を示す図である。

【0038】

これらのテーブルは、ＲＡＭ３２に格納され、ＣＰＵ３０が実行する制御プログラムの中で参照される。

【0039】

ビーム実行制御テーブルは、ＣＰＵ３０が実行する制御プログラムが、各々のビームを実行するための制御に用いられるデータを格納するテーブルである。

【0040】

ビーム実行制御テーブルは、図３に示されるように、各々のビームに対して優先度、実行ステップのデータを格納している。

【0041】

「優先度」は、現在の各々のビームに対して、どちらのビームを優先して制御するかを示すための用いられる指標であるデータを示す優先度の値である。この優先度を用いたビームの制御については、後に詳説する。

【0042】

「実行ステップ」は、現在実行中の部品装着データの実行ステップを示すＩＤである。

【0043】

部品装着データは、Ａビーム、Ｂビームの各ビームにおいて、各々の部品を部品供給ユニット３のフィーダから装着ヘッド２０の吸着ノズルより、吸着するステップ、部品認識カメラ１６による吸着ノズルに吸着した認識するステップ、基板Ｐに対して部品を装着するステップの各々の動作を記述するためのデータである。

【0044】

部品装着データは、図４に示されるように、Ｘ、Ｙ、θ、サイクル、動作種別、フィーダ番号のデータを格納している。

【0045】

「Ｘ」、「Ｙ」、「θ」は、部品を装着する座標を表すデータである。

【0046】

「サイクル」は、一連の吸着、認識、装着からなる動作単位を表すサイクルを示す番号を示すデータである。すなわち、同じサイクルに属するステップの動作は、連続しておこなわれる。

【0047】

「動作種別」は、そのステップ内でおこなう動作の種別を表す。すなわち、「吸着」のときには、部品供給ユニット３から装着ヘッド２０が吸着ノズルにより、部品を吸着し、「認識」のときには、吸着ノズルにより吸着された部品を、認識カメラ１６の近傍にもっていき、撮像して内部に画像データとして取り込み、認識処理をおこなう。「装着」のときには、その部品を基板の該当位置に装着する。

【0048】

「フィーダ番号」は、部品供給ユニット３のフィーダの番号を表すデータである。図示しないがフィーダ番号と部品の種別表す部品ＩＤは、部品配置データにより一意的に対応付けられている。また、部品ライブラリには、部品ＩＤの部品の形状や仕様を表すデータが格納されている。

【0049】

図の例では、サイクル番号＝１のサイクル（以下、単に「サイクル１」ともいう）の中において、ステップ００１で、フィーダ番号１０１のフィーダから部品の吸着がおこなわれ、ステップ００４で、部品認識カメラ１６により、認識がおこなわれ、ステップ００９で、（Ｘ，Ｙ，θ）＝（５０，３０，０）の位置に部品が装着されることになる。

【0050】

干渉領域テーブルは、各々のビームでの干渉領域のＹ座標データをサイクルごとに保持するテーブルであり、図５に示されるように、各々の「サイクル」ごとに「「干渉領域座標」を有している。

【0051】

「サイクル」は、既に説明したように、一連の吸着、認識、装着からなる動作単位を表すサイクルを示す番号を示すデータである。

【0052】

「干渉領域座標」は、各々Ａビーム、Ｂビームが現在実行中のサイクルで占有する領域を示す座標値であり、そのビームがあるサイクルの中のステップで最大動く可能性のある座標を示すデータである。相手のビームとしては、この干渉領域座標の示す干渉領域に干渉しなければ、並行して動作可能であり、干渉領域座標の示す干渉領域に干渉するときで、かつ、そのビームの優先度が低いときには、待機することになる。

【0053】

「干渉領域座標」は、そのビームのステップが実行される毎に、最新の値に更新される。

【0054】

図の例では、Ａビームのサイクル１は、ビームの基準位置の原点からＹ座標データが３５０ｍｍになる位置まで動く可能性のあるステップを含むことを示している。

【0055】

次に、図６Ａないし図８を用いて本発明の実施形態に係る電子部品装着装置の処理について説明する。
図６Ａ，６Ｂは、本発明の一実施形態に係る二つの装着ヘッドにより電子部品の装着をおこなう電子部品装着装置の上面から見た模式図である。
図７は、本発明の一実施形態に係る電子部品装着装置の基板の部品装着に関する処理を示すフローチャートである。

【0056】

図８は、本発明の一実施形態に係る電子部品装着装置の各々のビームによる優先度をつけたときの処理順序を示す図である。

【0057】

電子部品装着装置の制御は、ＣＰＵ３０がＲＡＭ３２に格納された制御プログラムを実行することによりおこなわれる。

【0058】

先ず、ＣＰＵ３０が実行する制御プログラムは、図３ないし図５に示される制御テーブルの初期化をおこなう（Ｓ０１）。

【0059】

先ず、基板に対応する部品装着データを、ＨＤＤなどの補助記憶装置から読み込み、各々のサイクルに対応するステップから、Ａビーム、Ｂビームのそれぞれに対応するサイクルの干渉領域を求めて、図５に干渉領域テーブルの干渉領域座標をセットする
次に、図３に示されるビーム実行制御テーブルに、Ａビーム、Ｂビームの各々の現在のサイクルにおける干渉領域座標と、実行ステップを設定する。

【0060】

また、ビーム実行制御テーブルに、Ａビーム、Ｂビームの優先度の初期値を設定する。ここでは、Ａビーム優先度の初期値を、１、Ｂビーム優先度の初期値を、２とする。

【0061】

本実施形態におけるビームの優先度は、１、２、３、４のいずれかの整数をとるものとし、優先度の順は、１＞２＞３＞４とし、４に対しては、ループして、４＞１になるものとする。

【0062】

次に、上流工程から、各々のレーンに対して基板Ｐの搬入をおこなう（Ｓ０２）。

【0063】

次に、ビーム制御テーブルを参照し、Ａビーム、Ｂビームのいずれかの優先度が高いかを判断し（Ｓ０３）、優先度の高いビームの部品装着データのステップを実行する（Ｓ０４）。そして、ビーム制御テーブルのそのビームの実行ステップの値を更新する。このときに、そのビームの干渉領域テーブルの干渉領域座標も更新される。

【0064】

部品装着データのステップを実行し、その基板の装着データが終了したときには（Ｓ０５）、Ｓ０２に戻り、そのビームに次の基板を搬入する。

【0065】

その基板の装着データが終了していないときには、部品装着データにおいて、そのビームのサイクルの開始にあたるか否かを判定し（Ｓ０６）。そのビームのサイクルの開始にあたるときには、ビーム制御テーブルにおけるそのビームの優先度を設定する（Ｓ０７）。

【0066】

優先度の設定は、相手のビームの優先度が１、２、３のときには、そのビームの優先度を相手のビームの優先度に１を足した優先度にし、相手のビームの優先度が４のときは、そのビームの優先度を１にする。すなわち、自ビームの優先度を相手のビームの優先度より低いものにする。

【0067】

サイクルの途中のときには、そのサイクルの次のステップを実行する。

【0068】

次に、Ａビーム、Ｂビームのいずれかの優先度が高いかを判断して、優先度の低いビームのときには、部品装着データのステップを実行する前に、相手のビームと干渉するか否かを判断する（Ｓ０８）。これには、ビーム制御テーブルの相手の実行ステップから、部品装着データから相手のビームにおける現在のサイクルを求め、相手のビームの干渉領域テーブルから、干渉領域座標を求め、そのステップにおける実行が干渉するか否かを判断することによりなされる。

【0069】

そして、干渉するときには、そのビームは待機する（Ｓ０９）。

【0070】

次に、相手のビームの干渉領域座標が更新されるまで待機し、相手のビームのサイクルが終了するか、干渉領域座標が更新されたときには（Ｓ１０）、Ｓ０３に戻る。

【0071】

部品装着データのステップの実行の判断で、相手のビームと干渉しないときには、そのビームのステップを実行する（Ｓ１１）。そして、ビーム制御テーブルのそのビームの実行ステップの値を更新する。このときに、そのビームの干渉領域テーブルの干渉領域座標も更新される。

【0072】

そして、その基板の装着データが終了したときには（Ｓ１２）、Ｓ０２に戻り、そのビームに次の基板を搬入する。

【0073】

一方、その基板の装着データが終了していないときには（Ｓ１２）、Ｓ０２に戻り、優先度の判定をおこなう。

【0074】

以下、図６Ａ，６Ｂおよび図８を用いて具体例に基づき説明する。

【0075】

先ず、初期化のために、Ａビームの優先度＝１、Ｂビームの優先度＝２とする（図７、Ｓ０１）。

【0076】

このとき、Ａビームの優先度とＢビームの優先度を比較して（Ｓ０２）、Ａビームの優先度が、高いのでＡビームのサイクル１が終了まで優先的に実行される。

【0077】

この様子は、図６Ａに示されている。

【0078】

Ｂビームは、優先度がＡビームより低いので、Ａビームの干渉領域に干渉しないときに限り動作することができる。Ｂビームのサイクル１の吸着、認識のステップは、Ａビームと干渉領域に干渉せず、Ｂビームのサイクル１の装着ステップの途中のステップで干渉をおこしたとする。このときには、図６Ａに示されるように、Ｂビームのサイクル１の吸着、認識のステップは、Ａビームに関わらず動作可能であり、Ｂビームは、サイクル１の装着ステップで、待機してＡビームのサイクル１と干渉しなくなるのを待つ（Ｓ０８、Ｓ０９）。

【0079】

Ａビームのサイクル１が終了すると、Ａビームの優先度を設定する（Ｓ０７）。Ａビームの優先度は、Ｂビームの優先度の２に１を足して、３とする。

【0080】

Ｂビームでは、Ａビームのサイクルが終了したので（Ｓ１０）、ビームの優先度を比較する（Ｓ０３）。このとき、Ａビームの優先度＝３、Ｂビームの優先度＝２で、待機していたＢビームのサイクル１の装着ステップを実行する。これにより、図６Ａから図６Ｂに示す状態に移行する。

【0081】

Ａビームの優先度とＢビームの優先度を比較すると、Ａビームの優先度は、Ｂビームに比べて低いので、Ｂビームの干渉領域に干渉しないときに限り動作することができる。Ａビームのサイクル１の吸着、認識のステップは、Ｂビームのサイクル１の干渉領域に干渉しないものとする。

【0082】

Ｂビームのサイクル１が終了すると、Ｂビームの次の優先度を設定する（Ｓ０７）。Ｂビームの次の優先度は、Ａビームの優先度＝３に１を足して、４とする。

【0083】

そして、Ｂビームのサイクル１が終了すると、Ａビームの優先度＝３、Ｂビームの優先度＝４で、Ａビームの優先度が高くなり、それ以降のＡビームのサイクル２のステップは、全て優先的に動作する。

【0084】

Ｂビームのサイクル２では、Ａビームの優先度より低いが、全て吸着、認識、装着のステップで全てＡビームのサイクル２と干渉しなかったものとする。

【0085】

そして、Ｂビームのサイクル２が終了した段階で、Ａビームのサイクル２が終了していないものとすると、相手のＡビームの優先度＝３に１を足して、再び４とする。

【0086】

次のＢビームのサイクル３も、Ａビームの優先度より低いが、吸着、認識のステップで、Ａビームのサイクル２と干渉しなかったものとする。

【0087】

そして、Ａビームのサイクル２が終了すると、Ａビームの次の優先度を設定する。Ｂビームの優先度＝４だから、Ａビームの次の優先度は、１とする。

【0088】

上述した優先度のルールより、Ｂビームの優先度＝４は、Ａビームの優先度＝１に優先するので、それ以降のサイクル３は、Ｂビームが優先的に動作する。

【0089】

Ａビームのサイクル３では、吸着、認識では、Ｂビームの干渉領域と干渉しなかったが、装着の途中で干渉するステップが生じたとすると、待機し、Ｂビームの３サイクルと干渉しなくなるのを待つ。

【0090】

Ａビームのサイクル３の待機していたステップが、Ｂビームの３サイクルと干渉しなくなったとき、Ａビームのサイクル３の装着ステップの実行を再開する。

【0091】

Ｂビームの３サイクルの終了が終了すると、相手のＡビームの優先度＝１に１を足して、２とする。

【0092】

以下、同じように、ＡビームとＢビームの動作を制御する。

【符号の説明】

【0093】

１…電子部品装着装置、３…部品供給ユニット、８…ビーム、１６…部品認識カメラ、２０…装着ヘッド。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6A】

【図6B】

【図7】

【図8】

【図9A】

【図9B】

【図10】