特許 5796032 磁気ヘッドサスペンションの製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5796032

(24)【登録日】2015年8月21日

(45)【発行日】2015年10月21日

(54)【発明の名称】磁気ヘッドサスペンションの製造方法

(51)【国際特許分類】

   G11B 21/21 20060101AFI20151001BHJP

【ＦＩ】

   G11B21/21 C

【請求項の数】5

【全頁数】18

(21)【出願番号】特願2013-43194(P2013-43194)

(22)【出願日】2013年3月5日

(65)【公開番号】特開2014-170606(P2014-170606A)

(43)【公開日】2014年9月18日

【審査請求日】2014年2月24日

(73)【特許権者】

【識別番号】000175722

【氏名又は名称】サンコール株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001597

【氏名又は名称】特許業務法人アローレインターナショナル

(72)【発明者】

【氏名】藤本 泰夫

【審査官】 深沢 正志

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００９−２９５２６１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１２−２１６２７０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許出願公開第２００２／０１５４４４８（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ１１Ｂ ２１／１６ − ２１／２６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

アクチュエータによって直接又は間接的にディスク面に平行なシーク方向へ揺動される支持部と、前記支持部に支持され且つ磁気ヘッドスライダを前記ディスク面に向けて押し付ける押し付け荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重曲げ部を介して前記支持部に支持され且つ前記押し付け荷重を前記磁気ヘッドスライダに伝達するロードビーム部と、前記磁気ヘッドスライダを支持するヘッド搭載領域を有し、前記ロードビーム部に固着されたフレクシャ部とを備え、前記ロードビーム部は、前記ヘッド搭載領域における前記ディスク面とは反対側の裏面に係合するディンプルを有し、第１ＬＢ曲げ線回りに第１ＬＢ曲げ角度θ1で曲げられ且つ前記第１ＬＢ曲げ線とはサスペンション長手方向に関し異なる位置において第２ＬＢ曲げ線回りに第２ＬＢ曲げ角度θ2で前記第１ＬＢ曲げ線での曲げ方向とは異なる方向へ曲げられており、前記荷重曲げ部は、荷重曲げ線回りに荷重曲げ角度θ3で曲げられている磁気ヘッドサスペンションの製造方法であって、
前記磁気ヘッドサスペンションがロードオン状態の際に所定の押し付け荷重を発生しつつ前記ロードビーム部のうち前記第１及び第２ＬＢ曲げ線より基端側に位置する基端側領域を前記ディスク面に対して平行とさせる第１ＬＢ曲げ角度θ1、第２ＬＢ曲げ角度θ2及び荷重曲げ角度θ3の曲げ角度セットを複数見つけ出し、前記複数の曲げ角度セットのそれぞれについて捩れモードゲインに関する解析又は実測を行って第１ＬＢ曲げ角度θ1と捩れモードゲインとの関係を得て、前記関係から捩れモードゲインを最小とさせる第１ＬＢ曲げ角度θ1(min)を検出し、前記第１ＬＢ曲げ角度がθ1(min)とされた磁気ヘッドサスペンションがロードオン状態の際に所定の押し付け荷重を発生し且つ前記基端側領域を平行とさせる第２ＬＢ曲げ角度θ2及び荷重曲げ角度θ3の曲げ角度セットを見つけ出すことを特徴とする磁気ヘッドサスペンションの製造方法。

【請求項2】

ロードオン状態の際に所定の押し付け荷重を発生しつつ前記基端側領域を前記ディスク面に対して平行とさせる第１ＬＢ曲げ角度θ1、第２ＬＢ曲げ角度θ2及び荷重曲げ角度θ3の曲げ角度セットを複数見つけ出す工程は、前記第１ＬＢ曲げ角度θ1として任意角度を選択する第１ＬＢ曲げ角度選択工程と、前記第２ＬＢ曲げ角度θ2として任意角度を選択する第２ＬＢ曲げ角度選択工程と、前記第１ＬＢ曲げ角度θ1及び前記第２ＬＢ曲げ角度θ2として現在選択されている前記任意角度を有するサスペンションがロードオン状態とされた際に前記荷重曲げ部が所定の押し付け荷重を発生するように前記荷重曲げ角度θ3を決定する荷重曲げ角度決定工程と、前記第１ＬＢ曲げ角度θ1及び前記第２ＬＢ曲げ角度θ2として現在選択されている前記任意角度を有し且つ前記荷重曲げ角度θ3として前記荷重曲げ角度決定工程によって決定された角度を有するサスペンションがロードオン状態とされた際に、前記ロードビーム部のうち前記第１及び第２荷重曲げ線より基端側領域が前記ディスク面に対して平行となるか否かを判断する平行判定工程と、前記平行判定工程によって平行と判断される場合には、前記第２ＬＢ曲げ角度θ2及び前記荷重曲げ角度θ3として現時点で認識されている角度を、前記第１ＬＢ曲げ角度θ1として現在選択されている角度に対して、ロードオン状態の際に所定押し付け荷重を発生し且つ前記基端領域を平行とさせる曲げ角度セットとして認識し、前記平行判定工程によって平行で無いと判断される場合には、前記第２ＬＢ曲げ角度θ2として現在選択されている角度とは異なる他の角度を選択し直し、前記第１ＬＢ曲げ角度θ1として現在選択されている角度及び前記第２ＬＢ曲げ角度θ2として選択し直された角度を有するサスペンションがロードオン状態とされた際に前記荷重曲げ部が前記所定の押し付け荷重を発生するように前記荷重曲げ角度θ3を決定し、これらの曲げ角度を有するサスペンションがロードオン状態とされた際に前記基端側領域が前記ディスク面に対して平行となるか否かを判断する作業を繰り返して、前記第１ＬＢ曲げ角度θ1として現在選択されている角度に対して、ロードオン状態の際に所定押し付け荷重を発生し且つ前記基端領域を平行とさせる第２ＬＢ曲げ角度θ2及び荷重曲げ角度θ3の曲げ角度セットを見つけ出す曲げ角度セット検出工程と、前記第１ＬＢ曲げ角度θ1として前記任意角度とは異なる少なくとも１つの他の任意角度を選択し、選択された他の任意角度毎に、前記第２ＬＢ曲げ角度選択工程から前記曲げ角度セット検出工程に至る工程と同様の作業を行い、ロードオン状態の際に所定押し付け荷重を発生し且つ前記基端側領域を平行とさせる第２ＬＢ曲げ角度θ2及び荷重曲げ角度θ3の曲げ角度セットを見つけ出す他の曲げ角度セット検出工程とを含むことを特徴とする請求項１に記載の磁気ヘッドサスペンションの製造方法。

【請求項3】

前記第１ＬＢ曲げ線は前記第２ＬＢ曲げ線よりもサスペンション長手方向基端側に位置していることを特徴とする請求項１又は２に記載の磁気ヘッドサスペンションの製造方法。

【請求項4】

前記第１ＬＢ曲げ線は前記ロードビーム部の基端部及び前記ディンプル間のサスペンション長手方向略中央に配置され、前記第２ＬＢ曲げ線は前記第１ＬＢ曲げ線及び前記ディンプル間のサスペンション長手方向略中央に配置されていることを特徴とする請求項３に記載の磁気ヘッドサスペンションの製造方法。

【請求項5】

前記荷重曲げ線は、サスペンション長手方向基端側及び先端側にそれぞれ位置する基端側荷重曲げ線及び先端側荷重曲げ線を含み、
前記基端側荷重曲げ線回りの曲げ部が発生する荷重及び前記先端側荷重曲げ線回りの曲げ部が発生する荷重の合力が前記押し付け荷重を画することを特徴とする請求項１から４の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンションの製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ハードディスク等の記憶媒体に対してデータをリード及び／又はライトする磁気ヘッドスライダを支持する磁気ヘッドサスペンションの製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

磁気ヘッドスライダを支持する磁気ヘッドサスペンションには、前記磁気ヘッドスライダを目的トラックの中心に高速に且つ高精度に位置させることが要求される。

【0003】

即ち、前記磁気ヘッドサスペンションは、ボイスコイルモータ等のアクチュエータによって基端側が直接又は間接的に揺動中心回りに揺動されることで、先端側において支持する前記磁気ヘッドスライダをディスク面に平行なシーク方向に沿って目的トラックへ向けて移動させる。

【0004】

従って、前記磁気ヘッドスライダを目的トラックに高速に且つ正確に位置させる為には、前記アクチュエータの駆動信号の周波数を高めた場合であっても前記磁気ヘッドスライダの振動を可及的に低減し得るように、前記磁気ヘッドサスペンションを構成する必要がある。

【0005】

ところで、前記アクチュエータによって前記磁気ヘッドサスペンションを揺動させると前記磁気ヘッドサスペンションには種々の振動モードの振動が生じるが、この振動は前記磁気ヘッドスライダの目的トラックに対する正確な位置決めを阻害する。

【0006】

特に、前記磁気ヘッドサスペンションに生じ得る種々の振動モードのうち、捩れ１次モード、捩れ２次モード、捩れ３次モード及びＳＷＡＹモード（首振りモード）の共振周波数は低周波数帯域に存在する為、これらの振動モードの振動に起因する磁気ヘッドスライダの目的トラックからの位置ズレを可及的に防止することが重要となる。

【0007】

例えば、下記特許文献１には、前記磁気ヘッドサスペンションにおける荷重曲げ部に２つの曲げ部を設けると共に、この２つの曲げ部の曲げ角度を同一とした磁気ヘッドサスペンションが開示されている。

【0008】

前記特許文献１に記載の磁気ヘッドサスペンションにおいては、前記荷重曲げ部に単一の曲げ部が設けられている構成に比して、前記２つの曲げ部の曲げ角度を小さくでき、従って、前記磁気ヘッドサスペンションをロード状態においた際のバンプ高さを低減して、共振時のゲインを低減できるとされている。

【0009】

この従来構成は、捩れ系モードの振動時におけるゲインを低減させるものであるが、ＳＷＡＹモードの振動に起因する前記磁気ヘッドスライダの目的トラックからの位置ズレ（ゲイン）については、全く考慮されていない。

【0010】

ＳＷＡＹモードの振動に起因する前記磁気ヘッドスライダの目的トラックからの位置ズレ量（ゲイン）は、前記磁気ヘッドサスペンションに設けられた曲げ部の曲げ角度の調整によって低減させることはできない。

【0011】

即ち、ＳＷＡＹモードの振動に起因する前記磁気ヘッドスライダの目的トラックからの位置ズレを防止又は低減する為には、前記磁気ヘッドサスペンションをＳＷＡＹモードの振動が生じ難いように構成する必要がある。つまり、前記磁気ヘッドサスペンションのＳＷＡＹモードの共振周波数を可及的に高めることで、前記アクチュエータの駆動信号の周波数を高めたとしても、前記磁気ヘッドサスペンションにＳＷＡＹモードの共振が生じることを可及的に防止する必要がある。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0012】

【特許文献1】特開平１１−００７７４０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0013】

本発明は、前記従来技術に鑑みなされたものであり、捩れモードの振動に対する磁気ヘッドスライダのゲイン低減を図りつつ、ＳＷＡＹモードの共振周波数を有効に上昇させ得る磁気ヘッドサスペンションの効率的な製造方法の提供を目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0014】

本発明は、前記目的を達成する為に、アクチュエータによって直接又は間接的にディスク面に平行なシーク方向へ揺動される支持部と、前記支持部に支持され且つ磁気ヘッドスライダを前記ディスク面に向けて押し付ける押し付け荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重曲げ部を介して前記支持部に支持され且つ前記押し付け荷重を前記磁気ヘッドスライダに伝達するロードビーム部と、前記磁気ヘッドスライダを支持するヘッド搭載領域を有し、前記ロードビーム部に固着されたフレクシャ部とを備え、前記ロードビーム部は、前記ヘッド搭載領域における前記ディスク面とは反対側の裏面に係合するディンプルを有し、第１ＬＢ曲げ線回りに第１ＬＢ曲げ角度θ1で曲げられ且つ前記第１ＬＢ曲げ線とはサスペンション長手方向に関し異なる位置において第２ＬＢ曲げ線回りに第２ＬＢ曲げ角度θ2で前記第１ＬＢ曲げ線での曲げ方向とは異なる方向へ曲げられており、前記荷重曲げ部は、荷重曲げ線回りに荷重曲げ角度θ3で曲げられている磁気ヘッドサスペンションの製造方法であって、前記サスペンションがロードオン状態の際に所定の押し付け荷重を発生しつつ前記ロードビーム部のうち前記第１及び第２ＬＢ曲げ線より基端側に位置する基端側領域を前記ディスク面に対して平行とさせる第１ＬＢ曲げ角度θ1、第２ＬＢ曲げ角度θ2及び荷重曲げ角度θ3の曲げ角度セットを複数見つけ出し、前記複数の曲げ角度セットのそれぞれについて捩れモードゲインに関する解析又は実測を行って第１ＬＢ曲げ角度θ1と捩れモードゲインとの関係を得て、前記関係から捩れモードゲインを最小とさせる第１ＬＢ曲げ角度θ1(min)を検出し、前記第１ＬＢ曲げ角度がθ1(min)とされた磁気ヘッドサスペンションがロードオン状態の際に所定の押し付け荷重を発生し且つ前記基端側領域を平行とさせる第２ＬＢ曲げ角度θ2及び荷重曲げ角度θ3の曲げ角度セットを見つけ出すように構成された磁気ヘッドサスペンションの製造方法を提供する。

【0015】

好ましくは、ロードオン状態の際に所定の押し付け荷重を発生しつつ前記基端側領域を前記ディスク面に対して平行とさせる第１ＬＢ曲げ角度θ1、第２ＬＢ曲げ角度θ2及び荷重曲げ角度θ3の曲げ角度セットを複数見つけ出す前記工程は、前記第１ＬＢ曲げ角度θ1として任意角度を選択する第１ＬＢ曲げ角度選択工程と、前記第２ＬＢ曲げ角度θ2として任意角度を選択する第２ＬＢ曲げ角度選択工程と、前記第１ＬＢ曲げ角度θ1及び前記第２ＬＢ曲げ角度θ2として現在選択されている前記任意角度を有するサスペンションがロードオン状態とされた際に前記荷重曲げ部が所定の押し付け荷重を発生するように前記荷重曲げ角度θ3を決定する荷重曲げ角度決定工程と、前記第１ＬＢ曲げ角度θ1及び前記第２ＬＢ曲げ角度θ2として現在選択されている前記任意角度を有し且つ前記荷重曲げ角度θ3として前記荷重曲げ角度決定工程によって決定された角度を有するサスペンションがロードオン状態とされた際に、前記ロードビーム部のうち前記第１及び第２荷重曲げ線より基端側領域が前記ディスク面に対して平行となるか否かを判断する平行判定工程と、前記平行判定工程によって平行と判断される場合には、前記第２ＬＢ曲げ角度θ2及び前記荷重曲げ角度θ3として現時点で認識されている角度を、前記第１ＬＢ曲げ角度θ1として現在選択されている角度に対して、ロードオン状態の際に所定押し付け荷重を発生し且つ前記基端領域を平行とさせる曲げ角度セットとして認識し、前記平行判定工程によって平行で無いと判断される場合には、前記第２ＬＢ曲げ角度θ2として現在選択されている角度とは異なる他の角度を選択し直し、前記第１ＬＢ曲げ角度θ1として現在選択されている角度及び前記第２ＬＢ曲げ角度θ2として選択し直された角度を有するサスペンションがロードオン状態とされた際に前記荷重曲げ部が前記所定の押し付け荷重を発生するように前記荷重曲げ角度θ3を決定し、これらの曲げ角度を有するサスペンションがロードオン状態とされた際に前記基端側領域が前記ディスク面に対して平行となるか否かを判断する作業を繰り返して、前記第１ＬＢ曲げ角度θ1として現在選択されている角度に対して、ロードオン状態の際に所定押し付け荷重を発生し且つ前記基端領域を平行とさせる第２ＬＢ曲げ角度θ2及び荷重曲げ角度θ3の曲げ角度セットを見つけ出す曲げ角度セット検出工程と、前記第１ＬＢ曲げ角度θ1として前記任意角度とは異なる少なくとも１つの他の任意角度を選択し、選択された他の任意角度毎に、前記第２ＬＢ曲げ角度選択工程から前記曲げ角度セット検出工程に至る工程と同様の作業を行い、ロードオン状態の際に所定押し付け荷重を発生し且つ前記基端側領域を平行とさせる第２ＬＢ曲げ角度θ2及び荷重曲げ角度θ3の曲げ角度セットを見つけ出す他の曲げ角度セット検出工程とを含むものとされる。

【0016】

一形態においては、前記第１ＬＢ曲げ線は前記第２ＬＢ曲げ線よりもサスペンション長手方向基端側に位置される。

【0017】

前記一形態において、好ましくは、前記第１ＬＢ曲げ線は前記ロードビーム部の基端部及び前記ディンプル間のサスペンション長手方向略中央に配置され、前記第２ＬＢ曲げ線は前記第１ＬＢ曲げ線及び前記ディンプル間のサスペンション長手方向略中央に配置される。

【0018】

前記種々の構成において、好ましくは、前記荷重曲げ線は、サスペンション長手方向基端側及び先端側にそれぞれ位置する基端側荷重曲げ線及び先端側荷重曲げ線を含み得る。
この場合、前記基端側荷重曲げ線回りの曲げ部が発生する荷重及び前記先端側荷重曲げ線回りの曲げ部が発生する荷重の合力が前記押し付け荷重を画する。

【発明の効果】

【0019】

本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの製造方法によれば、ロードオン状態の際に所定の押し付け荷重を発生しつつロードビーム部の基端側領域をディスク面に対して平行とさせる第１ＬＢ曲げ角度θ1、第２ＬＢ曲げ角度θ2及び荷重曲げ角度θ3の曲げ角度セットを複数見つけ出し、前記複数の曲げ角度セットのそれぞれについて捩れモードゲインに関する解析又は実測を行って第１ＬＢ曲げ角度θ1と捩れモードゲインとの関係を得て、前記関係から捩れモードゲインを最小とさせる第１ＬＢ曲げ角度θ1(min)を検出し、前記第１ＬＢ曲げ角度がθ1(min)とされた磁気ヘッドサスペンションにおいてロードオン状態の際に所定の押し付け荷重を発生し且つ前記基端側領域を平行とさせる第２ＬＢ曲げ角度θ2及び荷重曲げ角度θ3の曲げ角度セットを見つけ出すように構成されているので、捩れモードの振動に対する磁気ヘッドスライダのゲイン低減を図りつつ、ＳＷＡＹモードの共振周波数を有効に上昇させ得る磁気ヘッドサスペンションを効率に製造することができる。

【図面の簡単な説明】

【0020】

【図1】図１は、本発明の一実施の形態に係る製造方法によって製造される磁気ヘッドサスペンションの上面図である。

【図2】図２は、図１におけるII-II線に沿った断面図である。

【図3】図３は、図１に示す前記磁気ヘッドサスペンションの側面図である。

【図4】図４は、図３におけるIV部のサスペンション長手方向中心線ＣＬに沿った拡大縦断側面図である。

【図5】図５(a)〜(d)は、本発明の一実施の形態に係る製造方法の工程ブロック図である。

【図6】図６は、図１に示す前記磁気ヘッドサスペンションの変形例の上面図である。

【図7】図７は、前記一実施の形態の変形例に係る製造方法の工程ブロック図である。

【図8】図８は、図１に示す前記磁気ヘッドサスペンションの他の変形例の上面図である。

【発明を実施するための形態】

【0021】

以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの製造方法の好ましい実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。

【0022】

図１に本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンションの製造方法によって製造される磁気ヘッドサスペンション１Ａの上面図（ディスク面とは反対側から視た平面図）を、図２に図１におけるII-II線に沿った断面図を示す。

【0023】

さらに、図３に、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａのロードオン状態（前記磁気ヘッドサスペンション１Ａにおける下記荷重曲げ部２０が曲げ戻された状態でハードディスク装置に実装され且つディスク面１００の回転に伴う空気圧によって下記磁気ヘッドスライダ５０が浮上することによって前記荷重曲げ部２０がさらに曲げ戻された状態）の側面図を示す。

【0024】

まず、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａについて説明する。
前記磁気ヘッドサスペンション１Ａは、図１〜図３に示すように、ボイスコイルモータ等のアクチュエータ（図示せず）によって直接又は間接的に揺動中心回りにディスク面に平行なシーク方向へ揺動される支持部１０と、磁気ヘッドスライダ５０を前記ディスク面に向けて押し付ける為の押し付け荷重を発生し得るように基端部が前記支持部１０に連結された前記荷重曲げ部２０と、前記荷重曲げ部２０を介して前記支持部１０に支持され且つ前記押し付け荷重を前記磁気ヘッドスライダ５０に伝達するロードビーム部３０と、前記磁気ヘッドスライダ５０を支持した状態で前記ロードビーム部３０に支持されるフレクシャ部４０とを備えている。

【0025】

前記支持部１０は、前記アクチュエータに直接又は間接的に連結された状態で前記荷重曲げ部２０を介して前記ロードビーム部３０を支持する部材であり、比較的高剛性を有するものとされる。

【0026】

本実施の形態においては、図１及び図３に示すように、前記支持部１０は、前記アクチュエータに連結されるキャリッジアーム（図示せず）の先端にかしめ加工によって接合されるボス部１５を備えたベースプレートとされている。

【0027】

前記支持部１０は、例えば、厚さ０．１ｍｍ〜０．８ｍｍのステンレス板によって好適に形成される。
当然ながら、前記支持部１０として、基端部が前記アクチュエータの揺動中心に連結されるアームを採用することも可能である。

【0028】

前記ロードビーム部３０は、前述の通り、前記荷重曲げ部２０によって発生される押し付け荷重を前記磁気ヘッドスライダ５０に伝達する為の部材であり、従って、所定の剛性が要求される。

【0029】

図１及び図３に示すように、前記ロードビーム部３０は、前記ディスク面１００と対向する平板状の本体部３１を有している。
前記ロードビーム部３０は、例えば、厚さ０．０２ｍｍ〜０．１ｍｍのステンレス板によって好適に形成される。

【0030】

本実施の形態においては、図１〜図３に示すように、前記ロードビーム部３０は、さらに、前記本体部３１のサスペンション幅方向両側から前記ディスク面１００とは反対方向へ延びる左右一対のフランジ部３２を有しており、前記フランジ部３２によって剛性を向上させている。

【0031】

図１及び図３に示すように、前記ロードビーム部３０は、前記本体部３１の先端側にディンプル３３と呼ばれる突起を有している。
前記ディンプル３３は、前記ディスク面１００に近接する方向に、例えば、０．０５ｍｍ〜０．１ｍｍ程度突出されている。このディンプル３３は、前記フレクシャ部４０における下記ヘッド搭載領域４１５の上面（前記磁気ヘッドスライダ５０を支持する支持面とは反対側の裏面）に接触し、このディンプル３３を介して前記押し付け荷重を前記フレクシャ部４０の前記ヘッド搭載領域４１５に伝達するようになっている。

【0032】

前記ロードビーム部３０は、図１及び図３に示すように、第１ＬＢ曲げ線ＢＬ１回りに曲げられた第１ＬＢ曲げ部３８（１）と、前記第１ＬＢ曲げ線ＢＬ１とはサスペンション長手方向に関し異なる位置に設けられた第２ＬＢ曲げ線ＢＬ２回りに曲げられた第２ＬＢ曲げ部３８（２）とを有している。

【0033】

図４に、図３におけるIV部のサスペンション長手方向中心線ＣＬ（図１参照）に沿った拡大縦断側面図を示す。
図１、図３及び図４に示すように、本実施の形態においては、前記第１ＬＢ曲げ線ＢＬ１が前記第２ＬＢ曲げ線ＢＬ２よりサスペンション長手方向基端側に配置されている。

【0034】

斯かる構成においては、前記ロードビーム部３０の前記本体部３１は、前記第１ＬＢ曲げ線ＢＬ１よりサスペンション長手方向基端側に位置する基端側領域３１ａと、サスペンション長手方向に関し前記第１及び第２ＬＢ曲げ線ＢＬ１、ＢＬ２の間に位置する中間領域３１ｂと、前記第２ＬＢ曲げ線ＢＬ２よりサスペンション長手方向先端側に位置する先端側領域３１ｃとに区画される。

【0035】

図３及び図４に示すように、本実施の形態においては、前記第１ＬＢ曲げ部３８（１）は前記ディスク面１００に向かって凸状とされている。

【0036】

詳しくは、前記中間領域３１ｂが前記基端側領域３１ａに比して先端側へ行くに従って前記ディスク面１００から離間するように、前記基端側領域３１ａに対して前記第１ＬＢ曲げ線ＢＬ１回りに曲げられており、これにより、前記第１ＬＢ曲げ部３８（１）が前記ディスク面に向かう凸状を形成している。

【0037】

前記第２ＬＢ曲げ線ＢＬ２での曲げ方向は、前記第１ＬＢ曲げ線ＢＬ１での曲げ方向とは異なっている。
即ち、図３及び図４に示すように、前記第２ＬＢ曲げ部３８（２）は前記ディスク面１００とは反対側に向かって凸状とされている。

【0038】

詳しくは、前記先端側領域３１ｃが前記中間領域３１ｂに比して先端側へ行くに従って前記ディスク面１００に近接するように、前記中間領域３１ｂに対して前記第２ＬＢ曲げ線ＢＬ２回りに曲げられており、これにより、前記第２ＬＢ曲げ部３８（２）が前記ディスク面１００とは反対側に向かう凸状を形成している。

【0039】

なお、本実施の形態においては、図１に示すように、前記第１及び第２ＬＢ曲げ線ＢＬ１、ＢＬ２は共にサスペンション幅方向に沿っているが、本発明は斯かる形態に限定されるものではない。

【0040】

即ち、前記第１ＬＢ曲げ線ＢＬ１は、サスペンション長手方向中心線ＣＬを基準にしてサスペンション幅方向に関し対称で、且つ、前記第１ＬＢ曲げ線ＢＬ１回りの曲げによって、当該第１ＬＢ曲げ線ＢＬ１より先端側の部位が基端側の部位に比して、前記ディスク面１００に近接又は離間する限り、前記第１ＬＢ曲げ線ＢＬ１をサスペンション幅方向に対して傾斜させることも可能である。

【0041】

例えば、前記第１ＬＢ曲げ線ＢＬ１が、サスペンション長手方向中心線ＣＬ上の基準位置からサスペンション幅方向一方側へ行くに従ってサスペンション長手方向基端側又は先端側に位置するように傾斜されたサスペンション幅方向一方側の部分と、サスペンション長手方向中心線ＣＬを基準にしてサスペンション幅方向一方側の部分とは対称とされたサスペンション幅方向他方側の部分とを有するように構成することができる。

【0042】

斯かる構成によれば、前記第１ＬＢ曲げ線ＢＬ１回りの曲げ加工による前記フランジ部３２の変形具合を微調整でき、前記フランジ部３２の変形を抑えつつ前記第１ＬＢ曲げ線ＢＬ２回りの曲げ加工を実現できる。

【0043】

同様に、前記第２ＬＢ曲げ線ＢＬ１は、サスペンション長手方向中心線ＣＬを基準にしてサスペンション幅方向に関し対称で、且つ、前記第２ＬＢ曲げ線ＢＬ２回りの曲げによって、当該第２ＬＢ曲げ線ＢＬ２より先端側の部位が基端側の部位に比して、前記ディスク面１００に近接又は離間する限り、前記第２ＬＢ曲げ線ＢＬ２をサスペンション幅方向に対して傾斜させることも可能である。

【0044】

例えば、前記第２ＬＢ曲げ線ＢＬ２が、サスペンション長手方向中心線ＣＬ上の基準位置からサスペンション幅方向一方側へ行くに従ってサスペンション長手方向基端側又は先端側に位置するように傾斜されたサスペンション幅方向一方側の部分と、サスペンション長手方向中心線ＣＬを基準にしてサスペンション幅方向一方側の部分とは対称とされたサスペンション幅方向他方側の部分とを有するように構成することができる。

【0045】

斯かる構成によれば、前記第２ＬＢ曲げ線ＢＬ２回りの曲げ加工による前記フランジ部３２の変形具合を微調整でき、前記フランジ部３２の変形を抑えつつ前記第２ＬＢ曲げ線ＢＬ２回りの曲げ加工を実現できる。

【0046】

本実施の形態においては、図１及び図３に示すように、前記ロードビーム部３０は、さらに、前記本体部３１の先端からサスペンション長手方向先端側へ延びるリフトタブ３４を一体的に有している。

【0047】

前記リフトタブ３４は、前記磁気ヘッドスライダ５０が前記ディスク面１００の径方向外方へ位置するように前記磁気ヘッドサスペンション１Ａが前記アクチュエータによって揺動された際に、前記ハードディスク装置に備えられたランプと係合して前記磁気ヘッドスライダ５０を前記ディスク面１００と直交するｚ方向に関し前記ディスク面１００から離間させる為の部材である。

【0048】

本実施の形態においては、図１及び図３に示すように、前記ロードビーム部３０の前記本体部３１のサスペンション幅方向両側は、サスペンション長手方向基端側から先端側へ行くに従ってサスペンション長手方向中心線ＣＬに近接するように略直線状に傾斜されている。

【0049】

斯かる構成によれば、前記ロードビーム部３０の先端側における前記中心線ＣＬ回りの慣性モーメントを低減でき、捩れモード及びＳＷＡＹモードの共振周波数を上昇させることができる。

【0050】

図１及び図３に示すように、前記荷重曲げ部２０は、板面が前記ディスク面１００に対向するように配置された左右一対の板バネ２１を有している。

【0051】

前記一対の板バネ２１は、サスペンション幅方向に関し互いに対して離間されており、基端部が前記支持部１０の先端側に連結され且つ先端部が前記ロードビーム部３０の前記本体部３１の基端部に連結されている。

【0052】

前記一対の板バネ２１は、図１及び図３に示すように、先端側が前記ディスク面１００に近接するように荷重曲げ線ＰＬ回りに曲げられている。
この荷重曲げ線ＰＬ回りの曲げ角度は、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａがロードオン状態とされた際に所定の押し付け荷重を発生するように設定される。

【0053】

詳しくは、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａは、前記荷重曲げ線ＰＬ回りに曲げられた前記板バネ２１が所定量だけ曲げ戻されて保有弾性を有する状態でハードディスク装置に組み込まれる。

【0054】

そして、前記ハードディスク装置が作動状態となって前記ディスク面１００が回転されると、前記磁気ヘッドスライダ５０が前記ディスク面１００の回転に伴う空気圧を受けて前記ディスク面１００から離間する方向へ浮上し、この磁気ヘッドスライダ５０の浮上動作に応じて前記板バネ２１が、さらに、曲げ戻し方向へ弾性変形して、保有弾性が大きくなる。

【0055】

前記ロードオン状態とは前記磁気ヘッドスライダ５０が前記ディスク面１００の回転に伴う空気圧を受けて浮上した状態を意味しており、この状態において前記荷重曲げ部２０が所定の前記押し付け荷重を発生するように、前記荷重曲げ線ＰＬ回りの曲げ角度が設定される。

【0056】

具体的には、前記ロードオン状態の際の、前記磁気ヘッドスライダ５０（例えば、前記磁気ヘッドスライダ５０のディスク対向面）と前記磁気ヘッドサスペンション１Ａのうち前記ディスク面１００に直交するｚ方向に関し位置固定された基準部位（例えば、前記支持部１０における前記ディスク面とは反対側の上面）との間のｚ方向距離ＺＨが、仕様に応じて、設定高さとして決められている。

【0057】

従って、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａを実際にはハードディスク装置に組み込むこと無く、前記磁気ヘッドスライダ５０及び前記基準部位間のｚ方向距離ＺＨが所定設定高さとなるように前記板バネ２１が曲げ戻された際に、前記荷重曲げ部２０が前記所定の押し付け荷重を発生するように、前記荷重曲げ線ＰＬ回りの曲げ角度が決定される。

【0058】

なお、本実施の形態においては、図１に示すように、前記荷重曲げ線ＰＬはサスペンション幅方向に沿っているが、前記中心線ＣＬを基準にしてサスペンション幅方向に関し対称とされる限り、前記荷重曲げ線ＰＬをサスペンション幅方向に対して傾斜させることも可能である。

【0059】

例えば、前記一対の板バネ２１の一方における前記荷重曲げ線ＰＬはサスペンション幅方向内方から外方へ行くに従ってサスペンション長手方向先端側又は基端側の一方に位置するようにサスペンション幅方向に対して傾斜させ、前記一対の板バネ２１の他方における前記荷重曲げ線ＰＬは前記中心線ＣＬを基準にして前記一対の板バネ２１の一方における前記荷重曲げ線ＰＬと対称となるようにサスペンション幅方向に対して傾斜させることができる。

【0060】

このように、前記荷重曲げ線ＰＬをサスペンション幅方向に対して傾斜させることにより、製造工程を追加すること無く、前記ロードビーム部３０の本体部３１を前記ディスク面１００に近接する方向又は離間する方向へ凸状に撓ませることができ、質量増加を招くこと無く前記ロードビーム部３０の剛性を向上させることができる。斯かる構成によって、特に、捩れモードの共振周波数を高域化させることができる。

【0061】

前記荷重曲げ部２０は、例えば、厚さ０．０２ｍｍ〜０．１ｍｍのステンレス板によって形成される。
なお、本実施の形態においては、前記荷重曲げ部２０は前記ロードビーム部３０を形成するロードビーム形成部材３００に一体形成されている。

【0062】

詳しくは、本実施の形態においては、図１に示すように、前記ロードビーム部形成部材３００は、前記ロードビーム部３０を形成するロードビーム形成領域３０１と、前記ロードビーム形成領域３０１から基端側へ延びる荷重曲げ部形成領域３０５とを一体的に有しており、前記荷重曲げ部形成領域３０５にはサスペンション幅方向中央に間隙が設けられて、前記一対の第１及び第２板バネ２１を形成している。

【0063】

前記フレクシャ部４０は、前記磁気ヘッドスライダ５０を支持した状態で前記ロードビーム部３０に溶接等によって固着される。

【0064】

詳しくは、図３及び図４に示すように、前記フレクシャ部４０はフレクシャ基板４１０を有している。

【0065】

前記フレクシャ基板４１０は、前記ロードビーム部３０の前記本体部３１におけるディスク対向面に当接されるロードビーム部当接領域４１２と、基端部が前記ロードビーム部当接領域４１２に連結された左右一対の支持片４１３と、前記左右一対の支持片４１３の先端部によって支持された前記ヘッド搭載領域４１５とを有している。

【0066】

前記ヘッド搭載領域４１５は、図３及び図４に示すように、前記ディスク面と対向するディスク対向面において前記磁気ヘッドスライダ５０を支持しつつ、前記ディスク面とは反対側の裏面において前記ディンプル３３と接触しており、これにより、前記磁気ヘッドスライダ５０は前記ディンプル３３を支点としてロール方向及びピッチ方向に柔軟に揺動し得るようになっている。

【0067】

本実施の形態においては、前記ロードビーム部当接領域４１２は、前記本体部３１のうち前記第１及び第２ＬＢ曲げ線ＢＬ１、ＢＬ２より基端側に位置する領域（本実施の形態においては、前記基端側領域３１ａ）に前記サスペンション長手方向中心線ＣＬを基準にして対称配置されたスポット溶接によって固着されている。

【0068】

前記ヘッド搭載領域４１５がロール方向及びピッチ方向に揺動し得るように、前記フレクシャ基板４１０は、前記ロードビーム部３０よりも低剛性とされる。
前記フレクシャ基板４１０は、例えば、厚さ０．０１ｍｍ〜０．０２５ｍｍ程度のステンレス等の金属材料によって好適に形成される。

【0069】

なお、本実施の形態においては、前記フレクシャ基板４１０は、前記ロードビーム部３０の前記本体部３１に加えて、前記支持部１０にも固着されている。

【0070】

詳しくは、図１及び図３に示すように、前記フレクシャ基板４１０は、さらに、前記支持部１０に当接され且つスポット溶接等によって固着される支持部当接領域４１１と、前記支持部当接領域４１１及び前記ロードビーム部当接領域４１２を連結し、サスペンション長手方向に関し前記荷重曲げ部２０を通過する荷重曲げ部対応領域４１８とを有している。

【0071】

好ましくは、前記フレクシャ部４０には、前記磁気ヘッドスライダ５０を外部の部材に電気的に接続する為の導体層を含む配線構造体（図示せず）が備えられる。

【0072】

前記配線構造体は、前記フレクシャ基板４１０におけるディスク対向面に積層される絶縁層と前記絶縁層におけるディスク対向面に積層される導体層とを有する。
前記配線構造体には、さらに、前記導体層を囲繞する絶縁性のカバー層が備えられ得る。

【0073】

以下、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンションの製造方法について説明する。
本実施の形態に係る製造方法は、捩れモードの振動時における磁気ヘッドスライダ５０のゲイン低減を図りつつ、ＳＷＡＹモードの共振周波数を有効に上昇させ得る磁気ヘッドサスペンションの効率的な製造を可能とする。

【0074】

図５(a)〜(d)に、前記製造方法の工程ブロック図を示す。
前記製造方法は、前記支持部１０、前記荷重曲げ部２０、前記ロードビーム部３０及び前記フレクシャ部４０を固着させてサスペンションアッセンブリ１Ａ’（図５(a)参照）を形成した後に、前記第１ＬＢ曲げ線ＢＬ１回りの曲げ部の曲げ角度（以下、第１ＬＢ曲げ角度θ1という）を選択する第１ＬＢ曲げ角度選択工程及び前記第２ＬＢ曲げ線ＢＬ２回りの曲げ部の曲げ角度（以下、第２ＬＢ曲げ角度θ2という）を選択する第２ＬＢ曲げ角度選択工程を有している（図５(b)参照）。

【0075】

前記製造方法は、前記第１ＬＢ曲げ角度選択工程及び前記第２ＬＢ曲げ角度選択工程の後に、前記荷重曲げ線ＰＬ回りの曲げ部の曲げ角度（以下、荷重曲げ角度θ3という）を決定する荷重曲げ角度決定工程を有している（図５(c)参照）。

【0076】

前記荷重曲げ角度決定工程においては、前記第１ＬＢ曲げ角度θ1及び前記第２ＬＢ曲げ角度θ2として現在選択されている前記任意角度を有するサスペンションがロードオン状態（即ち、前記磁気ヘッドスライダ５０と前記サスペンションの基準部位との間のｚ方向距離が所定の設定高さＺＨとなるように前記荷重曲げ部２０が曲げ戻された状態）とされた際に前記荷重曲げ部２０が所定の押し付け荷重を発生するように、前記荷重曲げ角度θ3が決定される。

【0077】

ここで、前記製造方法は、前記第１ＬＢ曲げ角度θ1及び前記第２ＬＢ曲げ角度θ2として現在選択されているそれぞれの任意角度を有し且つ前記荷重曲げ角度θ3として前記荷重曲げ角度決定工程によって決定された角度を有するサスペンションがロードオン状態とされた際に、前記ロードビーム部３０の前記本体部３１のうち前記第１及び第２ＬＢ曲げ線ＢＬ１、ＢＬ２より基端側に位置する前記基端側領域３１ａが前記ディスク面に対して平行となるか否かを判断する平行判定工程（図５(d)参照）を有している。

【0078】

前記平行判定工程は、前記サスペンションがＳＷＡＹモードの振動に対して、所定値以上の高い共振周波数を有しているか否かを判断する工程として作用する。

【0079】

詳しく説明すると、ＳＷＡＹモードの振動とは、前記ディスク面に平行なシーク方向の振動を主とした前記サスペンションの主共振モードの振動である。
従って、前記サスペンションが前記ロードオン状態とされた際に、前記ロードビーム部３０の基端側が前記ディスク面に対して平行か否かを判定すれば、前記サスペンションがＳＷＡＹモードの振動に対して高い剛性を有するか否か、即ち、ＳＷＡＹモードの振動に対して高い共振周波数を有しているか否かを判断することができる。

【0080】

例えば、前記サスペンションが前記ロードオン状態とされた際に、前記基端側領域３１ａの前記ディスク面１００に対する傾きが所定の閾値以内であれば、平行と判断することができる。

【0081】

前記製造方法は、前記平行判定工程の後に、曲げ角度セット検出工程を有している。
前記曲げ角度セット検出工程は、前記第１ＬＢ曲げ角度θ1として現在選択されている角度に対して、前記ロードオン状態の際に前記基端側領域３１ａを平行とさせる第２ＬＢ曲げ角度θ2及び荷重曲げ角度θ3の曲げ角度セットを見つけ出す工程である。

【0082】

具体的には、前記曲げ角度セット検出工程は、前記平行判定工程によって平行と判断される場合には、前記第２ＬＢ曲げ角度θ2及び前記荷重曲げ角度θ3として現時点で設定されている角度を、前記第１ＬＢ曲げ角度θ1として現在選択されている角度に対して、前記ロードオン状態の際に所定の押し付け荷重を発生しつつ前記基端領域を平行とさせる曲げ角度セットとして認識する。

【0083】

これに対し、前記平行判定工程によって平行で無いと判断される場合には、前記曲げ角度セット検出工程は、前記第２ＬＢ曲げ角度θ2として現在選択されている角度とは異なる他の角度を選択し直し、前記第１ＬＢ曲げ角度θ1として現在選択されている角度及び前記第２ＬＢ曲げ角度θ2として選択し直された角度を有するサスペンションがロードオン状態とされた際に前記荷重曲げ部が前記所定の押し付け荷重を発生するように前記荷重曲げ角度θ3を決定し、これらの曲げ角度を有するサスペンションがロードオン状態とされた際に前記基端側領域３１ａが前記ディスク面１００に対して平行となるか否かを判断する作業を繰り返して、前記第１ＬＢ曲げ角度θ1として現在選択されている角度に対して、前記ロードオン状態の際に所定の押し付け荷重を発生しつつ前記基端側領域を平行とさせる第２ＬＢ曲げ角度θ2及び荷重曲げ角度θ3の曲げ角度セットを見つけ出す。

【0084】

前記製造方法は、前記第１ＬＢ曲げ角度θ1として先の工程で選択した前記任意角度とは異なる少なくとも１つの他の任意角度を選択し、新たに選択された少なくとも１つの他の任意角度毎に、前記第２ＬＢ曲げ角度選択工程から前記曲げ角度セット検出工程に至る工程と同様の作業を行い、ロードオン状態の際に所定の押し付け荷重を発生しつつ前記基端側領域３１ａを平行とさせる第２ＬＢ曲げ角度θ2及び荷重曲げ角度θ3の曲げ角度セットを見つけ出す他の曲げ角度セット検出工程を有している。

【0085】

前記製造方法は、その後に、前記複数の曲げ角度セット検出工程によって見つけ出された複数の曲げ角度セットを有する複数のサスペンションのそれぞれに対して、捩れモードの振動と磁気ヘッドスライダ５０の変位量との関係である捩れモードゲインに関する解析を行って、第１ＬＢ曲げ角度θ1と捩れモードゲインとの関係を得る捩れモードゲイン検出工程を有している。

【0086】

前記捩れモードゲインに関する解析は、下記方法によって行うことができる。
即ち、前記複数のサスペンションのそれぞれに対して、捩れモードの振動を生じさせる強制振動を所定部位に与え、前記所定部位の変位量に対する前記磁気ヘッドスライダ５０の変位量の比を当該サスペンションにおける捩れモードゲインとして認識することができる。

【0087】

例えば、前記支持部１０のうちｚ方向に関し強固に固定される位置（前記支持部１０がベースプレートの場合には、前記アクチュエータに連結されたキャリッジアームにかしめを介して固定される前記ボス部１５の位置、以下、支持部固定位置という）をｚ方向及びサスペンション長手方向に沿ったｘ方向に関し拘束し且つ前記磁気ヘッドスライダ５０のディスク対向面をｚ方向に関し拘束した状態で、前記支持部固定位置にサスペンション幅方向に沿ったｙ方向に強制振動（周期的な外力による定常振動：周波数１００Ｈｚ〜３０ｋＨｚ）を与えて捩れ１次モードの振動を生じさせ、前記支持部固定位置に加える前記強制振動による変位量（もしくは加速度）」に対する前記磁気ヘッドスライダ５０のサスペンション幅方向変位量（もしくは加速度）」の比を前記磁気ヘッドスライダ５０の捩れモードゲインとして求めることができる。

【0088】

なお、本実施の形態においては、前述の通り、前記捩れモードゲイン検出工程は、解析によって第１ＬＢ曲げ角度θ1と捩れモードゲインとの関係を得たが、解析に代えて、実測、即ち、実際に作成したサスペンションにおける前記所定部位に強制振動を与えて、前記所定部位の変位量及び前記磁気ヘッドスライダ５０の変位量を実測し、これらの実測値に基づき捩れモードゲインを得ることも可能である。

【0089】

前記製造方法は、その後に、最小捩れモードゲイン・第１ＬＢ曲げ角度検出工程を有している。
前記最小捩れモードゲイン・第１ＬＢ曲げ角度検出工程は、前記捩れモードゲイン検出工程によって検出された第１ＬＢ曲げ角度θ1と捩れモードゲインとの関係から、捩れモードゲインを最小とさせる最小捩れモードゲイン・第１ＬＢ曲げ角度θ1(min)を得る工程である。

【0090】

例えば、横軸に第１ＬＢ曲げ角度θ1を取り且つ縦軸に捩れモードゲインを取ったグラフを作成し、このグラフにおける縦軸の最下点に対応した横軸位置を、前記θ1(min)として認識することができる。

【0091】

前記製造方法は、その後に、前記第１ＬＢ曲げ角度θ1が前記角度θ1(min)とされたサスペンションに対して、前記第２ＬＢ曲げ角度選択工程から前記曲げ角度セット検出工程に至る工程と同様の作業を行い、前記第１ＬＢ曲げ角度θ1が前記θ1(min)とされたサスペンションにおいて、ロードオン状態の際に所定の押し付け荷重を発生しつつ前記基端側領域３１ａを平行とさせる第２ＬＢ曲げ角度θ2及び荷重曲げ角度θ3の曲げ角度セットを見つけ出す最終の曲げ角度セット検出工程を有している。

【0092】

前記製造方法は、このようにして見つけ出された曲げ角度で前記第１ＬＢ曲げ線ＢＬ１、前記第２ＬＢ曲げ線ＢＬ２及び前記荷重曲げ線ＰＬ回りに曲げ加工を行う工程、即ち、前記第１ＬＢ曲げ線ＢＬ１回りに前記角度θ1(min)で曲げ加工を行い、前記第２ＬＢ曲げ線ＢＬ２及び前記荷重曲げ線ＰＬ回りに、それぞれ、前記最終の曲げ角度セット検出工程で見つけ出された第２ＬＢ曲げ角度θ2及び荷重曲げ角度θ3で曲げ加工を行う工程を有している。

【0093】

斯かる工程を備えた本実施の形態に係る前記製造方法によれば、捩れモードの振動時における磁気ヘッドスライダ５０のゲイン低減を図りつつ、ＳＷＡＹモードの共振周波数を有効に上昇させ得る磁気ヘッドサスペンションを効率良く製造することができる。

【0094】

好ましくは、前記第１及び第２ＬＢ曲げ線ＢＬ１、ＢＬ２のうちサスペンション長手方向基端側に位置する曲げ線（本実施の形態においては前記第１ＬＢ曲げ線ＢＬ１）を、前記ロードビーム部３０の基端部及び前記ディンプル３３間のサスペンション長手方向略中央に配置し、前記第１及び第２ＬＢ曲げ線ＢＬ１、ＢＬ２のうち先端側に位置する曲げ線（本実施の形態においては前記第２ＬＢ曲げ線ＢＬ２）を、基端側に位置するＬＢ曲げ線及び前記ディンプル３３間のサスペンション長手方向略中央に配置することができる。

【0095】

斯かる構成によれば、前記ロードオン状態の際に前記ディスク面に対して平行とされる前記基端側領域３１ａの長さを確保しつつ、前記曲げ線ＢＬ１、ＢＬ２回りの曲げ角度による捩れモードゲインの調整感度を向上させることができる。

【0096】

図６に、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａの変形例１Ｂの上面図を示す。
図６に示すように、前記基端側領域３１ａにおける前記ディスク面１００とは反対側に制振材６０を設けることも可能である。
前記制振材６０を設ける場合には、前記基端側領域３１ａの長さを広げることにより、前記制振材６０による減衰効果を高めることができる。

【0097】

なお、前記制振材６０は、前記基端側領域３１ａの前記ディスク面とは反対側に固着される粘弾性材からなる第１層（図示せず）と前記第１層のディスク面とは反対側に固着される第２層（図示せず）とを有し得る。

【0098】

前記第１層としては、例えば、アクリルポリマーやシリコンが好適に使用される。
前記第２層としては、例えば、ステンレスやアルミニウム等の金属材料、若しくは、ポリエチレン・テレフタレート等の樹脂材料が好適に使用される。

【0099】

なお、本実施の形態においては、前述の通り、前記第１ＬＢ曲げ部３８（１）が前記ディスク面１００に向かって凸状となるように前記第１ＬＢ曲げ線ＢＬ１での曲げ方向が画され、且つ、前記第２ＬＢ曲げ部３８（２）が前記ディスク面１００とは反対側に向かって凸状となるように前記第２ＬＢ曲げ線ＢＬ２での曲げ方向が画されているが（図４参照）、本発明は斯かる形態に限定されるものではない。

【0100】

図７(a)〜(d)に、前記第１及び第２曲げ線ＢＬ１、ＢＬ２での曲げ方向を本実施の形態とは反対とした磁気ヘッドサスペンション２Ａの製造方法の工程ブロック図を示す。

【0101】

詳しくは、図７(a)〜(d)に示すように、前記第１ＬＢ曲げ部３８（１）が前記ディスク面１００とは反対側に向かって凸状となるように前記第１ＬＢ曲げ線ＢＬ１での曲げを行い、且つ、前記第２ＬＢ曲げ部３８（２）が前記ディスク面１０に向かって凸状となるように前記第２ＬＢ曲げ線ＢＬ２での曲げを行うことも可能である。

【0102】

又、本実施の形態においては、前記荷重曲げ部２０は単一の荷重曲げ線ＰＬで曲げられている構成を例に説明したが、図８に示すように、前記荷重曲げ部２０を基端側荷重曲げ線ＰＬ１及び先端側荷重曲げ線ＰＬ２の２本の曲げ線回りに曲げることも可能である。

【0103】

図８に示す変形例に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｃにおいては、当該サスペンション１Ｃを前記ハードディスク装置へ組み込む際及び前記ディスク面１００の回転に伴って前記磁気ヘッドスライダ５０が浮上動作する際に、前記荷重曲げ部２０は前記基端側荷重曲げ線ＰＬ１及び前記先端側荷重曲げ線ＰＬ２の双方の曲げ線回りに曲げ戻し方向へ弾性変形されて保有弾性を有する状態となる。

【0104】

つまり、前記変形例１Ｃにおいては、前記基端側荷重曲げ線ＰＬ１において発生する荷重と前記先端側荷重曲げ線ＰＬ２において発生する荷重との合力によって前記押し付け荷重が画されることになる。

【0105】

斯かる構成においては、前記荷重曲げ部２０が単一の荷重曲げ線ＰＬで曲げられている構成における前記荷重曲げ線ＰＬでの曲げ角度（前記荷重曲げ角度θ3）に比して、前記基端側荷重曲げ線ＰＬ１及び前記先端側荷重曲げ線ＰＬ２でのそれぞれの曲げ角度を小さくしつつ、所定の前記押し付け荷重を得ることができる。

【0106】

即ち、前記荷重曲げ部２０が単一の荷重曲げ線ＰＬで曲げられている構成に比して、前記荷重曲げ部２０を前記ディスク面１００に対して平行に近づけることができ、従って、サスペンション全体におけるＳＷＡＹモードの共振周波数を高めることができる。

【符号の説明】

【0107】

１Ａ〜１Ｃ 磁気ヘッドサスペンション
１０ 支持部
２０ 荷重曲げ部
２１ 板バネ
３０ ロードビーム部
３１ａ 基端側領域
３３ ディンプル
４０ フレクシャ部
５０ 磁気ヘッドスライダ
４１５ ヘッド搭載領域
ＢＬ１ 第１ＬＢ曲げ線
ＢＬ２ 第２ＬＢ曲げ線
ＰＬ 荷重曲げ線
ＰＬ１ 先端側荷重曲げ線
ＰＬ２ 基端側荷重曲げ線

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】