特許5798424荷電粒子ビームの軸合わせ方法および荷電粒子ビーム装置

発明の名称　荷電粒子ビームの軸合わせ方法および荷電粒子ビーム装置

出願人　日本電子株式会社　（識別番号 4271）

　　　　特許公開件数ランキング 630 位（43件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 681 位（36件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5798424

公報発行日　2015年10月21

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5798424

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