【図1】ＥＵＶ投影リソグラフィのための投影露光装置を通る模式的な子午断面図である。

【図2】図１に記載の投影露光装置の全指向性ＥＵＶ放射線源の放射を中間焦点の位置に伝達するためのコレクターの実施形態の子午断面図である。

【図3】図１に記載の投影露光装置の全指向性ＥＵＶ放射線源の放射を中間焦点の位置に伝達するためのコレクターの実施形態の子午断面図である。

【図4】図１に記載の投影露光装置の全指向性ＥＵＶ放射線源の放射を中間焦点の位置に伝達するためのコレクターの実施形態の子午断面図である。

【図5】図１に記載の投影露光装置の全指向性ＥＵＶ放射線源の放射を中間焦点の位置に伝達するためのコレクターの実施形態の子午断面図である。

【図6】図１に記載の投影露光装置の全指向性ＥＵＶ放射線源の放射を中間焦点の位置に伝達するためのコレクターの実施形態の子午断面図である。

【図7】図１に記載の投影露光装置の全指向性ＥＵＶ放射線源の放射を中間焦点の位置に伝達するためのコレクターの実施形態の子午断面図である。