発明の名称 Mo/Si多層プラズマアシスト蒸着
出願人 コーニング インコーポレイテッド (識別番号 397068274)
特許公開件数ランキング 324 位(94件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 409 位(61件)(共同出願を含む)
公報番号 特許-5800893
公報発行日 2015年10月28
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5800893
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