特許5807863スピンドル下降距離情報検出機構及びスピンドル下降距離情報検出機構を組み込んだ基板加工装置

発明の名称　スピンドル下降距離情報検出機構及びスピンドル下降距離情報検出機構を組み込んだ基板加工装置

出願人　大船企業日本株式会社　（識別番号 512052904）

　　　　特許公開件数ランキング 14556 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 12424 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5807863

公報発行日　2015年11月10

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5807863

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