特許 5808165 抵抗測定用電極装置および抵抗測定システム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5808165

(24)【登録日】2015年9月18日

(45)【発行日】2015年11月10日

(54)【発明の名称】抵抗測定用電極装置および抵抗測定システム

(51)【国際特許分類】

   G01R 27/02 20060101AFI20151021BHJP

【ＦＩ】

   G01R27/02 R

【請求項の数】7

【全頁数】21

(21)【出願番号】特願2011-142933(P2011-142933)

(22)【出願日】2011年6月28日

(65)【公開番号】特開2013-11457(P2013-11457A)

(43)【公開日】2013年1月17日

【審査請求日】2014年5月30日

(73)【特許権者】

【識別番号】000227180

【氏名又は名称】日置電機株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100104787

【弁理士】

【氏名又は名称】酒井 伸司

(72)【発明者】

【氏名】池田 正和

【審査官】 神谷 健一

(56)【参考文献】

【文献】 実開平０２−０２０１７４（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 実開平０３−１０９１８０（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 特開２００１−２９６３２１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０５−２３２１６６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００３−０９０１２３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１０−００２２１１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００７−０５１９６８（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０１Ｒ １／０６− １／０７３

Ｇ０１Ｒ ２７／００−２７／３２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

中心電極と、当該中心電極の周囲に配置された筒状の外部電極と、前記中心電極および前記外部電極を支持する電極支持部とを備えた抵抗測定用電極装置であって、
前記電極支持部は、当該電極支持部に対する前記外部電極の筒長方向への前記中心電極および当該外部電極の少なくとも一方の移動を許容しつつ当該両電極を支持可能に構成され、
当該抵抗測定用電極装置を水平平面上に載置したときに、前記中心電極から前記水平平面に加わる圧力と、前記外部電極から前記水平平面に加わる圧力とが等しくなるように構成されている抵抗測定用電極装置。

【請求項2】

前記電極支持部に対する前記筒長方向への前記中心電極および前記外部電極の少なくとも一方の移動時に当該中心電極と共に当該外部電極に対して相対的に移動する部材および当該中心電極の総重量を当該中心電極の面積で除した値と、前記少なくとも一方の移動時に前記外部電極と共に前記中心電極に対して相対的に移動する部材および当該外部電極の総重量を当該外部電極の面積で除した値とが等しくなるように、当該中心電極、当該外部電極および当該各部材の重量および大きさを規定することで前記両圧力が等しくなるように構成されている請求項１記載の抵抗測定用電極装置。

【請求項3】

前記電極支持部は、前記筒長方向への少なくとも前記中心電極の移動を許容し、
前記電極支持部および前記中心電極のいずれかには、当該電極支持部を持ち上げることで当該電極支持部に対して当該中心電極が相対的に下方に移動したときに押圧されて当該中心電極の当該相対的な移動を検出する電極移動検出素子が取り付けられている請求項１または２記載の抵抗測定用電極装置。

【請求項4】

前記電極支持部は、前記筒長方向への少なくとも前記外部電極の移動を許容し、
前記電極支持部および前記外部電極のいずれかには、当該電極支持部を持ち上げることで当該電極支持部に対して当該外部電極が相対的に下方に移動したときに押圧されて当該外部電極の当該相対的な移動を検出する電極移動検出素子が取り付けられている請求項１または２記載の抵抗測定用電極装置。

【請求項5】

請求項１または２記載の抵抗測定用電極装置と、当該抵抗測定用電極装置に接続された測定装置とを備えて構成された抵抗測定システムであって、
前記測定装置は、前記抵抗測定用電極装置における前記中心電極と前記外部電極との間に測定用電圧を印加すると共に、当該中心電極と当該外部電極との間を流れる電流の電流値および前記測定用電圧の電圧値に基づいて、当該中心電極および当該外部電極が接している測定対象体の表面抵抗を測定可能に構成されている抵抗測定システム。

【請求項6】

請求項３または４記載の抵抗測定用電極装置と、当該抵抗測定用電極装置に接続された測定装置とを備えて構成された抵抗測定システムであって、
前記測定装置は、前記抵抗測定用電極装置における前記中心電極と前記外部電極との間に測定用電圧を印加すると共に、当該中心電極と当該外部電極との間を流れる電流の電流値および前記測定用電圧の電圧値に基づいて、当該中心電極および当該外部電極が接している測定対象体の表面抵抗を測定する測定部と、当該測定部を制御する制御部とを備え、
前記制御部は、前記抵抗測定用電極装置の前記電極移動検出素子によっていずれかの前記電極の前記相対的な移動が検出されていないときに前記測定部による前記測定用電圧の印加を許容すると共に、前記電極移動検出素子によっていずれかの前記電極の前記相対的な移動が検出されたときに前記測定部による前記測定用電圧の印加を規制する抵抗測定システム。

【請求項7】

前記抵抗測定用電極装置は、電圧印加規制解除スイッチが設けられて構成され、
前記制御部は、前記電極移動検出素子が押圧されている状態において前記電圧印加規制解除スイッチが操作されたときに前記測定用電圧の印加を許容する請求項６記載の抵抗測定システム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、中心電極および外部電極が電極支持部によって支持された抵抗測定用電極装置、および抵抗測定用電極装置を備えて構成された抵抗測定システムに関するものである。

【背景技術】

【0002】

例えば、特開２０１０−２２１１号公報には、測定プローブ、信号変換部および交流電源などを備えて、導電体シート等のシート部材の抵抗値等を測定可能に構成された電気特性測定装置（以下、単に「測定装置」ともいう）が開示されている。この場合、測定プローブは、円柱状に形成された第１電極と、円筒状に形成されて第１電極の周辺に配置された第２電極とを備えて構成されている。また、第１電極および第２電極の先端部には、導電性の弾性部材（以下、「導電性弾性部材」ともいう）が配設されている。さらに、第１電極および第２電極は、絶縁部材を介して相互に絶縁された状態で一体化されている。

【0003】

この測定装置を使用してシート部材の表面抵抗を測定する際には、まず、ステージにおける絶縁領域の上に測定対象のシート部材を載置する。次いで、シート部材の上に測定プローブを載置することにより、第１電極および第２電極の両導電性弾性部材をシート部材の表面に接触させる。続いて、第１電極および第２電極の間に交流電圧を印加すると共に、シート部材の表面を流れる電流の電流値を測定する。これにより、印加した電圧の電圧値と、測定された電流値とに基づいて、シート部材の表面抵抗が算出される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０１０−２２１１号公報（第５−８頁、第１−７図）

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

ところが、従来の測定装置、およびその測定プローブには、以下の解決すべき問題点がある。すなわち、従来の測定装置において採用されている測定プローブは、第１電極および第２電極が絶縁部材を介して一体化されている。一方、この種の測定装置の用途としては、上記の例のようなシート部材を対象とする表面抵抗の測定だけではなく、例えば、床面などの各種測定対象体の表面抵抗の測定が存在する。この場合、平坦なステージの上に載置した薄手のシート部材を測定対象体として、その表面抵抗を測定する際には、測定対象体の表面が平坦であるため、前述したように、測定用プローブにおける第１電極および第２電極の両導電性弾性部材を測定対象体に対してそれぞれ接触させることができる。

【0006】

しかしながら、例えば床面を測定対象体として、その表面抵抗を測定する際には、床面が凹凸していることがあるため、床面の凸状部における突端に第１電極の導電性弾性部材が接触している状態では、第２電極の導電性弾性部材が床面に対して非接触状態となり、床面の凹状部の底部の周囲に第２電極の導電性弾性部材が接触している状態では、第１電極の導電性弾性部材が凹状部の底部に対して非接触状態となることがある。このため、従来の測定装置（抵抗測定システム）における測定プローブ（抵抗測定用電極装置）では、表面が凹凸している測定対象体に対して第１電極（中心電極）および第２電極（外部電極）のいずれかが非接触状態となることがあり、これに起因して、測定対象体の表面抵抗を正確に測定できないことがあるという問題点が存在する。

【0007】

本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、中心電極および外部電極の双方を測定対象体に対して確実に接触させ得る抵抗測定用電極装置、および測定対象体の表面抵抗を正確に測定し得る抵抗測定システムを提供することを主目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

上記目的を達成すべく請求項１記載の抵抗測定用電極装置は、中心電極と、当該中心電極の周囲に配置された筒状の外部電極と、前記中心電極および前記外部電極を支持する電極支持部とを備えた抵抗測定用電極装置であって、前記電極支持部は、当該電極支持部に対する前記外部電極の筒長方向への前記中心電極および当該外部電極の少なくとも一方の移動を許容しつつ当該両電極を支持可能に構成され、当該抵抗測定用電極装置を水平平面上に載置したときに、前記中心電極から前記水平平面に加わる圧力と、前記外部電極から前記水平平面に加わる圧力とが等しくなるように構成されている。

【0009】

また、請求項２記載の抵抗測定用電極装置は、請求項１記載の抵抗測定用電極装置において、前記電極支持部に対する前記筒長方向への前記中心電極および前記外部電極の少なくとも一方の移動時に当該中心電極と共に当該外部電極に対して相対的に移動する部材および当該中心電極の総重量を当該中心電極の面積で除した値と、前記少なくとも一方の移動時に前記外部電極と共に前記中心電極に対して相対的に移動する部材および当該外部電極の総重量を当該外部電極の面積で除した値とが等しくなるように、当該中心電極、当該外部電極および当該各部材の重量および大きさを規定することで前記両圧力が等しくなるように構成されている。

【0010】

さらに、請求項３記載の抵抗測定用電極装置は、請求項１または２記載の抵抗測定用電極装置において、前記電極支持部は、前記筒長方向への少なくとも前記中心電極の移動を許容し、前記電極支持部および前記中心電極のいずれかには、当該電極支持部を持ち上げることで当該電極支持部に対して当該中心電極が相対的に下方に移動したときに押圧されて当該中心電極の当該相対的な移動を検出する電極移動検出素子が取り付けられている。

【0011】

さらに、請求項４記載の抵抗測定用電極装置は、請求項１または２記載の抵抗測定用電極装置において、前記電極支持部は、前記筒長方向への少なくとも前記外部電極の移動を許容し、前記電極支持部および前記外部電極のいずれかには、当該電極支持部を持ち上げることで当該電極支持部に対して当該外部電極が相対的に下方に移動したときに押圧されて当該外部電極の当該相対的な移動を検出する電極移動検出素子が取り付けられている。

【0012】

また、請求項５記載の抵抗測定システムは、請求項１または２記載の抵抗測定用電極装置と、当該抵抗測定用電極装置に接続された測定装置とを備えて構成された抵抗測定システムであって、前記測定装置は、前記抵抗測定用電極装置における前記中心電極と前記外部電極との間に測定用電圧を印加すると共に、当該中心電極と当該外部電極との間を流れる電流の電流値および前記測定用電圧の電圧値に基づいて、当該中心電極および当該外部電極が接している測定対象体の表面抵抗を測定可能に構成されている。

【0013】

また、請求項６記載の抵抗測定システムは、請求項３または４記載の抵抗測定用電極装置と、当該抵抗測定用電極装置に接続された測定装置とを備えて構成された抵抗測定システムであって、前記測定装置は、前記抵抗測定用電極装置における前記中心電極と前記外部電極との間に測定用電圧を印加すると共に、当該中心電極と当該外部電極との間を流れる電流の電流値および前記測定用電圧の電圧値に基づいて、当該中心電極および当該外部電極が接している測定対象体の表面抵抗を測定する測定部と、当該測定部を制御する制御部とを備え、前記制御部は、前記抵抗測定用電極装置の前記電極移動検出素子によっていずれかの前記電極の前記相対的な移動が検出されていないときに前記測定部による前記測定用電圧の印加を許容すると共に、前記電極移動検出素子によっていずれかの前記電極の前記相対的な移動が検出されたときに前記測定部による前記測定用電圧の印加を規制する。

【0014】

さらに、請求項７記載の抵抗測定システムは、請求項６記載の抵抗測定システムにおいて、前記抵抗測定用電極装置は、電圧印加規制解除スイッチが設けられて構成され、
前記制御部は、前記電極移動検出素子が押圧されている状態において前記電圧印加規制解除スイッチが操作されたときに前記測定用電圧の印加を許容する。

【発明の効果】

【0015】

請求項１記載の抵抗測定用電極装置では、電極支持部が、電極支持部に対する外部電極の筒長方向への中心電極および外部電極の少なくとも一方の移動を許容しつつ、両電極を支持する。また、請求項５記載の抵抗測定システムでは、請求項１記載の抵抗測定用電極装置、および抵抗測定用電極装置における中心電極と外部電極との間に測定用電圧を印加すると共に、中心電極と外部電極との間を流れる電流の電流値および測定用電圧の電圧値に基づいて、中心電極および外部電極が接している測定対象体の表面抵抗を測定可能に構成された測定装置を備えている。

【0016】

したがって、請求項１記載の抵抗測定用電極装置、および請求項５記載の抵抗測定システムによれば、測定対象体の表面が凹凸している状態であったとしても、中心電極および外部電極の少なくとも一方が電極支持部に対して外部電極の筒長方向に移動することで、中心電極および外部電極の双方を測定対象体の表面に確実に接触させることができる。これにより、測定対象体の表面抵抗を正確に測定することができる。

【0017】

また、請求項１，２記載の抵抗測定用電極装置、および請求項５記載の抵抗測定システムによれば、抵抗測定用電極装置を水平平面上に載置したときに、中心電極から水平平面に加わる圧力と、外部電極から水平平面に加わる圧力とが等しくなるように構成したことにより、測定対象体に対する中心電極の接触抵抗と、測定対象体に対する外部電極の接触抵抗とが均一となるため、測定対象体の表面抵抗を一層正確に測定することができる。

【0018】

さらに、請求項３記載の抵抗測定用電極装置では、電極支持部が筒長方向への少なくとも中心電極の移動を許容する構成において、電極支持部を持ち上げることで電極支持部に対して中心電極が相対的に下方に移動したときに押圧されて中心電極の相対的な移動を検出する電極移動検出素子が電極支持部および中心電極のいずれかに取り付けられている。また、請求項６記載の抵抗測定システムでは、請求項３記載の抵抗測定用電極装置および測定装置を備え、測定装置は、抵抗測定用電極装置における中心電極と外部電極との間に測定用電圧を印加すると共に、中心電極と外部電極との間を流れる電流の電流値および測定用電圧の電圧値に基づいて、中心電極および外部電極が接している測定対象体の表面抵抗を測定する測定部と、抵抗測定用電極装置の電極移動検出素子によって中心電極の相対的な移動が検出されていないときに測定部による測定用電圧の印加を許容すると共に、電極移動検出素子によって中心電極の相対的な移動が検出されたときに測定部による測定用電圧の印加を規制する制御部とを備えて構成されている。

【0019】

したがって、請求項３記載の抵抗測定用電極装置、および請求項６記載の抵抗測定システムによれば、抵抗測定用電極装置が持ち上げられている状態（中心電極や外部電極に人体が接触する可能性がある状態）において、測定用電圧が印加されないため、感電事故の発生を確実に防止することができる。

【0020】

さらに、請求項４記載の抵抗測定用電極装置では、電極支持部が筒長方向への少なくとも外部電極の移動を許容する構成において、電極支持部を持ち上げることで電極支持部に対して外部電極が相対的に下方に移動したときに押圧されて外部電極の相対的な移動を検出する電極移動検出素子が電極支持部および外部電極のいずれかに取り付けられている。また、請求項６記載の抵抗測定システムでは、請求項４記載の抵抗測定用電極装置および測定装置を備え、測定装置は、抵抗測定用電極装置における中心電極と外部電極との間に測定用電圧を印加すると共に、中心電極と外部電極との間を流れる電流の電流値および測定用電圧の電圧値に基づいて、中心電極および外部電極が接している測定対象体の表面抵抗を測定する測定部と、抵抗測定用電極装置の電極移動検出素子によって外部電極の相対的な移動が検出されていないときに測定部による測定用電圧の印加を許容すると共に、電極移動検出素子によって外部電極の相対的な移動が検出されたときに測定部による測定用電圧の印加を規制する制御部と備えて構成されている。

【0021】

したがって、請求項４記載の抵抗測定用電極装置、および請求項６記載の抵抗測定システムによれば、抵抗測定用電極装置が持ち上げられている状態（中心電極や外部電極に人体が接触する可能性がある状態）において、測定用電圧が印加されないため、感電事故の発生を確実に防止することができる。

【0022】

また、請求項７記載の抵抗測定システムによれば、制御部が、抵抗測定用電極装置に設けられた電極移動検出素子が押圧されている状態において電圧印加規制解除スイッチが操作されたときに測定用電圧の印加を許容することにより、中心電極や外部電極に人体が接触する可能性がある状態であったとしても、利用者が、その事実、および感電事故が発生する可能性がないことを認識しているときには、測定用電圧の印加の規制を強制的に解除して（印加を許容して）、中心電極および外部電極の間に測定用電圧を印加させることができる。

【図面の簡単な説明】

【0023】

【図1】抵抗測定システム１０，１０Ａの構成を示すブロック図である。

【図2】電極装置２の断面図である。

【図3】電極装置２（２Ａ）の底面図である。

【図4】取っ手３２ａに手を掛けて持ち上げた状態の電極装置２の断面図である。

【図5】表面が突出している測定対象体Ｘの上に載置した状態の電極装置２の断面図である。

【図6】表面が凹んでいる測定対象体Ｘの上に載置した状態の電極装置２の断面図である。

【図7】電極装置２Ａの断面図である。

【図8】取っ手３２ａに手を掛けて持ち上げた状態の電極装置２Ａの断面図である。

【図9】表面が突出している測定対象体Ｘの上に載置した状態の電極装置２Ａの断面図である。

【図10】表面が凹んでいる測定対象体Ｘの上に載置した状態の電極装置２Ａの断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0024】

以下、本発明に係る抵抗測定用電極装置および抵抗測定システムの実施の形態について、添付図面を参照して説明する。

【0025】

図１に示す抵抗測定システム１０は、「抵抗測定システム」の一例であって、測定装置１および電極装置２，３を備えて、各種測定対象体Ｘ（図５，６参照）の表面抵抗および体積抵抗を測定可能に構成されている。

【0026】

この場合、電極装置２は、「抵抗測定用電極装置」の一例であって、図２，３に示すように、筐体２１、中心電極２２、外部電極２３、スペーサ２４、圧電素子２５および解除スイッチ２６を備えて構成されている。筐体２１は、図２に示すように、一例として、ポリアセタール樹脂等の絶縁材料で円筒状に形成された外筒３１と、外筒３１の上側開口部を閉塞可能にアルミニウム等の金属材料で円板状に形成されると共に強化ナイロン等の絶縁材料で形成された取っ手３２ａが取り付けられた蓋体３２と、ポリアセタール樹脂等の絶縁材料で円板状に形成されて外筒３１の内側に固定された支持板３３とを備えている。この場合、本例の電極装置２では、上記の支持板３３が外筒３１および蓋体３２と相まって「電極支持部」を構成する。

【0027】

中心電極２２は、図２，３に示すように、一例として、ステンレススチール等の金属材料で円柱状に形成された柱状部４１と、導電性ゴム等の弾性材料によって円板状に形成されて柱状部４１の底面に取り付けられた電極本体４２と、この中心電極２２を筐体２１（支持板３３）に取り付けるための取付け用ねじ４３とを備えている。この場合、取付け用ねじ４３は、いわゆる［段付きねじ］であって、柱状部４１のねじ穴Ｈに対してねじ込み可能なねじ山が形成されている部位と、ねじ頭４３ｈとの間が円柱状に形成されている。また、外部電極２３は、一例として、ステンレススチール等の金属材料で円筒状に形成された筒状部５１と、導電性ゴム等の弾性材料によってリング状に形成されて筒状部５１の底面に取り付けられた電極本体５２と、この外部電極２３を筐体２１（支持板３３）に取り付けるための取付け用ねじ５３とを備えている。

【0028】

この場合、本例の電極装置２では、柱状部４１が取付け用ねじ４３によって支持板３３にねじ止めされることで中心電極２２が筐体２１（支持板３３）に対して矢印Ａ，Ｂの向きに移動自在に支持板３３によって支持されている（「電極支持部に対する外部電極の筒長方向への中心電極の移動」が許容された構成の一例）。また、本例の電極装置２では、筒状部５１が取付け用ねじ５３によって支持板３３にねじ止めされることで外部電極２３が支持板３３によって固定的に支持されている。

【0029】

スペーサ２４は、一例として、ポリアセタール樹脂によって円筒状に形成されると共に、中心電極２２および外部電極２３の間に挟み込まれるようにして外筒３１内に収容されている。この場合、スペーサ２４は、その内径が中心電極２２における柱状部４１の外径とほぼ同径で、その外径が外部電極２３における筒状部５１の内径とほぼ同径で、かつ、その筒長が柱状部４１の長さと同程度になるように形成されると共に、一例として、柱状部４１に対して固着されて柱状部４１と一体化されている。

【0030】

圧電素子２５は、「電極移動検出素子」の一例であって、一例として、リング状に形成されると共に、図２に示すように、支持板３３を挿通させた状態の取付け用ねじ４３におけるねじ頭４３ｈと支持板３３の上面との間に配設された状態で支持板３３に取り付けられている。この圧電素子２５は、後述するように、取っ手３２ａに手を掛けて電極装置２を持ち上げる（矢印Ａの向きに移動させる）ことで筐体２１（支持板３３）に対して中心電極２２が相対的に下方（矢印Ｂの向き）に移動したときに、取付け用ねじ４３のねじ頭４３ｈと支持板３３との間に挟まれて押圧されて、中心電極２２の相対的な移動を検出する。解除スイッチ２６は、「電圧印加規制解除スイッチ」の一例であって、一例として、プッシュスイッチで構成されている。

【0031】

一方、電極装置３は、この抵抗測定システム１０によって測定対象体の体積抵抗を測定する際に使用する装置であって、ステンレススチール等の導電性材料によって平板状に形成された電極（図示せず）を備えて構成されている。また、測定装置１は、電極装置２を用いた表面抵抗の測定処理、および電極装置２，３を用いた体積抵抗の測定処理を実行可能に構成された装置であって、図１に示すように、測定部１１、操作部１２、表示部１３および制御部１４を備えている。

【0032】

測定部１１は、制御部１４の制御に従って、上記の表面抵抗や体積抵抗の測定処理を実行する。具体的には、測定部１１は、表面抵抗の測定処理に際して、電極装置２の中心電極２２と外部電極２３との間に測定用電圧を印加すると共に、中心電極２２と外部電極２３との間を流れる電流の電流値を測定し、測定した電流値と、印加した測定用電圧の電圧値とに基づいて、中心電極２２および外部電極２３が接している測定対象体の表面抵抗を測定する。また、測定部１１は、体積抵抗の測定処理に際して、電極装置２の外部電極２３をガード電極として使用しつつ、電極装置２の中心電極２２と電極装置３との間に測定用電圧を印加すると共に、中心電極２２と電極装置３との間を流れる電流の電流値を測定し、測定した電流値と、印加した測定用電圧の電圧値とに基づいて、中心電極２２および電極装置３が接している測定対象体の体積抵抗を測定する。

【0033】

操作部１２は、測定装置１の動作条件を設定するための操作スイッチや、測定処理の開始・停止を指示するための操作スイッチなどを備え（図示せず）、これらのスイッチ操作に応じて制御部１４に操作信号を出力する。表示部１３は、一例として、ＬＣＤパネルを備えて構成されて、制御部１４の制御に従って、測定装置１の動作条件を設定する設定用画面や、測定部１１による測定結果などを表示する。

【0034】

制御部１４は、測定装置１を総括的に制御する。具体的には、制御部１４は、測定部１１を制御して上記の表面抵抗や体積抵抗の測定処理を実行させると共に、測定部１１による測定結果を表示部１３に表示させる。この場合、制御部は、後述するように、電極装置２が測定対象体Ｘ上に載置されて圧電素子２５が押圧されていないとき（中心電極２２の「相対的な移動」が検出されていないとき）に測定部１１による測定用電圧の印加を許容すると共に、電極装置２が持ち上げられて中心電極２２が筐体２１（支持板３３）に対して下方に移動することで圧電素子２５が押圧されているとき（中心電極２２の「相対的な移動」が検出されたとき）に測定部１１による測定用電圧の印加を規制する。また、制御部１４は、圧電素子２５が押圧されている状態において解除スイッチ２６が操作されたときに測定部１１による測定用電圧の印加を許容する。

【0035】

この場合、この抵抗測定システム１０を使用した表面抵抗の測定処理としては、ＪＩＳ−Ｃ２１７０に規定された「静電気電荷蓄積を防止する固体平面材料の抵抗および抵抗率試験方法」に従って実行する測定処理（以下、「ＪＩＳ−Ｃ２１７０の測定処理」ともいう）が存在する。この「ＪＩＳ−Ｃ２１７０の測定処理」では、使用する「抵抗測定用電極装置」の総重量（すなわち、中心電極や外部電極における測定対象体との接触面に加わる圧力）や、中心電極および外部電極における測定対象体との接触面を構成する部材の硬度が規定されており、本例の抵抗測定システム１０において採用された電極装置２においても、この規格に準じて電極装置２の重量、電極装置２の各部の大きさおよび電極本体４２，５２の硬度等が規定されている。

【0036】

また、本例の抵抗測定システム１０における電極装置２では、水平平面上に載置したときに、中心電極２２における電極本体４２から水平平面に加わる圧力と、外部電極２３における電極本体５２から水平平面に加わる圧力とが等しくなるように構成されている。具体的には、本例の電極装置２では、中心電極２２およびスペーサ２４の総重量を、中心電極２２における電極本体４２の面積で除した値と、外部電極２３および筐体２１の総重量を、外部電極２３における電極本体５２の面積で除した値とが等しくなるように各部の重量や大きさが規定されている。

【0037】

上記の電極装置２の組み立てに際しては、一例として、まず、柱状部４１の底部に電極本体４２を貼付すると共に、筒状部５１の底部に電極本体５２を貼付し、かつ、柱状部４１の外側にスペーサ２４を接着する。次いで、外筒３１の内側に支持板３３を固定すると共に、支持板３３に対して筒状部５１を固定する。この際には、支持板３３に設けられた挿通孔（図示せず）を挿通させた取付け用ねじ５３を、筒状部５１の上端部に形成されたねじ穴Ｈにねじ込むことにより、筒状部５１の上端部を支持板３３の底部（下面）に当接させるようにして、筒状部５１を支持板３３に対して固定する。これにより、支持板３３によって外部電極２３が支持される。

【0038】

続いて、柱状部４１と一体化されているスペーサ２４を筒状部５１の内側に挿通させると共に、圧電素子２５、および支持板３３に設けられた挿通孔（図示せず）をこの順で挿通させた取付け用ねじ４３を、柱状部４１の上端部に形成されたねじ穴Ｈにねじ込む。これにより、外部電極２３に対して絶縁された状態で、中心電極２２がスペーサ２４と共に支持板３３によって支持される。次いで、取っ手３２ａおよび解除スイッチ２６を蓋体３２に取り付けると共に、解除スイッチ２６および圧電素子２５に、図示しない接続用ケーブルの一端部をそれぞれ接続した後に、外筒３１における上側開口部を閉塞するようにして外筒３１に対して蓋体３２を取り付ける。これにより、図２に示すように、電極装置２が完成する。

【0039】

一方、この抵抗測定システム１０を使用して、例えば床面等の測定対象体Ｘの表面抵抗を測定する際には、上記の接続用ケーブルを測定装置１の測定部１１に接続すると共に、電極装置２を測定対象体Ｘの上に載置する。この際には、図４に示すように、取っ手３２ａに手を掛けて電極装置２を持ち上げたとき（すなわち、筐体２１を矢印Ａの向きに移動させたとき）に、支持板３３（筐体２１）に対して移動自在に支持されている中心電極２２およびスペーサ２４が、外部電極２３および筐体２１（支持板３３）に対して、自重によって矢印Ｂの向きに相対的に移動する。この結果、取付け用ねじ４３のねじ頭４３ｈと支持板３３の上面との間に配設されている圧電素子２５が、ねじ頭４３ｈおよび支持板３３によって挟まれるようにして押圧されて、圧電効果によって発生した信号が圧電素子２５から出力される（「いずれかの電極（本例では「中心電極」）の相対的な移動が検出されたとき」の一例）。

【0040】

この際に、この抵抗測定システム１０では、仮に、測定装置１に電源が投入されて、表面抵抗の測定処理が開始されていたとしても、制御部１４は、圧電素子２５からの信号に基づき、圧電素子２５が押圧されている（すなわち、電極装置２が持ち上げられており、中心電極２２および外部電極２３の電極本体４２，５２に人体が接触する可能性がある）と判別し、測定部１１を制御して、中心電極２２および外部電極２３の間への測定用電圧の印加を規制する（具体的には測定用電圧の印加を停止させる）。これにより、電極装置２が持ち上げられた状態において電極本体４２，５２に人体が接触したとしても、感電事故が発生する事態が回避される。

【0041】

また、電極装置２を載置する測定対象体Ｘの表面が平坦なときには、電極装置２をこの測定対象体Ｘの上に載置する際に、まず、中心電極２２の電極本体４２が測定対象体Ｘの表面に接触する。次いで、その状態において筐体２１（取っ手３２ａ）を下降させたときには、筐体２１および外部電極２３が中心電極２２およびスペーサ２４に対して矢印Ｂの向きに移動させられ、図２に示すように、中心電極２２の電極本体４２および外部電極２３の電極本体５２の双方が測定対象体Ｘに対して接触した状態となる。

【0042】

この際に、この電極装置２では、前述したように、中心電極２２およびスペーサ２４の総重量を、中心電極２２における電極本体４２の面積で除した値と、外部電極２３および筐体２１の総重量を、外部電極２３における電極本体５２の面積で除した値とが等しくなるように各部の重量や大きさが規定されている。このため、この電極装置２では、中心電極２２における電極本体４２から測定対象体Ｘの表面に加わる圧力と、外部電極２３における電極本体５２から測定対象体Ｘの表面に加わる圧力とが等しくなる。

【0043】

また、筐体２１および外部電極２３が中心電極２２およびスペーサ２４に対して矢印Ｂの向きに移動させられた状態（すなわち、中心電極２２およびスペーサ２４が、筐体２１および外部電極２３に対して矢印Ａの向きに移動させられた状態）においては、取付け用ねじ４３におけるねじ頭４３ｈおよび支持板３３による圧電素子２５の押圧が解除されて、圧電効果によって発生した信号の圧電素子２５からの出力が停止する（「いずれかの電極（本例では「中心電極」）の相対的な移動が検出されていないとき」の一例）。したがって、制御部１４は、圧電素子２５からの信号の出力停止に基づき、圧電素子２５が押圧されていない（すなわち、中心電極２２および外部電極２３の電極本体４２，５２が測定対象体Ｘに接触しており、これらに人体が接触しない状態である）と判別し、測定部１１を制御して、中心電極２２および外部電極２３の間への測定用電圧の印加を許容する。

【0044】

これに応じて、測定部１１は、中心電極２２と外部電極２３との間に測定用電圧を印加すると共に、中心電極２２と外部電極２３との間を流れる電流の電流値を測定し、測定した電流値と、印加した測定用電圧の電圧値とに基づいて、中心電極２２および外部電極２３が接している測定対象体Ｘの表面抵抗を測定する。また、測定部１１は、測定した結果を制御部１４に出力する。これに応じて、制御部１４は、測定部１１から出力された測定結果（測定対象体Ｘの表面抵抗）を表示部１３に表示させる。これにより、表面抵抗の測定処理が完了する。

【0045】

この場合、この抵抗測定システム１０によって表面抵抗を測定する測定対象体Ｘ（例えば、床面）は、その表面が平坦ではないことがある。例えば、表面が凹凸している測定対象体Ｘの表面抵抗を測定する際に、測定対象体Ｘにおける凸状部の上に電極装置２を載置したときには、まず、中心電極２２の電極本体４２が測定対象体Ｘの凸状部における突端部に接触する。次いで、その状態において筐体２１（取っ手３２ａ）を下降させたときには、筐体２１および外部電極２３が中心電極２２およびスペーサ２４に対して矢印Ｂの向きに移動させられ、図５に示すように、中心電極２２の電極本体４２および外部電極２３の電極本体５２の双方が測定対象体Ｘに対して接触した状態となる（中心電極２２の電極本体４２が外部電極２３の電極本体５２よりも上側に位置した状態）。

【0046】

このような状態においても、取付け用ねじ４３におけるねじ頭４３ｈおよび支持板３３による圧電素子２５の押圧が解除されるため、制御部１４は、圧電素子２５からの信号に基づき、圧電素子２５が押圧されていない（すなわち、中心電極２２および外部電極２３の電極本体４２，５２に人体が接触しない状態である）と判別し、測定部１１を制御して、中心電極２２および外部電極２３の間への測定用電圧の印加を許容する。この結果、測定部１１による表面抵抗の測定処理が実行されて、制御部１４に測定結果が表示される。

【0047】

また、表面が凹凸している測定対象体Ｘの表面抵抗を測定する際に、測定対象体Ｘにおける凹状部の上に電極装置２を載置したときには、まず、中心電極２２の電極本体４２が測定対象体Ｘの凹状部における底面に接触する。次いで、その状態において筐体２１（取っ手３２ａ）を下降させたときには、筐体２１および外部電極２３が中心電極２２およびスペーサ２４に対して矢印Ｂの向きに移動させられ、図６に示すように、中心電極２２の電極本体４２および外部電極２３の電極本体５２の双方が測定対象体Ｘに対して接触した状態となる（外部電極２３の電極本体５２が中心電極２２の電極本体４２よりも上側に位置した状態）。

【0048】

このような状態においても、取付け用ねじ４３におけるねじ頭４３ｈおよび支持板３３による圧電素子２５の押圧が解除されるため、制御部１４は、圧電素子２５からの信号に基づき、圧電素子２５が押圧されていない（すなわち、中心電極２２および外部電極２３の電極本体４２，５２に人体が接触しない状態である）と判別し、測定部１１を制御して、中心電極２２および外部電極２３の間への測定用電圧の印加を許容する。この結果、測定部１１による表面抵抗の測定処理が実行されて、制御部１４に測定結果が表示される。

【0049】

また、この抵抗測定システム１０を使用して、例えば導電フィルム等の測定対象体Ｘの体積抵抗を測定する際には、まず、電極装置２の接続用ケーブル、および電極装置３の接続用ケーブル（図示せず）を測定装置１の測定部１１に接続する。次いで、電極装置３を水平面（作業台や床面等）の上に水平に設置すると共に、その電極装置３の上に測定対象体Ｘを載置する。続いて、測定対象体Ｘの上に電極装置２を載置する。これにより、測定対象体Ｘを挟み込むようにして、電極装置２，３が設置される。この場合、測定対象体Ｘの上に電極装置２を載置したときに、筐体２１および外部電極２３が中心電極２２およびスペーサ２４に対して矢印Ｂの向きに移動させられる（中心電極２２およびスペーサ２４が、筐体２１および外部電極２３に対して矢印Ａの向きに移動させられる）ことにより、取付け用ねじ４３におけるねじ頭４３ｈおよび支持板３３による圧電素子２５の押圧が解除されて、圧電効果によって発生した信号の圧電素子２５からの出力が停止する（「いずれかの電極（本例では「中心電極」）の相対的な移動が検出されていないとき」の一例）。

【0050】

したがって、制御部１４は、圧電素子２５からの信号の出力停止に基づき、圧電素子２５が押圧されていない（すなわち、中心電極２２および外部電極２３の電極本体４２，５２が測定対象体Ｘに接触しており、これらに人体が接触しない状態である）と判別し、測定部１１を制御して、中心電極２２と電極装置３との間への測定用電圧の印加を許容する。これに応じて、測定部１１は、中心電極２２と電極装置３との間に測定用電圧を印加すると共に、中心電極２２と電極装置３との間を流れる電流の電流値を測定し、測定した電流値と、印加した測定用電圧の電圧値とに基づいて、電極装置２，３が接している測定対象体Ｘの体積抵抗を測定する。また、測定部１１は、測定した結果を制御部１４に出力する。これに応じて、制御部１４は、測定部１１から出力された測定結果（測定対象体Ｘの体積抵抗）を表示部１３に表示させる。これにより、体積抵抗の測定処理が完了する。

【0051】

一方、この種の抵抗測定システム１０の使用に際しては、測定部１１によって印加する測定用電圧の電圧値が規定値に対して許容範囲内となっているかを定期的に検査するのが好ましい。この場合、この抵抗測定システム１０では、前述したように、取付け用ねじ４３のねじ頭４３ｈと支持板３３とによって圧電素子２５が押圧されている状態において、測定部１１による測定用電圧の印加が規制される構成が採用されている。したがって、検査に際して取っ手３２ａに手を掛けて電極装置２を持ち上げたときに、取付け用ねじ４３のねじ頭４３ｈと支持板３３とによって圧電素子２５が押圧され、その状態において、電極装置２を横倒しにしたときに、取付け用ねじ４３のねじ頭４３ｈと支持板３３とによって圧電素子２５が押圧された状態が維持されて、測定部１１による測定用電圧の印加が規制された状態となることがある。

【0052】

このような状態において、この抵抗測定システム１０では、解除スイッチ２６を操作することにより、測定用電圧の印加の規制を強制的に解除することができるように構成されている。具体的には、横倒しした電極装置２において、取付け用ねじ４３のねじ頭４３ｈと支持板３３とによって圧電素子２５が押圧されている状態（圧電素子２５から信号が出力されている状態）において、制御部１４は、測定部１１による中心電極２２と電極装置３との間への測定用電圧の印加を規制するが、この状態において解除スイッチ２６が操作されたときに、測定用電圧の印加の規制を強制的に解除する（測定用電圧の印加を許容する）。したがって、電極本体４２，５２に図示しない電圧計のテストリードを接触させた状態において解除スイッチ２６を操作することにより、測定部１１によって電極本体４２，５２の間に印加された測定用電圧の電圧値を測定することが可能となる。

【0053】

このように、この電極装置２では、筐体２１（支持板３３）が、筐体２１に対する外部電極２３の筒長方向への中心電極２２および外部電極２３の少なくとも一方（本例では、中心電極２２）の移動を許容しつつ、中心電極２２および外部電極２３を支持する。また、この抵抗測定システム１０では、上記の電極装置２、および電極装置２における中心電極２２と外部電極２３との間に測定用電圧を印加すると共に、中心電極２２と外部電極２３との間を流れる電流の電流値および測定用電圧の電圧値に基づいて、中心電極２２および外部電極２３が接している測定対象体Ｘの表面抵抗を測定可能に構成された測定装置１を備えている。

【0054】

したがって、この電極装置２、および電極装置２を備えた抵抗測定システム１０によれば、測定対象体Ｘの表面が凹凸している状態であったとしても、中心電極２２が筐体２１（支持板３３）に対して外部電極２３の筒長方向に移動することで、中心電極２２の電極本体４２および外部電極２３の電極本体５２の双方を測定対象体Ｘの表面に確実に接触させることができる。これにより、測定対象体Ｘの表面抵抗を正確に測定することができる。

【0055】

また、この電極装置２、および電極装置２を備えた抵抗測定システム１０によれば、電極装置２を水平平面上に載置したときに、中心電極２２（電極本体４２）から水平平面に加わる圧力と、外部電極２３（電極本体５２）から水平平面に加わる圧力とが等しくなるように構成したことにより、測定対象体Ｘに対する中心電極２２（電極本体４２）の接触抵抗と、測定対象体Ｘに対する外部電極２３（電極本体５２）の接触抵抗とが均一となるため、測定対象体Ｘの表面抵抗を一層正確に測定することができる。

【0056】

さらに、この電極装置２では、筐体２１（支持板３３）を持ち上げることで筐体２１（支持板３３）に対して中心電極２２が相対的に下方に移動したときに押圧されて中心電極２２の相対的な移動を検出する圧電素子２５が筐体２１（支持板３３）に取り付けられている。また、この抵抗測定システム１０では、上記の電極装置２および測定装置１を備え、測定装置１は、電極装置２における中心電極２２と外部電極２３との間に測定用電圧を印加すると共に、中心電極２２と外部電極２３との間を流れる電流の電流値および測定用電圧の電圧値に基づいて、中心電極２２および外部電極２３が接している測定対象体Ｘの表面抵抗を測定する測定部１１と、電極装置２の圧電素子２５によって中心電極２２の相対的な移動が検出されていないときに測定部１１による測定用電圧の印加を許容すると共に、圧電素子２５によって中心電極２２の相対的な移動が検出されたときに測定部１１による測定用電圧の印加を規制する制御部１４とを備えて構成されている。

【0057】

したがって、この電極装置２、および電極装置２を備えた抵抗測定システム１０によれば、電極装置２が持ち上げられている状態（中心電極２２の電極本体４２や外部電極２３の電極本体５２に人体が接触する可能性がある状態）において、測定用電圧が印加されないため、感電事故の発生を確実に防止することができる。

【0058】

また、この抵抗測定システム１０によれば、制御部１４が、電極装置２に設けられた圧電素子２５が押圧されている状態において解除スイッチ２６が操作されたときに測定用電圧の印加を許容することにより、中心電極２２の電極本体４２や外部電極２３の電極本体５２に人体が接触する可能性がある状態であったとしても、利用者が、その事実、および感電事故が発生する可能性がないことを認識しているときには、測定用電圧の印加の規制を強制的に解除して（印加を許容して）、電極本体４２，５２の間に測定用電圧を印加させることができる。

【0059】

次に、本発明に係る抵抗測定用電極装置および抵抗測定システムの他の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。なお、前述した電極装置２および抵抗測定システム１０と同様の機能を有する構成要素については、同一の符号を付して重複する説明を省略する。

【0060】

図１に示す抵抗測定システム１０Ａは、「抵抗測定システム」の他の一例であって、前述した電極装置２に代えて電極装置２Ａを備えて構成されている。電極装置２Ａは、「抵抗測定用電極装置」の他の一例であって、図７，３に示すように、筐体２１、中心電極２２ａ、外部電極２３ａ、スペーサ２４、圧電素子２５および解除スイッチ２６を備えて構成されている。

【0061】

中心電極２２ａは、一例として、ステンレススチール等の金属材料で円柱状に形成された柱状部４１ａと、導電性ゴム等の弾性材料によって円板状に形成されて柱状部４１ａの底面に取り付けられた電極本体４２と、この中心電極２２ａを筐体２１（支持板３３）に取り付けるための取付け用ねじ４３ａとを備えている。また、外部電極２３ａは、一例として、ステンレススチール等の金属材料で円筒状に形成された筒状部５１ａと、導電性ゴム等の弾性材料によってリング状に形成されて筒状部５１ａの底面に取り付けられた電極本体５２と、この外部電極２３ａを筐体２１（支持板３３）に取り付けるための取付け用ねじ５３ａとを備えている。この場合、取付け用ねじ５３ａは、いわゆる［段付きねじ］であって、筒状部５１ａのねじ穴Ｈに対してねじ込み可能なねじ山が形成されている部位と、ねじ頭５３ｈとの間が円柱状に形成されている。

【0062】

この場合、本例の電極装置２Ａでは、柱状部４１ａが取付け用ねじ４３ａによって支持板３３にねじ止めされることで中心電極２２ａが支持板３３によって固定的に支持されている。また、本例の電極装置２Ａでは、筒状部５１ａが取付け用ねじ５３ａによって支持板３３にねじ止めされることで外部電極２３ａが筐体２１（支持板３３）に対して矢印Ａ，Ｂの向きに移動自在に支持板３３によって支持されている（「電極支持部に対する外部電極の筒長方向への外部電極の移動」が許容された構成の一例）。

【0063】

スペーサ２４は、一例として、ポリアセタール樹脂によって円筒状に形成されると共に、中心電極２２ａおよび外部電極２３ａの間に挟み込まれるようにして外筒３１内に収容されている。この場合、本例の電極装置２Ａでは、一例として、スペーサ２４が柱状部４１ａに対して固着されて柱状部４１ａと一体化されている。圧電素子２５は、支持板３３を挿通させた状態の取付け用ねじ５３ａにおけるねじ頭５３ｈと支持板３３の上面との間に配設された状態で支持板３３に取り付けられている。この圧電素子２５は、後述するように、取っ手３２ａに手を掛けて電極装置２Ａを持ち上げる（矢印Ａの向きに移動させる）ことで筐体２１（支持板３３）に対して外部電極２３ａが相対的に下方（矢印Ｂの向き）に移動したときに、取付け用ねじ５３ａのねじ頭５３ｈと支持板３３との間に挟まれて押圧されることで、外部電極２３ａの相対的な移動を検出する。

【0064】

この場合、本例の抵抗測定システム１０Ａにおいて採用された電極装置２Ａにおいても、前述した「ＪＩＳ−Ｃ２１７０」の規定に準じて電極装置２Ａの重量、電極装置２Ａの各部の大きさ、および電極本体４２，５２の硬度等が規定されている。また、本例の抵抗測定システム１０Ａにおける電極装置２Ａでは、電極装置２Ａを水平平面上に載置したときに、中心電極２２ａにおける電極本体４２（水平平面との接触面）に加わる圧力と、外部電極２３ａにおける電極本体５２（水平平面との接触面）に加わる圧力とが等しくなるように構成されている。具体的には、本例の電極装置２Ａでは、外部電極２３ａの重量を、外部電極２３ａにおける電極本体５２の面積で除した値と、中心電極２２ａ、スペーサ２４および筐体２１の総重量を、中心電極２２ａにおける電極本体４２の面積で除した値とが等しくなるように各部の重量や大きさが規定されている。

【0065】

上記の電極装置２Ａの組み立てに際しては、一例として、まず、柱状部４１ａの底部に電極本体４２を貼付すると共に、筒状部５１ａの底部に電極本体５２を貼付し、かつ、柱状部４１ａの外周部にスペーサ２４を接着する。次いで、外筒３１の内側に支持板３３を固定すると共に、支持板３３に対して柱状部４１ａを固定する。この際には、支持板３３に設けられた挿通孔（図示せず）を挿通させた取付け用ねじ４３ａを、柱状部４１ａの上端部に形成されたねじ穴Ｈにねじ込むことにより、柱状部４１ａの上端部を支持板３３の底部（下面）に当接させるようにして、柱状部４１ａを支持板３３に対して固定する。これにより、支持板３３によって中心電極２２ａおよびスペーサ２４が支持される。

【0066】

続いて、スペーサ２４を挿通させるようにして筒状部５１ａを外筒３１内に挿通すると共に、圧電素子２５、および支持板３３に設けられた挿通孔（図示せず）をこの順で挿通させた取付け用ねじ５３ａを、筒状部５１ａの上端部に形成されたねじ穴Ｈにねじ込む。これにより、中心電極２２ａに対して絶縁された状態で、外部電極２３ａが支持板３３によって支持される。この後、蓋体３２に取り付けられている解除スイッチ２６、および圧電素子２５に、図示しない接続用ケーブルの一端部をそれぞれ接続すると共に、外筒３１における上側開口部を閉塞するようにして外筒３１に対して蓋体３２を取り付ける。これにより、図７に示すように、電極装置２Ａが完成する。

【0067】

一方、この抵抗測定システム１０Ａを使用して、例えば床面等の測定対象体Ｘの表面抵抗を測定する際には、上記の接続用ケーブルを測定装置１の測定部１１に接続すると共に、電極装置２Ａを測定対象体Ｘの上に載置する。この際には、図８に示すように、取っ手３２ａに手を掛けて電極装置２Ａを持ち上げたとき（すなわち、筐体２１を矢印Ａの向きに移動させたとき）に、支持板３３（筐体２１）に対して移動自在に支持されている外部電極２３ａが、中心電極２２ａ、スペーサ２４および筐体２１（支持板３３）に対して、自重によって矢印Ｂの向きに相対的に移動する。この結果、取付け用ねじ５３ａのねじ頭５３ｈと支持板３３の上面との間に配設されている圧電素子２５が、ねじ頭５３ｈおよび支持板３３によって挟まれるようにして押圧されて、圧電効果によって発生した信号が圧電素子２５から出力される（「いずれかの電極（本例では「外部電極」）の相対的な移動が検出されたとき」の一例）。

【0068】

この際に、この抵抗測定システム１０Ａでは、前述した抵抗測定システム１０と同様にして、仮に、測定装置１に電源が投入されて、表面抵抗の測定処理が開始されていたとしても、制御部１４は、圧電素子２５からの信号に基づき、圧電素子２５が押圧されている（すなわち、電極装置２Ａが持ち上げられており、中心電極２２ａおよび外部電極２３ａの電極本体４２，５２に人体が接触する可能性がある）と判別し、測定部１１を制御して、中心電極２２ａおよび外部電極２３ａの間への測定用電圧の印加を規制する（具体的には測定用電圧の印加を停止させる）。これにより、電極装置２Ａが持ち上げられた状態において電極本体４２，５２に人体が接触したとしても、感電事故が発生する事態が回避される。

【0069】

また、電極装置２Ａを載置する測定対象体Ｘの表面が平坦なときには、電極装置２Ａをこの測定対象体Ｘの上に載置する際に、まず、外部電極２３ａの電極本体５２が測定対象体Ｘの表面に接触する。次いで、その状態において筐体２１（取っ手３２ａ）を下降させたときには、筐体２１、中心電極２２ａおよびスペーサ２４が外部電極２３ａに対して矢印Ｂの向きに移動させられ、図７に示すように、中心電極２２ａの電極本体４２および外部電極２３ａの電極本体５２の双方が測定対象体Ｘに対して接触した状態となる。

【0070】

この際に、この電極装置２Ａでは、外部電極２３ａの重量を、外部電極２３ａにおける電極本体５２の面積で除した値と、中心電極２２ａ、スペーサ２４および筐体２１の総重量を、中心電極２２ａにおける電極本体４２の面積で除した値とが等しくなるように各部の重量や大きさが規定されている。このため、この電極装置２Ａでは、中心電極２２ａにおける電極本体４２から測定対象体Ｘの表面に加わる圧力と、外部電極２３ａにおける電極本体５２から測定対象体Ｘの表面に加わる圧力とが等しくなる。

【0071】

また、筐体２１、中心電極２２ａおよびスペーサ２４が外部電極２３ａに対して矢印Ｂの向きに移動させられた状態（すなわち、外部電極２３ａが、筐体２１、中心電極２２ａおよびスペーサ２４に対して矢印Ａの向きに移動させられた状態）においては、取付け用ねじ５３ａにおけるねじ頭５３ｈおよび支持板３３による圧電素子２５の押圧が解除されて、圧電効果によって発生した信号の圧電素子２５からの出力が停止する（「いずれかの電極（本例では「外部電極」）の相対的な移動が検出されていないとき」の一例）。したがって、制御部１４は、圧電素子２５からの信号の出力停止に基づき、圧電素子２５が押圧されていない（すなわち、中心電極２２ａおよび外部電極２３ａの電極本体４２，５２が測定対象体Ｘに接触しており、これらに人体が接触しない状態である）と判別し、測定部１１を制御して、中心電極２２ａおよび外部電極２３ａの間への測定用電圧の印加を許容する。

【0072】

これに応じて、測定部１１は、中心電極２２ａと外部電極２３ａとの間に測定用電圧を印加すると共に、中心電極２２ａと外部電極２３ａとの間を流れる電流の電流値を測定し、測定した電流値と、印加した測定用電圧の電圧値とに基づいて、中心電極２２ａおよび外部電極２３ａが接している測定対象体Ｘの表面抵抗を測定する。また、測定部１１は、測定した結果を制御部１４に出力する。これに応じて、制御部１４は、測定部１１から出力された測定結果（測定対象体Ｘの表面抵抗）を表示部１３に表示させる。これにより、表面抵抗の測定処理が完了する。

【0073】

一方、例えば、表面が凹凸している測定対象体Ｘの表面抵抗を測定する際に、測定対象体Ｘにおける凸状部の上に電極装置２Ａを載置したときには、まず、外部電極２３ａの電極本体５２が測定対象体Ｘの凸状部における突端部の周囲に接触する。次いで、その状態において筐体２１（取っ手３２ａ）を下降させたときには、筐体２１、中心電極２２ａおよびスペーサ２４が外部電極２３ａに対して矢印Ｂの向きに移動させられ、図９に示すように、中心電極２２ａの電極本体４２および外部電極２３ａの電極本体５２の双方が測定対象体Ｘに対して接触した状態となる（外部電極２３ａの電極本体５２が中心電極２２ａの電極本体４２よりも下側に位置した状態）。

【0074】

このような状態においても、取付け用ねじ５３ａにおけるねじ頭５３ｈおよび支持板３３による圧電素子２５の押圧が解除されるため、制御部１４は、圧電素子２５からの信号に基づき、圧電素子２５が押圧されていない（すなわち、中心電極２２ａおよび外部電極２３ａの電極本体４２，５２に人体が接触しない状態である）と判別し、測定部１１を制御して、中心電極２２ａおよび外部電極２３ａの間への測定用電圧の印加を許容する。この結果、測定部１１による表面抵抗の測定処理が実行されて、制御部１４に測定結果が表示される。

【0075】

また、表面が凹凸している測定対象体Ｘの表面抵抗を測定する際に、測定対象体Ｘにおける凹状部の上に電極装置２Ａを載置したときには、まず、外部電極２３ａの電極本体５２が測定対象体Ｘの凹状部における底面に接触する。次いで、その状態において筐体２１（取っ手３２ａ）を下降させたときには、筐体２１、中心電極２２ａおよびスペーサ２４が外部電極２３ａに対して矢印Ｂの向きに移動させられ、図１０に示すように、中心電極２２ａの電極本体４２および外部電極２３ａの電極本体５２の双方が測定対象体Ｘに対して接触した状態となる（中心電極２２ａの電極本体４２が外部電極２３ａの電極本体５２よりも下側に位置した状態）。

【0076】

このような状態においても、取付け用ねじ５３ａにおけるねじ頭５３ｈおよび支持板３３による圧電素子２５の押圧が解除されるため、制御部１４は、圧電素子２５からの信号に基づき、圧電素子２５が押圧されていない（すなわち、中心電極２２ａおよび外部電極２３ａの電極本体４２，５２に人体が接触しない状態である）と判別し、測定部１１を制御して、中心電極２２ａおよび外部電極２３ａの間への測定用電圧の印加を許容する。この結果、測定部１１による表面抵抗の測定処理が実行されて、制御部１４に測定結果が表示される。

【0077】

また、この抵抗測定システム１０Ａでは、前述した抵抗測定システム１０と同様にして、例えば導電フィルム等の測定対象体Ｘの体積抵抗を測定することもできる。なお、体積抵抗の測定処理については、抵抗測定システム１０による体積抵抗の測定処理についての上記の説明と同様であるため、詳細な説明を省略する。また、解除スイッチ２６の使用方法についても、抵抗測定システム１０について説明した方法と同様であるため、詳細な説明を省略する。

【0078】

このように、この電極装置２Ａでは、筐体２１（支持板３３）が、筐体２１に対する外部電極２３ａの筒長方向への中心電極２２ａおよび外部電極２３ａの少なくとも一方（本例では、外部電極２３ａ）の移動を許容しつつ、中心電極２２ａおよび外部電極２３ａを支持する。また、この抵抗測定システム１０Ａでは、上記の電極装置２Ａ、および電極装置２Ａにおける中心電極２２ａと外部電極２３ａとの間に測定用電圧を印加すると共に、中心電極２２ａと外部電極２３ａとの間を流れる電流の電流値および測定用電圧の電圧値に基づいて、中心電極２２ａおよび外部電極２３ａが接している測定対象体Ｘの表面抵抗を測定可能に構成された測定装置１を備えている。

【0079】

したがって、この電極装置２Ａ、および電極装置２Ａを備えた抵抗測定システム１０Ａによれば、測定対象体Ｘの表面が凹凸している状態であったとしても、外部電極２３ａが筐体２１（支持板３３）に対してその筒長方向に移動することで、中心電極２２ａの電極本体４２および外部電極２３ａの電極本体５２の双方を測定対象体Ｘの表面に確実に接触させることができる。これにより、測定対象体Ｘの表面抵抗を正確に測定することができる。

【0080】

また、この電極装置２Ａによれば、電極装置２Ａを水平平面上に載置したときに、中心電極２２ａ（電極本体４２）から水平平面に加わる圧力と、外部電極２３ａ（電極本体５２）から水平平面に加わる圧力とが等しくなるように構成したことにより、測定対象体Ｘに対する中心電極２２ａ（電極本体４２）の接触抵抗と、測定対象体Ｘに対する外部電極２３ａ（電極本体５２）の接触抵抗とが均一となるため、測定対象体Ｘの表面抵抗を一層正確に測定することができる。

【0081】

さらに、この電極装置２Ａでは、筐体２１（支持板３３）を持ち上げることで筐体２１（支持板３３）に対して外部電極２３ａが相対的に下方に移動したときに押圧されて外部電極２３ａの相対的な移動を検出する圧電素子２５が筐体２１（支持板３３）に取り付けられている。また、この抵抗測定システム１０Ａでは、上記の電極装置２Ａおよび測定装置１を備え、測定装置１は、電極装置２Ａにおける中心電極２２ａと外部電極２３ａとの間に測定用電圧を印加すると共に、中心電極２２ａと外部電極２３ａとの間を流れる電流の電流値および測定用電圧の電圧値に基づいて、中心電極２２ａおよび外部電極２３ａが接している測定対象体Ｘの表面抵抗を測定する測定部１１と、電極装置２Ａの圧電素子２５によって外部電極２３ａの相対的な移動が検出されていないときに測定部１１による測定用電圧の印加を許容すると共に、圧電素子２５によって外部電極２３ａの相対的な移動が検出されたときに測定部１１による測定用電圧の印加を規制する制御部１４とを備えて構成されている。

【0082】

したがって、この電極装置２Ａ、および電極装置２Ａを備えた抵抗測定システム１０Ａによれば、電極装置２Ａが持ち上げられている状態（中心電極２２ａの電極本体４２や外部電極２３ａの電極本体５２に人体が接触する可能性がある状態）において、測定用電圧が印加されないため、感電事故の発生を確実に防止することができる。

【0083】

また、この抵抗測定システム１０Ａによれば、制御部１４が、電極装置２Ａに設けられた圧電素子２５が押圧されている状態において解除スイッチ２６が操作されたときに測定用電圧の印加を許容することにより、中心電極２２ａの電極本体４２や外部電極２３ａの電極本体５２に人体が接触する可能性がある状態であったとしても、利用者が、その事実、および感電事故が発生する可能性がないことを認識しているときには、測定用電圧の印加の規制を強制的に解除して（印加を許容して）、電極本体４２，５２の間に測定用電圧を印加させることができる。

【0084】

なお、「抵抗測定用電極装置」および「抵抗測定システム」の構成は、上記した電極装置２，２Ａおよび抵抗測定システム１０，１０Ａの構成に限定されない。例えば、支持板３３（筐体２１）に対して外部電極２３が固定的に支持されると共に中心電極２２が移動自在に支持された電極装置２、および支持板３３（筐体２１）に対して中心電極２２ａが固定的に支持されると共に外部電極２３ａが移動自在に支持された電極装置２Ａを例に挙げて説明したが、「電極支持部」に対して「中心電極」および「外部電極」の双方が移動自在となるように支持させて「抵抗測定用電極装置」を構成することもできる（図示せず）。このような構成においても、前述した電極装置２，２Ａと同様にして、「中心電極」および「外部電極」の両電極を各種の測定対象体Ｘに対して確実に接触させることができる。

【0085】

また、「電極移動検出素子」としての圧電素子２５を備えた例について説明したが、圧電素子２５に代えて、通常の接点型のスイッチを設けて、「電極支持部」に対する「中心電極（または、外部電極）」の移動を検出する構成を採用することもできる（図示せず）。さらに、「電圧印加規制解除スイッチ」として、プッシュスイッチで構成された解除スイッチ２６を備えた例について説明したが、プッシュスイッチに代えて、トグルスイッチ、バラフライスイッチ、スライドスイッチ等を「電圧印加規制解除スイッチ」として配設することもできる。この場合、「電圧印加規制解除スイッチ」が操作された状態が維持されて、利用者の意図に反して測定用電圧の印加の規制が解除された状態が維持されるのを回避するために、「電圧印加規制解除スイッチ」については、非操作状態においてオフ状態に復帰するスイッチを採用するのが好ましい。加えて、「電極移動検出素子」や「電圧印加規制解除スイッチ」の配設を省略した構成を採用することもできる。

【0086】

また、中心電極２２（２２ａ）および外部電極２３（２３ａ）を支持する支持板３３を絶縁材料で形成することで両電極２２，２３（２２ａ，２３ａ）を相互に絶縁する構成の電極装置２（２Ａ）を例に挙げて説明したが、「中心電極」および「外部電極」を相互に絶縁するための構成（「中心電極」における測定対象体への接触部位と、「外部電極」における測定対象体への接触部位とを相互に絶縁するための構成）は、これに限定されない。例えば、「電極支持部」を非絶縁材料（導電性材料）で形成すると共に、「中心電極」と「電極支持部」との間、および「外部電極」と「電極支持部」との間の少なくとも一方に絶縁性材料で形成した絶縁部材（図示せず）を挟み込むことで、「中心電極」および「外部電極」を相互に絶縁することができる。

【0087】

また、電極装置２の支持板３３を非絶縁材料（導電性材料）で形成すると共に、中心電極２２の柱状部４１、および外部電極２３の筒状部５１の少なくとも一方を絶縁材料で形成することで、中心電極２２の電極本体４２、および外部電極２３の電極本体５２を相互に絶縁することができる。さらに、電極装置２Ａの支持板３３を非絶縁材料（導電性材料）で形成すると共に、中心電極２２ａの柱状部４１ａ、および外部電極２３ａの筒状部５１ａの少なくとも一方を絶縁材料で形成することで、中心電極２２ａの電極本体４２、および外部電極２３ａの電極本体５２を相互に絶縁することができる。

【符号の説明】

【0088】

１０，１０Ａ 抵抗測定システム
１ 測定装置
２，２Ａ，３ 電極装置
１１ 測定部
１４ 制御部
２１ 筐体
２２，２２ａ 中心電極
２３，２３ａ 外部電極
２４ スペーサ
２５ 圧電素子
２６ 解除スイッチ
３１ 外筒
３２ 蓋体
３２ａ 取っ手
３３ 支持板
４１，４１ａ 柱状部
４２，５２ 電極本体
４３，４３ａ，５３，５３ａ 取付け用ねじ
４３ｈ，５３ｈ ねじ頭
５１，５１ａ 筒状部
Ｘ 測定対象体

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】